KR100340342B1 - Slide cylinder - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 23
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 5
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 claims description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 claims description 2
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- 230000007774 longterm Effects 0.000 abstract description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 4
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 abstract description 3
- 238000011038 discontinuous diafiltration by volume reduction Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67121—Apparatus for making assemblies not otherwise provided for, e.g. package constructions
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract
본 발명은 반도체 부품과 같은 소형의 정밀부품이나 이와 유사한 부품의 조립장비에 적용되는 슬라이드 실린더에 관한 것이다.The present invention relates to a slide cylinder that is applied to the assembly equipment of small precision parts or similar parts, such as semiconductor parts.
본 발명의 목적은 슬라이드 실린더를 구성하는 구성부재의 집약에 의한 전체 부피를 최소화와 제조능률의 향상에 의한 제품의 신뢰도가 극대화되고, 슬라이드 테이블의 전, 후진 작동을 안내하는 롤러 베어링간의 접촉마찰력감소에 의한 소음의 극소화 및 부드러운 이송의 극대화 장비 운용의 정밀성이 보장되며, 슬라이드 테이블 및 피스톤로드를 상호 연결하는 지지플레이트가 상기 슬라이드테이블과 일체형으로 제공되어 외부에서 작용되는 부하(수직, 수평하중이나 회전 모멘트)에 대하여 안정성을 극대화함에 있다.An object of the present invention is to maximize the reliability of the product by minimizing the overall volume by the aggregation of the constituent members constituting the slide cylinder and to improve the manufacturing efficiency, and to reduce the contact friction between the roller bearing for guiding the forward and backward operation of the slide table Minimizing noise and maximizing smooth conveying by means of precise operation of equipment and supporting plate interconnecting slide table and piston rod are provided integrally with the slide table so that externally applied load (vertical, horizontal load or rotation) Moment) to maximize stability.
본 발명의 상기 목적은 피스톤(2,2)의 직진 왕복운동을 조절하는 행정제어기구(90)가 실린더블록(1)에 내장되도록 하고,The above object of the present invention is to have a stroke control mechanism 90 for adjusting the linear reciprocating motion of the piston (2,2) is embedded in the cylinder block (1),
금속제의 롤러베어링(8)의 접촉마찰을 극소화하도록 상기 롤러베어링간(8,8)에 수지재의 스페이서 롤러(81)를 구비하며,A resin spacer roller 81 is provided between the roller bearings 8 and 8 to minimize contact friction of the metal roller bearings 8,
상기 롤러베어링(8,81)의 외부 이탈을 막기 위한 스토퍼를 별도의 부재 설비에 의하지 않고 상기 롤러베어링(8,81)이 이동하는 슬라이더(4)와 가이드레일(6,6)의 베어링 안내홈(41,41)(61,61) 내측 전방과 후방에 세팅스크류(42,62)의 세팅에 의하여 구비하고,Bearing guide grooves of the slider 4 and the guide rails 6 and 6 to which the roller bearings 8 and 81 are moved, without using a stopper for preventing external detachment of the roller bearings 8 and 81 from separate member facilities. (41, 41) (61, 61) provided in the front and rear of the setting screw (42, 62),
슬라이드 테이블(5)과 이 슬라이드 테이블의 주행동작원인 피스톤의 로드(3)를 연결하는 지지플레이트(7)를 일체형으로 구비함에 의하여 달성된다.It is achieved by integrally providing the slide table 5 and the support plate 7 which connects the rod 3 of the piston which is the driving operation source of this slide table.
이러한 본 발명은 전체적인 부피의 축소화 및 조립성이 뛰어난 효과가 있고,This invention has the effect of excellent overall volume reduction and assembly,
금속제의 롤러베어링간의 접촉마찰을 극소화시켜 부드러운 이송 및 사용 수명의 연장, 소음이 극소화 효과가 있으며,Minimizes contact friction between roller bearings made of metal. Smooth transfer, extended service life, and minimized noise.
조립장비의 응용에 따라서 취부 지그에 의해 작용되는 수직하중, 수평하중, 회전모멘트에 충분히 견디도록 구성 부품의 일체화로서 장기적으로 사용수명이 보장되는 효과가 있다.In accordance with the application of the assembly equipment, it is effective to ensure long-term service life by integrating the component parts to sufficiently endure the vertical load, horizontal load and rotation moment acting by the mounting jig.
Description
본 발명은 반도체 부품과 같은 소형의 정밀부품이나 이와 유사한 부품의 조립장비에 적용되는 슬라이드 실린더에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 구성부재의 집약에 의한 전체 부피를 최소화와 제조능률의 향상에 의한 제품의 신뢰도가 극대화되고, 슬라이드 테이블의 전, 후진 작동을 안내하는 롤러 베어링간의 접촉마찰력감소에 의한 소음의 극소화 및 부드러운 이송의 극대화 장비 운용의 정밀성이 보장되며, 슬라이드 테이블 및 피스톤로드를 상호 연결하는 지지플레이트가 상기 슬라이드테이블과 일체형으로 제공되어 외부에서 작용되는 부하(수직, 수평하중이나 회전 모멘트)에 대하여 안정성을 극대화한 슬라이드 실린더에 관한 것이다.The present invention relates to a slide cylinder that is applied to the assembly equipment of small precision parts or similar parts, such as semiconductor components, and more particularly, to minimize the total volume by the aggregation of the components and to improve the production efficiency Maximum reliability, minimizing noise due to reduced contact friction between roller bearings for guiding the forward and backward movement of the slide table, and maximizing smooth transfer. Is provided integrally with the slide table relates to a slide cylinder maximized stability against externally applied load (vertical, horizontal load or rotation moment).
