KR100222441B1 - Stopper cylinder - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스토퍼실린더에 관한 것으로, 특히 반도체 부품과 같은 소형부품 또는 이와유사한 부품의 조립장비에서 삼방향 취부가 가능하여 다기능의 직진운동에 의한 사용의 편리성과 슬라이더의 직진운동이 피스톤의 직진운동과 동시에 크로스 롤러베어링 가이드 일체형방식에 의한 직진운동으로 회전이 방지되어 위치정밀도가 보장되고, 또한 실린더 블록과 슬라이더가 분말소결성형으로 제조되어 내마모성 및 정도의 우수성이 보장되고, 간단한 구조로서 생산성과 제조원가 절감의 최대화가 가능한 소형의 스토퍼실린더(Stopper Cylinder)를 제공하는 것에 그 특징이 있다.The present invention relates to a stopper cylinder, and in particular, it is possible to mount in three directions in the assembling equipment of small parts or similar parts, such as semiconductor parts, so that the convenience of use and the linear motion of the slider are the linear motion of the piston At the same time, the rotational movement is prevented by the linear movement of the integrated cross roller bearing guide type, which ensures the positional accuracy, and the cylinder block and the slider are made of powder sintering to ensure excellent wear resistance and accuracy, and the simple structure reduces productivity and manufacturing cost. Its feature is to provide a small stopper cylinder that can maximize.

Description

스토퍼실린더Stopper cylinder

본 발명은 스토퍼실린더에 관한 것으로, 특히 반도체 부품과 같은 소형부품 또는 이와유사한 부품의 조립장비에서 삼방향 취부가 가능하여 다기능의 직진운동에 의한 사용의 편리성과 슬라이더의 직진운동이 피스톤의 직진운동과 동시에 크로스 롤러베어링 가이드 일체형방식에 의한 직진운동으로 회전이 방지되어 위치정밀도가 보장되고, 또한 실린더 블록과 슬라이더가 분말소결성형으로 제조되어 내마모성 및 정도의 우수성이 보장되고, 간단한 구조로서 생산성과 제조원가 절감의 최대화가 가능한 소형의 스토퍼실린더(Stopper Cylinder)에 관한 것 이다.The present invention relates to a stopper cylinder, and in particular, it is possible to mount in three directions in the assembling equipment of small parts or similar parts, such as semiconductor parts, so that the convenience of use and the linear motion of the slider are the linear motion of the piston At the same time, the rotational movement is prevented by the linear movement of the integrated cross roller bearing guide type, which ensures the positional accuracy, and the cylinder block and the slider are made of powder sintering to ensure excellent wear resistance and accuracy, and the simple structure reduces productivity and manufacturing cost. It is a small stopper cylinder that can be maximized.

일반적으로 반도체와 같은 초소형의 제품을 제조함에 있어서는 각 제조라인에서 필요한 소형의 부품의 조립을 위해 조립장비가 필수적으로 사용되고 있고, 이러한 조립장비는 콘베어 라인상에서 이송되는 조립부품을 클램핑 이송, 흡착이송, 이송방향의 전환등의 목적으로 스토퍼 실린더가 별도의 지그(JIG)을 취부한 상태로 장착 사용되고 있다.In general, in the manufacture of micro products such as semiconductors, assembly equipment is essentially used for assembling small parts required in each manufacturing line. Such assembly equipment is used for clamping transfer, adsorption transfer, The stopper cylinder is mounted in a state where a separate jig is mounted for the purpose of changing the feed direction.

한편, 일반적인 실린더는 실린더 튜브, 이 실린더 튜브를 수용하는 실린더 블록, 상기 실린더 튜브내에서 왕복운동을 하는 피스톤 및 이 피스톤에 취부된 피스톤로드의 결합구성으로 되되, 상기 피스톤의 외형과 실린더 튜브의 내부형태가 원통형으로 이루어지고 또한 피스톤로드가 중앙에 위치하는 구조를 갖고 있다.On the other hand, the general cylinder is composed of a combination of the cylinder tube, the cylinder block for accommodating the cylinder tube, the piston reciprocating in the cylinder tube and the piston rod mounted on the piston, the outer shape of the piston and the inside of the cylinder tube It is cylindrical in shape and has a structure in which the piston rod is located at the center.

