KR200363212Y1 - 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛 - Google Patents

Abstract

본 고안은 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛에 관한 것으로, 반도체 및 TV 관련 기술에서의 유리기판 이송을 위한 이송시스템에 있어서, 그 이송시스템의 내부에 독립 제어가 가능한 단일의 콘트롤러를 구비하고, 그 내부에 필터를 일체화시켜 모듈로서 제작함으로써 기타 주변 장치와의 레이아웃 변경에 따른 변경 대응성이 뛰어나고, 독립 제어가 가능하므로 고장시 신속한 보수유지가 가능하며, 전체 설비 면적을 감소시키고, 그 건설공사 기간을 단축시킬 수 있는 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛을 제공함에 그 목적이 있다.

본 고안은 반도체 공정이나, 대형 TV공정에서 유리기판을 이송시키기 위한 공기부양 이송시스템에 있어서, 상기 유리기판을 그 상면에 안착시키고, 유리기판의 하부에서 공기를 토출시켜 유리기판을 부양시키기 위해, 그 상면에 다수의 공기배출공이 형성되어져 상판과; 상기 상판의 하부에 구비되고, 그 내부에 에어필터가 내장된 필터케이스와, 그 필터케이스의 하부에 결합되어져 있으며 내부에 터보팬이 장착된 팬케이스로 이루어진 지지프레임과; 상기 필터케이스의 내부에 장착되어 하부로부터 유입된 공기중에 포함된 미세먼지를 필터링하는 에어필터와; 상기 팬케이스의 내부에 장착되어 상기 에어필터측으로 공기를 배출시키기 위한 터보팬과; 상기 터보팬의 하부에 구비되고, 그 터보팬과 축결합되어 회전력을 발생시키는 모터가 단일의 모듈로 구성되어 장치의 설치면적이 작아지게 되며, 장치의 확장 가변성이 우수해지도록 한 것을 특징으로 한다.

본 고안을 적용하면, 내부에 에어필터가 내장되어져 있고, 독립 제어가 가능한 콘트롤러가 단일의 모듈로 구비되어져 있으므로 클린룸 등의 공사시 레이아웃 변경에 따른 신속한 대응이 가능해지고, 설치를 위한 작업 시간이 매우 짧으며, 고장 발견이 용이하게 되고, 전체 공기부양 시스템이 점유하는 공간이 협소하게 된다는 효과가 있다.

Description

필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛{AIR-FLOATING FAN UNIT OF A FILTER ONE BODY TYPE}

본 고안은 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게 반도체 및 TV 관련 기술에서의 유리기판 이송을 위한 이송시스템에 있어서, 그 이송시스템의 내부에 독립 제어가 가능한 단일의 콘트롤러를 구비하고, 그 내부에 필터를 일체화시켜 모듈로서 제작함으로써 기타 주변 장치와의 레이아웃 변경에 따른 변경 대응성이 뛰어나고, 독립 제어가 가능하므로 고장시 신속한 보수유지가 가능하며, 전체 설비 면적을 감소시키고, 그 건설공사 기간을 단축시킬 수 있는 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛에 관한 것이다.

주지된 바와 같이, TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등 평판디스플레이(Flat display)의 제조분야에서 사용되는 유리기판은 유리용해로(Glass melting furnace)에서 용해된 용해유리를 평판으로 성형하는 성형공정과 일차 규격에 맞도록 절단하는 절단공정을 통하여 제조한 후, 세정과 검사공정을 통하여 양품과 불량품으로 선별하기 위해 유리기판을 후단으로 이송시키는 시스템이 적용되어져 있다.

도 1은 종래의 실시예에 따른 공기부양 이송시스템을 도시한 정단면도이다.

이를 참조하면, 종래의 실시예에 따른 공기부양 이송시스템(2)은 유리기판(40)을 후단의 세정 스테이션이나 검사 스테이션으로 이송시키기 위한 시스템으로, 종래의 공기부양 이송시스템(2)은 다수의 공기부양부(20)를 단일의 콘트롤러에 의해 제어하게 되므로 각각의 개별 제어가 불가능하다.