일반적으로 반도체와 같은 초정밀형 제품을 제조함에 있어서는 각 제조라인에서 필요한 부품의 조립의 위해 조립장비가 필수적으로 사용되고 있고,In general, in manufacturing high precision products such as semiconductors, assembly equipment is essentially used for assembling necessary parts in each manufacturing line.
이러한 조립장비는 컨베이어 라인 상에서 이송되는 조립부품의 클램핑 이송, 흡착이송, 부품의 전환이송의 목적으로 슬라이드 실린더가 사용되고 있으며 이러한 슬라이드 실린더는 상기와 같은 작업을 수행하기 위하여 별도의 지그를 장착하여사용되고 있다.Such assembly equipment is used with a slide cylinder for the purpose of clamping transfer, adsorption transfer, transfer of parts of the assembly parts transferred on the conveyor line, these slide cylinders are used by mounting a separate jig to perform the above operation. .
이러한 종래의 슬라이드 실린더는 사용범위에 따라서 다양한 기능 및 형태를 갖추고 있으나,The conventional slide cylinder has a variety of functions and forms depending on the range of use,
잘 알려진 바와 같이, 기본적으로 복수의 실린더실를 갖추고 있으며 이 복수의 실린더실에 유체나 공기를 외부로부터 가압하여 공급하는 유, 공압원과 연통 되는 전진포트와 후진포트를 구비한 실린더블록;As is well known, a cylinder block having a plurality of cylinder chambers and basically having a forward port and a reverse port communicating with an oil and pneumatic source for supplying pressurized fluid or air from the outside to the plurality of cylinder chambers;
상기 가압 공급되는 유, 공압에 의해 상기 실린더실을 전, 후진 작동하는 복수의 피스톤, 이 피스톤에 일측이 조립되고 타측이 상기 실린더블록으로부터 돌출 되는 피스톤로드;A plurality of pistons configured to move the cylinder chamber forward and backward by the supplied oil and pneumatic pressure, and a piston rod having one side assembled to the piston and the other protruding from the cylinder block;
상기 실린더블록의 상부 중앙에 볼트로 조립 고정되는 슬라이더;A slider assembled and fixed to the upper center of the cylinder block by a bolt;
상기 실린더블록을 따라 전, 후진 작동하되 상기 슬라이더에 의해 안내되도록 하부 양방에 가이드레일을 장착한 슬라이드 테이블;A slide table having guide rails mounted on both lower sides of the cylinder block to move forward and backward along the cylinder block and guided by the slider;
상기 슬라이드 테이블의 전진 선단에 90도로 나사 조립되고 상기 돌출된 피스톤로드의 타측과 볼트로 조립되는 지지플레이트;A support plate screwed at 90 degrees to a forward end of the slide table and assembled with bolts and the other side of the protruding piston rod;
상기 슬라이더의 양방과 각각의 가이드레일을 따라 형성된 90°V자형 베어링 안내홈을 따라서 90°의 크로스(Cross)상태로 수용되는 다수의 롤러베어링 및;A plurality of roller bearings received in a cross state of 90 ° along a 90 ° V-shaped bearing guide groove formed on both sides of the slider and along each guide rail;
상기 피스톤의 행정(전, 후진 주행)을 조절하도록 행정제어기구를 구비하고 있다.A stroke control mechanism is provided to adjust the stroke (forward and backward travel) of the piston.
이러한 종래의 슬라이드 실린더는 후술되는 바와 같이 몇 가지 문제점을 갖고 있다.This conventional slide cylinder has some problems as described below.
첫째, 전체적인 부피가 비대하고 구조가 복잡한 단점으로 반도체 부품과 같은 초소형의 정밀부품의 조립장비에 적용하기에 매우 어려운 실정이고, 구조의 복잡으로 제조원가가 상승되는 단점을 갖고 있다.First, due to its large volume and complicated structure, it is very difficult to be applied to assembly equipment for micro precision parts such as semiconductor parts, and has a disadvantage in that manufacturing cost increases due to complexity of the structure.
즉, 종래의 상기 슬라이드 실린더는 피스톤의 주행을 조절하는 상기 행정제어기구가 상기 실린더블록의 외부에 별도로 부착 구비되고, 이러한 별도의 행정제어기구의 부착에 따른 외부의 유,공압원과 실린더실을 연통 하는 상기 피스톤의 전진포트와 후진포트가 상기 실린더실의 일측에 구비되지 못하고, 상기 실린더블록의 후방에 구비되되, 상기 피스톤의 후진작동을 위한 후진포트는 후방으로부터 경유되는 통로를 상기 일측의 실린더실과 분리되어 구비하여 일측의 실린더실과 연통 시키고 있기 때문에,That is, the conventional slide cylinder is provided with the stroke control mechanism for controlling the running of the piston is separately attached to the outside of the cylinder block, the external oil, pneumatic source and the cylinder chamber according to the attachment of this separate stroke control mechanism. The forward and backward ports of the piston communicating with each other are not provided at one side of the cylinder chamber, but are provided at the rear of the cylinder block, and the reverse port for the backward operation of the piston has a passage passing from the rear of the cylinder at the one side. Since it is separated from the seal and communicates with the cylinder chamber on one side,
상기 실린더블록의 외부에 별도로 구비되는 행정제어기구와 상기 피스톤의 후진작동을 위한 후진포트를 연통하기 위한 통로의 구성은 슬라이드 실린더의 전체 부피를 비대화하고,The configuration of the passage for communicating the stroke control mechanism provided separately to the outside of the cylinder block and the reverse port for the reverse operation of the piston enlarges the total volume of the slide cylinder,
별도의 행정제어기구의 부착과 후진포트의 형성을 위한 통로의 구성 및 이의 밀폐을 위한 별도의 부품가공과 조립으로 전체적인 구성은 물론 소요부품의 다량으로 제조원가가 상승되었다.The manufacturing cost has increased due to the large amount of required parts as well as the overall configuration through the construction of passages for the attachment of separate stroke control mechanisms and the formation of reverse ports, and the processing and assembly of separate parts for sealing them.
