KR200325125Y1 - oil auto-exchanging device for machinery in fabrication of semiconductor - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반도체 제조시에 사용되는 각종 기기(機器)의 오일 교환 여부에 대한 검출이 기기에서 자체적으로 이루어지도록 하는 한편, 오일 교환이 필요할 경우에는 자동적으로 오일 교환 작업이 이루어질 수 있도록 한 것이다.The present invention allows the oil change of various devices used in the manufacture of semiconductors to be carried out by the device itself, and when oil change is required, the oil change operation can be automatically performed.
이를 위해, 본 고안은 상부 일측에 오일 주입구(1)가 구비되고 하부 일측에 오일 배출구(2)가 구비되며, 일측면에는 기기 내부에 주입되는 오일의 양을 확인할 수 있는 관찰창(3)이 구비된 반도체 제조 공정용 기기에 있어서; 상기 기기 본체(4)의 관찰창(3) 전방에 설치되어 오일의 열화여부를 광을 조사한 후에 되돌아오는 광량을 통해 검출하는 광센서(5)와, 상기 오일 주입구(1)에 연결된 오일 공급관(6) 타측에 연결되는 오일탱크(7)와, 상기 오일 공급관(6) 상에 설치되어 오일 공급관(6)의 관로 개폐를 행하는 오일 공급관 제어밸브(8)와, 상기 오일 배출구(2)에 연결된 오일 배출관(9) 타측에 연결되는 드레인탱크(10)와, 상기 오일 배출관(9) 상에 설치되어 라인의 관로 개폐를 행하는 오일 배출관 제어밸브(11)와, 상기 광센서(5)에 연결되어 광센서(5)에서 센싱된 광량 검출값을 받아 설정값과 비교하여 그 결과에 따라 상기 오일 공급관 제어밸브(8) 또는 오일 배출관 제어밸브(11)의 개폐동작을 선택적으로 제어하게 되는 컨트롤러(12)가 구비됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 기기의 오일 자동 교환장치가 제공된다.To this end, the present invention is provided with an oil inlet 1 on one side of the upper portion and an oil outlet 2 on one side of the lower side, and on one side there is an observation window 3 for checking the amount of oil injected into the device. A device for a semiconductor manufacturing process provided; An optical sensor 5 installed in front of the observation window 3 of the main body 4 and detecting whether the oil is deteriorated through light irradiation after the irradiation with light, and an oil supply pipe connected to the oil inlet 1; 6) an oil tank 7 connected to the other side, an oil supply pipe control valve 8 installed on the oil supply pipe 6 to open and close the oil supply pipe 6, and connected to the oil outlet 2; A drain tank 10 connected to the other side of the oil discharge pipe 9, an oil discharge pipe control valve 11 installed on the oil discharge pipe 9 to open and close a line, and connected to the optical sensor 5. The controller 12 which receives the light quantity detected value sensed by the optical sensor 5 and compares it with the set value and selectively controls the opening and closing operation of the oil supply pipe control valve 8 or the oil discharge pipe control valve 11 according to the result. Is a semiconductor manufacturing process container characterized in that Automatic oil changer of the machine is provided.
Description
본 고안은 반도체 제조 공정용 기기(機器)의 오일 자동 교환장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 제조시에 사용되는 각종 기기의 오일(oil) 교환이적절한 시기에 자동적으로 이루어질 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to an automatic oil exchange device for devices for semiconductor manufacturing processes, and more particularly, to allow oil exchange of various devices used in semiconductor manufacturing to be automatically performed at an appropriate time.
일반적으로, 반도체 제조 장치에는 여러 가지 부수적인 기계장치가 사용되고 있는데, 각종 기기 동작시 구동부에서 발생하는 마찰을 줄이기 위해 오일이 많이 사용된다.In general, a variety of additional mechanical devices are used in the semiconductor manufacturing apparatus, and oil is used a lot to reduce friction generated in the driving unit during various device operations.