이러한 종래의 실린더는 피스톤의 왕복작동시엔 수시로 피스톤과 함께 피스톤로드가 회전하게 되어서 정교한 왕복운동과 정확한 위치가 요구되는 장비에 장착 사용할 경우에는 별도의 로드가이더를 부착하여야 하기 때문에 장비가 비대해지고, 특히 피스톤로드의 왕복작동에 따른 로드가이더와의 마찰로 인하여 작동효율이 떨어지는 단점을 갖고 있기 때문에 상기에서 언급한 반도체와 같은 초소형의 부품조립에 사용되는 소형의 조립장비에 적용할 경우 장비의 비대화는 물론 작동정밀성이 떨어질 수밖에 없다.Such a conventional cylinder is a piston rod is rotated with the piston at the time of the reciprocating operation of the piston, so when used in the equipment that requires precise reciprocating movement and accurate position, it is necessary to attach a separate rod guider, especially the equipment is enlarged, Since the operation efficiency is lowered due to friction with the rod guider due to the reciprocating operation of the piston rod, when it is applied to the small assembly equipment used for assembling the small components such as the semiconductor mentioned above, Operational accuracy is inevitably deteriorated.

또한, 이러한 반도체와 같은 초소형의 부품의 조립은 일련의 자동화 라인에서 정확하고 신속한 부품의 조립이 이루어지기 때문에 상기한 스토퍼 실린더의 정밀성은 물론, 하루에도 수 만회의 피스톤의 왕복직진운동이 이루어지기 때문에 실린더의 최대한 수명보장이 가능한 내구성이 요구된다.In addition, since the assembly of micro parts such as semiconductors is performed in a series of automated lines, accurate and rapid assembly of parts, the stopper cylinder precision and the reciprocating linear movement of tens of thousands of pistons per day are achieved. Durability is required to ensure maximum life of the cylinder.

또한, 반도체 부품과 같은 초소형의 조립장비에 적용되는 스토퍼 실린더는 각 조립라인의 조립장비에서 장착 사용에 있어서 하나의 제품으로 다방향의 취부가 제공되지 않을 경우에는 각 장비의 호환성을 갖지 못하는 단점도 있다.In addition, the stopper cylinder applied to an ultra-small assembly equipment such as a semiconductor component has a disadvantage in that it is not compatible with each equipment when multi-directional mounting is not provided as a single product for use in mounting equipment in each assembly line. have.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해소하고 초소형의 부품제조의 조립장비에서 효과적으로 사용될 수 있도록 연구개발된 것으로,The present invention has been researched and developed to solve the problems of the prior art as described above and to be effectively used in the assembly equipment of the manufacture of ultra-small parts,

본 발명은 소형부품의 조립장비에서 삼방향 취부가 가능하여 어떤장비에서 호환성을 갖음으로서 사용의 편리성이 보장되는 스토퍼 실린더를 제공하는데 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a stopper cylinder that can be mounted in three directions in the assembly equipment of small parts, thereby making it easy to use by being compatible with any equipment.

본 발명은 가공성을 많이 요구하는 스토퍼 실린더의 실린더 블록과 슬라이더가 분말소결성형으로 제조되어 생산성을 극대화함과 동시에 분말소결성형의 특징인 내마모성 및 정도의 우수성이 확보되어 사용수명의 극대화와 신뢰성을 제공하는데 그 목적이 있다.According to the present invention, the cylinder block and the slider of the stopper cylinder, which requires a lot of workability, are manufactured in powder sintering molding to maximize productivity, and at the same time, provide excellent wear resistance and accuracy which are characteristic of powder sintering molding. Its purpose is to.

본 발명은 간단한 구조로서 슬라이더의 직진운동이 피스톤의 직진운동과 동시에 크로스 롤러베어링 가이드 일체형방식에 의한 직진운동으로 회전이 방지되어 위치정밀도가 보장되어 사용능률의 극대화를 제공하는데 그 목적이 있다.The object of the present invention is to provide a maximal use efficiency as the linear motion of the slider is prevented from rotating by the straight motion of the piston at the same time as the straight motion of the cross roller bearing guide-integrated method, thereby ensuring positional accuracy.