둘째, 슬라이더와 가이드레일간에 크로스 상태로 수용되는 다수의 롤러베어링이 상기 슬라이드 테이블이나 지지플레이트에 작용되는 부하에 의한 접촉마찰력을 극소화하지 못하여 상기 슬라이드 테이블의 전, 후진 작동 시에 부드러운 이송이 제공되지 못하고, 작동에 따른 소음의 발생과 롤러베어링의 마모가 빠르게 진행되어 수명이 단축되는 단점이 있다.Secondly, a plurality of roller bearings accommodated in the slider and guide rails in a cross state do not minimize contact frictional force due to the load applied to the slide table or the support plate, so that smooth feed is not provided during the forward and backward operation of the slide table. Not, there is a disadvantage in that the generation of noise and the wear of the roller bearing proceeds quickly due to the operation shortened life.
즉, 종래의 슬라이드 실린더는 상기 슬라이더의 베어링 안내홈과 양방의 가이드레일의 베어링 안내홈에서 다수의 금속재의 롤러베어링이 90도로 크로스 되어 자유로이 이동되도록 수용되고 있으나 전, 후진 작동에 따른 각 롤러베어링의 구름이동시에 상호간이 밀착되고, 이러한 밀착에 의한 롤러베어링 상호간의 크로스 접촉면의 심한 마찰로 이 부분이 빠르게 마모되어 소음이 발생되며, 이러한 빠른 마모 진행으로 장기간 사용 시에 오동작의 발생 염려와 마찰면의 증대로 전, 후진 작동의 정밀성이 떨어지게 된다.That is, the conventional slide cylinder is accommodated so that a plurality of metal roller bearings are freely moved by crossing 90 degrees in the bearing guide grooves of the slider and the bearing guide grooves of both guide rails. When rolling, the contact between each other and the friction between the roller bearings caused by the close contact between these parts wears out quickly and the noise is generated.This rapid wear progresses the possibility of malfunction and long-term use of the friction surface. Increasing the accuracy of the forward and reverse operations is reduced.
셋째, 슬라이드 테이블과 지지플레이트가 별도의 부품으로서 나사에 의하여 조립 고정되기 때문에 상기 슬라이드 테이블이나 플레이트에 조립되는 지그의 동작에 따른 작용되는 부하 즉, 상기 지그의 동작이나 자체 하중에 의해 작용되는 수직, 수평하중 또는 회전모멘트를 초기에는 충분히 극복하나,Third, since the slide table and the support plate are assembled and fixed by screws as separate parts, the load applied by the operation of the jig assembled to the slide table or plate, that is, the vertical acting by the operation of the jig or its own load, Initially overcome the horizontal load or rotation moment,
장기간 사용 시에 상기 슬라이드 테이블과 플레이트가 연결된 조립부분에 응력이 집중되어 나사부분에 전단응력이 발생되어 절단되거나, 나사 풀림으로 장치 운용 중에 오동작 발생이 빈번하게 되어 제품의 신뢰성이 떨어지게 된다.During long-term use, stress is concentrated on the assembly part to which the slide table and the plate are connected, so that shear stress is generated on the screw part, or malfunction occurs frequently during operation of the device due to loosening of the screw, thereby degrading reliability of the product.
넷째, 상기 슬라이더와 가이드레일 상에 수용되는 상기 다수의 롤러베어링의 외부 이탈을 막기 위한 부재의 다량 소모의 단점을 갖고 있다.Fourth, there is a disadvantage in that a large amount of consumption of the member for preventing the outer detachment of the plurality of roller bearings accommodated on the slider and the guide rail.
즉, 종래의 슬라이드 실린더는 상기 롤러베어링이 외부로 이탈이 안되도록 하기 위하여 스톱퍼을 양방의 가이드레일의 베어링 안내홈 선단과 후단의 외측에 나사에 의한 조립으로 제공되어져 전체적인 부피의 비대, 소요자재의 낭비, 소용자재의 증가에 의한 중량 증가가 있었다.That is, the conventional slide cylinder is provided by the assembly of the stopper to the bearing guide groove front end and rear end of both guide rails so as to prevent the roller bearings from escaping to the outside, so that the overall volume is excessive, waste of necessary materials In addition, there was an increase in weight due to an increase in materials.
