KR20030095126A - Double vacuum pipe and manufacturing method thereof - Google Patents

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KR20030095126A KR1020020032654A KR20020032654A KR20030095126A KR 20030095126 A KR20030095126 A KR 20030095126A KR 1020020032654 A KR1020020032654 A KR 1020020032654A KR 20020032654 A KR20020032654 A KR 20020032654A KR 20030095126 A KR20030095126 A KR 20030095126A
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Abstract

PURPOSE: A dual vacuum pipe and a method for manufacturing the same are provided to prevent attachment from being created in a pipe by forming a vacuum chamber through forming a sidewall of the pipe in a dual structure. CONSTITUTION: A dual vacuum pipe includes an inner pipe(10) connected to a vacuum pump and an outer pipe(20). A vacuum chamber(15) is formed between the inner and outer pipes(10,20). The inner pipe(10) is provided at both ends thereof with a flange(11) so that the inner pipe(10) is connected to the vacuum pump and a process chamber. The outer pipe(20) is fixed to an outer portion of the inner pipe(10) while forming a predetermined space, so that the vacuum chamber(15) is formed between the inner and outer pipes(10,20). Air contained in the vacuum chamber(15) is exhausted to an exterior through an air outlet(21). Then, the air outlet(21) is sealed so that the vacuum chamber(15) maintains a vacuum state.

Description

이중 진공배관 및 그 제조방법{ Double vacuum pipe and manufacturing method thereof }Double vacuum pipe and manufacturing method

본 발명은 진공펌프에 연결되는 진공배관 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum pipe connected to a vacuum pump and a method of manufacturing the same.

일반적으로, 진공펌프는 대기압 이하의 압력에서 공정챔버 내부의 기체를 흡입하여 대기압에서 배출하는 데 사용되는 압축기로, 공정챔버와 배관으로 연결되어 있고, 가스세척작업을 할 경우에는 가스 세척기와 배관(101)으로 연결되어 있다.In general, a vacuum pump is a compressor used to suck the gas inside the process chamber at atmospheric pressure below the atmospheric pressure and discharge it at atmospheric pressure. The vacuum pump is connected to the process chamber and the pipe. 101).

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 공정챔버에서 진공펌프까지 연결된 배관(101)과 진공펌프의 출구에서 가스 세척기까지 연결된 배관(101)은 그 내부에 있는 공정 부산물들이 외부와의 온도차에 의해 배관(101)의 내측벽에 부착되어 내경을 좁혀 진공성능을 저하시키는 문제점이 있었다.As shown in FIG. 1, the pipe 101 connected to the vacuum pump in the conventional process chamber and the pipe 101 connected to the gas washer at the outlet of the vacuum pump are connected to each other by the temperature difference between the process by-products therein and the outside. Attached to the inner wall of 101, there is a problem of narrowing the inner diameter to lower the vacuum performance.

또한, 배관(101) 내부의 다량의 부산물들이 고형화되어 진공펌프로 유입됨으로써 진공펌프의 동작에 장애를 일으키는 문제점이 있었다.In addition, since a large amount of by-products inside the pipe 101 are solidified and introduced into the vacuum pump, there is a problem in that the operation of the vacuum pump is disturbed.

이를 방지하기 위해 전기히팅을 하여 배관(101) 외부와의 온도차를 줄임으로써 부산물들의 흡착을 방지하고 있으나, 누전의 위험이 있고 발열에 의한 화재의 위험이 높으며 전기히터의 설치 및 해체작업이 복잡하고 설치비용과 유지보수비용이 과다하게 소요되는 문제점이 있었다.In order to prevent this, electric heating is performed to reduce the temperature difference with the outside of the pipe 101 to prevent the adsorption of by-products, but there is a risk of short circuit, high risk of fire due to heat generation, and the installation and dismantling of the electric heater is complicated There was a problem of excessive installation and maintenance costs.

이에 본 발명은 상기한 바의 제반 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로,배관의 측벽을 이중으로 하여 진공실을 형성함으로써 배관 내부의 온도를 일정하게 유지하여 부착물의 형성을 억제할 수 있도록 하는 이중 진공배관 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, double vacuum pipe to suppress the formation of deposits by maintaining a constant temperature inside the pipe by forming a vacuum chamber with a double side wall of the pipe And to provide a method for producing the object.

