KR200311212Y1 - Purge System For Using Air Suction Device - Google Patents

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KR200311212Y1
KR200311212Y1 KR20-2002-0038539U KR20020038539U KR200311212Y1 KR 200311212 Y1 KR200311212 Y1 KR 200311212Y1 KR 20020038539 U KR20020038539 U KR 20020038539U KR 200311212 Y1 KR200311212 Y1 KR 200311212Y1
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이구환
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    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/28Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means with integral means for shielding the discharged liquid or other fluent material, e.g. to limit area of spray; with integral means for catching drips or collecting surplus liquid or other fluent material

Abstract

디스펜서 니들 끝단에 맺힌 토출액을 제거하기 위한 것으로서 상면이 개방되고 상기 니들로부터 토출되는 액체를 저장하기 위한 용기; 상기 용기를 감싸며 지지하는 일면이 개방된 하우징; 상기 하우징 내부로 공기가 유입되는 것을 방지하도록 상기 하우징 개방된 일면에 설치되고, 상기 니들이 하우징 내부로 삽입되도록 삽입홀이 형성된 하우징 커버; 상기 하우징 일면에 설치되어 하우징 내부의 공기를 흡입하는 공기 흡입기; 를 포함하고, 상기 니들이 하우징 내부로 삽입되면 상기 공기 흡입에 의한 기압차에 의해 상기 니들 끝단에 맺힌 토출액을 제거하는 것을 특징으로 하는 공기 흡입기를 이용한 퍼지 시스템(purge system)이 개시된다.A container for storing the liquid discharged from the needle, the upper surface of which is to remove the discharge liquid formed at the end of the dispenser needle; A housing having one surface open to surround and support the container; A housing cover installed on one side of the housing open to prevent air from flowing into the housing and having an insertion hole formed so that the needle is inserted into the housing; An air inhaler installed on one surface of the housing to suck air in the housing; Includes, and when the needle is inserted into the housing is disclosed a purge system (purge system) using an air inhaler, characterized in that for removing the discharge liquid formed on the end of the needle by the pressure difference caused by the air intake.

Description

공기 흡입기를 이용한 퍼지 시스템{ Purge System For Using Air Suction Device }Purge System For Using Air Suction Device}

본 고안은 공기 흡입기를 이용한 퍼지 시스템(purge system)에 관한 것으로서, 구체적으로는 디스펜서 니들 끝단에 토출액 맺힘 현상을 제거하기 위하여 공기 흡입기를 구비하고, 상기 공기 흡입기의 공기 흡입에 의해서 상기 니들 끝단에 맺혀 있는 토출액을 제거하기 위한 퍼지 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a purge system (purge system) using an air inhaler, and specifically provided with an air inhaler in order to remove the discharge condensation phenomenon at the dispensing needle end, and by the air intake of the air inhaler A purge system for removing condensed discharge liquid.

일반적으로 디스펜서 장치는 특정 액체나 페이스트 상의 물질을 공기의 압력으로 일정량씩 토출시키는 장치로서, 반도체 제조 공정 및 기타 제반의 산업계에서 널리 사용되고 있는 장치이다.In general, the dispenser device is a device for discharging a specific liquid or paste-like substance by a predetermined amount of air, and is widely used in the semiconductor manufacturing process and other industrial fields.

이러한 디스펜서 장치는 특히, 반도체 제조 공정에서 칩의 본딩된 부분을 보호하기 위하여 에폭시 토출 등에 사용되는데 이 때는 한 치의 오차 없이 정확한 토출량이 제어되어야 한다.Such a dispenser device is used, for example, for epoxy discharge to protect the bonded portion of the chip in a semiconductor manufacturing process, in which case the precise discharge amount must be controlled without any error.

한편, 디스펜서 장치의 연구개발에 의해서 정확한 토출량이 제어될 수 있다고 하여도, 디스펜서에 용액을 보충하거나 계속된 사용으로 인하여 디스펜서 니들 끝단에 토출액이 맺히는 현상이 발생할 수 있다. 도 1은 디스펜서 니들 끝단에 토출액이 맺힌 상태를 보여준다. 도면의 참조부호 10은 디스펜서 니들을 가리키고, 12 는 니들 끝단에 맺힌 토출액을 나타낸다.On the other hand, even if the accurate discharge amount can be controlled by the research and development of the dispenser device, a phenomenon may occur in which the discharge liquid is formed at the end of the dispenser needle due to replenishing the solution in the dispenser or continued use. Figure 1 shows a state in which the discharge liquid is formed on the end of the dispenser needle. In the drawing, reference numeral 10 denotes a dispenser needle, and 12 denotes a discharge liquid formed at the end of the needle.