본 발명은 상기와 같은 종래의 슬라이드 실린더의 문제점을 효과적으로 해소하고자 연구 개발된 것으로서,The present invention has been researched and developed to effectively solve the problems of the conventional slide cylinder as described above,
본 발명의 목적은 구성부품의 간소화 및 집약에 의한 전체적인 부피와 중량의 최소화로 소형의 정밀 부품의 조립장비에서의 적용 능률 및 사용 능률을 극대화할 수 있는 슬라이드 실린더를 제공함에 있다.An object of the present invention is to provide a slide cylinder that can maximize the application efficiency and use efficiency in the assembly equipment of small precision parts by minimizing the overall volume and weight by simplification and aggregation of components.
본 발명의 목적은 조립장비의 응용에 따라서 취부 지그에 의해 작용되는 수직하중, 수평하중, 회전모멘트에 충분히 견디도록 구성 부품의 일체화로서 장기적으로 사용수명이 보장되는 슬라이드 실린더를 제공함에 있다.It is an object of the present invention to provide a slide cylinder which ensures a long service life by integrating components to withstand the vertical load, the horizontal load and the rotation moment acted by the mounting jig according to the application of the assembly equipment.
본 발명의 목적은 슬라이드 테이블의 전, 후진 작동을 지지 안내하는 롤러베어링간의 접촉마찰을 극소화시켜 부드러운 이송 및 사용 수명의 연장이 제공되고, 소음이 극소화로 제품의 신뢰성이 제공되는 슬라이드 실린더를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a slide cylinder which minimizes contact friction between roller bearings for supporting the forward and backward operation of a slide table, thereby providing smooth conveyance and extension of service life and providing reliability of a product with minimized noise. have.
본 발명의 상기 목적은 피스톤의 직진 왕복운동을 조절하는 행정제어기구가 실린더블록에 내장되도록 하고,The object of the present invention is to have a stroke control mechanism for adjusting the linear reciprocating motion of the piston is embedded in the cylinder block,
금속제의 롤러베어링의 접촉마찰을 극소화하도록 상기 롤러베어링간에 수지재의 스페이서 롤러를 구비하며,A resin spacer roller is provided between the roller bearings to minimize contact friction of the metal roller bearings,
상기 롤러베어링의 외부 이탈을 막기 위한 스토퍼를 별도의 부재 설비에 의하지 않고 상기 롤러베어링이 이동하는 슬라이더와 가이드레일의 베어링 안내홈 내측 전방과 후방에 세팅스크류의 세팅에 의하여 구비하고,A stopper for preventing the outer detachment of the roller bearing is provided by setting screws on the inner front and rear of the bearing guide groove of the slider and the guide rail to which the roller bearing moves, without using a separate member facility.
슬라이드 테이블과 이 슬라이드 테이블의 주행동작원인 피스톤의 로드를 연결하는 지지플레이트를 일체형으로 구비함에 의하여 달성된다.It is achieved by integrally providing a slide plate and a support plate for connecting the rod of the piston which is the driving operation source of the slide table.
도 1은 본 발명의 분해 사시도,1 is an exploded perspective view of the present invention,
도 2는 본 발명의 전진작동 상태의 정면도2 is a front view of a forward operating state of the present invention
도 3은 도 2의 평면도로서 계단상의 단면을 취한 단면도,3 is a cross-sectional view taken in a stepped cross section as a plan view of FIG.
도 4는 본 발명의 측단면도,4 is a side cross-sectional view of the present invention;
도 5는 도 4의 실린더실을 따라 취한 평단면도,5 is a plan sectional view taken along the cylinder chamber of FIG. 4;
도 6은 도 4의 슬라이더를 따라 취한 평단면도,6 is a plan sectional view taken along the slider of FIG. 4;
도 7은 본 발명의 슬라이더와 가이드레일에 수용된 크로스 롤러 베어링의 배Figure 7 is a ship of the cross roller bearing accommodated in the slider and guide rail of the present invention
열을 보여주는 일부 발췌 분해 사시도,Exploded perspective view of some excerpts showing heat,
도 8은 본 발명의 행정제어기구의 일부 발췌 분해 사시도,8 is an exploded perspective view of a part of the administrative control mechanism of the present invention;
도 9 및 도 10은 본 발명의 행정제어기구의 다른 실시예의 정면도,9 and 10 are front views of another embodiment of the stroke control mechanism of the present invention;
도 11은 본 발명의 후진작동 상태의 정면도,11 is a front view of the reverse operation state of the present invention,
도 12는 본 발명의 도 11의 평면도로서 계단상의 단면을 취한 단면도.Fig. 12 is a sectional view taken on a stepped cross-sectional view as a plan view of Fig. 11 of the present invention.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>
1 : 실린더 블록 2 : 피스톤1: cylinder block 2: piston
4 : 슬라이더 5 : 슬라이드 테이블4: slider 5: slide table
6 : 가이드 레일 7 : 지지플레이트6: guide rail 7: support plate
8 : 금속제의 롤러베어링81 : 수지재의 스페이서 롤러베어링90 : 행정제어기구 91 : 이동거리홈92, 93 : 나사공 94, 95 : 스토퍼볼트96 : 스토퍼돌기DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS 8 metal roller bearing 81 spacer resin roller bearing 90 stroke control mechanism 91 moving distance groove 92, 93 screw hole 94, 95 stopper bolt 96 stopper protrusion