예를 들어, 반도체 제조공정에는 공정 특성상, 진공을 유기하기 위한 진공펌프가 특히 많이 사용되고 있는데, 이 진공펌프는 동작시 구동부의 마찰 및 마멸을 줄이고 진공을 원할히 유기시키기 위해 오일을 가장 많이 사용하고 있다.For example, in the semiconductor manufacturing process, a vacuum pump for inducing a vacuum is particularly used because of the characteristics of the process, and this vacuum pump uses oil most to reduce friction and abrasion of a driving part and to smoothly induce a vacuum. .
즉, 반도체 제조 공정 특성상 필요한 기기의 회전부나, 펌핑부 등에 오일이 주로 사용된다.That is, oil is mainly used for the rotating part, the pumping part, etc. of a device which are necessary for the characteristics of a semiconductor manufacturing process.
이와 같은 종래의 반도체 제조 공정용 기기에 있어서의 오일 교환 장치의 구성 및 작용을 도 1의 구성도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.The structure and operation of the oil exchange device in such a conventional semiconductor manufacturing process apparatus will be described with reference to FIG. 1.
도 1은 종래의 기기 구성도로서, 오일을 사용하는 기기에 있어서는, 주기적으로 열화된 오일을 교환해 주어야 하는데, 종래에는 주로 사람의 육안에 의한 식별에 의해 오일의 열화정도를 확인하게 된다.FIG. 1 is a conventional device configuration diagram. In a device using oil, periodically deteriorated oil should be replaced. In the related art, the degree of deterioration of oil is mainly confirmed by human visual identification.
즉, 오일의 색깔을 통해 오일의 열화정도를 판단하여 오일의 교환이 필요하다고 판단된 경우에는, 기기를 정지시킨 상태에서 오일 배출구(2)를 열어 오일을 배출시킨 다음에 상기 오일 배출구(2)를 닫은 후, 오일 주입구(1)를 개방하여 상기 오일 주입구(1)를 통해 새로운 오일을 주입하게 된다.That is, when it is determined that the oil is deteriorated based on the color of the oil, and it is determined that the oil needs to be replaced, the oil outlet 2 is discharged by opening the oil outlet 2 while the machine is stopped, and then the oil outlet 2 After closing, the oil inlet 1 is opened to inject new oil through the oil inlet 1.
이 때, 작업자는 기기 본체(4) 일측면에 설치된 투명한 원형의 관찰창(3)(view port)을 통해 주입되는 오일의 양이 적정량인지의 여부를 점검할수 있게 된다.At this time, the operator can check whether or not the amount of oil injected through the transparent circular observation window (view port) installed on one side of the main body of the device 4 is an appropriate amount.
따라서, 주입된 오일의 양이 관찰창(3)에 구비된 눈금선(도시는 생략함)에 이르게 되면 오일의 주입을 중단하게 된다.Therefore, when the amount of the injected oil reaches the scale line (not shown) provided in the observation window 3, the injection of the oil is stopped.
이와 같이, 오일의 열화 여부에 대한 점검 및 오일 교환 작업이 종래에는 작업자에 의해 이루어졌다.As such, the inspection of oil deterioration and the operation of oil change are conventionally performed by an operator.
그러나, 이와 같은 종래에는 오일의 열화 여부 점검 및 오일 교환 작업이 인력에 의해 이루어지므로 인해, 여러 가지 문제점이 발생하게 된다.However, in the related art, various problems occur because the operation of the oil is checked for deterioration and the oil change is performed by manpower.
먼저, 종래에는 오일 주입시, 우선 기기의 가동을 중단시켜야만 하므로 그 시간동안은 장치를 사용할 수가 없어 그 만큼 반도체 생산의 총처리시간이 길어지게 되므로 인해 생산성의 저하를 초래하게 되는 문제점이 있었다.First, in the conventional oil injection, the device must be stopped first, so that the device cannot be used during that time, so that the total processing time of the semiconductor production is increased, thereby causing a decrease in productivity.
