KR200306918Y1

KR200306918Y1 - 반도체 제조장치의 기판 이송용 가이드 롤러

Info

Publication number: KR200306918Y1
Application number: KR20-2002-0033654U
Authority: KR
Inventors: 이부락
Original assignee: 이부락
Priority date: 2002-11-11
Filing date: 2002-11-11
Publication date: 2003-03-11

Abstract

본 고안은 반도체 제조공정 중 작업을 전환시키기 위해 이송장치가 잠시 멈추는 과정에서 롤러의 윗면으로 기판이 미끄러짐으로써 발생되는 마모와 크랙을 방지하는 동시에 기판의 양측에 위치한 가이드 롤러에 베어링을 구비시켜 마찰시 가이드롤러가 동일한 구륜운동으로 회전하여 마찰을 완전히 방지할 수 있도록 한 반도체 제조장치의 기판 이송용 가이드롤러에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 샤프트 양측에 설치되어 기판을 이송시킬 수 있도록 된 가이드 롤러 몸체 내면 일측에 형성된 확개부와, 상기 가이드롤러 몸체 내면 일측의 확개부에 끼워지도록 경사면이 구비되어 샤프트를 고정하는 고정링과, 상기 고정링를 지지할 수 있도록 가이드 롤러 몸체 일측단의 나사부에 결합되는 커플링과, 상기 가이드롤러 중앙부 몸체 외면을 내륜으로 하고 그 외면에 볼과 외륜이 결합되어 이루어진 베어링부와, 상기 가이드 롤러 몸체 타측 외면에는 링타입의 패킹이 결속된 가이드부가 형성되어 기판을 이송시킬 수 있도록 된 가이드 롤러가 이루어진 반도체 제조장치의 기판 이송용 가이드 롤러를 제공할 수 있도록 한 것이다.

Description

반도체 제조장치의 기판 이송용 가이드 롤러{LCD Borad transfer guide roller of semiconductor manufacture system}

본 고안은 반도체 제조장치의 기판 이송용 가이드 롤러에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 LCD 기판에 감광액을 도포한 상태에서 노광과 현상 및 식각 그리고 이온주입과 화학기상증착(CVD) 공정으로 이어지도록 하는 과정에서 기판을 이송시키는 가이드 롤러에는 샤프트 축에 견고히 고정할 수 있도록 결착링을 삽입시켜 고정하고, 외면 일측에는 베어링을 형성하여 샤프트의 회전에 의하여 이송되는 LCD기판이 이송중에 가이드롤러와 대응되더라도 마찰이 발생하지 않고 작업을 전환시키기 위해 이송장치가 잠시 멈출때 로울러 윗면에 위치한 기판이 미끄러지져 발생되는 마모와 크랙을 방지하도록 하고 가이드 롤러와의 마찰저항을 줄여 긁힘이 발생되지 않도록 한 반도체 제조장치의 기판 이송용 가이드 롤러에 관한 것이다.

일반적으로 반도체는 단결정 성장 → 규소봉 절단 → 기판 표면연마 → 회로설계 →MASK(RETICLE)제작 → 산화(OXIDATION)공정 → 감광액(PR:Photo Resist)도포 → 노광(Exposure) → 현상(Development) → 식각(Etching) → 이온 주입(Ion Implantation) → 화학 기상 증착(Chemical Vapor Deposition) → 금속배선(Metallization) → 기판 자동 선별 → 기판 절단 → 칩 접착 → 금(金) 선 연결 → 성형(Molding) → 최종 검사의 공정을 통해 얻게 된다.

이러한 다수의 공정을 위해서는 기판을 순차적으로 이송시키는 기판 이송용 가이드 로울러를 사용하게 되는데 이러한 가이드 롤러는 기존에는 샤프트 양측에설치되는 가이드롤러는 샤프트축에 고정되어 샤프트의 회전에 따라서 상부에 위치한 기판을 이송시키게된다.

이렇게 이송되는 기판은 오작동 또는 정전에 의해 이송장치의 구동이 멈추거나, 다음 단계에 진입하기 위해 잠시 멈출경우 가이드롤러는 멈추고 상부에 위치한 LCD 기판은 이송되던 속도에 의해 앞으로 나가려는 작용에 의하여 멈춘 가이드 롤러와 마찰되면서 일정거리 만큼 이송이 진행되므로 기판에 긁힘이 발생되는 문제점이 있으며, 또한 기존에는 가이드롤러를 샤프트 축선상에 고정하기 위해서는 볼트를 이용하여 가이드롤러를 샤프트에 고정하였으나, 이러한 구조는 사용시 샤프트에 설치되는 가이드롤러의 위치를 자유롭게 할 수 없을 뿐만 아니라 사용중 볼트에 유동이 생겨 이송중 가이드롤러가 흔들리는 문제점이 있었다.