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 구성에 대하여 상세히 살펴보기로 한다.Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
즉, 본 발명은 도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 복수의 실린더실(11,11)를 갖추고 있으며 이 복수의 실린더실에 유체나 공기를 외부로부터 가압하여 공급하는 유, 공압원과 연통 되는 전진포트(12)와 후진포트(13)를 구비한 실린더블록(1)과, 상기 가압 공급되는 유, 공압에 의해 상기 실린더실(11,11)을 전, 후진 작동하는 복수의 피스톤(2,2), 이 피스톤에 일측이 조립되고 타측이 상기 실린더블록(1)으로부터 돌출 되는 피스톤로드(3,3)와, 상기 실린더블록(1)의 상부 중앙에 볼트(B)로 조립 고정되는 슬라이더(4)와, 상기 실린더블록(1)을 따라 전, 후진 작동하되 상기 슬라이더(4)에 의해 안내되도록 하부 양방에 가이드레일(6,6)을 장착한 슬라이드 테이블(5)과, 상기 슬라이드 테이블(5)의 선단에 90도로 조립되고 상기 돌출된 피스톤로드(3,3)의 타측과 볼트(B)로 조립되는 지지플레이트(7)와, 상기 슬라이더(4)의 양방과 각각의 가이드레일(6,6)을 따라 형성된 90°V자형 베어링 안내홈(41,41)(61,61)을 따라서 90°의 크로스(Cross)상태로 수용되는 다수의 금속제의 롤러베어링(8) 및, 상기 피스톤(2,2)의 행정(전, 후진 주행)을 조절하도록 행정제어기구(90)를 구비하여 이루어지는 슬라이드 실린더에 있어서,That is, the present invention has a plurality of cylinder chambers (11, 11), as shown in Figures 1 to 6 and communicates with the oil, pneumatic source for supplying pressurized fluid or air from the outside to the plurality of cylinder chambers A cylinder block 1 having a forward port 12 and a reverse port 13, and a plurality of pistons 2 for forward and backward operation of the cylinder chambers 11 and 11 by oil and pneumatic pressure supplied from the pressurized supply. 2, the piston is assembled on one side of the piston and the other side of the piston rod (3, 3) protruding from the cylinder block (1), the slider assembled and fixed to the upper center of the cylinder block (1) with bolts (B) (4), a slide table (5) having guide rails (6, 6) mounted on both lower sides so as to be moved forward and backward along the cylinder block (1) and guided by the slider (4), and the slide table Assembled 90 degrees at the tip of (5) and tightened with the other side of the protruding piston rod (3,3) and bolt (B) 90 degrees along 90 ° V-shaped bearing guide grooves 41, 41, 61, 61 formed along both of the support plates 7 and the slider 4 and the respective guide rails 6, 6. A slide cylinder comprising a plurality of metal roller bearings 8 accommodated in a cross state and a stroke control mechanism 90 to adjust strokes (forward and backward travel) of the pistons 2 and 2. In
상기 실린더 블록(1)은 상기 실린더실(11,11)과 상호간이 연통 되어 일측에 상기 전진포트(12)와 후진포트(13)를 연통 하되, 이들의 상방에 상기 행정제어기구(90)를 내설하고,The cylinder block 1 communicates with the cylinder chambers 11 and 11 so as to communicate the forward port 12 and the reverse port 13 on one side, and the stroke control mechanism 90 above them. Insist,
상기 금속제의 롤러 베어링(8)의 각각의 사이에는 수지재의 스페이서 롤러베어링(81)이 구비되며,Spacer roller bearings 81 made of resin are provided between the metal roller bearings 8,
상기 슬라이드 테이블(5)과 지지플레이트(7)는 일체형으로 이루어진다.The slide table 5 and the support plate 7 are integrally formed.
이때, 상기 행정제어기구(90)는 상기 실린더 블록(1)이 일측에 길이방향의 상부 모서리를 따라서 이동거리홈(91)이 요설되고, 이 이동거리홈의 길이방향으로 양측면에 나사공(92,93)이 관통되어 각각에 조절스토퍼볼트(94,95)가 나사 조립되며,At this time, the stroke control mechanism 90 is provided with a movement distance groove 91 along the upper edge of the cylinder block 1 on one side in the longitudinal direction, and screw holes 92 on both sides in the longitudinal direction of the movement distance groove. (93) is penetrated so that the adjusting stopper bolts (94, 95) are screwed to each,
상기 이동거리홈(91)의 내부를 왕복하며 상기 조절스토퍼볼트(94,95)에 의하여 전진 주행과 후진 주행을 제한 받는 스토퍼돌기(96)가 상기 슬라이드 테이블(5)의 일측에 일체로 구성되어 이루어진다.The stopper protrusion 96 which reciprocates the inside of the movement distance groove 91 and is restricted by forward and backward driving by the adjustment stopper bolts 94 and 95 is integrally formed on one side of the slide table 5. Is done.
또한, 상기 슬라이드 테이블(5)의 일측에는 상기 일측의 가이드레일(6)의 베어링 안내홈(61)과 수평선상의 길이방향으로 다수의 나사공(63)을 관통하고, 이에 예압볼트(64)가 나사 결합되어 이를 조여주는 것에 의하여 상기 슬라이더(4)와 상기 가이드레일(6)의 베어링 안내홈(41)(61)의 폭을 좁혀주는 것으로 상기 롤러베어링(8)의 접동 마찰력을 조절하도록 되어 있다.In addition, one side of the slide table (5) penetrates the bearing guide groove (61) of the guide rail (6) of the one side and a plurality of screw holes (63) in the longitudinal direction on the horizontal line, whereby the preload bolt (64) It is to adjust the sliding friction of the roller bearing 8 by narrowing the width of the bearing guide grooves 41 and 61 of the slider 4 and the guide rail 6 by screwing and tightening it. .