다음으로, 작업자가 육안으로 오일의 색을 통해 열화여부를 판단하게 되므로, 오일의 열화정도를 정확하게 가늠할 수 없어 교환시기가 아닌데도 오일의 교환이 이루어지게 되므로써 오일의 낭비를 가져오게 되는 문제점이 있었다.Next, since the worker is visually judged whether or not deterioration through the color of the oil, there is a problem that can not accurately determine the degree of deterioration of the oil can be a waste of oil because the exchange of oil is made even when the replacement time.
이와 더불어, 오일 교환여부에 대한 판단 및 교환을 사람이 직접하므로 번거러울 뿐만 아니라, 노동력을 불요불급한 곳에 투입하는데 따른 인력의 낭비가 발생하게 되는 문제점이 있었다.In addition, it is not only cumbersome because the person directly judges and exchanges whether or not oil is exchanged, and there is a problem that waste of manpower is caused by putting labor force in an unnecessary place.
본 고안은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반도체 제조시에 사용되는 각종 기기의 오일 교환 여부에 대한 검출이 기기에서 자체적으로 이루어지도록 하는 한편, 오일 교환이 필요할 경우에는 자동적으로 오일 교환 작업이 이루어질 수 있도록 한 반도체 제조 공정용 기기의 오일 자동 교환장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above-mentioned problems, the detection of the oil change of the various devices used in the semiconductor manufacturing is made in the device itself, while the oil change operation is automatically performed when the oil change is necessary. It is an object of the present invention to provide an automatic oil change device of a device for a semiconductor manufacturing process that can be achieved.
도 1은 종래의 반도체 제조 공정용 기기를 나타낸 구성도1 is a block diagram showing a device for a conventional semiconductor manufacturing process
도 2는 본 고안에 따른 반도체 제조 공정용 기기를 나타낸 구성도2 is a block diagram showing a device for a semiconductor manufacturing process according to the present invention
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings
1:오일 주입구 2:오일 배출구1: oil inlet 2: oil outlet
3:관찰창 4:기기 본체3: Observation window 4: Instrument body
5:광센서 6:오일 공급관5: Optical sensor 6: Oil supply pipe
7:오일탱크 8:오일 공급관 제어밸브7: Oil tank 8: Oil supply line control valve
9:오일 배출관 10:드레인탱크9: Oil discharge pipe 10: Drain tank
11:오일 배출관 제어밸브 12:컨트롤러11: Oil discharge pipe control valve 12: Controller
13a,b:레벨센서 14:부저13a, b: level sensor 14: buzzer
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 고안은 상부 일측에 오일 주입구가 구비되고 하부 일측에 오일 배출구가 구비되며, 일측면에는 기기 내부에 주입되는 오일의 양을 확인할 수 있는 관찰창이 구비된 반도체 제조 공정용 기기에 있어서; 상기 기기의 관찰창 전방에 설치되어 오일의 열화여부를 광을 조사한 후에 되돌아오는 광량을 통해 검출하는 광센서와, 상기 오일 주입구에 연결된 오일 공급관 타측에 연결되는 오일탱크와, 상기 오일 공급관 상에 설치되어 오일 공급관의 관로 개폐를 행하는 오일 공급관 제어밸브와, 상기 오일 배출구에 연결된 오일 배출관 타측에 연결되는 드레인탱크와, 상기 오일 배출관 상에 설치되어 라인의 관로 개폐를 행하는 오일 배출관 제어밸브와, 상기 광센서에 연결되어 광센서로부터 센싱된 광량 검출값을 받아 설정값과 비교하여 그 결과에 따라 상기 오일 공급관 제어밸브 또는 오일 배출관 제어밸브의 개폐동작을 선택적으로 제어하게 되는 컨트롤러가 구비됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 기기의 오일 자동 교환장치가 제공된다.In order to achieve the above object, the present invention is provided with an oil inlet on one side of the upper portion and an oil outlet on one side of the lower side, the semiconductor manufacturing process provided with an observation window to confirm the amount of oil injected into the inside of one side In a device for; An optical sensor installed in front of the observation window of the device to detect whether the oil is deteriorated through light irradiation after being irradiated with light, an oil tank connected to the other side of the oil supply pipe connected to the oil inlet, and installed on the oil supply pipe And an oil supply pipe control valve for opening and closing the oil supply pipe, a drain tank connected to the other side of the oil discharge pipe connected to the oil outlet, an oil discharge pipe control valve installed on the oil discharge pipe to open and close the line pipe, and the optical And a controller which is connected to a sensor and receives a light quantity detected value sensed from an optical sensor and compares it with a set value and selectively controls the opening and closing operation of the oil supply pipe control valve or the oil discharge pipe control valve according to the result. Provided is an automatic oil changer for equipment for manufacturing processes.
