KR200383078Y1

KR200383078Y1 - One body type of a high precision linear guide cylinder

Info

Publication number: KR200383078Y1
Application number: KR20-2005-0002141U
Authority: KR
Inventors: 이수진; 강성민; 윤경중; 박상민; 강동성
Original assignee: 주식회사 프로텍
Priority date: 2005-01-24
Filing date: 2005-01-24
Publication date: 2005-04-29

Abstract

본 고안은 반도체 부품과 같은 소형의 정밀부품이나 이와 유사한 부품의 조립장비에 적용되는 고정도 리니어 가이드 실린더에 관한 것으로써, 금속제 롤러의 조립 작업성을 높이고, 이송에 따른 금속제 롤러간의 접촉 마찰력 감소에 의한 소음 극소화, 롤러간의 동기동작의 구현 및 실린더의 구동에 의한 슬라이드 테이블의 전/후진 동작 시에 슬라이드 테이블 끝단에서의 바운딩(떨림) 현상을 없애서 작업 정도를 극대화할 수 있는 고정도 리니어 가이드 실린더의 일체형 케이지 롤러를 제공함에 있다.The present invention relates to a high-precision linear guide cylinder applied to a small precision component such as a semiconductor component or a similar component, which improves the assembly workability of metal rollers and reduces contact friction between metal rollers due to transfer. High precision linear guide cylinder which can maximize work accuracy by minimizing noise by minimizing noise, realizing synchronous operation between rollers, and driving slide of cylinder and moving forward and backward of slide table. An integrated cage roller is provided.

본 고안의 특징을 슬라이더와 가이드레일의 롤러 안내홈에 수용되는 각각의 금속제 롤러를 수지제 케이지에 수용된 단일체의 일체형 케이지 롤러로 대체하여 롤러간의 금속마찰을 없애서 마찰소음의 극소화, 조립작업성의 극대화 및 각 롤러간의 동기 동작의 구현으로 활주운동에 따른 마모 량을 최대한 줄여서 수명의 연장은 물론, 슬라이드 테이블 끝단에서 발생되는 바운딩(떨림)현상을 더욱 차단하여 제품의 고정도를 제공한 것에 있다.The feature of the present invention is to replace each metal roller accommodated in the roller guide groove of the slider and the guide rail with a single unitary cage roller housed in the resin cage, eliminating metal friction between the rollers, minimizing friction noise, maximizing assembly workability, and Synchronous motion between the rollers reduces the amount of wear caused by the sliding movement as much as possible to prolong the life and to further block the phenomena occurring at the end of the slide table to provide high accuracy of the product.

그 결과, 상기 슬라이드 테이블(5)의 끝단에서 발생되는 바운딩(떨림)현상을 없애서 작업 정도가 보장되어 제품의 신뢰성을 높이고, 반복적인 전, 후진 동작하는 피스톤과 피스톤로드 및 슬라이드 테이블의 비틀림응력을 방지하여 수명이 보장되는 효과도 있다.As a result, the degree of work is ensured by eliminating the bounding phenomenon occurring at the end of the slide table 5, which improves the reliability of the product, and the torsional stress of the piston and piston rod and the slide table which are repeatedly moved forward and backward. It also prevents the lifespan.

Description

ONE BODY TYPE OF A HIGH PRECISION LINEAR GUIDE CYLINDER}

본 고안은 반도체 부품과 같은 소형의 정밀부품이나 이와 유사한 부품의 조립장비에 적용되는 고정도 리니어 가이드 실린더에 관한 것으로써,The present invention relates to a high-precision linear guide cylinder applied to the assembly equipment of small precision parts or similar parts, such as semiconductor parts,

보다 구체적으로는 금속제 롤러의 조립 작업성을 높이고, 이송에 따른 금속제 롤러간의 접촉 마찰력 감소에 의한 소음 극소화, 롤러간의 동기동작의 구현 및 실린더의 구동에 의한 슬라이드 테이블의 전/후진 동작 시에 슬라이드 테이블 끝단에서의 바운딩(떨림) 현상을 없애서 작업 정도를 극대화할 수 있는 고정도 리니어 가이드 실린더의 일체형 케이지 롤러에 관한 것이다.More specifically, assembling workability of the metal roller is improved, noise is minimized by the reduction of contact friction force between the metal rollers due to the conveyance, the synchronous operation between the rollers, and the slide table during the forward / reverse operation of the slide table by driving the cylinder. The present invention relates to an integrated cage roller of a high-precision linear guide cylinder that can maximize the degree of work by eliminating bounce at the end.

일반적으로 반도체와 같은 초정밀형 제품을 제조함에 있어서는 각 제조라인에서 필요한 부품의 조립을 위해 조립장비가 필수적으로 사용되고 있고,In general, in manufacturing ultra-precision products such as semiconductors, assembly equipment is indispensable for assembling necessary parts in each manufacturing line.

이러한 조립장비는 컨베이어 라인 상에서 이송되는 조립부품의 클램핑 이송, 흡착이송, 부품의 전환이송의 목적으로 고정도 리니어 가이드 실린더가 사용되고 있으며, 이러한 고정도 리니어 가이드 실린더는 상기와 같은 작업을 수행하기 위하여 별도의 지그를 장착하여 사용되고 있다.Such assembly equipment uses a high-precision linear guide cylinder for the purpose of clamping transfer, adsorption transfer, and transfer of parts of the assembly delivered on the conveyor line. It is used by mounting the jig.

이러한 종래의 고정도 리니어 가이드 실린더는 사용범위에 따라서 다양한 기능 및 형태를 갖추고 있다.The conventional high precision linear guide cylinder has various functions and shapes according to the range of use.