이러한 토출액 맺힘 현상으로 인하여 정확한 토출액이 제어되어야 하는 제조 공정에 큰 영향을 미치게 되고, 반도체 칩과 같이 미세한 양에 의해 제품 성능이 결정되는 제조 공정에 있어서는 제품 불량 발생 요인이 된다.Due to the discharge liquid condensation phenomenon, the accurate discharge liquid has a great influence on the manufacturing process to be controlled, and in the manufacturing process in which the product performance is determined by a minute amount such as a semiconductor chip, it becomes a product defect occurrence factor.

하지만, 종래에는 상기 니들 끝단에 맺힌 토출액을 제거하는 장치가 마련되어 있지 않았고, 깨끗한 수건 등으로 니들을 닦아 내는 것이 고작이었다. 그러나, 이와 같은 행위로 토출액이 오염되어 또 다른 문제점이 발생할 수 있기 때문에 바람직하지 않고, 이를 해결할 수 있는 대안이 절실히 요구되는 실정이다.However, conventionally, there is no device for removing the discharge liquid formed on the end of the needle, it was only to wipe the needle with a clean towel or the like. However, since the discharge liquid is contaminated by such an action and another problem may occur, it is not preferable, and there is an urgent need for an alternative to solve the problem.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 고안된 것으로서, 공기 흡입기를 이용한 기압차를 유도하여 상기 디스펜서 니들 끝단에 형성된 토출액을 깨끗하게 제거할 수 있는 공기 흡입기를 이용한 퍼지 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is devised to solve the above problems, and an object thereof is to provide a purge system using an air inhaler capable of inducing a pressure difference using an air inhaler to cleanly remove the discharge liquid formed at the end of the dispenser needle. .

또한, 상기 과정을 통해서 제거된 토출액이 용기에 가득 찼을 경우 이를 감지하는 중량감지센서가 용기 교환 신호를 출력함으로써 작업의 효율을 높일 수 있는 퍼지 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, it is an object of the present invention to provide a purge system that can increase the efficiency of the operation by outputting the container replacement signal by the weight sensor for detecting when the discharge liquid removed through the process is full.

본 고안의 다른 목적 및 장점들은 하기에 설명될 것이며, 본 고안의 실시에 의해 알게 될 것이다. 또한, 본 고안의 목적 및 장점들은 실용신안등록청구범위에 나타낸 수단 및 조합에 의해 실현될 수 있다.Other objects and advantages of the present invention will be described below and will be appreciated by practice of the present invention. In addition, the objects and advantages of the present invention can be realized by means and combinations shown in the utility model registration claims.

도 1은 종래의 디스펜서(dispenser) 니들(needle) 끝단의 토출액 맺힘 현상을 도시하는 측도면이다.FIG. 1 is a side view illustrating a discharge liquid condensation phenomenon at a tip of a conventional dispenser needle.

도 2는 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 토출액 맺힘 현상을 제거하는 퍼지 시스템의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a purge system for removing the discharge liquid condensation phenomenon according to a first embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 토출액 맺힘 현상을 제거하는 퍼지 시스템의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of a purge system for removing the discharge liquid condensation phenomenon according to a second embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 따른 토출액 맺힘 현상을 제거하는 퍼지 시스템의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of a purge system for removing the discharge liquid condensation phenomenon according to a third embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 참조부호에 대한 설명 ><Description of Major Reference Marks in Drawings>

