KR200352033Y1

KR200352033Y1 - 진자센서

Info

Publication number: KR200352033Y1
Application number: KR20-2004-0006265U
Authority: KR
Inventors: 장대현
Original assignee: 스피닉스(주)
Priority date: 2004-03-09
Filing date: 2004-03-09
Publication date: 2004-06-04

Abstract

본 고안은 기판이송장치에 사용되는 진자센서에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 진자센서의 정상 작동을 현장에서 육안으로 용이하게 식별할 수 있도록 개량한 진자센서에 관한 것이다.

이의 달성을 위해, 본 고안에서는, 수평축을 중심으로 회전가능하게 설치된 수직부재와, 상기 수직부재의 상단에 설치된 롤러와, 상기 수직부재의 하단에 부착된 자석과, 상기 자석의 하부에 상기 수직부재 및 자석과 이격되어 설치된 자기센서와, 상기 수직부재와 자기센서를 지지하는 프레임과, 상기 자기센서로부터 원거리에 위치한 제어부로 연결되는 전선의 (+)극선과 (-)극선 간에 연결된 램프를 포함하는 진자센서를 제공한다.

Description

진자센서{Pendulum sensor}

본 고안은 기판의 제조공정에서 기판의 이송을 제어하기 위해 이송되는 기판을 감지하는 진자센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 센서의 정상 작동을 육안으로 용이하게 식별할 수 있도록 개량된 진자센서에 관한 것이다.

종래 기판이송을 감지하기 위한 진자센서는, 도 1 에 도시된 바와 같이, 기판이송장치(10)를 따라 이송되는 기판(B)의 이송경로 하부에 설치되어 있다. 종래의 진자센서는, 수직부재(22)가 수평축을 중심으로 회전가능하게 설치되고, 상기 수직부재(22)의 상단에 롤러(24)가 설치되어 상기 롤러(24)는 기판(B)의 이송시 기판의 저면과 접촉하고, 상기 수직부재(22)의 하단에 자석(26)이 부착되어 있다. 상기 자석(26)의 하부에는 자기센서(28, magnetic sensor)가 설치되어 있으며, 상기 수직부재(22)와 자기센서(28)는 프레임(21)에 지지되어 있다.

기판이송장치(10)를 따라 이송되는 기판(B)이 진자센서가 설치된 위치를 통과할 때, 기판(B)의 저면이 롤러(24)를 밀면서 통과한다. 이에 따라 수직부재(22)가 회전되며 상기 수직부재(22)의 하단에 부착된 자석(26)은 후측 상방으로 선회한다. 상기 자석(26)이 후측 상방으로 선회됨에 따라 자기센서(28)에 자기장의 변화가 발생되며, 그 결과 기판(B)이 진자센서가 설치된 위치에 도달한 것이 감지된다. 또한, 이렇게 감지된 신호는 자기센서(28)에 의해 증폭되어 원거리에 위치한 제어부(도면 미도시)로 전달되고, 상기 제어부에서는 이를 표시장치(도면 미도시)에 표시하여 기판(B)의 이송상태를 감지한다.

한편, 기판(B)이 진자센서를 통과하면, 기판(B)의 저면에 의해 롤러(24)에 가해지던 힘이 제거된다. 이에 따라, 수직부재(22)는 자석(26)의 무게에 의해 원래상태로 복귀하게 되며, 이 때 자기센서(28)에 발생되는 자기장의 변화에 의해 기판(B)이 진자센서를 통과한 것이 검출된다.

그러나, 이러한 종래의 진자센서에 의하면, 진자센서의 감지신호는 기판이송장치(10)와 이격되어 위치된 제어부의 표시장치에만 표시되는 관계로, 현장에서 기판의 이송위치를 확인하기가 어렵다는 문제가 있었다.

그리고, 진자센서 자체의 고장시 제어부에서 기판의 이송여부가 확인되지 않을 뿐 아니라, 기판이송장치(10)의 운행정지가 진자센서의 고장에 그 원인이 있음에도 불구하고 이의 즉각적인 확인을 못한 채 전체 기판이송장치(10) 각부에 대해 고장발생 유무를 일일이 확인해 보아야 하므로 이와 관련된 시간 및 인력의 상당한 손실이 발생한다는 문제가 있었다.

또한, 진자센서의 영점조정시 현장에서의 즉각적인 확인이 곤란하다는 문제가 있었다.

따라서, 본 고안의 목적은, 기판이송장치에서의 기판이송을 진자센서가 설치된 현장에서 육안으로 쉽게 확인할 수 있도록 하여 현장 작업자의 편의를 도모하고, 진자센서의 고장발생시 그 확인을 쉽게 할 수 있도록 하는데 있다. 또한, 진자센서의 영점조정을 현장에서 쉽게 할 수 있도록 하는데 있다.