먼저, 종래의 공기부양 이송시스템(2)에 대해 상세하게 기술하면, 공기부양 이송시스템(2)은 그 하단에 측방 및 상부가 개방된 육면체의 지지프레임(4)이 구비되어져 있으며, 그 상단에 이송로드(6)가 좌우 이동가능하게 결합되어져 있다. 또한, 상기 지지프레임(4)의 상단에 결합된 이송로드(6)의 측면과 지지프레임(4)에는 각각 벨트 전동장치(8)가 설치되어져 있으며, 그 지지프레임(4)의 내측벽에는 상기 벨트 전동장치(8)측으로 구동력을 제공하는 서보모터(10)가 장착되어져 있다.

한편, 상기 이송로드(6)의 내부 소정부에는 공기부양부(20)가 구비되는 바, 그 공기부양부(20)는 유리기판(40)의 하부에서 유리기판(40)을 지지하는 팬 지지프레임(22)이 구비되어져 있으며, 그 팬 지지프레임(22)의 상면에 부착되어져 상기 유리기판(40)과 밀착되는 하부 밀착고무(24)가 구비되어져 있다.

또한, 상기 팬 지지프레임(22)의 내부에는 터보모터(26)가 장착되어져 있고, 그 터보모터(26)에 공기부양 팬(28)이 축결합되어져 있다. 또한, 상기 공기부양 팬(28)에 의해 상기 유리기판(40)측으로 토출할 공기를 집합시키는 공기실(30)이 상기 공기부양 팬(28)의 하부에 구비되어져 있고, 그 공기실(30)과 연결되어 클린 공기를 이송시키기 위한 튜브(32)가 장착되어진다.

한편, 상기 유리기판(40)이 상기 공기부양부(20)에 의해 부양되어 밀착된 상태에서 일정거리 유리기판(40)을 이송시키기 위한 이송부(50)가 구성되는 바, 그 이송부(50)는 제 1 풀리(52)와 제 2 풀리(54)에 의해 연결된 이송벨트(56)의 외주면에 각각 상부 밀착판(58)이 부착됨으로써 상기 유리기판(40)이 부양되어 상기 상부 밀착판(58)에 밀착된 상태에서 이송벨트(56)의 구동에 의해 일정거리 이동시키고, 그 하부에 구비된 공기부양부(20)도 그 이송길이와 동일하게 이송된다.

도 1에 도시된 공기부양 이송시스템과 상이한 시스템의 경우도 다양하게 존재하나 그 내부에 구비된 공기부양부의 구성은 동일하므로, 시스템 전체에 대한 다양한 다른 구조예에 대해서는 상세 설명을 생략하기로 한다.

그러나, 상기한 종래의 공기부양 이송시스템은 유리기판의 세정스테이션과 검사스테이션으로 이동시키거나 차후 기타 공정을 수행하도록 하기 위해, 클린룸(Clean room)의 내부에서 이송공정을 수행하는 바, 이러한 이송공정을 위한 시스템을 구성하기 위해서는 클린룸 내부의 레이아웃(Lay out)이 매우 복잡해지고, 작업자와 컨테이너의 동선을 확보하기 위하여 클린룸의 면적을 필요 이상으로 증가시켜야 하는 문제가 있다. 뿐만 아니라, 작업자와 핸들러의 동작으로 인하여 클린룸에 발생되는 난류의 영향으로 유리기판에 미립자(Particle)가 오염되면서 불량률을 증가시켜 생산성을 저하시키고 생산비를 상승시키는 문제가 있다.

또한, 유리기판을 이송시키기 위한 이송장치와 공기부양 장치가 각각 연동되어 형성되어져 있으므로 면적이 커지게 되며, 그로인해 건축비가 상승되게 되고 공사기간도 늘어나게 된다는 문제점이 있었다. 또, 기존의 이송시스템은 이송장치와, 공기부양장치가 각각 연동되어져 있으므로 확장성이나, 가변성, 호환성이 매우 불리하다는 문제점이 있었다. 즉, 이송해야할 유리기판의 중량이 커지게 되면 공기부양장치의 용량을 증가시키면 되나, 종래의 경우에는 각 기기별로 단일의 콘트롤러가 장착된 형태가 아니므로 전체 시스템을 교체해야된다는 문제가 있었다.