도 1은 본 발명의 사시도,1 is a perspective view of the present invention,

도 2는 본 발명의 정면도 및 배면도,2 is a front view and a rear view of the present invention,

도 3은 본 발명의 분해사시도,3 is an exploded perspective view of the present invention;

도 4는 본 발명의 단면구성도로서 슬라이더의 전진상태도,4 is a cross-sectional configuration diagram of the present invention, the advance state of the slider,

도 5는 본 발명의 단면구성도로서 슬라이더의 후진상태도,5 is a cross-sectional configuration diagram of the present invention, the backward state of the slider,

도 6 내지 도 8은 본 발명의 다양한 사용실시예를 보여주는 사용상태도.6 to 8 is a state diagram showing various use embodiments of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

10 : 실린더 블록 11 : 실린더실10 cylinder block 11: cylinder chamber

12 : 전진포트 13 : 후진포트12: forward port 13: reverse port

14 : 안내지지간 15,23 : 베어링홈14: guide support 15,23: bearing groove

16 : 가이드홈 17 : 조임볼트공16: guide groove 17: tightening bolt ball

18a,18b,18c : 장비취부 나사공 26,28 : 지그취부 나사공18a, 18b, 18c: Equipment mounting screw hole 26,28: Jig mounting screw hole

20 : 슬라이더 21 : 슬라이더간20: Slider 21: Between sliders

22 : 로드홀더 24 : 안착홈22: road holder 24: seating groove

34 : 스토퍼링 35 : 로드커버34: stoppering 35: road cover

36 :헤드커버 40 : 피스톤36: head cover 40: piston

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용에 대하여 살펴보기로 한다.Hereinafter, the configuration and operation of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

즉, 본 발명은 도 1 내지 도 5에 도시된 바와같이 일측에서 전진포트(12)와 후진포트(13)가 관통된 상부의 실린더실(11)과 하부 양방에서 안내지지간(14,14)이 내측에 대향의 베어링홈(15,15)을 형성하고 돌출되어 길이 방향으로 가이드홈(16)을 형성하여 분말소결 성형된 실린더 블록(10)과,That is, the present invention, as shown in Figs. 1 to 5, the guide cylinder 14 and 14 in both the upper cylinder chamber 11 and the lower side through which the forward port 12 and the reverse port 13 penetrate at one side. A cylinder block 10 powder-sintered by forming opposite bearing grooves 15 and 15 and protruding to form guide grooves 16 in the longitudinal direction,

상기 가이드홈(16)에 끼워지면서 상기 베어링홈(15,15)과 대응되는 베어링홈(23,23)에 롤러베어링(R.B)을 끼워 진퇴이동 가능케 이루어지는 슬라이드간(21)과 이에 직각상으로 로드홀더(22)가 일체로 분말소결 성형된 슬라이더(20)와,The slide groove 21 is inserted into the guide groove 16 and the roller bearing RB is inserted into the bearing grooves 23 and 23 corresponding to the bearing grooves 15 and 15 so as to be moved forward and backward and the rod is perpendicular to the slide groove 21. A slider 20 in which the holder 22 is powder-sintered integrally,

상기 실린더실(11)에서 왕복운동하는 피스톤(40)과로 이루어지되, 상기 피스톤(40)은 일측에서 결합되는 스토퍼링(34) 및 로드커버(35)와 타측에서 결합되는 헤드커버(38)와의 사이에 피스톤헤드(42)가 위치하고 피스톤로드(41)는 상기 스토퍼링(34), 로드커버(35)의 관통공(34a),(35a)을 관통돌출하여 선단의 나사공(40a)과 상기 슬라이더(20)의 로드홀더(22)의 볼트조립공(25)을 통하여 볼트(30)로 체결된다.It consists of a piston 40 reciprocating in the cylinder chamber 11, the piston 40 is coupled to the stopper ring 34 and the rod cover 35 coupled to one side and the head cover 38 coupled to the other side The piston head 42 is positioned between the piston rod 41 and protrudes through the stopper ring 34 and the through holes 34a and 35a of the rod cover 35 so that the screw hole 40a at the tip and the The bolt 30 is fastened to the bolt 30 through the bolt assembly hole 25 of the rod holder 22 of the slider 20.

이때, 상기 실린더 블록(10)은 측면, 후면 및 상부면의 각각에 장비 취부나사공(18a),(18b),(18c)이 형성되고, 상기 슬라이더(20)의 전면 및 하부면에는 지그 취부나사공(26),(28)이 형성 된다.At this time, the cylinder block 10 is provided with equipment mounting holes (18a, 18b, 18c) on each of the side, rear and top surfaces, jig mounting on the front and lower surfaces of the slider 20. Screw holes 26 and 28 are formed.