20 : 용기 21 : 디스펜서 니들20: container 21: dispenser needle

22 : 토출액 24 : 하우징22: discharge liquid 24: housing

26 : 하우징 커버 28 : 공기 흡입기26 housing cover 28 air intake

30 : 가이드 부재 40 : 중량감지센서30: guide member 40: weight detection sensor

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 고안에 따른 공기 흡입기를 이용한 퍼지 시스템은 디스펜서 니들 끝단에 맺힌 토출액을 제거하기 위한 것으로서 상면이 개방되고 상기 니들로부터 토출되는 액체를 저장하기 위한 용기; 상기 용기를 감싸며 지지하는 일면이 개방된 하우징; 상기 하우징 내부로 공기가 유입되는 것을 방지하도록 상기 하우징 개방된 일면에 설치되고, 상기 니들이 하우징 내부로 삽입되도록 삽입홀이 형성된 하우징 커버; 상기 하우징 일면에 설치되어 하우징 내부의 공기를 흡입하는 공기 흡입기; 를 포함하고, 상기 니들이 하우징 내부로 삽입되면 상기 공기 흡입에 의한 기압차에 의해 상기 니들 끝단에 맺힌 토출액을 제거하는 것을 특징으로 한다.The purge system using the air inhaler according to the present invention to achieve the above object is to remove the discharge liquid formed on the end of the dispenser needle, the upper surface is open and the container for storing the liquid discharged from the needle; A housing having one surface open to surround and support the container; A housing cover installed on one side of the housing open to prevent air from flowing into the housing and having an insertion hole formed so that the needle is inserted into the housing; An air inhaler installed on one surface of the housing to suck air in the housing; It includes, characterized in that when the needle is inserted into the housing to remove the discharge liquid formed on the end of the needle by the pressure difference caused by the air suction.

바람직하게는 상기 하우징 커버의 삽입홀 원주면에 상기 니들이 접촉하여 상하지 않도록 상기 니들을 가이드하는 고무재질의 가이드 부재;를 더 포함할 수 있다.Preferably, the guide member is made of a rubber material for guiding the needle so that the needle does not come into contact with the circumferential surface of the insertion hole of the housing cover.

더욱 바람직하게는 상기 하우징에 의해 지지되는 상기 용기 하부면에 중량감지센서;를 더 포함하고, 상기 중량감지센서는 상기 용기내 토출액이 소정의 중량을 초과하는 경우 알림신호를 출력하게 할 수 있다.More preferably, a weight sensor on the lower surface of the container supported by the housing; the weight sensor may be configured to output a notification signal when the discharge liquid in the container exceeds a predetermined weight. .

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 고안의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 고안자는 그 자신의 고안을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 고안의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, the terms or words used in this specification and claims should not be construed as being limited to their usual or dictionary meanings, and the inventors will properly describe the concept of terms in order to best explain their own design. Based on the principle that it can be defined, it should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 고안의 가장 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고 본 고안의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments described in the present specification and the configuration shown in the drawings are only the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all of the technical ideas of the present invention, and various equivalents may be substituted for them at the time of the present application. It should be understood that there may be water and variations.

도 2는 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 공기 흡입기의 구성을 나타낸다. 도면을 참조하면, 본 발명의 퍼지 시스템은 토출액을 받아내기 위한 용기(20), 상기 용기(20)를 지지하는 상면이 개방된 하우징(24), 상기 하우징의 개방된 일면에 설치되고 하우징 내부를 외부 공기와 차단하는 하우징 커버(26), 상기 하우징 내부에 설치되며 내부 공기를 흡입하는 공기 흡입기(28)를 포함한다. 또한, 상기 하우징 커버(26)에는 디스펜서 니들(21)이 삽입되어 토출액을 배출할 수 있도록 삽입홀이 형성되어 있다. 바람직하게 상기 삽입홀은 디스펜서 니들(22)이 삽입홀 외주면에 접촉하지 않고 삽입될 수 있는 반경을 갖도록 한다. 이는 토출액이 인체에 유해한 성분일 수 있기 때문에 하우징(24) 내부를 가급적 밀폐시키기 위함이다.2 shows a configuration of an air inhaler according to a first preferred embodiment of the present invention. Referring to the drawings, the purge system according to the present invention includes a container 20 for receiving the discharge liquid, a housing 24 having an open upper surface for supporting the container 20, and an open side of the housing and being installed inside the housing. It includes a housing cover 26 to block the outside air, the air inhaler 28 is installed inside the housing and sucks the internal air. In addition, an insertion hole is formed in the housing cover 26 so that the dispenser needle 21 may be inserted to discharge the discharged liquid. Preferably, the insertion hole has a radius in which the dispenser needle 22 can be inserted without contacting the insertion hole outer circumferential surface. This is to seal the inside of the housing 24 as much as possible because the discharge liquid may be a harmful component to the human body.

또한, 상기 용기(20)가 하우징(24) 내부에서 움직이지 않도록 고정하는 용기 지지부재(미도시)를 상기 용기(20) 외부에 설치할 수 있다.In addition, a container support member (not shown) may be installed outside the container 20 to fix the container 20 so as not to move inside the housing 24.