이러한 고정도 리니어 가이드 실린더의 구조는 기본적으로 복수의 실린더실을 갖추고 있으며 이 복수의 실린더실에 유체나 공기를 외부로부터 가압하여 공급하는 유, 공압원과 연통 되는 전진포트와 후진포트를 구비한 실린더블록;The structure of the high-precision linear guide cylinder basically includes a plurality of cylinder chambers, and a cylinder having forward and reverse ports communicating with oil and pneumatic sources for supplying fluid or air to the plurality of cylinder chambers from outside. block;

상기 가압 공급되는 유, 공압에 의해 상기 실린더실을 전, 후진 작동하는 복수의 피스톤, 이 피스톤에 일 측이 조립되고 타 측이 상기 실린더블록으로부터 돌출 되는 피스톤로드;A plurality of pistons configured to move the cylinder chamber forward and backward by the supplied oil and pneumatic pressure, and a piston rod having one side assembled to the piston and the other protruding from the cylinder block;

상기 실린더블록의 상부 중앙에 볼트로 조립 고정되는 슬라이더;A slider assembled and fixed to the upper center of the cylinder block by a bolt;

상기 실린더블록을 따라 전, 후진 작동하되 상기 슬라이더에 의해 안내되도록 하부 양방에 가이드레일을 장착한 슬라이드 테이블;A slide table having guide rails mounted on both lower sides of the cylinder block to move forward and backward along the cylinder block and guided by the slider;

상기 슬라이드 테이블의 전진 선단에 90도로 나사 조립되고 상기 돌출된 피스톤로드의 타 측과 볼트로 조립되는 지지플레이트;A support plate screwed at 90 degrees to a forward end of the slide table and assembled with bolts and the other side of the protruding piston rod;

상기 슬라이더의 양방과 각각의 가이드레일을 따라 형성된 90도 V자형 롤러 안내홈을 따라서 90도의 크로스(Cross)상태로 수용되는 다수의 롤러 및;A plurality of rollers accommodated in a 90 degree cross state along a 90 degree V-shaped roller guide groove formed along both guide rails and respective guide rails;

상기 피스톤의 행정(전, 후진 주행)을 조절하도록 비틀림 방지장치를 구비하고 있다.A torsion preventing device is provided to adjust the stroke (forward and backward running) of the piston.

이러한 종래의 고정도 리니어 가이드 실린더는 피스톤의 행정(전, 후진 주행)을 조정하는 비틀림 방지장치의 구조적인 복잡성, 소요 구성부품의 다량에 기인하여 제조코스트가 많이 들고, 조정 작업의 불편성이 있는 단점과,This conventional high-precision linear guide cylinder has a large manufacturing cost due to the structural complexity of the torsion preventing device for adjusting the piston stroke (forward and backward driving) and a large amount of required components, and the inconvenience of adjustment work. Disadvantages,

슬라이더와 가이드레일 간에 크로스 상태로 수용되는 다수의 롤러가 상기 슬라이드 테이블이나 지지플레이트에 작용되는 부하에 의한 접촉마찰력을 극소화하지 못하여 상기 슬라이드 테이블의 전, 후진 작동 시에 부드러운 이송이 제공되지 못하고, 작동에 따른 소음의 발생과 롤러의 마모가 빠르게 진행되어 수명이 단축되는 단점을 크게 들 수 있다.A plurality of rollers, which are accommodated in a cross state between the slider and the guide rail, do not minimize the contact frictional force caused by the load applied to the slide table or the support plate, so that smooth feed is not provided during the forward and backward operations of the slide table. The noise and the wear of the roller proceeds quickly due to the shortcomings that shorten the life.

그리하여 상기와 같은 종래의 고정도 리니어 가이드 실린더가 갖는 제반 단점을 극복하고자,Thus, to overcome all the disadvantages of the conventional high precision linear guide cylinder as described above,

피스톤의 직진 왕복운동(전, 후진운동)을 조절하는 비틀림 방지장치를 일 방향에 제공하고,Provides a torsion prevention device in one direction that regulates the linear reciprocation (forward and backward) of the piston,

금속제의 롤러의 접촉마찰을 극소화하도록 상기 롤러간에 수지제의 스페이서 롤러를 구비하며,A resin spacer roller is provided between the rollers to minimize contact friction of the metal rollers,

상기 롤러의 외부 이탈을 막기 위한 스토퍼를 별도의 부재 설비에 의하지 않고 상기 롤러가 이동하는 슬라이더와 가이드레일의 롤러 안내홈 내측 전방과 후방에 세팅스크류의 세팅에 의하여 구비한 고정도 리니어 가이드 실린더가 개시된 바 있다.Disclosed is a high-precision linear guide cylinder provided with a stopper for preventing the roller from detaching from the outside, by setting a setting screw on the inner and front and rear roller guide grooves of the slider and the guide rail to which the roller moves. There is a bar.

그러나, 이러한 고정도 리니어 가이드 실린더의 피스톤의 전진주행에 의한 슬라이드 테이블이 전진거리가 제어되는 시점에서 슬라이드 테이블의 끝단에 바운딩(떨림) 현상의 발생으로 작업 정도가 떨어지는 단점이 있었다.However, there is a disadvantage in that the degree of work decreases due to the occurrence of bounding (shake) at the end of the slide table when the advance distance of the slide table is controlled by the forward movement of the piston of the high precision linear guide cylinder.

이에 대하여 도 1 및 도 2를 참조하여 구체적으로 살펴보기로 한다.This will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2.

먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 고정도 리니어 가이드 실린더에 있어, 실린더의 전진동작을 제어하는 비틀림 방지장치(700)는 실린더블록(100)에 조립된 슬라이더(400)에 스토퍼돌기(600)를 수직방향으로 돌출하고, 슬라이드테이블(500)은 수평방향으로 관통된 나사공에 상기 스토퍼돌기(600)와 맞닿는 스토퍼볼트(800)가 나사 조립되며, 상기 스토퍼볼트(800)와 나사 조립되어 그 이동을 고정하는 세팅너트(900)로 구성되어 있다.First, as shown in Figure 1, in the high-precision linear guide cylinder, the torsion preventing device 700 for controlling the forward operation of the cylinder is a stopper projection 600 to the slider 400 assembled to the cylinder block 100 Protrudes in the vertical direction, the slide table 500 is screwed with the stopper bolt 800 in contact with the stopper projection 600 in the threaded hole penetrated in the horizontal direction, the screw is assembled with the stopper bolt 800 It consists of a setting nut 900 for fixing the movement.