도면 중 미설명 부호 21은 상기 실린더블록(1)의 실린더실(11,11)을 밀폐하는 헤드커버를, 22는 상기 헤드커버(21)에 조립되는 기밀유지용 O-링을 나타낸 것이고, 23은 스페이서 칼라를, 31은 로드커버를, 32, 33은 상기 로드커버(31)에 조립되는 기밀유지용 O-링 및 로드패킹을, 34는 스토퍼 링을, 35는 댐퍼링을, 36은상기 피스톤(11,11)의 피스톤패킹을, 37은 마그네트를, 38은 자기검출봉을, 39는 스냅링을 도시한 것이다.In the drawings, reference numeral 21 denotes a head cover for sealing the cylinder chambers 11 and 11 of the cylinder block 1, and 22 denotes an airtight O-ring assembled to the head cover 21. Silver spacer collar, 31 is rod cover, 32, 33 are airtight O-rings and rod packings assembled to the rod cover 31, 34 is stopper ring, 35 is damper ring, 36 is piston The piston packing of (11, 11) is shown, 37 is a magnet, 38 is a magnetic detection rod, and 39 is a snap ring.
이러한 본 발명은 종래의 슬라이드 실린더의 작동과 동일하게 운용된다.This invention operates in the same way as the operation of a conventional slide cylinder.
즉, 상기 실린더 블록(1)의 전진포트(12)에 외부의 유, 공압원(미도시됨)으로 가압된 유체나 공기가 인입되게 되면 실린더실(11,11)에 내설된 피스톤(2,2)이 전진하게 되고, 이러한 피스톤의 전진작동에 의하여 피스톤 로드(3,3)가 전진하게 되며, 상기 피스톤 로드와 볼트(B)로 결합된 지지플레이트(7)가 전진함과 동시에 이와 일체로 형성된 슬라이드 테이블(5)이 상기 실린더블록(1)의 중앙 상부에 결합된 슬라이더(4)와 상기 슬라이드 테이블(5)의 하부 양방에 결합된 가이드레일(6,6)과 베어링 안내홈(41,41)(61,61)의 사이에 구름운동 가능케 배치된 롤러 베어링(8)의 지지 안내로 전진 작동하게 되고,(도 2, 도3, 도 5 도 6 참조)That is, when the fluid or air pressurized by an external oil or pneumatic source (not shown) is introduced into the forward port 12 of the cylinder block 1, the piston 2, which is built in the cylinder chambers 11 and 11, 2) is advanced, the piston rod (3, 3) is advanced by the forward operation of the piston, the support plate (7) coupled to the piston rod and the bolt (B) is advanced at the same time and integral with this The formed slide table 5 has a slider 4 coupled to an upper portion of the center of the cylinder block 1, guide rails 6 and 6 coupled to both lower portions of the slide table 5, and a bearing guide groove 41. 41) (61, 61) is moved forward by the support guide of the roller bearing (8) arranged so as to enable a rolling motion (see Figs. 2, 3, 5, 6).
반대로 상기 실린더 블록(1)의 후진포트(12)에 가압된 유체나 공기가 인입되면 전술한 피스톤(2,2)의 전진 작동과 역순으로 후진 작동하게 된다.(도 11 및 도 12 참조)On the contrary, when pressurized fluid or air is introduced into the reverse port 12 of the cylinder block 1, the reverse operation is performed in the reverse order to the forward operation of the pistons 2 and 2 described above (see FIGS. 11 and 12).
이러한 슬라이드 실린더에 있어, 본 발명의 특징은 상기에서 언급한 바와 같이, 상기 실린더블록(1)에 내설되는 상기 행정제어기구(90)를 상기 실린더 블록(1)에 내설함에 있다.In such a slide cylinder, a feature of the present invention is that, as mentioned above, the stroke control mechanism 90 in the cylinder block 1 is installed in the cylinder block 1.
즉, 상기 행정제어기구(90)는 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 실린더 블록(1)이 일측에 길이방향의 상부 모서리를 따라서 이동거리홈(91)이 요설되고, 이 이동거리홈의 길이방향으로 양측면에 나사공(92,93)이 관통되어 각각에 조절스토퍼볼트(94,95)가 나사 조립되며,That is, the stroke control mechanism 90, as shown in Figure 8, the movement distance groove 91 is provided along the upper edge of the longitudinal direction on one side of the cylinder block 1, the length of this movement distance groove The screw holes 92 and 93 are penetrated to both sides in the direction so that the adjusting stopper bolts 94 and 95 are screwed to each side.
상기 이동거리홈(91)의 내부를 왕복하며 상기 조절스토퍼볼트(94,95)에 의하여 전진 주행과 후진 주행을 제한 받는 스토퍼돌기(96)가 상기 슬라이드 테이블(5)의 일측에 일체로 구성되어 이루어진다.The stopper protrusion 96 which reciprocates the inside of the movement distance groove 91 and is restricted by forward and backward driving by the adjustment stopper bolts 94 and 95 is integrally formed on one side of the slide table 5. Is done.