아울러, 상기 하우징(24)과 상기 하우징 커버(26)의 접촉면에는 내부 공기를 밀폐시키도록 고무재질의 실링부재(미도시)를 채용하는 것이 좋다.In addition, a rubber sealing member (not shown) may be employed at the contact surface between the housing 24 and the housing cover 26 to seal the internal air.

디스펜서에 의해 정량의 토출액이 분사되기 위해서는 디스펜서 니들(21) 끝단에 맺혀있는 토출액(22)을 제거할 필요가 있다.In order to eject the quantitative discharge liquid by the dispenser, it is necessary to remove the discharge liquid 22 formed at the end of the dispenser needle 21.

따라서, 작업중에 디스펜서 니들(21) 끝단에 토출액(22)이 맺히면 디스펜서 니들(21)을 본 발명의 퍼지 시스템에 삽입하여 상기 토출액(22)을 제거한다.Therefore, if the discharge liquid 22 forms at the end of the dispenser needle 21 during the operation, the dispenser needle 21 is inserted into the purge system of the present invention to remove the discharge liquid 22.

보다 구체적으로 설명하면, 상기 하우징 커버(26)에 형성된 삽입홀에 토출액(22)이 맺혀있는 디스펜서 니들(21)을 삽입하고, 이와 동시에 상기 공기 흡입기(28)를 작동시켜 하우징 내부의 공기압을 떨어뜨린다. 이렇게 되면, 하우징 외부와 내부의 기압차에 의해 디스펜서 니들(21) 끝단에 맺힌 토출액(22)은 상기 용기(20)로 떨어지게 된다.More specifically, the dispenser needle 21 in which the discharge liquid 22 is formed is inserted into the insertion hole formed in the housing cover 26, and at the same time, the air inhaler 28 is operated to reduce the air pressure inside the housing. Drop it. In this case, the discharge liquid 22 formed at the end of the dispenser needle 21 due to the pressure difference between the outside and the inside of the housing is dropped into the container 20.

이를 돕기 위하여, 상기 디스펜서를 작동시켜 일정량의 토출액을 용기(20)에 분사시켜 디스펜서 니들(21) 끝단에 토출액이 맺히지 않도록 할 수 있다.In order to help this, the dispenser may be operated to spray a predetermined amount of the discharge liquid into the container 20 so that the discharge liquid does not form at the end of the dispenser needle 21.

상술한 과정에서 공기 흡입기(28)를 작동하는 것과 일정량의 토출액을 분사시키는 것 등은 자동화 될 수 있다.In the above-described process, the operation of the air inhaler 28 and the injection of a certain amount of the discharge liquid may be automated.

도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 공기 흡입기를 이용한 퍼지 시스템의 구성을 나타낸다. 여기서 도 2에서와 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일한 부재를 가리킨다.3 shows a configuration of a purge system using an air inhaler according to a second embodiment of the present invention. Here, the same reference numerals as in FIG. 2 denote the same members having the same function.

본 실시예에 따르면, 하우징 커버(26)에 형성된 삽입홀 원주면에 고무 재질의 가이드 부재(30)가 더 포함된다. 상기 가이드 부재는 디스펜서 니들(21)이 삽입되면서 하우징 커버(26)와 접촉하여 마모되거나 상하게 되는 것을 방지한다. 즉, 디스펜서 니들(21)이 정확하게 하우징(24) 내부로 삽입될 수 있도록 디스펜서 니들(21)의 삽입 동선을 가이드 한다.According to the present embodiment, a rubber guide member 30 is further included in the circumferential surface of the insertion hole formed in the housing cover 26. The guide member prevents the dispenser needle 21 from being worn or damaged in contact with the housing cover 26 while being inserted. That is, the insertion line of the dispenser needle 21 is guided so that the dispenser needle 21 can be accurately inserted into the housing 24.

도 4는 본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 따른 공기 흡입기를 이용한 퍼지 시스템의 구성을 보여준다. 여기서 도 2 및 도 3과 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일한 부재를 가리킨다.4 shows a configuration of a purge system using an air inhaler according to a third preferred embodiment of the present invention. 2 and 3, the same reference numerals refer to the same members having the same function.