또한, 이러한 종래의 이송시스템의 경우에는 각 기기별로 단일의 콘트롤러가 장착된 형태가 아니므로 독립제어가 불가능하고, 고장 발생시 그 원인을 신속하게 찾아내는 것이 매우 힘들다는 문제가 있었다.

본 고안은 상기한 종래 기술의 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 반도체 및 TV 관련 기술에서의 유리기판 이송을 위한 이송시스템에 있어서, 그 이송시스템의 내부에 독립 제어가 가능한 단일의 콘트롤러를 구비하고, 그 내부에 필터를 일체화시켜 모듈로서 제작함으로써 기타 주변 장치와의 레이아웃 변경에 따른 변경 대응성이 뛰어나고, 독립 제어가 가능하므로 고장시 신속한 보수유지가 가능하며, 전체 설비 면적을 감소시키고, 그 건설공사 기간을 단축시킬 수 있는 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛을 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 종래의 실시예에 따른 공기부양 이송시스템을 도시한 정단면도,

도 2a는 본 고안의 일실시예에 따른 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛을 도시한 평면도,

도 2b는 본 고안의 일실시예에 따른 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛의 내부 구성을 도시한 내부 평면도,

도 3a는 본 고안의 일실시예에 따른 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛을 도시한 측단면도,

도 3b는 본 고안의 일실시예에 따른 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛의 구성을 도시한 일부 확대 단면도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

100:필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛,

102:상판, 104:공기배출공,

106:지지프레임, 108:터보팬,

110:컨트롤러, 112:팬케이스,

114:터보팬, 116:모터,

118:필터케이스, 120:에어필터.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 고안의 바람직한 실시예에 따르면 반도체 공정이나, 대형 TV공정에서 유리기판을 이송시키기 위한 공기부양 이송시스템에 있어서, 상기 유리기판을 그 상면에 안착시키고, 유리기판의 하부에서 공기를 토출시켜 유리기판을 부양시키기 위해, 그 상면에 다수의 공기배출공이 형성되어져 상판과; 상기 상판의 하부에 구비되고, 그 내부에 에어필터가 내장된 필터케이스와, 그 필터케이스의 하부에 결합되어져 있으며 내부에 터보팬이 장착된 팬케이스로 이루어진 지지프레임과; 상기 필터케이스의 내부에 장착되어 하부로부터 유입된 공기중에 포함된 미세먼지를 필터링하는 에어필터와; 상기 팬케이스의 내부에 장착되어 상기 에어필터측으로 공기를 배출시키기 위한 터보팬과; 상기 터보팬의 하부에 구비되고, 그 터보팬과 축결합되어 회전력을 발생시키는 모터가 단일의 모듈로 구성되어 장치의 설치면적이 작아지게 되며, 장치의 확장 가변성이 우수해지도록 한 것을 특징으로 하는 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛이 제공된다.

바람직하게, 상기 팬케이스의 내부 소정부에는 상기 모터의 회전속도를 제어하기 위한 콘트롤러가 각각의 유닛별로 구비되어 각 유닛의 독립 제어가 가능하게 된 것을 특징으로 하는 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛이 제공된다.

이하, 본 고안에 대해 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

도 2a는 본 고안의 일실시예에 따른 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛을 도시한 평면도, 도 2b는 본 고안의 일실시예에 따른 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛의 내부 구성을 도시한 내부 평면도, 도 3a는 본 고안의 일실시예에 따른 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛을 도시한 측단면도, 도 3b는 본 고안의 일실시예에 따른 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛의 구성을 도시한 일부 확대 단면도이다.

이를 참조하면, 본 고안의 일실시예에 따른 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛(100)은 상부가 개방된 정육면체의 패널로 구성되고, 그 내부에 에어필터(120)가 내장된 필터케이스(118)가 구비되고, 그 필터케이스(118)의 하부에는 내부에 터보팬(114)이 내장된 팬케이스(112)가 구비되어져 있다.

그리고, 그 팬케이스(112)의 하부에는 모터(116)가 장착되어져 있으며, 상기팬케이스(112)의 내부에는 상기 모터(116)의 회전수를 독립적으로 제어하는 콘트롤러(110)가 구비되어져 있다.

