KR20030085910A - 유기 전계 발광 표시 소자의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기 전계 발광 표시소자의 제조방법에 관한 것으로, 투명 양극전극을 기판에 증착시킨 후, 레이저광을 투명 양극전극의 상부에 조사하여, 투명 양극전극의 상부를 재결정시키는 공정을 포함시켜 유기 전계 발광 표시소자를 제조함으로써, 전기적 특성을 향상시키고, 재결정으로 투명 양극전극의 상부가 평탄화되어 전기적인 층간 쇼트현상 및 다크 스팟의 형성을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

유기 전계 발광 표시 소자의 제조방법{Method of manufacturing organic electro luminescence display}
본 발명은 유기 전계 발광 표시소자의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 투명 양극전극을 증착한 후에, 레이저광으로 투명 양극전극 상부를 재결정(Recrystallization)시켜 전기적 특성을 향상시키고, 재결정으로 투명 양극전극의 상부가 평탄화되어 전기적인 층간 쇼트현상 및 다크 스팟의 형성을 방지할 수 있는 유기 전계 발광 표시소자의 제조방법에 관한 것이다.
최근, 정보통신기술의 발달로, 다양화된 정보화 사회의 요구에 따라, 전자 디스플레이의 수요가 증가되고 있고, 요구되는 디스플레이 또한 다양해지고 있다.
이와 같이, 다양화된 정보화 사회의 요구를 만족시키기 위하여, 전자 디스플레이 소자는 고정세화, 대형화, 저가격화, 고성능화, 박형화, 소형화 등의 특성을 가질 것이 요구되고 있으며, 이를 위해, 기존의 음극선관(Cathode Ray Tube, CRT) 이외에 새로운 평판 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)소자가 개발되고 있다.
이러한 평판 디스플레이 중의 하나가 전계 발광 디스플레이(Electro luminescent Display)이다. 전계 발광 디스플레이는 발광층으로 사용하는 물질의 종류에 따라, 유기 전계 발광 표시소자(Organic Electro Luminescent Display)와 무기 전계 발광 표시소자(Inorganic Electro Luminescent Display)로 분류된다.
무기 전계 발광 표시소자는 높은 전기장에 의하여 가속된 전자의 충돌을 이용하여 발광하는 소자로서, 박막의 두께와 구동방식에 따라, 교류박막 전계 발광표시소자, 교류후막 전계 발광 표시소자 및 직류후막 전계 발광 표시소자 등으로 분류된다.
그리고, 유기 전계 발광 표시소자는 전류의 흐름에 의해 발광하는 소자로서, 발광층인 유기물질의 구분에 따라, 저분자 유기 전계 발광 표시소자와 고분자 유기 전계 발광 표시소자로 분류된다.
그리고, 유기 전계 발광 표시소자는 전류의 흐름에 의해 발광하는 소자로서, 발광층인 유기물질의 구분에 따라, 저분자 유기 전계 발광 표시소자와 고분자 유기 전계 발광 표시소자로 구분된다.
도 1은 종래의 유기 전계 발광 표시소자의 개략도로서, 투명기판(10)의 상부에 투명 양극전극(11)이 형성되어 있고, 상기 투명 양극전극(11)의 상부에 일정 간격으로 격벽들(20a,20b)이 형성되어 있으며, 상기 격벽들(20a,20b) 사이의 투명 양극전극(11)의 상부에 정공주입층(12), 정공수송층(13), 발광층(14), 전자수송층(15), 전자주입층(16)과 음극전극(17)이 순차적으로 적층되어 형성되어 있다.
이러한 종래의 유기 전계 발광 표시소자는 격벽들(20a,20b)에 의해 음극전극(17)들이 분리되어 있고, 투명 양극전극(11)과 음극전극(17)에 선택적으로 인가된 전류에 의해 발광층(14)에서는 광이 발생되어 투명기판(10)을 통하여 외부로 방출된다.
그런데, 종래의 유기 전계 발광 표시소자는 도 2에 도시된 바와 같이, 투명 양극전극(11)이 증착되면, 증착된 표면이 평평하지 못하고, 거친 표면(11')을 유지하게 된다.
그리고, 도 3에 도시된 바와 같이, 증착된 투명 양극전극(11)의 거친 표면(11')에는 종종 피크형태의 돌출부(11a)가 형성되어, 이후, 투명 양극전극(11)의 상부에 발광층을 포함하는 유기 적층막(30)과 음극전극(31)이 순차적으로 적층되면, 상기 피크형태의 돌출부(11a)가 유기 적층막(30)을 관통하여 음극전극(31)과 접촉되어 전기적인 쇼트(Short)가 발생되는 문제점을 야기시킨다.
더불어, 투명 양극전극(11)의 거친 표면(11') 일부는 소자가 제조된 후에 다크 스팟(Dark Spot)이 형성되는 원인이 되어 소자의 특성을 저하시키게 되었다.