상기 실린더 블록(10)의 안내지지간(14,14)은 상기 베어링홈(15,15)보다 상부측의 직교상으로 조임볼트공(17)이 관통하고 예압볼트(17a)가 나사결합되어 이를조여주는 것에 의해 상기 안내지지간(14,14)의 폭을 좁혀주는 것으로 슬라이드간(21)의 베어링홈(23,23)과 안내지지간(14,14)의 베어링홈(15,15)사이의 롤러베어링(R.B)의 접동마찰력을 조절토록 되어 있다.The guide support intervals 14 and 14 of the cylinder block 10 penetrate the tightening bolt holes 17 at an upper side than the bearing grooves 15 and 15, and the preload bolts 17a are screwed together. By narrowing the width of the guide support sections 14 and 14 by tightening, between the bearing grooves 23 and 23 of the slide section 21 and the bearing grooves 15 and 15 of the guide supports section 14 and 14. To adjust the sliding friction of the roller bearings (RB).

이때, 상기 롤러베어링(R.B)은 상기 베어링홈(15,15),23,23)에서 빠져나오는 것을 방지하기 위하여 상기 안내지지간(14,14)의 전방과 슬라이드간(21)의 후방으로 각각 나사공(15a),(29)를 형성하고 이에 나사조립되는 스크류(32),(33)사이에 위치되도록 한다.At this time, the roller bearing (RB) to the front of the guide support (14,14) and the rear of the slide (21), respectively, in order to prevent it from exiting the bearing grooves (15, 15), 23, 23, respectively. The screw holes 15a and 29 are formed and positioned between the screws 32 and 33 which are screwed thereto.

상기 슬라이더(20)는 상기 피스톤(40)의 왕복운동에 따른 실린더 블록(10)의 전면과의 충격에 의한 파손을 방지하기 위하여 로드홀더(22)의 후면에 원판홈(24)을 요설하고 이에 댐퍼링(50)이 상기 피스톤(40)의 피스톤로드(41)에서 관통공(51)으로 끼워진 상태로 안착된다.The slider 20 is provided with a disc groove 24 in the rear of the rod holder 22 in order to prevent damage due to impact with the front of the cylinder block 10 due to the reciprocating motion of the piston 40 The damper ring 50 is seated in a state where the damper ring 50 is fitted into the through hole 51 in the piston rod 41 of the piston 40.

도면중 미설명 부호 27은 상기 지그 취부나사공(26)에 나사 조립되는 지그를 고정시키기 위한 셋팅 나사공을, 36,37은 상기 로드커버(35)에서 실린더실(11)과 의 기밀을 유지하기 위한 각각의 기밀재를, 39는 상기 헤드커버(38)에서 실린더실(11)의 기밀을 유지하기 위한 기밀재를, 43은 상기 피스톤헤드(42)에서 상기 입구포트(12)와 출구포트(13)로부터 기밀을 유지하기 위한 기밀재를 도시한 것이다.In the figure, reference numeral 27 denotes a setting screw hole for fixing a jig screwed to the jig mounting screw hole 26, and 36 and 37 maintain airtightness with the cylinder chamber 11 in the rod cover 35. 39 is an airtight material for maintaining the airtightness of the cylinder chamber 11 in the head cover 38, 43 is an inlet port 12 and an outlet port in the piston head 42; Fig. 13 shows an airtight material for maintaining confidentiality.

이러한 본 발명은 도 6 내지 도 8에 도시된 바와같이 슬라이더(20)의 로드홀더(22) 전면의 지그 취부나사공(26)이나 슬라이드간(21) 저면의 지그 취부나사공(28)에 지그(200)를 나사조립하여 취부하고, 실린더블록(10)의 측면 또는 후면 또는 상부면에 형성된 각각의 장비 취부나사공(18a),(18b),(18c)을 통하여 조립장비(100)에 본 발명을 장착하고 전진포트(12)와 후진포트(13)에는 공압라인(210)을 연결하여 상기 전진포트(12)와 후진포트(13)로의 공압의 입,출에 의한 피스톤(40)의 전,후진으로서 이송라인(300)을 이송하는 조립부품(400)을 슬라이더(20)에 취부된 지그(200)로 각각의 목적에 맞도록, 즉 도 6에서와 같이 클램핑 이송하거나 도 7에서와 같이 이송방향을 바꾸어주거나 도 8에서와 같이 흡착 이송하거나 하는 작업에 사용된다.6 to 8, the jig is mounted on the jig mounting screw hole 26 on the front surface of the rod holder 22 of the slider 20 or on the jig mounting screw hole 28 on the bottom surface of the slide 21. (200) is assembled by screwing, and seen to the assembly equipment 100 through the respective equipment mounting screw holes (18a, 18b, 18c) formed on the side or rear or upper surface of the cylinder block (10) Equipped with an invention, the pneumatic line 210 is connected to the forward port 12 and the reverse port 13 so that the piston 40 can be moved by the inlet and outlet of the pneumatic pressure to the forward port 12 and the reverse port 13. , The assembling component 400 for conveying the conveying line 300 as the reverse to the jig 200 mounted to the slider 20 to meet each purpose, that is, clamping conveying as shown in Figure 6 or as shown in Figure 7 It is used for the job of changing the conveying direction or adsorption conveying as shown in FIG.