따라서, 기존에는 이송중에 정지될 경우 상부에 위치한 기판을 보호하기 위한 것으로서, 본 출원인의 실용신안등록 제220926호의 『내륜과 슬라이드 외륜 사이에 제 1리테이너에 의해 간격이 유지된 채로 삽입된 제 1세라믹 볼을 갖는 지지부가 축의 양단에 끼워져 안내홈을 갖는 브라켓에 고정되고, 외측면에 만곡형의 외측 안내홈이 일체로 구비된 중공의 고정부가 상기 축 가운데에 구비되고, 다수의 제 2세라믹 볼이 상기 외측 안내홈에 안착되도록 하고, 상기 제 2세라믹 볼에 제 2리테이너를 삽입시켜 한쪽으로 치우치는 것을 방지하고, 외측에 산형태의 링을 가지며 내측 외벽으로 내측 안내홈을 일체로 갖는 회전부로 이루어진 반도체 제조장치의 기판 이송용 롤러』가 제공되었으나, 이역시 축(샤프트)양측 브라켓 사이이 양측에 설치된 가이드롤러가 축에 고정된 상태로 설치된 관계로 축이 일측으로 기울어진 상태 또는 상부에 위치한 기판이 가이드롤러와 밀착되었을 경우 축의 회전에 따라서 이동되는 기판의 가장자리가 가이드 롤러 일측면과 대응되어 마찰이 발생되에 마모가 가속되면서 다량의 오염물질이 발생하게 되고 이러한 오염물질이 기판위에 앉게 되어 제품의 불량율이 증가되는 문제점이 있었다.

본 고안은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반도체 제조장치의 기판 이송용 가이드 롤러에 관한 것으로서, 기판을 이송시키는 가이드 롤러 내면에는 별도의 고정볼트를 사용하지 않고 샤프트 축에 고정링을 끼워 간단 용이하게 고정할 수 있도록 하고, 몸체 외면 일측에는 베어링을 형성하여 샤프트의 회전에 의하여 이송되는 LCD기판이 이송중에 가이드롤러와 대응되더라도 마찰이 발생하지 않고, 작업을 전환시키기 위해 이송장치가 잠시 멈출때 로울러 윗면에 위치한 기판이 미끄러지면서 발생되는 마모와 크랙을 방지하도록 하고 가이드롤러와의 마찰저항을 줄여 긁힘이 발생되지 않도록 한 반도체 제조장치의 기판 이송용 가이드 롤러를 제공함을 목적으로 한 것이다.

도1은 본 고안의 기판이송용 가이드롤러 분리 단면 구성도.

도2는 본 고안의 기판이송용 가이드롤러 결합상태 단면도.

도3은 본 고안의 기판이송용 롤러의 작동상태를 도시한 예시도.

도4a 및 도4b는 본 고안의 다른 실시 예의 기판이송용 가이드 롤러 예시도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>

10,10':가이드롤러 11:몸체

12:확개부 13:나사부

14:커플링 15:패킹

16:가이드부 20:고정링

21:경사면 22:절결부

30:베어링부 31:볼

32:내륜 33:외륜

33':경사면 40:구동기어

50:베어링 롤러 60:기판

70:브라켓

이하 본 고안의 실시예를 첨부 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

샤프트 일측단에는 구동기어(40)가 설치되고, 상기 구동기어(40) 내측과 샤프트(8)의 타단에는 베어링롤러(50)가 끼워져 브라켓(70)에 고정되고, 상기 샤프트(8)양측에 설치된 베어링 롤러(50) 내측 샤프트 선상에는 기판(60)을 이동시킬 수 있도록 일정한 간격으로 설치된 가이드롤러(10)(10')와 상기 가이드롤러(10)(10') 중앙부에 베어링롤러(50)가 설치되어 기판을 이송시킬 수 있도록 된 반도체제조장치의 기판 이송용롤러에 있어서,

샤프트(8) 양측에 설치되어 기판(60)을 이송시킬 수 있도록 된 가이드 롤러(10)(10') 몸체(11) 내면 일측에 형성된 확개부(12)와;

상기 가이드롤러 몸체(11) 내면 일측의 확개부(12)에 끼워지도록 경사면이 구비되어 샤프트(8)를 고정하는 고정링(20)과;