그리고, 상기 실린더블록(100)은 실린더실을 전, 후진 동작하는 피스톤(200)과 이 피스톤에 일 측이 조립되고, 상기 실린더실을 돌출하여 상기 슬라이드 테이블(500)의 수직 지지플레이트(510)와 볼트 조립으로 연결되는 피스톤로드(300)를 구비하고 있다.In addition, the cylinder block 100 has a piston 200 which moves the cylinder chamber forward and backward and one side thereof is assembled to the cylinder chamber, and protrudes the cylinder chamber to vertically support the plate 510 of the slide table 500. And a piston rod 300 connected by bolt assembly.

이러한 고정도 리니어 가이드 실린더의 작동은 실린더블록(100)의 실린더실(110)에 압축공기가 공급되면 피스톤(200)이 공기압에 의해 전진 주행하게 되어 피스톤로드(300)와 연결된 슬라이드 테이블(500)이 전진하게 된다.In operation of the high precision linear guide cylinder, when compressed air is supplied to the cylinder chamber 110 of the cylinder block 100, the piston 200 travels forward by pneumatic pressure so that the slide table 500 is connected to the piston rod 300. This is advanced.

이렇게 전진하는 슬라이드 테이블(500)은 스토퍼볼트(800)의 선단이 상기 슬라이더(400)의 스토퍼돌기(600)에 의하여 그 전진거리가 제어된다.The advancing distance of the slide table 500 is controlled by the stopper protrusion 600 of the slider 400 at the tip of the stopper bolt 800.

그러나 전진된 피스톤(200)의 선단과 상기 실린더실(110)을 기밀하는 로드커버(120)와 갭(G/P)에 의해 상기 피스톤(200)은 계속적으로 공급되는 압축공기에 의해 계속 전진하려고 하고, 이러한 피스톤(200)의 추력에 대하여 상기 스토퍼돌기(600)와 스토퍼볼트(800)가 맞닿음 시점에 발생되는 반력에 의해 상기 슬라이드 테이블(500)의 끝단에 바운딩(떨림)이 발생하여 부착되는 작업지그(미도시 함)의 작업정도가 떨어지는 단점이 있다.However, the piston 200 is continuously moved by the compressed air which is continuously supplied by the tip of the advanced piston 200 and the rod cover 120 and the gap G / P hermetically sealing the cylinder chamber 110. And, by the reaction force generated when the stopper projection 600 and the stopper bolt 800 abuts against the thrust of the piston 200 is bound to the end of the slide table (500) occurs and attached There is a disadvantage in that the working degree of the working jig (not shown) falls.

이러한 현상은 결국, 실린더의 추력(피스톤의 전진)방향과 비틀림 방지장치(700)의 반력 방향이 동일선상이 아닌 다른 방향에서 작용하는 것에 기인하여 상기 고정도 리니어 가이드 실린더(500)가 최대한 전진동작 시점, 즉 상기 스토퍼돌기(600)에 스토퍼볼트(800)의 끝단이 맞닿게 되어 전진동작이 단속되는 시점에서 끝단에 바운딩 현상을 갖고 오게되어 작업정도가 떨어지게 된다.This phenomenon results from the fact that the high-precision linear guide cylinder 500 moves forward as much as possible due to the fact that the thrust (forward of piston) direction of the cylinder and the reaction force of the torsion preventing device 700 operate in a direction other than collinear. At the point in time, that is, the end of the stopper bolt 800 is brought into contact with the stopper protrusion 600, and the forwarding operation is interrupted, and the end of the stopper bolt 800 has a bounding phenomenon at the end, thereby reducing the working accuracy.

또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 고정도 리니어 가이드 실린더는 상기 슬라이더(400)의 양측과 각각의 가이드레일(550)을 따라 형성된 90도 V자형 롤러 안내홈(410)(560)을 따라서 금속제 롤러(450)가 크로스 상태로 수용되고, 각각의 금속제 사이에 수지제의 스페이서 롤러(460)를 사용하였다.In addition, as shown in FIG. 2, the conventional high-precision linear guide cylinder has 90-degree V-shaped roller guide grooves 410 and 560 formed along both sides of the slider 400 and the respective guide rails 550. Therefore, the metal roller 450 was accommodated in the cross state, and the resin spacer roller 460 was used between each metal.

이러한 스페이서 롤러(460)의 사용은 상기 가이드레일(550)과 조립된 슬라이드테이블(500)의 전, 후진 주행에 의하여 상기 롤러(450,460)는 상기 슬라이더(400)의 롤러 안내홈(410)을 각각 구름 이동시에 종래의 금속제 롤러(450)만을 사용함으로서 발생되는 접촉마찰력에 의한 소음 및 진동의 발생을 차단하여 원활한 구름 이동 및 접촉 마찰소음을 최소화하였다.The use of the spacer roller 460 is to move the forward and backward of the slide table 500 assembled with the guide rail 550, the roller 450, 460 is to guide the roller guide groove 410 of the slider 400, respectively By using only the conventional metal roller 450 during rolling movement, noise and vibration caused by contact friction force are blocked to minimize smooth rolling movement and contact friction noise.