이러한 본 발명은 상기에서 언급한 바와같이, 소형부품의 조립장비(100)에서 실린더블록(10)의 취부가 간편하게 다방향으로 가능하여 어떤장비에서도 호환성을 갖게 되고, 상기 슬라이더(20)의 로드홀더(22)가 피스톤(40)의 직진운동과 동시에 일체의 슬라이드간(21)이 상기 실린더블록(10)의 하부 양방에서 돌출된 안내지지간(14,14)의 가이드홈(16)에서 롤러베어링(R.B)에 의한 가이드 일체형방식으로 직진운동이 제공되어 지그(200)의 회전이 방지되고 왕복운동에 따른 마찰력이 극소화되어 작동효율을 높일 수 있다.The present invention, as mentioned above, the mounting of the cylinder block 10 in the assembling equipment 100 of the small parts can be easily multi-directional, which is compatible with any equipment, the rod holder of the slider 20 At the same time as the linear movement of the piston 40, the roller bearings are provided in the guide grooves 16 of the guide supports 14 and 14, wherein the integral slide 21 is protruded from both lower portions of the cylinder block 10. The straight movement is provided by the guide-integrated method by (RB) to prevent the rotation of the jig 200 and to minimize the frictional force due to the reciprocating motion to increase the operating efficiency.

또한, 본 발명은 가공성을 많이 요구하는 상기 실린더 블록(10)과 슬라이더(20)가 분말소결성형으로 제조되어 생산성을 높일 수 있고, 분말소결성형의 특징인 내마모성 및 정도의 우수성이 확보되어 사용수명을 높일 수 있다.In addition, the present invention is the cylinder block 10 and the slider 20, which requires a lot of workability is manufactured by powder sintering molding to increase the productivity, excellent wear resistance and accuracy of the characteristics of the powder sintering molding is ensured life time Can increase.

이상에서 살펴본 바와같이, 본 발명은 다방향 취부가 가능하여 다기능의 직진운동에 의한 사용의 편리성이 제공되고, 슬라이더의 직진운동이 피스톤의 직진운동과 동시에 크로스 롤러베어링 가이드 일체형방식에 의한 직진운동으로 회전이 방지되어 위치정밀도가 보장되며, 또한 실린더 블록과 슬라이더가 분말소결성형으로 제조되어 높은 생산성과 제조원가 절감효과가 있다.As described above, the present invention is multi-directional mounting is provided for the convenience of use by the multi-functional straight movement, the linear movement of the slider is the linear movement of the piston and the linear movement of the integrated roller roller guide at the same time As the rotation is prevented, the position accuracy is guaranteed, and the cylinder block and the slider are manufactured in the powder sintering molding, thereby increasing the productivity and reducing the manufacturing cost.

Claims (5)