상기 고정링(20)를 지지할 수 있도록 가이드 롤러 몸체(11) 일측단의 나사부(13)에 결합되는 커플링(14)과;

상기 가이드롤러(10)(10') 중앙부 몸체(11) 외면을 내륜(32)으로 하고 그 외면에 볼(31)과 외륜(33)이 결합되어 이루어진 베어링부(30)와;

상기 가이드 롤러 몸체 타측 외면에는 링타입의 패킹(15)이 결속된 가이드부(16)가 형성되어 기판을 이송시킬 수 있도록 된 가이드 롤러가 이루어진 것을 특징으로 한다.

상기 가이드 롤러 몸체 내면의 확개부에 끼워지는 고정링은, 외면이 일측으로 테이퍼진 경사면(21)을 갖고, 일측에 다수의 절결부(22)가 형성되어 내부에 끼워지는 샤프트(8)를 가압할 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.

상기 가이드롤러 몸체 외면에 형성된 베어링부의 외륜은, 이송되는 기판(60)과 대응되는 일측면에 테이퍼진 경사면(33')으로 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 가이드롤러 몸체 일측 가이드부(16)는, 외면에는 링타입의 패킹(15)이다수 설치되어 기판(60)을 이송시킬 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.

이와 같이 구성된 본고안은 먼저 가이드롤러가 설치되어 작동되는 주변 구성을 살표보면 다음과 같다.

이송장치에 다수 설치되는 샤프트(8) 일측단에는 구동기어(40)가 설치되어 별도로 설치된 구동부에 의하여 구동력을 전달 받은 구동기어(40)에 의하여 샤프트(8)가 회전된다.

상기 샤프트는 구동기어(40)의 내측과 샤프트(8)의 타단측에 베어링 롤러(50)가 각각 끼워져 각각의 브라켓(70)에 고정된 상태이므로 샤프트는 양측의 베어링 롤러(50)에 의해 제자리에서 부드럽게 공회전을 한다.

상기 샤프트(8)양측에 설치된 베어링 롤러(50) 내측의 샤프트(8) 선상에 기판(60)을 이동시킬 수 있도록 일정한 간격으로 가이드롤러(10)(10')가 설치되며, 이의 가이드 롤러(10)(10')는 샤프트(8)가 몸체(16) 끼워지는 내면 일측에 입구는 넓고 내부중앙부까지는 좁게 형성된 확개부(12)가 구비되고, 확개부(12)에는 외면이 일측으로 테이퍼지도록 경사면을 갖는 고정링(20)이 위치된다.

상기 확개부(12)에 위치한 고정링(20)은 일측의 가이드 롤러 몸체 (16) 일측단 나사부(13)와 내측에 나사부(13)가 형성된 커플링(14)이 결합되면서 커플링(14)이 고정링(20)을 밀게되므로 고정링(20)의 일측 절결부(22)가 조여지면서 끼워진 샤프트와 밀착고정된다.

이렇게 고정링(20)이 샤프트(8)에 고정되면 커플링(14)과 결합된 몸체(11)가 샤프트(8)에 고정설치된 상태가 된다.

상기와 같이 샤프트 양측에 가이드롤러(10)(10')가 설치된 일측의 가이드부(16)에 LCD 기판(60)이 올려져 샤프트의 회전에 따라서 이송된다.

이때 가이드롤러(10)와 가이드롤러(10') 사이의 중앙부 샤프트(8) 상에는 베어링롤러(50') 끼워져 이송되는 LCD 기판(60)의 중앙부가 늘어지는 것을 방지하고 이송시 이동을 부드럽게하는 동시에 급정지할 때 LCD 기판(60)이 긁히는 것을 방지 하게된다.

또한 가이드롤러(10)(10') 중앙부 몸체(11) 외면은 베어링부(30)가 형성되고, LCD 기판(60)가장자리와 대응되는 베어링부의 외륜(33)측면은 외향으로 테이퍼진 경사면(33')이 형성되어 가이드부(16)를 따라서 이동되는 LCD 기판(60)의 측면과 대응되는 마찰면을 최소화하고 마찰시 베어링부(30)가 이송되는 LCD 기판(60)의 이송속도와 동일한 속도로 구륜되어 마찰이 전혀 발생되지 않으므로 LCD 기판(60)은 긁히지 않게된다.