그러나 이러한 종래 기술은 상기 금속제 롤러(450)와 수지제의 스페이서 롤러(460)는 슬라이더(400)와 가이드레일(550)의 간에 대향으로 배치된 각 롤러 안내홈(410,560)의 양측에 세팅되는 세팅스크류(420)(520)의 사이에 수작업에 의해 일일이 배치하고 있고,However, this conventional technique is a setting in which the metal roller 450 and the resin spacer roller 460 are set on both sides of each roller guide groove 410 and 560 disposed opposite the slider 400 and the guide rail 550. I arrange it by hand manually between the screws 420, 520,

이러한 조립작업은 숙련도가 없으면 매우 힘들고 생산성에 문제가 있다.This assembly work is very difficult without skilled skills and there is a problem in productivity.

그리고 각각의 롤러(450)와 스페이서 롤러(460)는 상기 롤러 안내홈(410,560)에서 자유로운 활주 운동을 제공하기 위하여 상호간이 이격될 수 있는 숫자로 수용됨으로써,And each of the rollers 450 and the spacer roller 460 is accommodated by a number that can be spaced apart from each other to provide a free sliding motion in the roller guide grooves (410,560),

상기 슬라이더(400)와 가이드레일(550)의 반복적인 전, 후이동으로 롤러 안내홈(410,560) 간의 공차 누적에 의한 클리어런스로 인하여 모든 롤러가 동일한 방향으로 동기회전이 제공되지 않게 되어 마모가 빠르게 진행되고 장기간 사용에 클리어런스가 점점 크게되어 상기 비틀림 방지장치 및 롤러의 유격에 의해 상기 슬라이드 테이블(500)이 멈추는 시점에서 끝단에 바운딩(떨림)현상을 가져오는 하나의 요인으로 지적되었다. Due to the clearance due to the tolerance accumulation between the roller guide grooves 410 and 560 in the repetitive before and after movement of the slider 400 and the guide rail 550, all the rollers are not provided with synchronous rotation in the same direction, so the wear progresses quickly. As a result, the clearance between the use of the torsion preventing device and the roller is increased, and it is pointed out as a factor that causes the phenomenon of bounding at the end when the slide table 500 is stopped by the play of the torsion preventing device and the roller.

본 고안은 상기와 같은 본 출원인의 선원 기술의 단점인 슬라이드 테이블의 끝단에서 발생되는 바운딩(떨림) 현상을 없애고자 개선한 고정도 리니어 가이드 실린더를 제공함에 그 목적이 있다.The object of the present invention is to provide a high-precision linear guide cylinder which is improved in order to eliminate the bounding phenomenon that occurs at the end of the slide table, which is a disadvantage of the applicant's source technology.

즉, 본 고안은 슬라이더와 가이드레일의 양측 롤러 안내홈에 수용되는 다수의 롤러의 동기동작(회전)을 구현하여 마모량을 최소화하여 수명의 연장은 물론, 슬라이드 테이블의 끝단 바운딩을 더욱 없애어서 작업정도의 극대화, 조립작업의 간소화로 제품의 양산이 가능한 고정도 리니어 가이드 실린더의 일체형 케이지 롤러를 제공함에 있다.That is, the present invention implements the synchronous operation (rotation) of a plurality of rollers accommodated in the roller guide grooves on both sides of the slider and the guide rail, thereby minimizing the amount of wear, thereby extending the service life and further eliminating the end bounding of the slide table. It is to provide an integrated cage roller of high precision linear guide cylinder which can mass-produce products by maximizing the efficiency and simplifying the assembly work.

본 고안의 특징은 슬라이더와 가이드레일의 롤러 안내홈에 수용되는 각각의 롤러를 단일의 수지제 케이지에 수용된 단일체의 일체형 케이지 롤러로 대체하여 롤러간의 금속마찰을 없애서 마찰소음의 극소화 및 조립작업성의 극대화로 양산이 가능하며, 슬라이더와 양측의 가이드레일의 각 안내홈에 수용되는 양측의 다수개 롤러가 동시에 동기 동작의 구현으로 마모 량을 최대한 줄일 수 있어 수명의 연장은 물론 슬라이드 테이블 끝단에서 발생되는 바운딩(떨림)현상을 더욱 차단하여 제품력을 극대화한 것이다.The feature of the present invention is to replace each roller accommodated in the roller guide groove of the slider and the guide rail with a monolithic cage roller housed in a single resin cage, eliminating metal friction between the rollers to minimize friction noise and maximize assembly workability. It is possible to mass-produce it, and the roller and the multiple rollers on both sides of each guide groove of the guide rails on both sides can simultaneously reduce the amount of wear by synchronous operation, thereby extending the life and the bounding that occurs at the end of the slide table. It is to maximize the product power by blocking the (shake) phenomenon.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 고안의 구성에 대하여 상세히 살펴보기로 한다.Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