이러한 본 발명의 상기 행정제어기구(90)는 상기 조절스토퍼볼트(94)(95) 각각의 나사 회동에 의하여 상기 슬라이드 테이블(5)에 일체로 형성된 스토퍼돌기(96)의 전진주행이나 후진주행의 거리를 조절함으로 상기 피스톤(2,2)의 행정을 조절할 수 있게 된다.The stroke control mechanism 90 of the present invention is the forward or backward driving of the stopper projection 96 integrally formed on the slide table 5 by the screw rotation of each of the adjustment stopper bolts 94, 95. By adjusting the distance it is possible to adjust the stroke of the piston (2, 2).
이때, 상기 스토퍼 돌기(96)의 이동 제한을 받는 전방면(96a)과 후방면(96b)에는 도 9에 도시된 바와 같이 완충고무와 같은 댐퍼(97)를 구비하거나,At this time, the front surface (96a) and the rear surface (96b) that is limited to the movement of the stopper protrusion 96 is provided with a damper 97, such as a buffer rubber, as shown in FIG.
도 10에 도시된 바와 같이 상기 조절스토퍼볼트(94,95)의 선단에 상기 댐퍼(97)를 구비하여 상기 피스톤(2,2)의 행정 제어에 초기충격의 완화로서 장비의 안전성이 제공할 수 있다.As shown in FIG. 10, the damper 97 is provided at the ends of the adjustment stopper bolts 94 and 95 to provide safety of the equipment as a mitigation of an initial shock to the stroke control of the pistons 2 and 2. have.
이러한 본 발명의 행정제어기구(90)는 종래와 같이 상기 실린더블록(1)의 외부에 구비하지 않고, 상기 실린더블록(1)의 내에 구비함으로서 슬라이드 실린더의 전체적인 부피의 최소화가 가능 및 상기 전진포트(12)나 후진포트(13)가 간소하게 상기 실린더블록(1)의 일측에 구비가 가능하여 제조원가의 절감이 가능하게 된다.The stroke control mechanism 90 of the present invention is not provided outside of the cylinder block 1 as in the prior art, but is provided in the cylinder block 1 to minimize the overall volume of the slide cylinder and the forward port. (12) or the reverse port 13 can be provided on one side of the cylinder block (1) simply to reduce the manufacturing cost.
또한, 본 발명의 특징은 상기 금속제의 롤러 베어링(8)의 각각의 사이에는 수지재의 스페이서 롤러베어링(81)이 구비하는 것에 있다.In addition, a feature of the present invention is that a spacer roller bearing 81 made of a resin material is provided between the metal roller bearings 8.
즉, 상기 금속제의 롤러베어링(8)은 상기 슬라이더(4)의 양방과 각각의 가이드레일(6,6)을 따라 형성된 90°V자형 베어링 안내홈(41,41)(61,61)을 따라서 90°의 크로스(Cross)상태로 수용되고, 상기 가이드레일(6,6)과 조립 고정된 슬라이드 테이블(5)의 전, 후진 주행에 의하여 상기 슬라이더(4)의 베어링 안내홈(41,41)을 구름 이동하게 된다.That is, the metal roller bearings 8 are formed along the 90 ° V-shaped bearing guide grooves 41, 41, 61, 61 formed along both of the sliders 4 and the respective guide rails 6, 6. Bearing guide grooves 41 and 41 of the slider 4 by traveling forward and backward of the slide table 5 accommodated in a cross state of 90 ° and assembled and fixed to the guide rails 6 and 6. Will move clouds.
이러한 구름 이동되는 다수의 금속제의 롤러베어링(8)은 상호간이 밀착 이동이 이루어지나, 이들의 사이에 개재된 다른 재질(수지재)의 스페이서 롤러베어링(81)에 의하여 상호간의 크로스 접촉면(외주면)에 마찰이 금속보다 경도가 낮은 수지재로 제공되는 상기 스페이서 롤러베어링(81)과 일어나게 되어 소음이 극소화되고 동시에 마모가 없게 된다.The roller bearings 8 made of a plurality of metals which are rolled and moved are closely contacted with each other, but the cross contact surfaces (outer peripheral surfaces) are mutually formed by spacer roller bearings 81 of different materials (resin materials) interposed therebetween. Friction occurs with the spacer roller bearing 81 provided with a resin material having a hardness lower than that of metal, so that noise is minimized and at the same time, there is no wear.
상기 스페이서 롤러베어링(81)의 재질은 테프론재가 바람직하나, 어떠한 수지재로 이루어져도 상관은 없다.The material of the spacer roller bearing 81 is preferably a Teflon material, but may be made of any resin material.
이때, 상기 수지재의 스페이서 롤러베어링(81)은 도 7에 도시된 바와 같이 상기 90도로 크로스 되어 배치되는 금속재의 롤러베어링(8)과의 45도로서 상기 베어링 안내홈(41,41)(61,61)의 길이 방향의 직립상태로 배치되고, 상기 금속제의 롤러베어링(8)의 지름 치수보다는 작은 지름 치수로 형성됨이 바람직하다.At this time, the spacer roller bearing 81 of the resin material is 45 degrees with the roller bearing 8 of the metal material which is arranged to cross the 90 degrees as shown in Figure 7, the bearing guide groove (41, 41) (61, It is preferable that it is arrange | positioned in the upright state of the longitudinal direction of 61, and is formed in the diameter dimension smaller than the diameter dimension of the said metal roller bearing 8. As shown in FIG.