본 실시예에 따르면, 용기(20) 밑면에 용기의 중량을 감지하는 중량감지센서(40)가 구비된다. 상기 중량감지센서(40)는 용기에 토출된 액의 총중량을 감지하여 소정 값을 초과하는 경우 용기 교환 신호를 출력하도록 설계되어져 있다.According to this embodiment, the bottom of the container 20 is provided with a weight sensor 40 for detecting the weight of the container. The weight sensor 40 is designed to detect the total weight of the liquid discharged to the container and output a container replacement signal when a predetermined value is exceeded.

따라서, 작업자는 작업중에 토출된 액을 일일이 검사할 필요 없이 용기 교환 주기를 알 수 있기 때문에 작업의 효율을 높일 수 있음은 물론이고, 작업자의 부주의에 의해 토출된 액이 용기를 넘치는 일이 발생하지 않는다.Therefore, since the operator can know the container replacement cycle without having to inspect the liquid discharged during the operation, not only can the work efficiency be improved, but also the discharged liquid overflows the container due to the carelessness of the operator. Do not.

이상과 같이, 본 고안은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 고안은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 고안의 기술 사상과 아래에 기재될 실용신안등록청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.As described above, although the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto and is intended by those skilled in the art to which the present invention pertains. Various modifications and variations are possible, of course, within the equivalent scope of the utility model registration claims to be described.

본 고안의 공기 흡입기를 이용한 퍼지 시스템에 따르면, 디스펜서 니들 끝단에 맺힌 토출액을 제거함으로써 정확한 토출양 제어가 가능함에 따라 오버플로우(overflow)가 발생하지 않는다. 결과적으로 제품 불량 발생율을 최소화시킬 수 있다.According to the purge system using the air inhaler of the present invention, by removing the discharge liquid formed on the end of the dispenser needle, it is possible to precisely control the amount of discharge, so that no overflow occurs. As a result, the rate of product defects can be minimized.

또한, 토출된 액을 작업자가 일일이 확인하지 않아도 토출액이 용기에 가득 차면 용기 교환 신호가 출력되기 때문에 작업 효율을 높일 수 있다.In addition, even if the discharged liquid is filled in the container even if the operator does not check the discharged liquid one by one, since the container exchange signal is output, the working efficiency can be increased.

Claims (3)

디스펜서 니들 끝단에 맺힌 토출액을 제거하기 위한 것으로서It is for removing the discharge liquid formed on the tip of the dispenser needle. 상면이 개방되고 상기 니들로부터 토출되는 액체를 저장하기 위한 용기;A container for storing liquid discharged from the needle and having an upper surface open; 상기 용기를 감싸며 지지하는 일면이 개방된 하우징;A housing having one surface open to surround and support the container; 상기 하우징 내부로 공기가 유입되는 것을 방지하도록 상기 하우징 개방된 일면에 설치되고, 상기 니들이 하우징 내부로 삽입되도록 삽입홀이 형성된 하우징 커버;A housing cover installed on one side of the housing open to prevent air from flowing into the housing and having an insertion hole formed so that the needle is inserted into the housing; 상기 하우징 일면에 설치되어 하우징 내부의 공기를 흡입하는 공기 흡입기;An air inhaler installed on one surface of the housing to suck air in the housing; 를 포함하고,Including, 상기 니들이 하우징 내부로 삽입되면 상기 공기 흡입에 의한 기압차에 의해 상기 니들 끝단에 맺힌 토출액을 제거하는 것을 특징으로 하는 공기 흡입기를 이용한 퍼지 시스템.And the needle is inserted into the housing to remove the discharge liquid formed at the end of the needle by a pressure difference caused by the air suction. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 하우징 커버의 삽입홀 원주면에 상기 니들이 접촉하여 상하지 않도록 상기 니들을 가이드하는 고무재질의 가이드 부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공기 흡입기를 이용한 퍼지 시스템.And a rubber guide member for guiding the needle so that the needle does not come into contact with the insertion hole circumferential surface of the housing cover. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 하우징에 의해 지지되는 상기 용기 하부면에 중량감지센서;를 더 포함하고,And a weight sensor on a lower surface of the container supported by the housing. 상기 중량감지센서는 상기 용기내 토출액이 소정의 중량을 초과하는 경우 알림신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 공기 흡입기를 이용한 퍼지 시스템.The weight sensor is a purge system using an air inhaler, characterized in that for outputting a notification signal when the discharge liquid in the container exceeds a predetermined weight.
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