상기한 바의 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 이중 진공배관은 진공펌프에 연결되는 내관과, 상기 내관의 외측벽에 소정간격을 두고 구비되어 내관과의 사이에 진공실을 형성하는 외관을 포함하고 있다.The present invention for achieving the above object, the double vacuum pipe includes an inner tube connected to the vacuum pump, and the outer wall of the inner tube is provided with a predetermined interval to form a vacuum chamber between the inner tube. .

따라서, 외부의 온도에 의해 내관의 온도가 영향을 적게 받아 일정한 온도를 유지할 수 있게 됨으로써 내관 내부의 온도변화가 적어 외부와의 온도차에 의해 부착물이 생성되는 것을 억제할 수 있게 되는 것이다.Therefore, since the temperature of the inner tube is less affected by the temperature of the outside, it is possible to maintain a constant temperature, thereby reducing the temperature change inside the inner tube, thereby suppressing the formation of deposits due to the temperature difference with the outside.

도 1은 종래의 기술에 따른 진공배관을 나타낸 측단면도,1 is a side cross-sectional view showing a vacuum pipe according to the prior art,

도 2는 본 발명의 이중 진공배관의 제1실시예를 나타낸 측단면도,Figure 2 is a side cross-sectional view showing a first embodiment of a double vacuum pipe of the present invention,

도 3은 본 발명의 이중 진공배관의 제2실시예를 나타낸 측단면도,Figure 3 is a side cross-sectional view showing a second embodiment of a double vacuum pipe of the present invention,

도 4는 본 발명의 이중 진공배관의 제3실시예를 나타낸 측단면도,Figure 4 is a side cross-sectional view showing a third embodiment of the double vacuum pipe of the present invention,

도 5는 본 발명의 이중 진공배관의 제1실시예의 제조방법을 나타낸 흐름도,5 is a flow chart showing a manufacturing method of the first embodiment of the double vacuum pipe of the present invention;

도 6은 본 발명의 이중 진공배관의 제1실시예의 제조방법을 나타낸 공정도,6 is a process chart showing the manufacturing method of the first embodiment of the double vacuum pipe of the present invention;

도 7은 본 발명의 이중 진공배관의 제2실시예의 제조방법을 나타낸 흐름도,7 is a flow chart showing a manufacturing method of the second embodiment of the double vacuum pipe of the present invention;

도 8은 본 발명의 이중 진공배관의 제2실시예의 제조방법을 나타낸 공정도이다.8 is a process chart showing the manufacturing method of the second embodiment of the double vacuum pipe of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10,10' : 내관 11,11' : 플랜지10,10 ': inner tube 11,11': flange

15,15' : 진공실 20,20' : 외관15,15 ': Vacuum room 20,20': Exterior

21,21' : 공기출입구 25 : 연결관21,21 ': Air outlet 25: Connector

26 : 개폐밸브 27 : 릴리프밸브26: on-off valve 27: relief valve

30 : 게터 40 : 체크밸브30: getter 40: check valve

50 : 압력게이지50: pressure gauge

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 이중 진공배관의 제1실시예를 나타낸 측단면도이다.Figure 2 is a side cross-sectional view showing a first embodiment of a double vacuum pipe of the present invention.

본 발명에 따른 이중 진공배관의 제1실시예는, 진공펌프에 연결되는 내관(10)과, 상기 내관(10)의 외측벽에 소정간격을 두고 구비되어 내관(10)과의 사이에 진공실(15)을 형성하는 외관(20)을 포함한다.The first embodiment of the double vacuum pipe according to the present invention, the inner tube 10 is connected to the vacuum pump, and provided with a predetermined interval on the outer wall of the inner tube 10 and the vacuum chamber 15 between the inner tube (10) It includes the appearance 20 to form a).

상기 내관(10)은 양단에 플랜지(11)가 용접되어 설치됨으로써 진공펌프와 공정챔버에 연결된다.The inner tube 10 is connected to the vacuum pump and the process chamber by installing the flange 11 is welded at both ends.