즉, 본 고안은 도 3 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 실린더실(11)을 갖추고 있으며 이들 실린더실에 유체나 공기를 외부로부터 가압하여 공급하는 유, 공압원과 연통 되는 전진포트(12)와 후진포트(13)를 구비한 실린더블록(1)과, 상기 가압 공급되는 유, 공압에 의해 상기 실린더실(11)을 전, 후진 작동하는 한 쌍의 피스톤(2), 이 각각의 피스톤에 일 측이 조립되고 타측이 상기 실린더블록(1)으로부터 돌출 되는 피스톤로드(3)와, 상기 실린더블록(1)의 상부 중앙에 볼트(B/T)로 조립되는 슬라이더(4)와, 상기 실린더블록(1)을 따라 전, 후진 작동하되 상기 슬라이더(4)에 의해 안내되도록 하부 양방에 가이드레일(6)을 볼트(B/T)로 장착한 슬라이드 테이블(5)과, 상기 슬라이드 테이블(5)의 선단에 90도로 조립되고 상기 돌출된 피스톤로드(3)의 끝단에 볼트(B/T)로 조립되는 지지플레이트(51)와, 상기 슬라이더(4)의 양방과 각각의 가이드레일(6)을 따라 형성된 90도 V자형 롤러 안내홈(41)(61)을 따라서 90도의 크로스(Cross)상태로 수용되는 다수의 금속제의 롤러(8) 및, 상기 피스톤(2)의 전진을 조절하는 비틀림 방지장치(7)를 포함한다.That is, the present invention has a pair of cylinder chambers 11, as shown in Figures 3 to 12, and the forward port is in communication with the oil, pneumatic source for supplying fluid or air to the cylinder chambers from the outside A cylinder block (1) having a reverse port (12) and a reverse port (13), and a pair of pistons (2) for moving the cylinder chamber (11) forward and backward by the pressurized oil and pneumatic pressure, respectively. One side is assembled to the piston of the piston rod (3) and the other side protrudes from the cylinder block (1), and the slider (4) assembled by bolts (B / T) in the upper center of the cylinder block (1) and A slide table 5 having the guide rails 6 mounted on both sides of the cylinder block 1 with bolts B / T so as to be moved forward and backward along the cylinder block 1 and guided by the slider 4; Assembled 90 degrees at the tip of the table 5 and bolted to the end of the protruding piston rod 3 with bolts B / T. 90 degrees along the 90 degree V-shaped roller guide grooves 41 and 61 formed along both the support plate 51 and the said slider 4 and each guide rail 6 which are assembled | assembled. A plurality of metal rollers 8 accommodated therein and a torsion preventing device 7 for adjusting the advancement of the piston 2 are included.

이때, 상기 실린더블록(1)의 후단에는 상기 실린더실(11)과 동일선상으로 관통된 한 쌍의 로드공(91)을 갖는 완충플레이트(9)가 볼트(B/T)로 체결되고, 상기 피스톤로드(3)는 상기 슬라이드 테이블(5)의 전진이동 거리에 상응하는 거리를 상기 로드공(91)을 관통하여 후단으로 연장하고 이들 끝단에 상기 비틀림 방지장치(7)가 상기 피스톤(2)의 추력방향과 동일선상으로 구비되고,At this time, at the rear end of the cylinder block 1, a buffer plate 9 having a pair of rod holes 91 penetrated collinearly with the cylinder chamber 11 is fastened with bolts B / T. The piston rod 3 extends the distance corresponding to the forward movement distance of the slide table 5 to the rear end through the rod hole 91, and the torsion preventing device 7 is connected to the end of the piston 2 at the end thereof. It is provided in the same line as the thrust direction of

상기 금속제 롤러(8)는 양측의 수지제 케이지(81)가 연결부분(82)으로 일체로 된 단일체의 일체형 케이지 롤러(85)로 구성된다.The metal roller 8 is constituted by a unitary integrated cage roller 85 in which resin cages 81 on both sides are integrated into the connecting portion 82.

상기 비틀림 방지장치(7)는 상기 한 쌍의 피스톤로드(3)를 동시에 볼트(B/T)로 체결하는 스토퍼플레이트(75)와, 이 스토퍼플레이트의 중앙에 관통된 나사공에 나사 조립되어 전, 후진하는 스토퍼볼트(71) 및 이 스토퍼볼트의 전, 후진 위치를 고정하는 세팅너트(72)로 구성된다.The torsion preventing device (7) is screwed into a stopper plate (75) for fastening the pair of piston rods (3) at the same time with a bolt (B / T) and a screw hole penetrated through the center of the stopper plate. And a stopper bolt 71 for reversing and a setting nut 72 for fixing the forward and backward positions of the stopper bolt.

또한 상기 스토퍼볼트(71)는 선단에 형성된 나사홈(74)에 완충댐퍼(73)가 일체로 돌출된 조립로드로 억지 끼움으로 조립되어 상기 완충플레이트(9)의 중앙에 요설된 완충홈(92)에서 맞닿으면서 전진동작에 따른 충격을 감쇄하도록 되어 있다.In addition, the stopper bolt 71 is assembled by forcibly fitting with an assembly rod in which the buffer damper 73 is integrally protruded from the screw groove 74 formed at the tip, and the buffer groove 92 recessed at the center of the buffer plate 9. ), The impact due to the forward motion is reduced.

상기 단일체의 일체형 케이지 롤러(85)는 상기 슬라이더(4)와 양측의 가이드레일(6) 간의 롤러 안내홈(41,61)에 각각 수용되는 양측의 수지제의 케이지(81)가 연결부분(82)으로 일체 형성되고, 각각의 케이지(81)는 일정간격으로 크로스 상으로 관통된 롤러공에 상기 금속제 롤러(8)가 크로스 상으로 수용되어 구성된다.The one-piece integrated cage roller 85 has a cage 81 made of resin on both sides accommodated in the roller guide grooves 41 and 61 between the slider 4 and the guide rails 6 on both sides. ), Each cage 81 is formed by receiving the metal roller 8 in a cross shape in a roller hole penetrating in a cross shape at regular intervals.

이때, 단일체의 일체형 케이지 롤러(85)는 상기 슬라이더(4)의 상측을 연결부분(82)이 덮는 상태로 하여 양측 롤러 안내홈(41)과 상기 각 가이드레일(6)의 롤러 안내홈(61) 사이에 양측의 케이지(81)가 각각 개재 설치되어 이동에 따른 다수의 롤러(8)가 상기 케이지(81)의 내에서 슬라이더(4)의 이동방향에 양측의 다수개 롤러(8)가 동시에 동기 동작(회전)이 제공된다.At this time, the one-piece integrated cage roller 85 is the roller guide groove 61 of both the roller guide groove 41 and each of the guide rails 6 in such a state that the connecting portion 82 covers the upper side of the slider 4. Cages 81 on both sides are interposed between the plurality of rollers 8 so that a plurality of rollers 8 may move in the cage 81 in the moving direction of the slider 4 at the same time. Synchronous operation (rotation) is provided.