전진포트(12)와 후진포트(13)가 관통된 상부의 실린더실(11)과 하부 양방에서 안내지지간(14,14)이 내측에 대향의 베어링홈(15,15)을 형성하고 돌출되어 길이 방향으로 가이드홈(16)을 형성하여 분말소결 성형된 실린더 블록(10)과,In the upper cylinder chamber 11 through which the forward port 12 and the reverse port 13 penetrate, and the guide support portions 14 and 14 in both lower portions, the opposite bearing grooves 15 and 15 are formed inside and protrude. A cylinder block 10 powder-sintered by forming a guide groove 16 in the longitudinal direction, 상기 가이드홈(16)에 끼워지면서 상기 베어링홈(15,15)과 대응되는 베어링홈(23,23)에 롤러베어링(R.B)을 끼워 진퇴이동 가능케 이루어지는 슬라이드간(21)과 이에 직각상으로 로드홀더(22)가 일체로 분말소결 성형된 슬라이더(20)와,The slide groove 21 is inserted into the guide groove 16 and the roller bearing RB is inserted into the bearing grooves 23 and 23 corresponding to the bearing grooves 15 and 15 so as to be moved forward and backward and the rod is perpendicular to the slide groove 21. A slider 20 in which the holder 22 is powder-sintered integrally, 상기 실린더실(11)에서 왕복운동하는 피스톤(40)과로 이루어지되, 상기 피스톤(40)은 일측에서 결합되는 스토퍼링(34) 및 로드커버(35)와 타측에서 결합되는 헤드커버(38)와의 사이에 피스톤헤드(42)가 위치하고 피스톤로드(41)는 상기 스토퍼링(34), 로드커버(35)의 관통공(34a),(35b)을 관통돌출하여 선단의 나사공(40a)과 상기 슬라이더(20)의 로드홀더(22)의 볼트조립공(25)을 통하여 볼트(30)로 체결되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 스토퍼 실린더.It consists of a piston 40 reciprocating in the cylinder chamber 11, the piston 40 is coupled to the stopper ring 34 and the rod cover 35 coupled to one side and the head cover 38 coupled to the other side The piston head 42 is positioned between the piston rod 41 and protrudes through the stopper ring 34 and the through holes 34a and 35b of the rod cover 35 so that the screw hole 40a at the tip and the A stopper cylinder, characterized in that is fastened to the bolt 30 through the bolt assembly hole 25 of the rod holder 22 of the slider (20). 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 실린더 블록(10)은 측면, 후면 및 상부면의 각각에 장비 취부나사공(18a),(18b),(18c)이 형성되고, 상기 슬라이더(20)의 전면 및 하부면에는 지그 취부나사공(26),(28)이 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 스토퍼 실린더.The cylinder block 10 has equipment mounting holes 18a, 18b, and 18c formed on each of side, rear, and top surfaces thereof, and jig mounting screw holes on the front and bottom surfaces of the slider 20. A stopper cylinder, characterized in that (26) and (28) are formed. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 실린더 블록(10)의 안내지지간(14,14)은 상기 베어링홈(15,15)의 상부측에 조임볼트공(17)이 관통하고 이에 예압볼트(17a)가 나사결합되어 조여주는 것에 의해 상기 안내지지간(14,14)의 폭을 좁혀주는 것으로 슬라이드간(21)의 베어링홈(23,23)과 안내지지간(14,14)의 베어링홈(15,15)사이의 롤러베어링(R.B)의 접동마찰력을 조절토록 이루어지는 것을 특징으로 하는 스토퍼실린더.The guide support intervals 14 and 14 of the cylinder block 10 are fastened to the upper side of the bearing grooves 15 and 15 through the tightening bolt hole 17 and the preload bolt 17a is screwed and tightened. The roller bearing between the bearing grooves 23 and 23 of the slide section 21 and the bearing grooves 15 and 15 of the guide support sections 14 and 14 by narrowing the width of the guide supports 14 and 14 by A stopper cylinder, characterized in that the sliding friction force of (RB) is adjusted. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 롤러베어링(R.B)은 상기 베어링홈(15,15),23,23)에서 빠져나오는 것을 방지하기 위하여 상기 안내지지간(14,14)의 전방과 슬라이드간(21)의 후방으로 각각 나사공(15a),(29)를 형성하고 이에 나사조립되는 스크류(32),(33)사이에 위치되는 것을 특징으로 하는 스토퍼 실린더.The roller bearings RB are threaded to the front of the guide support sections 14 and 14 and to the rear of the slide sections 21 to prevent the roller bearings RB from escaping from the bearing grooves 15, 15, 23 and 23, respectively. A stopper cylinder, characterized in that it is located between the screws (32), (33) forming (15a), (29) and screwed thereto. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 슬라이더(20)는 로드홀더(22)의 후면에 원판홈(24)을 요설하고 이에 댐퍼링(50)이 상기 피스톤(40)의 피스톤로드(41)에서 관통공(51)으로 끼워진 상태로 안착되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 스토퍼 실린더.The slider 20 is provided with a disc groove 24 on the rear surface of the rod holder 22 and the damper ring 50 is fitted into the through hole 51 in the piston rod 41 of the piston 40. A stopper cylinder, characterized in that seated.
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