상기 외관(20)은 상기 내관(10)의 외측에 소정간격을 두고 용접되어 고정됨으로써 내관(10)과의 사이에 진공실(15)을 형성하게 된다.The exterior 20 is welded and fixed to the outside of the inner tube 10 at a predetermined interval to form a vacuum chamber 15 between the inner tube 10.

상기 진공실(15)의 공기출입구(21)를 통해 별도의 진공펌프로 내부의 공기를 외부로 배출시키고, 공기출입구(21)를 밀봉시킴으로써 진공실(15)을 진공상태로 만들게 된다.The air is discharged to the outside by a separate vacuum pump through the air inlet 21 of the vacuum chamber 15, and the air inlet 21 is sealed to make the vacuum chamber 15 in a vacuum state.

상기 진공실(15)에 잔류 기체분자를 흡착하거나 화합해서 고체화합물을 만드는 게터(GETTER)가 투입된다.A getter (GETTER) is introduced into the vacuum chamber 15 to adsorb or combine residual gas molecules to form a solid compound.

게터(30)는 진공실(15)의 잔류 기체분자를 흡착하거나 그것과 화합해서 고체화합물을 만드는 작용이 강한 물질로, 활성탄 ·바륨 ·마그네슘 ·지르코늄 ·붉은 인 등을 사용하고, 충격으로 인해 파손되면 잔류가스를 계속 흡수하는 작용을 한다.The getter 30 is a material having a strong action of adsorbing or combining residual gas molecules in the vacuum chamber 15 to form a solid compound. The getter 30 uses activated carbon, barium, magnesium, zirconium, red phosphorus, and the like. It continues to absorb residual gas.

따라서, 상기 진공실(15)의 공기출입구(21)를 밀봉한 후에 잔류하는 공기를 제거함으로써 진공도를 높일 수 있게 된다.Accordingly, the degree of vacuum can be increased by removing the air remaining after sealing the air inlet 21 of the vacuum chamber 15.

상기 진공실(15)은 내관(10)이 외부의 공기에 직접 노출되는 것을 방지하고 외기와의 사이에 진공층을 형성함으로써 외부의 온도에 의해 내관(10)의 온도가 영향을 적게 받아 일정한 온도를 유지할 수 있게 되고, 그로 인해 내관(10) 내부의 온도변화가 적게 된다.The vacuum chamber 15 prevents the inner tube 10 from being directly exposed to the outside air and forms a vacuum layer between the outside air so that the temperature of the inner tube 10 is less affected by the outside temperature, thereby maintaining a constant temperature. It is possible to maintain, thereby reducing the temperature change inside the inner tube (10).

따라서, 상기 내관(10)의 내부에 외부와의 온도차에 의해 부착물이 생성되는 것을 억제하여 내관(10)의 내경이 좁아지는 것을 방지할 수 있고, 고형화된 부착물이 진공펌프로 유입되어 진공효율을 저하시키는 것을 방지할 수 있게 되는 것이다.Therefore, the inner diameter of the inner tube 10 can be prevented from being narrowed by preventing the formation of deposits due to the temperature difference with the outside in the inner tube 10, and the solidified deposit is introduced into the vacuum pump to improve the vacuum efficiency. It is possible to prevent the deterioration.

도 3은 본 발명의 이중 진공배관의 제2실시예를 나타낸 측단면도이다.Figure 3 is a side sectional view showing a second embodiment of the double vacuum pipe of the present invention.

본 발명에 따른 이중 진공배관의 제2실시예는, 내관(10')과 외관(20')에 의해 형성된 진공실(15')과 내관(10')의 내부를 연통시키는 연결관(25)과, 그 연결관(25)에 설치되어 상기 진공실(15')과 내관(10') 내부의 공기가 일방으로 이동하도록 하는 체크밸브(40)를 더 포함한다.The second embodiment of the double vacuum pipe according to the present invention, the connection pipe 25 for communicating the interior of the inner tube 10 'and the vacuum chamber 15' formed by the inner tube 10 'and the outer tube 20' and It further includes a check valve 40 is installed in the connecting pipe 25 to allow the air in the vacuum chamber 15 'and the inner tube 10' to move in one direction.