따라서, 슬라이더(4)와 양측의 가이드레일(6)의 양측 안내홈(41,61)에 각각 수용된 롤러(8)가 동기회전이 확실하게 되어 진동이나 소음을 극소화하게 되고, 슬라이이드 테이블(5)의 끝단에서의 바운딩현상을 극소화할 수 있다.Accordingly, the rollers 8 accommodated in the sliders 4 and the guide grooves 41 and 61 on both sides of the guide rails 6 are synchronously rotated, thereby minimizing vibration and noise, and the slide table 5 We can minimize the bounding phenomenon at the end of

상기 단일체의 일체형 케이지 롤러(85)를 구성하는 케이지(81)와 연결부분(82)은 내구성이 강한 어떤 수지제이어도 상관은 없으나, 바람직하게는 테프론재가 좋다. The cage 81 and the connecting portion 82 constituting the monolithic cage roller 85 may be made of any resin having high durability, but a Teflon material is preferable.

도면부호 21은 상기 실린더실(11)의 양단에 각각 대향으로 조립되어 상기 피스톤로드(3)와의 기밀을 제공하는 로드커버이고, 22는 상기 지지플레이트(51)와 피스톤로드(3)의 선단을 체결하는 볼트(B/T)의 체결강도를 높이는 부시를 도시한 것이며, 23은 칼라를, 24는 세팅핀을, 42는 상기 슬라이더(4)의 롤러 안내홈(41) 양단에 세팅된 세팅스크류를, 62는 상기 가이드레일(6)의 롤러 안내홈(61)의 양단에 세팅된 세팅스크류를 도시한 것이다.Reference numeral 21 is a rod cover which is assembled at opposite ends of the cylinder chamber 11 to provide airtightness with the piston rod 3, and 22 is a front end of the support plate 51 and the piston rod 3. It shows a bush to increase the tightening strength of the bolt (B / T) to tighten, 23 is the collar, 24 is the setting pin, 42 is the setting screw set at both ends of the roller guide groove 41 of the slider (4) 62 shows setting screws set at both ends of the roller guide groove 61 of the guide rail 6.

또한, 도면부호 A, Q, E, S는 상기 피스톤(2)에 조립되는 피스톤패킹, 오링 , 상기 피스톤(2)의 이동위치를 외부에 장비 되는 센서(미도시 함)가 감지할 수 있도록 조립되는 마그네틱링 및 마그네틱을 지지하는 쉴드링을 도시한 것이고, B,C,D는 상기 로드커버(21)에 각각 조립되는 로드패킹, 시일링, 오링을 도시한 것이며, F는 상기 피스톤(2)을 상기 피스톤로드(3)의 중앙에 가공된 단차홈에서 고정하는 스냅링을, P는 로드커버(21)를 상기 실린더블록(1)의 실린더실(11)에서 고정하는 스냅링을 도시한 것이다.In addition, reference numerals A, Q, E, S are assembled to detect the piston packing, O-ring, the moving position of the piston (2) mounted on the piston (2) by a sensor (not shown) equipped on the outside. Shows a magnetic ring and a shield ring for supporting the magnetic, B, C, D is a rod seal, seal ring, O-ring is assembled to the rod cover 21, respectively, F is the piston (2) Is a snap ring for fixing in the step groove formed in the center of the piston rod (3), P shows a snap ring for fixing the rod cover 21 in the cylinder chamber 11 of the cylinder block (1).

이러한 본 고안의 작동을 설명하면, 상기 실린더 블록(1)의 전진포트(12)에 외부의 유, 공압원(미도시됨)으로 가압된 유체나 공기가 인입되게 되면 한 쌍의 실린더실(11)에 내설된 각각의 피스톤(2)이 전진하게 되고, 이러한 피스톤의 전진작동에 의하여 각 피스톤 로드(3)가 전진하게 되며, 이들 피스톤 로드와 볼트(B/T)로 결합된 지지플레이트(51)가 전진함과 동시에 이와 볼트(B/T)로 체결된 슬라이드 테이블(5)이 상기 실린더블록(1)의 중앙 상부에 결합된 슬라이더(4)와 상기 슬라이드 테이블(5)의 하부 양방에 결합된 가이드레일(6)의 롤러 안내홈(41,61)의 사이에 구름운동 가능케 배치된 단일체의 일체형 케이지 롤러(85)의 지지 안내로 도 11과 같이 전진 작동하게 된다. Referring to the operation of the present invention, when the fluid or air pressurized by the external oil, pneumatic source (not shown) to the forward port 12 of the cylinder block 1 is a pair of cylinder chamber 11 Each piston (2) intrinsic to the (2) is to advance, each piston rod (3) is advanced by the forward operation of this piston, these piston rod and the support plate (51) coupled with the bolt (B / T) ) Advances and slide table 5 fastened with bolts B / T is coupled to both the slider 4 coupled to the upper center of the cylinder block 1 and the lower part of the slide table 5. As shown in FIG. 11, the support guide of the unitary cage roller 85 of the one-piece is arranged to enable rolling motion between the roller guide grooves 41 and 61 of the guide rail 6.

이때, 상기 단일체의 케이지 롤러(85)의 금속제 롤러(8)는 도 12에서와 같이 양측의 수지제 케이지(81)에 의하여 마찰 소음이 없이 원활한 구름운동의 제공으로 가이드레일(6)을 원활하게 이동 안내하게 됨과 동시에 각 롤러(8)는 양측의 케이지(81)에서 동시에 상기 슬라이더(4)와 가이드레일(6)의 간을 동기 동작이 구현되어 진동이나 떨림, 소음이 없게 된다.At this time, the metal roller 8 of the cage roller 85 of the single body smoothly guide rail 6 by providing a smooth rolling motion without friction noise by the resin cage 81 on both sides as shown in FIG. Simultaneously, the rollers 8 are synchronously operated between the slider 4 and the guide rails 6 at both sides of the cage 81 at the same time, thereby eliminating vibration, vibration, and noise.