상기 베어링부(60)는 가이드롤러(10)(10') 중앙부 몸체(11) 외면을 내륜(32)으로 하고, 그 외면에 볼(31)과 일측 외면에 경사면을 갖는 외륜(33)이 결합되어 이루어진 것으로 내륜(32)과 외륜(33) 사이에 개재되는 볼(31)은 통상적인 베어링과 같이 리테이너(34)가 설치되어 볼(31)을 가이드하고 구륜이 원활하게 이루어지도록 한다.

또한 가이드 롤러(10)(10') 몸체(11) 타측 외면에는 링타입의 패킹(15)이 결속되어 가이드부(16)를 형성하고 상부에 대응된 기판이 미끄러짖 않고 안전하게 이송시킬 수 있도록 된 것이다.

상기 가이드부(16)에 결속되는 링타입의 패킹(15)은 도1 및 도2와 같이 한개만 설치할 수도 있고 필요에 따라서 도4a와 도4b와 같이 2개 또는 3개 이상으로 다수 설치하여 가이드부(16)를 형성할 수 있다.

상기 가이드부(16)는 샤프트(8)가 회전되는 가운데 그 양단에 위치하는 가이드롤러(10)(10')와 베어링부(30)의 외륜(33)은 세라믹 또는 합성수지로 이루어져 소음과 마찰저항이 상대적으로 줄어 마모량을 최소화한 상태로 가이드롤러를 장시간 사용할 수 있게 된다.

이상에서 살펴 본 바와 같이 본 고안은 회전하는 샤프트의 양측에 베어링부를 갖는 가이드 롤러를 구비함으로써 기판을 이송시키는 과정중에 베어링부의 외륜 경사면과 기팜이 접촉되더라도 마찰이 전혀 발생되지 않으며 이송장치가 일측으로 기울어지도록 설치 되어 가이드롤러의 베어링부 외륜과 기판이 대응 접촉된 상태에서 이송되더라도 베어링부의 외륜이 기판과 함께 구륜되므로 마찰이 전혀 발생되지 않을 뿐만 아니라 아주 작은 마찰이라 하더라도 저항을 줄여 장시간 원활하게 사용할 수 있도록 한 효과가 있다.

Claims

샤프트 일측단에는 구동기어(40)가 설치되고, 상기 구동기어(40) 내측과 샤프트(8)의 다단에 베어링 롤러(50)가 끼워져 브라켓(70)에 고정되고, 상기 샤프트(8)양측에 설치된 베어링 롤러(50') 내측 샤프트 선상에 기판(60)을 이동시킬 수 있도록 일정한 간격으로 설치된 가이드롤러(10)(10')와 상기 가이드롤러(10)(10') 중앙부에 베어링롤러(50)가 설치되어 기판을 이송시킬 수 있도록 된 반도체제조장치의 기판 이송용롤러에 있어서,

샤프트(8) 양측에 설치되어 기판(60)을 이송시킬 수 있도록 된 가이드 롤러(10) 몸체(11) 내면 일측에 형성된 확개부(12)와;

상기 가이드롤러 몸체(11) 내면 일측의 확개부(12)에 끼워지도록 경사면이 구비되어 샤프트(8)를 고정하는 고정링(20)과;

상기 고정링(20)를 지지할 수 있도록 가이드 롤러 몸체(11) 일측단의 나사부(13)에 결합되는 커플링(14)과;

상기 가이드롤러(10)(10') 중앙부 몸체(11) 외면을 내륜(32)으로하고 그 외면에 볼(31)과 외륜(33)이 결합되어 이루어진 베어링부(30)와;

상기 가이드 롤러(10)(10') 몸체 타측 외면에는 링타입의 패킹(15)이 결속된 가이드부(16)가 형성되어 기판을 이송시킬 수 있도록 된 가이드 롤러가 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 기판 이송용 가이드롤러.
제1항에 있어서,

몸체 내면의 확개부에 끼워지는 고정링은, 외면이 일측으로 테이퍼진 경사면(21)을 갖고, 일측에 다수의 절결부(22)가 형성되어 내부에 끼워지는 샤프트(8)를 가압할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 기판 이송용 가이드롤러.
제1항에 있어서,

상기 몸체 외면에 형성된 베어링부의 외륜은, 이송되는 기판(60)과 대응되는 일측면에 테이퍼진 경사면( 33')으로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 기판 이송용 가이드롤러.
제1항에 있어서,

상기 몸체 일측 가이드부는, 외면에는 링타입의 패킹(15)이 다수 설치되어 기판(60)을 이송시킬 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 기판 이송용 가이드롤러.