상기 연결관(25)은 상기 내관(10')의 내부와 진공실(15')을 연통시키는 역할을 하게 되고, 일측에 체크밸브(40)와 압력게이지(50)가 연결된다.The connecting tube 25 serves to communicate the interior of the inner tube 10 'and the vacuum chamber 15', and the check valve 40 and the pressure gauge 50 are connected to one side.

상기 체크밸브(40)는 상기 진공실(15)의 공기가 내관(10') 내부로 이동가능하게 하되, 반대로 내관(10') 내부의 공기는 진공실(15)로 유입되지 않게 하는 역할을 하게 된다.The check valve 40 allows the air in the vacuum chamber 15 to be moved into the inner tube 10 ', whereas air inside the inner tube 10' does not enter the vacuum chamber 15. .

따라서, 상기 내관(10')의 내부를 밀봉한 상태에서 내관(10') 내부의 공기를 외부로 배출시키게 되면 진공실(15')의 공기가 내관(10')의 내부를 통해 외부로 배출되어 진공실(15')이 진공화된다.Therefore, when the air inside the inner tube 10 'is discharged to the outside while the inside of the inner tube 10' is sealed, the air in the vacuum chamber 15 'is discharged to the outside through the inside of the inner tube 10'. The vacuum chamber 15 'is evacuated.

상기 압력게이지(50)는 연결관(25)의 일측에 설치되어 연결관(25) 내의 압력을 디스플레이한다.The pressure gauge 50 is installed on one side of the connecting pipe 25 to display the pressure in the connecting pipe 25.

도 4는 본 발명의 제3실시예를 나타낸 측단면도이다.4 is a side sectional view showing a third embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 이중 진공배관의 제3실시예는, 진공실(15')과 내관(10')의 내부를 연통시키는 연결관(25)과, 상기 연결관(25)을 개폐하는 개폐밸브(26)와, 상기 연결관(25)의 압력을 외부로 방출시키는 릴리프밸브(27) 및, 상기 상기 연결관(25)에 설치되어 상기 진공실(15')과 내관(10') 내부의 공기가 일방으로 이동하도록 하는 체크밸브(40)를 더 포함한다.A third embodiment of the double vacuum pipe according to the present invention, the connection pipe 25 for communicating the interior of the vacuum chamber 15 'and the inner pipe 10', and the opening and closing valve 26 for opening and closing the connection pipe 25 ), A relief valve 27 for releasing the pressure of the connecting pipe 25 to the outside, and the air inside the vacuum chamber 15 'and the inner pipe 10' installed in the connecting pipe 25 is one side. It further comprises a check valve 40 to move to.

상기 개폐밸브(26)는 상기 압력게이지(50)에 나타난 진공실(15')의 압력이 설정압력에 도달하기까지 개방되고 설정압력 도달시에 닫히게 된다.The on-off valve 26 is opened until the pressure in the vacuum chamber 15 'shown in the pressure gauge 50 reaches the set pressure and closes when the set pressure is reached.

상기 릴리프밸브(27)는 진공실(15')의 압력이 소정치를 초과하게 되면 내부압력을 외부로 방출시켜 압력에 의한 기기의 파손을 방지하게 된다.The relief valve 27 releases the internal pressure to the outside when the pressure in the vacuum chamber 15 'exceeds a predetermined value to prevent damage to the device due to the pressure.

도 5는 본 발명의 이중 진공배관의 제1실시예의 제조방법을 나타낸 흐름도이고, 도 6은 본 발명의 이중 진공배관의 제1실시예의 제조방법을 나타낸 공정도이다.5 is a flow chart showing a manufacturing method of the first embodiment of the double vacuum pipe of the present invention, Figure 6 is a process chart showing a manufacturing method of the first embodiment of the double vacuum pipe of the present invention.