이렇게 전진하는 슬라이드 테이블(5)과 상기 피스톤로드(3)의 연장단부에 구성된 비틀림 방지장치(7)의 스토퍼플레이트(75)는 상기 피스톤(2)의 추력방향과 동일하게 전진하게 된다.The slide table 5 and the stopper plate 75 of the torsion preventing device 7 formed at the extended end of the piston rod 3 are advanced in the thrust direction of the piston 2.

이렇게 전진하던 스토퍼플레이트(75)는 중앙의 스토퍼볼트(71)의 선단이 상기 실린더블록(1)의 후단에 조립된 완충플레이트(9)에 맞닿게 됨으로서 상기 피스톤(2)의 전진이 단속되어 멈추게 되고, 그 결과 슬라이드 테이블(5)의 전진이 스톱된다.The stopper plate 75 that has been advanced in this way has the front end of the stopper bolt 71 in contact with the buffer plate 9 assembled at the rear end of the cylinder block 1 so that the forward movement of the piston 2 is interrupted and stopped. As a result, the advancement of the slide table 5 is stopped.

이러한 과정에서 상기 스토퍼볼트(71)의 선단에 조립된 완충댐퍼(73)는 상기 완충플레이트(9)의 완충홈(92)에 진입과 동시에 맞닿으면서 그 충격을 감쇄하고 멈추게 되어 충격소음을 최소화하게 된다.In this process, the shock absorber 73 assembled at the front end of the stopper bolt 71 contacts the buffer groove 92 of the shock absorbing plate 9 and enters into contact with the shock absorber. Done.

이러한 본 고안의 고정도 리니어 가이드 실린더는 상기에서 언급한 바와 같이, 상기 피스톤(2)의 추력방향과 동일선상으로 상기 피스톤로드(3)의 연장단부에 구성함으로써, As described above, the high-precision linear guide cylinder of the present invention is constituted by an extended end of the piston rod 3 in the same line as the thrust direction of the piston 2,

상기 스토퍼볼트(71)의 조정(전진 및 후진)에 의해 상기 슬라이드 테이블(5)의 전진거리를 제어할 수 있는 스토퍼 기능과 더불어 상기 피스톤(2)의 전진을 멈춤으로서 발생되는 반력이 추력방향과 동일 선상으로 구성되어 상기 슬라이드 테이블(5)의 끝단에서 발생되는 바운딩(떨림)현상을 없애게 된다.In addition to the stopper function that can control the forward distance of the slide table 5 by adjusting the stopper bolt 71 (forward and backward), the reaction force generated by stopping the forward movement of the piston 2 and the thrust direction are It is constructed in the same line to eliminate the phenomenon of bounding caused by the end of the slide table (5).

더욱이, 구름운동을 안내하는 단일체의 케이지 롤러(85)는 양측의 케이지(81)에 일정간격으로 배치 조립된 금속제의 롤러(8)는 상기 슬라이더(4)와 가이드레일(6)의 롤러 안내홈(41,61)에서 동일한 방향으로 구름운동과 동시에 상기 안내홈(41,61)에서 이탈을 방지할 목적으로 세팅된 슬라이더(4) 및 가이드레일(6)의 세팅스크류(42,52)에 금속제 롤러(8)가 맞부딪힘을 차단하여 상기 슬라이드 테이블(5)의 끝단에서 발생되는 바운딩 현상을 더욱 없애게 된다.In addition, the roller cage of the single-piece cage roller 85 for guiding the rolling motion is arranged at regular intervals in the cage 81 on both sides of the roller guide groove of the slider 4 and the guide rail 6. The sliders 4 and the set screws 42 and 52 of the guide rail 6, which are set for the purpose of preventing the deviation from the guide grooves 41 and 61 at the same time as the rolling motion in the same direction at the ends 41 and 61, are made of metal. The roller 8 blocks the collision, thereby further eliminating the bounding phenomenon occurring at the end of the slide table 5.

그리고 상기 다수의 금속제 롤러(8)가 마모되어 점점 상기 롤러 안내홈(41,61) 간에 누적되는 클리어런스(Clearance)를 상기 양측의 케이지(81)가 보상하여 장기간 사용에도 바운딩 현상을 최소화하게 된다.The cage 81 on both sides compensates for the clearance accumulated between the roller guide grooves 41 and 61 due to the wear of the plurality of metal rollers 8, thereby minimizing the bounding phenomenon even in long-term use.

이러한 작동은 상기 슬라이드 테이블(5)에 장비 되는 지그의 클램핑이나 흡착동작의 오동작을 없앰으로서 작업 정도를 높이게 된다.This operation improves the degree of work by eliminating the malfunction of the clamping or adsorption operation of the jig equipped in the slide table (5).

한편, 상기 슬라이드 테이블(5)의 후진(복귀)은 상기 실린더 블록(1)의 후진포트(13)에 가압된 유체나 공기가 인입되면 전술한 피스톤(2,2)의 전진 작동과 역순으로 후진 작동하여 도 9와 같이 원위치로 복귀하게 된다.On the other hand, the reverse (return) of the slide table 5 is reversed in the reverse order to the forward operation of the above-described piston (2, 2) when the pressurized fluid or air is introduced into the reverse port (13) of the cylinder block (1) It returns to the original position as shown in FIG.

이러한 본 고안의 고정도 리니어 가이드 실린더는 슬라이드 테이블(5)의 전진거리를 단속하는 비틀림 방지장치(7)가 피스톤(2)의 추력방향과 동일선상에 구성함으로서 슬라이드 테이블(5)의 끝단에서 발생되는 바운딩(떨림)현상을 없애서 작업 정도가 보장되어 제품의 신뢰성을 높이는 효과가 있다.The high-precision linear guide cylinder of the present invention is generated at the end of the slide table 5 by forming a torsion preventing device 7 which controls the advance distance of the slide table 5 in the same line as the thrust direction of the piston 2. The degree of work is guaranteed by eliminating bounding, which increases the reliability of the product.