또한, 본 발명의 특징은 상기에서 언급한 바와 같이, 상기 슬라이드 테이블(5)과 지지플레이트(7)는 일체형으로 이루어짐으로서, 상기 슬라이드 테이블(5) 및 지지플레이트(7)에 사용 목적에 따라서 취부되는 지그의 하중, 지그의 동작에 의하여 발생되는 수직하중, 수평하중, 회전모멘트에 전혀 영향이 없게 되고 부품의 간소화에 의한 조립성이 뛰어나게 된다.In addition, as mentioned above, the present invention is characterized in that the slide table 5 and the support plate 7 are integrally formed so that the slide table 5 and the support plate 7 can be attached to the slide table 5 and the support plate 7 according to the purpose of use. There is no influence on the load of the jig, the vertical load, the horizontal load, and the rotational moment generated by the movement of the jig, and the assembly is excellent due to the simplification of the parts.
또한, 본 발명은 종래의 슬라이드 실린더와 같이, 상기 롤러베어링(8,81)의 외부 이탈을 막기 위한 스토퍼를 별도의 부재 설비에 의하지 않고 상기 롤러베어링(8,81)이 이동하는 슬라이더(4)와 가이드레일(6,6)의 베어링 안내홈(41,41)(61,61) 내측 전방과 후방 각각에 세팅스크류(42)(62)의 세팅에 의하여 구비함으로서 전체적인 부피의 축소화 및 조립성이 뛰어나게 된다.In addition, according to the present invention, the slider 4 in which the roller bearings 8 and 81 are moved without using a stopper for preventing external detachment of the roller bearings 8 and 81, as in the conventional slide cylinder, is not provided with a separate member facility. By setting the setting screws 42 and 62 in the front, front, and rear of the bearing guide grooves 41, 41, 61, 61 of the guide rails 6 and 6, To be excellent.
이상에서 상세히 살펴본 바와 같이, 본 발명은 피스톤의 직진 왕복운동을 조절하는 행정제어기구가 실린더블록에 내장되고, 슬라이드 테이블의 이송을 안내하는 롤러베어링의 외부 이탈을 막기 위한 스토퍼가 별도의 부재 설비에 의하지 않고 슬라이더와 가이드레일의 베어링 안내홈의 내측에 세팅스크류의 세팅에 의하여 구비함으로서 전체적인 부피의 축소화 및 조립성이 뛰어난 효과가 있고,As described in detail above, in the present invention, the stroke control mechanism for adjusting the linear reciprocating motion of the piston is embedded in the cylinder block, and a stopper for preventing the external deviation of the roller bearing for guiding the transfer of the slide table is provided in a separate member facility. By setting the setting screw on the inside of the bearing guide groove of the slider and the guide rail irrespective of the overall volume reduction and assemblability is excellent,
금속제의 롤러베어링의 접촉마찰을 극소화하도록 상기 롤러베어링간에 수지재의 스페이서 롤러를 구비함으로서, 롤러베어링간의 접촉마찰을 극소화시켜 부드러운 이송 및 사용 수명의 연장, 소음이 극소화 효과가 있으며,By providing a spacer roller made of a resin material between the roller bearings to minimize the contact friction of the metal roller bearings, the contact friction between the roller bearings is minimized, so that the smooth transfer, the service life is extended, and the noise is minimized.
슬라이드 테이블과 이 슬라이드 테이블의 주행동작원인 피스톤의 로드를 연결하는 지지플레이트를 일체형으로 구비함에 의하여 조립장비의 응용에 따라서 취부 지그에 의해 작용되는 수직하중, 수평하중, 회전모멘트에 충분히 견디도록 구성 부품의 일체화로서 장기적으로 사용수명이 보장되는 효과가 있다.By integrally equipped with a slide table and a support plate for connecting the rod of the piston, which is the driving operation source of the slide table, the components can sufficiently endure the vertical load, horizontal load and rotation moment acted by the mounting jig according to the application of the assembly equipment. As a result, the service life is guaranteed in the long term.
Claims (7)
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990060485A KR100340342B1 (en) | 1999-12-22 | 1999-12-22 | Slide cylinder |
| KR2019990029439U KR200188486Y1 (en) | 1999-12-22 | 1999-12-23 | Slide cylinder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990060485A KR100340342B1 (en) | 1999-12-22 | 1999-12-22 | Slide cylinder |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019990029439U Division KR200188486Y1 (en) | 1999-12-22 | 1999-12-23 | Slide cylinder |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20010063413A KR20010063413A (en) | 2001-07-09 |
| KR100340342B1 true KR100340342B1 (en) | 2002-06-12 |
Family
ID=19628210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019990060485A KR100340342B1 (en) | 1999-12-22 | 1999-12-22 | Slide cylinder |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100340342B1 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20030236695A1 (en) * | 2002-06-21 | 2003-12-25 | Litwin Louis Robert | Method for media popularity determination by a media playback device |
| CN102121498B (en) * | 2011-01-07 | 2012-10-03 | 富阳翰特机械制造有限公司 | Linear limit roller bearing |
| CN113765189B (en) * | 2021-09-15 | 2022-06-24 | 深圳市华浩德电子有限公司 | LED lighting and light supplementing power supply among plant plants |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20010063413A (en) | 2001-07-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130506 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140502 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150430 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160503 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170511 Year of fee payment: 16 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190508 Year of fee payment: 18 |