본 발명에 따른 이중 진공배관의 제1실시예의 제조방법은, 진공펌프에 연결되는 내관(10)과 플랜지(11)를 용접하는 단계와, 일측에 공기출입구(21)가 형성된 외관(20)의 일측을 상기 내관(10)의 외측벽에 용접하여 진공실(15)을 형성하는 단계와, 상기 외관(20)의 일측을 내관(10)의 외측벽에 용접한 상태에서 잔류 기체분자를 흡착하거나 화합해서 고체화합물을 만드는 게터(GETTER)를 삽입하는 단계 및, 상기 내관(10)과 외관(20)을 용접하여 마감하는 단계, 상기 외관(20)의 공기출입구(21)를 밀봉하는 단계, 상기 외관(20)의 공기출입구(21)를 통해 상기 진공실(15) 내부의 공기를 배출시켜 진공상태로 만드는 단계, 상기 게터(30)에 충격을 가해 파손시킴으로써 활성화시키는 단계를 포함한다.In the manufacturing method of the first embodiment of the double vacuum pipe according to the present invention, the step of welding the inner pipe 10 and the flange 11 connected to the vacuum pump, the air outlet 21 of the outer side 20 is formed Forming a vacuum chamber 15 by welding one side to an outer wall of the inner tube 10, and adsorbing or combining residual gas molecules in a state in which one side of the outer tube 20 is welded to the outer wall of the inner tube 10 to form a solid. Inserting a getter (GETTER) to make a compound, and welding and finishing the inner tube 10 and the outer tube 20, sealing the air inlet 21 of the outer shell 20, the outer shell 20 Discharging the air in the vacuum chamber 15 through the air inlet 21 of the) to make a vacuum state, by activating by impacting the getter 30 by breaking.

상기의 전단계를 순차적으로 거쳐 이중 진공배관을 제조하는 방법을 설명하면,Referring to the method of manufacturing a double vacuum pipe through the previous step sequentially,

먼저, 내관(10)의 일단에 플랜지(11)를 용접하여 설치하고, 내관(10)의 외주면에 외관(20)의 일측을 용접하여 고정시킨다.First, the flange 11 is welded and installed at one end of the inner tube 10, and one side of the outer tube 20 is fixed to the outer circumferential surface of the inner tube 10 by welding.

상기 외관(20)의 일측이 고정설치된 상태에서 게터(30)를 투입하고 외관(20)이 마감되도록 용접하며, 내관(10)의 일측에 다른 플랜지(11)를 용접하여 설치한다.The getter 30 is put in a state in which one side of the exterior 20 is fixed and welded to finish the exterior 20, and the other flange 11 is installed on one side of the inner tube 10 by welding.

상기 외관(20)이 마감된 상태에서 진공실(15) 내부의 공기를 배출시켜 진공상태로 만든 다음, 공기출입구(21)를 밀봉한다.In the state in which the exterior 20 is finished, the air inside the vacuum chamber 15 is discharged into a vacuum state, and then the air inlet 21 is sealed.

상기 공기출입구(21)가 밀봉된 상태에서 게터(30)에 충격을 가하여 파손시킴으로써 진공실(15) 내부에 잔존하는 수분과 공기를 제거한다.When the air inlet 21 is sealed, the getter 30 is damaged by applying a shock to remove the moisture and air remaining in the vacuum chamber 15.

도 7은 본 발명의 이중 진공배관의 제2실시예의 제조방법을 나타낸 흐름도이고, 도 8은 본 발명의 이중 진공배관의 제2실시예의 제조방법을 나타낸 공정도이다.7 is a flow chart showing a manufacturing method of the second embodiment of the double vacuum pipe of the present invention, Figure 8 is a process chart showing a manufacturing method of the second embodiment of the double vacuum pipe of the present invention.