이하, 본 고안의 일실시예를 첨부도면 도 2를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 고안에 따른 반도체 제조 공정용 기기를 나타낸 구성도로서, 본 고안은 상부 일측에 오일 주입구(1)가 구비되고 하부 일측에 오일 배출구(2)가 구비되며, 일측면에는 기기 내부에 주입되는 오일의 양을 확인할 수 있는 관찰창(3)이 구비된 반도체 제조 공정용 기기에 있어서; 상기 기기 본체(4)의 관찰창(3) 전방에 발광부 및 수광부가 구비되어 발광부를 통해 빛을 조사한 후에 수광부로 수광되는 광량을 통해 열화여부를 검출하는 광센서(5)가 설치되고, 상기 광센서(5)에는 광센서(5)에서 센싱된 광량 검출값을 받아 설정값과 크기를 비교하여 그 결과에 따라 자신과 연결된 유니트들에 대한 제어를 행하게 되는 컨트롤러(12)가 연결된다.2 is a block diagram showing a device for a semiconductor manufacturing process according to the present invention, the present invention is provided with an oil inlet (1) on one side of the upper side and an oil outlet (2) is provided on one side of the lower side, the inside of the device A device for a semiconductor manufacturing process having an observation window (3) capable of confirming the amount of oil to be injected; The light sensor 5 is provided in front of the observation window 3 of the main body 4 of the apparatus, and an optical sensor 5 is installed to detect whether the light is deteriorated through the amount of light received by the light receiver after irradiating light through the light emitter. The optical sensor 5 is connected to a controller 12 which receives the light quantity detected value sensed by the optical sensor 5, compares the set value with the size, and controls the units connected to the same according to the result.
또한, 상기 오일 주입구(1)에 연결된 오일 공급관(6) 타측에는 오일탱크(7)가 연결되고, 상기 오일 공급관(6) 상에는 상기 컨트롤러(12)의 제어신호에 따라 오일 공급관(6)의 개폐를 행하는 오일 공급관 제어밸브(8)가 설치되며, 상기 오일 배출구(2)에 연결된 오일 배출관(9) 타측에는 드레인탱크(10)가 연결되고, 상기 오일 배출관(9)상에는 상기 컨트롤러(12)의 제어신호에 따라 오일 배출관(9)의 개폐를 행하는 오일 배출관 제어밸브(11)가 설치된다.In addition, an oil tank 7 is connected to the other side of the oil supply pipe 6 connected to the oil inlet 1, and on the oil supply pipe 6, the oil supply pipe 6 is opened and closed according to a control signal of the controller 12. An oil supply pipe control valve (8) is installed, and a drain tank (10) is connected to the other side of the oil discharge pipe (9) connected to the oil outlet (2), and on the oil discharge pipe (9) of the controller (12). The oil discharge pipe control valve 11 which opens and closes the oil discharge pipe 9 according to the control signal is provided.
한편, 상기 오일탱크(7) 및 드레인탱크(10)에는 각 탱크 내의 액위를 검출하여 컨트롤러(12)로 검출신호를 보내는 레벨센서(13a)(13b)가 각각 장착되고, 상기 컨트롤러(12) 일측에는 상기 각 레벨센서(13a)(13b)의 검출신호에 따라 오일탱크(7)의 오일량이 소정의 액위 이하로 떨어지거나 드레인탱크(10)내의 폐(廢)오일량이 소정의 액위 이상으로 높아질 경우 컨트롤러(12)의 작동 신호를 받아 이를 알리는 부저(14)가 설치된다.Meanwhile, the oil tank 7 and the drain tank 10 are equipped with level sensors 13a and 13b that detect the liquid level in each tank and send a detection signal to the controller 12, respectively, and one side of the controller 12. When the oil amount of the oil tank 7 falls below a predetermined level or the amount of waste oil in the drain tank 10 rises above a predetermined level according to the detection signal of each level sensor 13a or 13b. The buzzer 14 which receives the operation signal of the controller 12 and informs it of this is installed.