이에 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 투명 양극전극을 증착한 후에, 레이저광으로 투명 양극전극 상부를 재결정(Recrystallization)시켜 전기적 특성을 향상시키고, 재결정으로 투명 양극전극의 상부가 평탄화되어 전기적인 층간 쇼트현상 및 다크 스팟의 형성을 방지할 수 있는 유기 전계 발광 표시소자의 제조방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 바람직한 양태(樣態)는, 기판의 상부에 투명양극전극, 발광층을 포함하는 유기적층막과 음극전극을 순차적으로 적층시켜, 투명양극전극과 음극전극에 인가된 전압으로 발광층에서 광을 방출하는 유기 전계 발광 표시소자를 제조하는 방법에 있어서,
상기 투명 양극전극을 기판에 증착시킨 후,
레이저광을 투명 양극전극의 상부에 조사하여, 투명 양극전극의 상부를 재결정시키는 공정이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 제조방법이 제공된다.
도 1은 종래의 유기 전계 발광 표시소자의 개략도이다.
도 2는 일반적인 투명 양극전극이 기판에 증착된 단면의 모식도이다.
도 3은 투명 양극전극의 피크형 돌출부와 음극전극이 전기적 쇼트가 되는 상태를 도시한 모식도이다.
도 4a 내지 4c는 본 발명에 따라 레이저광으로 투명 양극전극의 일부를 재결정시키는 공정순서도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 투명기판 11 : 투명양극전극
12 : 정공주입층 13 : 정공수송층
14 : 발광층 15 : 전자수송층
16 : 전자주입층 17,31 : 음극전극
20a,20b : 격벽 30 : 유기적층막
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 4a 내지 4c는 본 발명에 따라 레이저광으로 투명 양극전극의 일부를 재결정시키는 공정순서도로서, 먼저, 투명기판(10)의 상부에 투명 양극전극(11)을 형성한다.(도 4a)
여기서, 투명 양극전극(11)은 ITO(Indium Tin Oxide)막 또는 IZO(Indium Zinc Oxide)막이 바람직하다.
이 때, 투명기판(10)의 상부에는 투명 양극전극(11)을 증착한 후, 사진식각공정을 수행하여, 각각 분리된 양극전극라인을 형성하고, 후 공정에서, 디스플레이의 픽셀인 발광층을 포함하는 복수의 각각 분리된 유기적층막들을 양극전극라인의 상부에 형성하고, 유기적층막들의 상부에 상기 양극전극라인들과 교차되는 음극전극라인들을 형성함으로써, 디스플레이를 구현할 수도 있다.
그 후, 상기 투명 양극전극(11)의 상부에 레이저광을 조사하여, 투명 양극전극(11)의 상부를 멜팅(Melting)시켜 투명 양극전극(11)의 상부를 평탄화시킨다.(도 4b)
여기서, 레이저광은 304㎚의 파장을 갖는 XeF 레이저를 광원으로 사용하는 것이 바람직하다.
이러한 투명 양극전극(11)의 상부에 레이저광이 조사되면, 최초 증착된 투명전극 영역(11a)의 상부에는 재결정된 투명전극 영역(11b)이 형성된다.(도 4c)
상기 재결정된 투명전극 영역(11b)은 종래의 증착된 투명전극보다 결정의 크기가 커져서 전기저항이 낮아지게 되어 전기적 특성을 향상시키게 된다.
그리고, 재결정된 투명전극 영역(11b)은 전반적으로 평탄화 되지만, 레이저광으로 멜팅된 투명양극전극의 상부를 대단히 매끄러운 지그로 눌르는 등의 추가적인 평탄화공정을 수행하여 보다 균일하게 평탄화시킬 수 있다.
따라서, 이렇게 투명 양극전극이 평탄화되면, 종래의 제조방법에서 발생되었던 전기적인 쇼트현상 및 다크 스팟(Dark spot)의 형성과 같은 문제점을 방지할 수 있게 된다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명은 투명 양극전극을 증착한 후에, 레이저광으로 투명 양극전극 상부를 재결정(Recrystallization)시켜 전기적 특성을 향상시키고, 재결정으로 투명 양극전극의 상부가 평탄화되어 전기적인 층간 쇼트현상 및 다크 스팟의 형성을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며,이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (5)

  1. 기판의 상부에 투명양극전극, 발광층을 포함하는 유기적층막과 음극전극을 순차적으로 적층시켜, 투명양극전극과 음극전극에 인가된 전압으로 발광층에서 광을 방출하는 유기 전계 발광 표시소자를 제조하는 방법에 있어서,
    상기 투명 양극전극을 기판에 증착시킨 후,
    레이저광을 투명 양극전극의 상부에 조사하여, 투명 양극전극의 상부를 재결정시키는 공정이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 재결정시키는 공정 후, 상기 투명 양극전극의 상부를 평탄화시키는 공정이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 제조방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 투명 양극전극은 ITO(Indium Tin Oxide)막 또는 IZO(Indium Zinc Oxide)막인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 제조방법.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 레이저광은 304㎚인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 제조방법.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 레이저광은 XeF 레이저에서 방출되는 레이저광인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 제조방법.
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