본 발명에 따른 이중 진공배관의 제2실시예의 제조방법은, 진공펌프에 연결되는 내관(10')과 플랜지(11')를 용접하는 단계와, 일측에 공기출입구(21')가 형성된 외관(20')의 일측을 상기 내관(10')의 외측벽에 용접하여 진공실(15')을 형성하는 단계와, 상기 내관(10')과 외관(20')을 용접하여 마감하는 단계 및, 상기 외관(20')의 공기출입구(21')와 내관(10')의 내부를 연통시키는 연결관(25)을 조립하는 단계, 상기 진공실(15')과 내관(10') 내부의 공기가 일방으로 이동하도록 하는 체크밸브(40)를 설치하는 단계, 압력게이지(50)를 설치하는 단계를 포함한다.In the manufacturing method of the second embodiment of the double vacuum pipe according to the present invention, the step of welding the inner pipe (10 ') and the flange (11') connected to the vacuum pump, and the appearance of the air inlet (21 ') formed on one side ( Forming a vacuum chamber 15 'by welding one side of the inner tube 10' to the outer wall of the inner tube 10 ', and finishing by welding the inner tube 10' and the outer tube 20 ', and the outer tube. Assembling a connecting tube 25 which communicates the inside of the inner tube 10 'with the air inlet 21' of the 20 ', and the air inside the vacuum chamber 15' and the inner tube 10 ' Installing a check valve 40 to move, the step of installing a pressure gauge (50).

상기의 전단계를 순차적으로 거쳐 이중 진공배관을 제조하는 방법을 설명하면,Referring to the method of manufacturing a double vacuum pipe through the previous step sequentially,

먼저, 내관(10')의 일단에 플랜지(11')를 용접하여 설치하고, 내관(10')의 외주면에 외관(20')의 일측을 용접하여 고정시키며, 외관(20')이 마감되도록 용접하고 내관(10')의 일측에 다른 플랜지(11')를 용접하여 설치한다.First, the flange 11 'is welded and installed on one end of the inner tube 10', and one side of the outer shell 20 'is welded and fixed to the outer circumferential surface of the inner tube 10', so that the outer shell 20 'is finished. Weld and install another flange 11 'on one side of the inner pipe 10'.

상기 외관(20')이 마감된 상태에서 상기 외관(20')의 공기출입구(21')와 내관(10)의 내부를 연통시키는 연결관(25)을 조립하고, 상기 연결관(25)에 체크밸브(40)를 설치하여 상기 진공실(15')의 공기가 내관(10') 내부로 이동가능하게 하되, 반대로 내관(10') 내부의 공기는 진공실(15')로 유입되지 않게 하며, 진공실(15') 내부의 압력을 측정하여 디스플레이하는 압력게이지(50)를 설치한다.In the state in which the exterior 20 'is finished, the connecting tube 25 for communicating the inside of the inner tube 10 and the air inlet 21' of the exterior 20 'is assembled, and in the connecting tube 25 The check valve 40 is installed to allow the air in the vacuum chamber 15 'to move into the inner tube 10', whereas the air inside the inner tube 10 'does not flow into the vacuum chamber 15'. A pressure gauge 50 for measuring and displaying the pressure inside the vacuum chamber 15 'is installed.

상기 체크밸브(40)와 압력게이지(50)가 설치된 상태에서 내관(10')의 양단에 설치된 플랜지(11')를 밀봉한 상태에서 내관(10')의 내부와 진공실(15')의 공기를 외부로 배출시킴으로써 진공실(15')을 진공상태로 만들게 된다.The air inside the inner tube 10 'and the vacuum chamber 15' in the state in which the flange 11 'installed at both ends of the inner tube 10' is sealed while the check valve 40 and the pressure gauge 50 are installed. By discharging the gas to the outside, the vacuum chamber 15 'is made into a vacuum state.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 이중 진공배관 및 그 제조방법에 의하면, 진공배관의 측벽에 진공층을 형성하여 진공배관의 내부에 외부와의 온도차에 의해 부착물이 생성되는 것을 억제함으로써 배관의 내경이 좁아지는 것을 방지할 수 있고, 고형화된 부착물이 진공펌프로 유입되어 진공효율을 저하시키는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the double vacuum pipe and the method of manufacturing the same, the inner diameter of the pipe is formed by forming a vacuum layer on the side wall of the vacuum pipe and suppressing the formation of deposits due to the temperature difference with the outside inside the vacuum pipe. This narrowing can be prevented, and there is an effect of preventing the solidified deposit from flowing into the vacuum pump and lowering the vacuum efficiency.