또한, 상기 필터케이스(118)의 상면에는 도 2a에 도시된 바와 같이, 다수의 공기배출공(104)이 형성되어져 있는 상판(102)이 장착되어져 있으므로 상기 터보팬(114)에 의해 토출된 공기를 상기 유리기판(40)의 하면에 적합하게 분산 토출시키게 된다.

또, 상기 팬케이스(112)의 아웃라인을 형성하는 지지프레임(106)의 내부에는 독립 제어가 가능한 콘트롤러(110)가 도 2b에 도시된 바와 같이 구비되어져 있으므로 별도의 입력신호를 인가받아 상기 모터(116)의 회전속도를 제어하게 구성되어져 있다. 따라서, 이와 같은 구성을 갖는 본 고안의 일실시예에 따른 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛(100)은 모듈화가 가능해지고, 기타 주변기기의 용량에 맞게 확장/축소할 수 있는 가변성이 우수해지게 된다. 또한, 고장발생시 고장위치를 신속하게 검출해낼 수 있게 된다.

한편, 도 3a에 도시된 필터케이스(118)의 내부에는 도 3b에 상세 도시한 에어 필터(120)가 내장되어져 있으면서, 상기 팬케이스(112)의 상부에 장착되어져 있다. 이때, 상기 에어필터(120)는 단지 먼지류를 필터링하는 필터가 아니고, 극소입자의 미세먼지까지 모두 필터링하는 에어필터인 바, 이는 이미 공지된 기술이므로 상세 설명은 생략하기로 한다.

따라서, 본 고안의 일실시예에 따른 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛(100)은 내부에 에어필터(120)가 내장되어져 있고, 독립 제어가 가능한 콘트롤러(110)가 단일의 모듈로 구비되어져 있으므로 클린룸 등의 공사시 레이아웃 변경에 따른 신속한 대응이 가능해지고, 설치를 위한 작업 시간이 매우 짧으며, 고장 발견이 용이하게 된다.

한편, 본 고안의 실시예에 따른 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛은 단지 상기한 실시예에 한정되는 것이 아니라 그 기술적 요지를 이탈하지 않는 범위내에서 다양한 변경이 가능하다.

상기한 바와 같이, 본 고안에 따른 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛은 내부에 에어필터가 내장되어져 있고, 독립 제어가 가능한 콘트롤러가 단일의 모듈로 구비되어져 있으므로 클린룸 등의 공사시 레이아웃 변경에 따른 신속한 대응이 가능해지고, 설치를 위한 작업 시간이 매우 짧으며, 고장 발견이 용이하게 되고, 전체 공기부양 시스템이 점유하는 공간이 협소하게 된다는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 반도체 공정이나, 대형 TV공정에서 유리기판을 이송시키기 위한 공기부양 이송시스템에 있어서,

   상기 유리기판을 그 상면에 안착시키고, 유리기판의 하부에서 공기를 토출시켜 유리기판을 부양시키기 위해, 그 상면에 다수의 공기배출공이 형성되어져 상판과;

   상기 상판의 하부에 구비되고, 그 내부에 에어필터가 내장된 필터케이스와, 그 필터케이스의 하부에 결합되어져 있으며 내부에 터보팬이 장착된 팬케이스로 이루어진 지지프레임과;

   상기 필터케이스의 내부에 장착되어 하부로부터 유입된 공기중에 포함된 미세먼지를 필터링하는 에어필터와;

   상기 팬케이스의 내부에 장착되어 상기 에어필터측으로 공기를 배출시키기 위한 터보팬과;

   상기 터보팬의 하부에 구비되고, 그 터보팬과 축결합되어 회전력을 발생시키는 모터가 단일의 모듈로 구성되어 장치의 설치면적이 작아지게 되며, 장치의 확장 가변성이 우수해지도록 한 것을 특징으로 하는 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 팬케이스의 내부 소정부에는 상기 모터의 회전속도를 제어하기 위한 콘트롤러가 각각의 유닛별로 구비되어 각 유닛의 독립 제어가 가능하게 된 것을 특징으로 하는 필터일체형 공기부양 이송용 팬유닛.