또한, 슬라이드 테이블(5)의 조립작업에 가장 큰 문제로 지적된 다수의 롤러의 조립을 케이지에 수용한 단일체 일체형의 케이지 롤러로 대체하여 바운딩 현상을 없앰을 물론, 장기간 사용으로 슬라이더(4)와 가이드레일(6)의 롤러 안내홈에서 발생되는 클리어런스을 롤러를 수용한 케이지(81)가 보상하여 수명이 보장되는 효과도 있다.In addition, the assembly of a large number of rollers, which is pointed out as the biggest problem in the assembly operation of the slide table 5, is replaced by a one-piece integrated cage roller housed in the cage, eliminating the bounding phenomenon, and of course, long-term use of the slider 4 and The cage 81, which accommodates the roller, compensates for the clearance generated in the roller guide groove of the guide rail 6, thereby ensuring the life.

도 1은 종래 고안의 비틀림 방지장치의 작동을 보여주는 정단면도로써,1 is a front sectional view showing the operation of the torsion preventing device of the conventional design,

도 1a는 피스톤의 전진에 의해 슬라이드테이블의 전진상태도이고,Figure 1a is a forward state diagram of the slide table by the advance of the piston,

도 1b는 도 1a에 의한 비틀림 방지장치의 작동으로 슬라이드 테이블 끝단의 바운딩 현상의 설명도이다.FIG. 1B is an explanatory view of the bounding phenomenon at the end of the slide table by the operation of the torsion preventing apparatus according to FIG.

도 2는 종래 고안의 슬라이더와 가이드레일의 주행상태를 보여주는 평면 발췌도 이다.Figure 2 is a plan view showing the running state of the slider and the guide rail of the conventional design.

도 3은 본 고안의 조립상태 사시도 이다.3 is an assembled perspective view of the present invention.

도 4는 본 고안의 조립부품 분해 사시도 이고,Figure 4 is an exploded perspective view of the assembly of the present invention,

도 5 및 도 6은 도 4의 일부 발췌 확대도 이다.5 and 6 are enlarged views of some excerpts of FIG. 4.

도 7은 본 고안의 정면도이고,7 is a front view of the present invention,

도 8은 도 7의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 취한 평단면도 이다.FIG. 8 is a plan sectional view taken along line IV-IV of FIG. 7.

도 9는 도 7의 우측면도이고,9 is a right side view of FIG. 7;

도 10은 도 9의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 취한 정단면도이고,FIG. 10 is a front sectional view taken along the line VV of FIG. 9,

도 11은 도 10의 전진상태의 작동도 이다.11 is an operation of the advanced state of FIG.

도 12는 본 고안의 슬라이더와 가이드레일의 주행상태를 보여주는 평면 발췌도 이다.12 is a plan view showing the running state of the slider and the guide rail of the present invention.

** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **** Explanation of symbols for main parts of drawings **

1 : 실린더 블록 2 : 피스톤1: cylinder block 2: piston

3 : 피스톤로드 4 : 슬라이더3: piston rod 4: slider

5 : 슬라이드 테이블 6 : 가이드레일5: slide table 6: guide rail

7 : 비틀림 방지장치 8 : 금속제 롤러7: torsion preventing device 8: metal roller

81 : 수지제 케이지. 85 : 일체형 케이지 롤러81: resin cage. 85: Integral Cage Roller

Claims

A cylinder block (1) having a pair of cylinder chambers (11) and having a forward port (12) and a reverse port (13) in communication with oil and pneumatic sources for supplying pressurized fluid or air from the outside to these cylinder chambers (1). ) And a pair of pistons 2 which move the cylinder chamber 11 forward and backward by the oil and pneumatic pressure supplied, one side of each of which is assembled and the other side of the cylinder block 1 Piston rod (3) protruding from the, the slider (4) assembled by bolts (B / T) in the upper center of the cylinder block (1), and the forward and backward operation along the cylinder block (1), the slider A slide table 5 having guide rails 6 mounted on both lower sides thereof to be guided by (4), and a bolt at the end of the protruding piston rod 3 that is assembled at 90 degrees to the tip of the slide table 5. Support plate 51 assembled with (B / T), and both of the slider 4 and A plurality of metal rollers 8 and 90 of which are accommodated in a 90 degree cross state along the 90 degree V-shaped roller guide grooves 41 and 61 formed along the guide rail 6 of the said piston 2, In the high-precision linear guide cylinder having a torsion preventing device (7) for adjusting the forward,

At the rear end of the cylinder block 1, a buffer plate 9 having a pair of rod holes 91 penetrated in the same line as the cylinder chamber 11 is fastened with bolts B / T, and the piston rod (3) extends the distance corresponding to the forward movement distance of the slide table (5) through the rod hole (91) to the rear end and the torsion preventing device (7) at these ends the thrust of the piston (2) The metal roller 8 is provided on the same line as the direction, and the metal roller 8 is made of resin on both sides interposed between the roller guide groove 41 of the slider 4 and the roller guide groove 61 of the guide rail 6. A high precision linear guide cylinder, characterized in that it is housed in a cage (81), these are unitary cage rollers (85) integral with a connecting portion (82).

The method of claim 1,

The monolithic cage roller 85 of the unitary body is assembled with the metal roller 8 in the form of a cross in a roller hole penetrated at regular intervals on the cross through the cage 81 made of resin on both sides, and is formed by a connecting portion 82. High precision linear guide cylinder, characterized in that.

The method according to claim 1 or 2.

The cage 81 and the connecting portion is a high-precision linear guide cylinder, characterized in that formed from Teflon material.