Claims (5)

진공펌프에 연결되는 내관(10)과;An inner tube 10 connected to the vacuum pump; 일측에 공기출입구(21)가 형성되고, 상기 내관(10)의 외측벽에 소정간격을 두고 구비되어 내관(10)과의 사이에 진공실(15)을 형성하는 외관(20);을 포함하는 이중 진공배관.An air outlet 21 is formed on one side, the outer wall of the inner tube 10 is provided with a predetermined interval to form a vacuum chamber 15 between the inner tube 10 and the outer tube 20; including a double vacuum pipe. 제1항에 있어서, 상기 진공실(15)에 잔류 기체분자를 흡착하거나 화합해서 고체화합물을 만드는 게터(GETTER)를 더 구비한 것을 특징으로 하는 이중 진공배관.The double vacuum pipe according to claim 1, further comprising a getter (GETTER) which adsorbs or combines residual gas molecules into the vacuum chamber (15) to form a solid compound. 제1항에 있어서, 상기 진공실(15)과 내관(10)의 내부가 연결관(25)으로 연통되고, 그 연결관(25)에 상기 진공실(15)과 내관(10) 내부의 공기가 일방으로 이동하도록 하는 체크밸브(40)를 더 구비한 것을 특징으로 하는 이중 진공배관.According to claim 1, wherein the interior of the vacuum chamber 15 and the inner tube 10 is connected to the connecting tube 25, the air inside the vacuum chamber 15 and the inner tube 10 to one side of the connecting tube (25). Double vacuum pipe, characterized in that it further comprises a check valve to move to. 진공펌프에 연결되는 내관(10)과 플랜지(11)를 용접하는 단계;와Welding the inner tube 10 and the flange 11 connected to the vacuum pump; and 일측에 공기출입구(21)가 형성된 외관(20)의 일측을 상기 내관(10)의 외측벽에 용접하여 진공실(15)을 형성하는 단계;와Forming a vacuum chamber 15 by welding one side of an exterior 20 having an air inlet 21 at one side to an outer wall of the inner tube 10; and 상기 외관(20)의 일측을 내관(10)의 외측벽에 용접한 상태에서 잔류 기체분자를 흡착하거나 화합해서 고체화합물을 만드는 게터(GETTER)를 삽입하는 단계; 및Inserting a getter (GETTER) for adsorbing or combining residual gas molecules to form a solid compound in a state in which one side of the exterior 20 is welded to the outer wall of the inner tube 10; And 상기 내관(10)과 외관(20)을 용접하여 마감하는 단계;Welding the inner tube 10 and the exterior 20 to finish; 상기 외관(20)의 공기출입구(21)를 밀봉하는 단계;Sealing the air outlet (21) of the exterior (20); 상기 외관(20)의 공기출입구(21)를 통해 상기 진공실(15) 내부의 공기를 배출시켜 진공상태로 만드는 단계;Discharging the air in the vacuum chamber 15 through the air inlet 21 of the exterior 20 to make a vacuum state; 상기 게터(30)에 충격을 가해 파손시킴으로써 활성화시키는 단계;를 포함하는 이중 진공배관의 제조방법.And actuating the getter (30) by applying a shock to the getter (30). 진공펌프에 연결되는 내관(10)과 플랜지(11)를 용접하는 단계;와Welding the inner tube 10 and the flange 11 connected to the vacuum pump; and 일측에 공기출입구(21)가 형성된 외관(20)의 일측을 상기 내관(10)의 외측벽에 용접하여 진공실(15)을 형성하는 단계;와Forming a vacuum chamber 15 by welding one side of an exterior 20 having an air inlet 21 at one side to an outer wall of the inner tube 10; and 상기 내관(10)과 외관(20)을 용접하여 마감하는 단계; 및Welding the inner tube 10 and the exterior 20 to finish; And 상기 외관(20)의 공기출입구(21)와 내관(10)의 내부를 연통시키는 연결관(25)을 조립하는 단계;Assembling a connecting tube 25 which communicates the inside of the inner tube 10 with the air inlet 21 of the exterior 20; 상기 진공실(15)과 내관(10) 내부의 공기가 일방으로 이동하도록 하는 체크밸브(40)를 설치하는 단계;를 포함하는 이중 진공배관의 제조방법.And installing a check valve (40) to allow the air inside the vacuum chamber (15) and the inner tube (10) to move in one direction.
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