이와 같이 구성된 본 고안 장치의 설치 상태는 다음과 같다.The installation state of the subject innovation device configured as described above is as follows.
먼저, 기기 본체(4)의 오일이 저장되는 부분에 구비된 관찰창(3) 전방에 오일 상태를 검출할 수 있는 광센서(5)를 설치한다.First, an optical sensor 5 capable of detecting an oil state is installed in front of the observation window 3 provided in a portion where oil of the apparatus main body 4 is stored.
또한, 기기 본체(4)의 오일 주입구(1)에는 오일 공급관(6)을 연결하고 관로상에는 전기적으로 작동하는 밸브를 설치한 후, 그 위에 교체용 오일을 저장할 수 있는 오일탱크(7)를 설치한다.In addition, the oil inlet 1 of the main body of the device 4 is connected to the oil supply pipe (6), and an electrically operated valve on the pipe line, and then installed an oil tank (7) for storing the replacement oil thereon do.
한편, 기기 본체(4)의 오일 배출구(2)에도 위와 동일한 원리로 오일 배출관(9)을 연결하고 관로상에는 전기적으로 작동하는 밸브를 설치한 후, 그 아래에 오일을 저장할 수 있는 드레인탱크(10)를 설치한다.On the other hand, the oil outlet (2) of the main body of the device 4 is connected to the oil discharge pipe (9) in the same principle as above, and install an electrically operated valve on the pipeline, the drain tank 10 for storing oil thereunder Install).
또한, 상기 광센서(5)에는 광센서에서 검출된 광량 검출값을 설정값과 비교하는 한편 비교 결과에 따라 오일 공급관(6) 및 오일 배출관(9)의 관로 상에 설치된 밸브(8)(11)의 온/오프를 선택적으로 제어하는 컨트롤러(12)를 연결한다.In addition, the light sensor 5 is compared with the light amount detection value detected by the light sensor to the set value, while the valve (8) (11) provided on the pipeline of the oil supply pipe (6) and oil discharge pipe (9) according to the comparison result Is connected to the controller 12 to selectively control the on / off.
이 때, 컨트롤러(12)에서는 광센서(5)에서 검출된 광량 검출값을 설정값을 비교하여 광량 검출값이 설정값 이하로 떨어지면 밸브들을 온(on)시키게 된다.At this time, the controller 12 compares the light quantity detection value detected by the optical sensor 5 with the set value, and turns on the valves when the light quantity detection value falls below the set value.
한편, 본 고안의 장치는 다음과 같이 동작하게 된다.On the other hand, the device of the present invention is operated as follows.
기기 본체(4) 내의 오일의 열화정도를 관찰창(3) 전방에 설치된 광센서(5)가 검출하게 되고, 상기 광센서(5)에서 검출된 광량 검출값을 컨트롤러(12)에서 설정값과 비교하여 설정값 이하일 경우에는 밸브가 닫힌 상태를 유지하므로 오일 교환이 일어나지 않게 되고, 광량 검출값이 설정값 이상일 경우에는 배출관 및 주입관 양측의 밸브가 모두 개방되어 오일의 자동 교환이 이루어지게 된다.The degree of deterioration of the oil in the apparatus main body 4 is detected by the optical sensor 5 installed in front of the observation window 3, and the detected amount of light detected by the optical sensor 5 is determined by the controller 12. In comparison, when the value is less than the set value, the valve is kept closed, so that no oil change occurs. When the light quantity detection value is more than the set value, both the valves on both the discharge pipe and the injection pipe are opened to automatically exchange oil.