도 1 은 종래의 진자센서를 나타내는 측면도,

도 2a 는 본 고안의 진자센서를 나타내는 정면도,

도 2b 는 도 2a 의 측면도,

도 2c 는 도 2a 의 작동상태를 나타내는 측면도,

도 3 은 본 고안의 램프의 설치상태를 나타낸 개념도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

121 : 프레임 122 : 수직부재

124 : 롤러 126 : 자석

128 : 자기센서 129 : 램프

130 : 투명튜브 B : 기판

상기 목적을 달성하기 위해, 본 고안에서는, 수평축을 중심으로 회전가능하게 설치된 수직부재와, 상기 수직부재의 상단에 설치된 롤러와, 상기 수직부재의 하단에 부착된 자석과, 상기 자석의 하부에 상기 수직부재 및 자석과 이격되어 설치된 자기센서와, 상기 수직부재와 자기센서를 지지하는 프레임과, 상기 자기센서로부터 원거리에 위치한 제어부로 연결되는 전선의 (+)극선과 (-)극선 간에 연결된램프를 포함하는 진자센서를 제공한다.

본 발명에 따른 진자센서는, 도 2a 내지 도 2c 에 도시된 바와 같이, 수직부재(122)가 수평축을 중심으로 회전가능하게 설치되고, 상기 수직부재(122)의 상단에 롤러(124)가 설치되어 상기 롤러(124)는 기판(B)의 이송시 기판의 저면과 접촉하고, 상기 수직부재(122)의 하단에 자석(126)이 부착되어 있다. 상기 자석(126)의 하부에는 자기센서(128, magnetic sensor)가 설치되어 있으며, 상기 수직부재(122)와 자기센서(128)는 프레임(121)에 지지되어 있다. 상기 자기센서(128)로부터 원거리에 위치한 제어부(도면 미도시)로 연결되는 전선은 투명튜브(130) 내에 위치하고 있으며, 상기 전선의 (+)극선과 (-)극선 간에 램프(129)가 연결되어 있다(도 3 참조). 상기 램프(129)는 자기센서(128)로부터 증폭된 감지신호가 전달되는 경우 점멸하게 된다.

기판이송장치를 따라 이송되는 기판(B)이 진자센서가 설치된 위치를 통과할 때, 기판(B)의 저면이 롤러(124)를 밀면서 통과한다. 이에 따라 수직부재(122)가 회전되며 상기 수직부재(122)의 하단에 부착된 자석(126)은 후측 상방으로 선회한다(도 2c 참조). 상기 자석(126)이 후측 상방으로 선회됨에 따라 자기센서(128)에 자기장의 변화가 발생되며, 그 결과 기판(B)이 진자센서가 설치된 위치에 도달한 것이 감지된다. 즉, 감지된 신호는 자기센서(128)에 의해 증폭되어 원거리에 위치한 제어부(도면 미도시)로 전달되고, 상기 제어부에서는 이를 표시장치(도면 미도시)에 표시하여 기판(B)의 이송상태를 감지한다. 그리고, 상기 자기센서(128)의 증폭된 감지신호가 전선을 따라 이송하는 경우 램프(129)가 점멸하게 된다.

한편, 기판(B)이 진자센서를 통과하면, 기판(B)의 저면에 의해 롤러(124)에 가해지던 힘이 제거된다. 이에 따라, 수직부재(122)는 자석(126)의 무게에 의해 원래상태로 복귀하게 되며, 이 때 자기센서(128)에 발생되는 자기장의 변화에 의해 기판(B)이 진자센서를 통과한 것이 검출된다. 이 때에도, 마찬가지로 상기 자기센서(128)에 의해 감지된 신호가 증폭되어 전선을 따라 이송하게 되어 램프(129)가 점멸하게 된다.

기판(B)이 진자센서를 통과하는 경우에 있어서, 상기 진자센서가 고장인 경우, 특히 자석(126) 또는 자기센서(128)의 고장 또는 오작동의 경우에는 램프(129) 또한 작동이 되지 않거나 정상작동이 되지 않을 것이므로 현장에서 센서의 고장을 용이하게 육안으로 식별할 수 있다.

그리고, 진자센서의 영점조정시 기판(B)의 이송을 감지하기 위한 적당한 변위량을 주도록 진자센서를 조정하고 이를 즉시 현장에서 육안식별함으로써 쉽게 영점조정을 할 수 있게 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 고안에 따른 진자센서에 의하면, 기판이송장치에서의 기판이송을 진자센서가 설치된 현장에서 육안으로 쉽게 확인할 수 있도록 하여 현장 작업자의 편의를 도모하고, 진자센서의 고장발생시 그 확인을 쉽게 할 수 있다는 효과가 있다. 또한, 진자센서의 영점조정을 현장에서 쉽게 할 수 있다는 효과가 있다.

Claims

수평축을 중심으로 회전가능하게 설치된 수직부재와,

상기 수직부재의 상단에 설치된 롤러와,

상기 수직부재의 하단에 부착된 자석과,

상기 자석의 하부에 상기 수직부재 및 자석과 이격되어 설치된 자기센서와,

상기 수직부재와 자기센서를 지지하는 프레임과,

상기 자기센서로부터 원거리에 위치한 제어부로 연결되는 전선의 (+)극선과 (-)극선 간에 연결된 램프를 포함하는 진자센서.
제 1 항에 있어서, 상기 램프는,

상기 자기센서의 감지신호가 상기 전선을 따라 이동하는 것에 의해 점멸하는 것을 특징으로 하는 진자센서.