예를 들어, 오일의 열화정도가 심해져 그 색이 짙어지게 되면, 관찰창(3)에 설치된 광센서(5)의 수광부에 수광되는 빛의 량이 줄어들게 된다.For example, when the degree of deterioration of the oil becomes deeper and the color becomes darker, the amount of light received by the light receiving portion of the optical sensor 5 installed in the observation window 3 is reduced.
즉, 오일의 색이 검어질수록 오일에 흡수되는 빛의 량이 증가하게 되므로 광센서(5)에서 수광되는 빛의 량이 감소하게 되는 것이다.That is, as the color of the oil becomes black, the amount of light absorbed by the oil increases, so that the amount of light received by the optical sensor 5 decreases.
이에 따라, 광센서(5)에서 검출된 광량 검출값은 컨트롤러(12)로 보내지게 되며, 컨트롤러(12)에서는 사용자가 입력한 설정값과 검출된 광량 검출값을 비교하게 된다.Accordingly, the light amount detection value detected by the photosensor 5 is sent to the controller 12, the controller 12 compares the set value input by the user with the detected light amount detection value.
이 때, 설정값에 비해 검출된 광량 검출값이 작으므로 컨트롤러(12)의 제어에 의해 오일 배출관(9)에 설치된 오일 배출관 제어밸브(11)와 오일 공급관(6)에 설치된 오일 공급관 제어밸브(8)가 동시에 열리게 된다.At this time, since the detected light quantity detection value is smaller than the set value, the oil discharge pipe control valve 11 installed in the oil discharge pipe 9 and the oil supply pipe control valve installed in the oil supply pipe 6 are controlled by the controller 12. 8) will open at the same time.
이에 따라, 기기 내부에 들어 있던 열화된 오일이 오일 배출구(2) 및 오일 배출관(9)을 통해 드레인탱크(10)로 빠져나감과 동시에 오일 공급관(6) 및 오일 주입구(1)를 통해 기기 내부로 새로운 오일이 들어가게 되므로서 오일의 교환이 행해지게 된다.Accordingly, the deteriorated oil contained in the inside of the device is discharged to the drain tank 10 through the oil outlet 2 and the oil discharge pipe 9 and at the same time through the oil supply pipe 6 and the oil inlet 1. As new oil enters, oil change is performed.
즉, 기기 내부의 아래쪽에 있는 열화된 오일은 오일 배출관(9)을 통해 드레인으로 배출되고, 새 오일이 주입구(1)를 통해 기기로 투입됨에 따라 기기 본체(4) 내의 오일의 색은 점점 밝아지게 된다.That is, the deteriorated oil at the bottom of the inside of the device is discharged to the drain through the oil discharge pipe 9, and as the new oil is introduced into the device through the inlet 1, the color of the oil in the device main body 4 becomes gradually brighter. You lose.
이에 따라, 관찰창(3) 전방에 설치된 광센서(5)의 수광부에서 검출되는 광량은 점점 증가하게 되고, 이에 따라 컨트롤러(12)로 보내지는 광량 검출값 또한 상승하게 되며, 일정시점에 이르면 광량 검출값이 사용자가 정한 설정값 이상이 된다.Accordingly, the amount of light detected by the light receiving portion of the optical sensor 5 installed in front of the observation window 3 gradually increases, and thus the amount of light detected by the controller 12 is also increased. The detected value is higher than or equal to the set value set by the user.
이와 같이 새로운 오일의 주입에 따라, 일정시점 이후 광량 검출값이 설정값보다 커지면 컨트롤러(12)는 상기 오일 배출관(9)에 설치된 밸브(11) 및 오일 공급관(6)에 설치된 밸브(8)를 오프시키게 되며, 이로 인해 오일의 주입 및 배출이 중단되어 오일 교환작업 또한 완료된다.As a result of the injection of the new oil, if the light quantity detection value is larger than the set value after a certain point of time, the controller 12 opens the valve 11 installed in the oil discharge pipe 9 and the valve 8 installed in the oil supply pipe 6. This turns off the oil and stops the oil change.
한편, 오일탱크(7)의 오일량 또한 일정 액위 이하로 떨어지면 상기 오일탱크(7) 내에 설치된 레벨센서(13a)가 이를 검출하여 컨트롤러(12)로 검출신호를 보내게 되며, 이에 따라 컨트롤러(12)의 제어에 의해 부저 구동회로가 동작하여 컨트롤러(12) 일측에 설치된 부저(14)에서 경고음이 나오게 되므로써 오일탱크(7)의 교환 또는 오일의 보충 시기임을 알리게 된다.On the other hand, when the oil amount of the oil tank 7 also falls below a certain level, the level sensor 13a installed in the oil tank 7 detects this and sends a detection signal to the controller 12, thereby providing a controller 12 Buzzer driving circuit operates by the control of the buzzer 14, and the buzzer 14 installed at one side of the controller 12 emits a warning sound, thereby indicating that the oil tank 7 is replaced or refilled.
또한, 배출된 오일은 드레인탱크(10)에 저장되는데, 탱크가 일정 액위이상이 되면 드레인탱크(10) 내에 설치된 레벨센서(13b)가 이를 검출하여 컨트롤러(12)로 검출신호를 보내게 되며, 이에 따라 컨트롤러(12)의 제어에 의해 부저 구동회로가 동작하여 컨트롤러(12) 일측에 설치된 부저(14)에서 경고음이 나와 드레인탱크(10)의 교환 시기를 알리게 된다.In addition, the discharged oil is stored in the drain tank 10, when the tank is above a certain level, the level sensor 13b installed in the drain tank 10 detects this and sends a detection signal to the controller 12, Accordingly, the buzzer driving circuit operates under the control of the controller 12, and a warning sound is emitted from the buzzer 14 installed at one side of the controller 12 to notify the replacement time of the drain tank 10.
이상에서와 같이, 본 고안은 반도체 제조시에 적용되는 진공펌프 등의 기기에 자체적으로 오일의 열화여부를 체크하여, 열화정도가 설정범위를 넘어설 경우 오일이 자동적으로 주입될 수 있도록 한 것이다.As described above, the present invention is to check whether the oil itself deteriorated in the equipment such as a vacuum pump applied in the semiconductor manufacturing, so that the oil can be automatically injected when the degree of degradation exceeds the set range.
이에 따라, 본 고안은 오일 교환에 따른 장비의 다운을 막아 반도체 제조 공정의 생산성을 향상시킬 수 있고, 오일의 교환시키가 광센서(5)에 의해 검출되므로 신뢰성이 높으며, 오일 교환이 필요할 경우에 자동적으로 오일 교환 작업이 이루어지도록 하므로써 오일 열화에 따른 장비의 수명 저하를 방지하는 한편, 수작업시투입되던 노동력을 절감할 수 있게 되는등 여러 가지 효과를 가져오게 된다.Accordingly, the present invention can improve the productivity of the semiconductor manufacturing process by preventing the down of the equipment due to the oil exchange, the oil is detected by the optical sensor (5) to replace the oil, the reliability is high, By automatically changing the oil, it prevents the deterioration of equipment life due to oil deterioration, and saves labor cost during manual operation.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019980006124U KR200325125Y1 (en) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | oil auto-exchanging device for machinery in fabrication of semiconductor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019980006124U KR200325125Y1 (en) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | oil auto-exchanging device for machinery in fabrication of semiconductor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990039746U KR19990039746U (en) | 1999-11-15 |
| KR200325125Y1 true KR200325125Y1 (en) | 2003-11-28 |
Family
ID=49414139
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR2019980006124U KR200325125Y1 (en) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | oil auto-exchanging device for machinery in fabrication of semiconductor |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR200325125Y1 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102124506B1 (en) * | 2018-03-20 | 2020-06-18 | 메디칼프렌드 | Oil change system for a vacuum pump |
-
1998
- 1998-04-17 KR KR2019980006124U patent/KR200325125Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| KR19990039746U (en) | 1999-11-15 |
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