KR20030074136A - Light emitting display element, organic el display element and method for manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
발광 소자의 전극과 인출 전극의 접속 부분에서의 전기 저항을 작게 하여 양호한 신호 공급을 행한다.Good signal supply is performed by reducing the electrical resistance at the connection portion between the electrode of the light emitting element and the extraction electrode.
투명 기판(1) 상에 제1 전극(2), 유기층(3) 및 제2 전극(4)을 차례로 적층하여 유기 EL 소자를 형성하고, 실링 부재(8) 내에 제2 전극(4)을 형성하는 금속 전극(4L)과 금속 인출 전극층(6)의 접속 부분(S)을 형성하여, 이 접속 부분(S)에 레이저광 조사에 의한 용융 접합부(9a)를 형성하였다.The first electrode 2, the organic layer 3, and the second electrode 4 are sequentially stacked on the transparent substrate 1 to form an organic EL element, and the second electrode 4 is formed in the sealing member 8. The connection part S of the metal electrode 4L and the metal extraction electrode layer 6 which were mentioned above was formed, and the fusion | bonding junction part 9a by laser beam irradiation was formed in this connection part S. FIG.
Description
본 발명은 발광 소자에서의 전극에 대하여 표시 신호를 공급하는 인출 전극을 접속시킨 발광 표시 장치, 발광 표시 장치의 하나인 유기 EL 표시 장치, 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a light emitting display device in which a drawing electrode for supplying a display signal to an electrode in a light emitting element is connected, an organic EL display device which is one of light emitting display devices, and a manufacturing method thereof.
자기 발광형의 발광 표시 장치로는 근래 여러 가지가 개발되어 있지만, 기본적인 구조는 점등 또는 비점등의 구동이 가능한 발광 소자를 요소로 하여, 이 발광 소자를 평면적으로 배열한 것이다. 이러한 발광 표시 장치로는 방전 공간에 의해서 구획된 셀을 발광 소자로 하는 PDP(Plasma Display Panel)를 비롯하여 VFE(Vacuum Fluorescence Display), EL(Electroluminescencc), LED(Light Emitting Diode), FED(Field Emission Display) 등을 예로 들 수 있다. 이러한 발광 표시 장치의 중에서, 특히 저전압으로 고휘도의 면(面) 발광을 얻을 수 있고 재료 선택에 의해 색 순도가 높은 RGB 발광을 얻을 수 있는 유기 EL 소자를 요소로 한 유기 EL 표시 장치가 초박형·경량화 및 풀 컬러(full color)화를 가능하게 하는 표시 장치로서 주목을 모으고 있다.Various self-emission light emitting display devices have been developed in recent years, but the basic structure is a light emitting element capable of driving light or non-lighting, and the light emitting elements are arranged in a planar manner. Such a light emitting display device includes a plasma display panel (PDP) that uses cells partitioned by discharge spaces as light emitting elements, a vacuum fluorescence display (VFE), an electroluminescencc (EL), a light emitting diode (LED), and a field emission display (FED). ) And the like. Among such light emitting display devices, an organic EL display device having an organic EL element capable of obtaining high luminance surface emission at low voltage and obtaining RGB light emission having high color purity by material selection is particularly thin and lightweight. And a display device that enables full colorization.
이 유기 EL 소자는 정(正)전압이 인가되는 양극과 부(負)전압이 인가되는 음극으로 이루어지는 한 쌍의 전극 사이에 발광 기능층을 포함하는 유기층을 사이에 둔 것이며, 전극 사이에 전압을 인가함으로써 음극으로부터 전자가, 양극으로부터 정공이 각각 유기층에 주입되어 이 유기층 속에서 전자-정공 재결합이 일어남으로써 발광이 생기는 것이다. 이러한 유기 EL 소자로 이루어지는 유기 EL 표시 장치의 종래예를 도 4를 이용하여 설명한다.The organic EL device is provided with an organic layer including a light emitting functional layer between a pair of electrodes consisting of an anode to which a positive voltage is applied and a cathode to which a negative voltage is applied, and a voltage is applied between the electrodes. When applied, electrons are injected from the cathode and holes are injected from the anode into the organic layer, respectively, and electron-hole recombination occurs in the organic layer to generate light emission. The conventional example of the organic electroluminescence display which consists of such organic electroluminescent element is demonstrated using FIG.
유기 EL 표시 장치는 투명 기판(1)의 한쪽 측면 상에, ITO 등의 투명 전극으로 이루어지는 제1 전극(양극)(2), Alq3등의 발광 재료로 이루어지는 발광 유기층을 포함하는 유기층(3), Al 등의 금속 전극으로 이루어지는 제2 전극(음극)(4)을 차례로 적층한 유기 EL 소자로 이루어지는 것으로, 이 유기 EL 소자의 제1 전극(2) 및 제2 전극(4)에서는 표시 신호를 공급하기 위한 인출 전극(5A, 5B)가 형성되어 있다.The organic EL display device includes, on one side of the transparent substrate 1, an organic layer 3 including a first electrode (anode) 2 made of a transparent electrode such as ITO and a light emitting organic layer made of a light emitting material such as Alq 3 . And an organic EL element in which a second electrode (cathode) 4 made of a metal electrode such as Al or the like is laminated in this order, and the display signal is transmitted from the first electrode 2 and the second electrode 4 of the organic EL element. Leading electrodes 5A and 5B for supplying are formed.
여기서, 제1 전극(2)측의 인출 전극(5A)은 제1 전극(2)을 형성할 때의 투명 전극층(2L) 상에 배선 저항을 낮추기 위한 금속 인출 전극층(6)을 형성하며, 이 인출 전극(5A)과 제2 전극(4) 사이는 절연막(7A)을 형성하여 단락 방지를 꾀하고 있다. 또한, 제2 전극측의 인출 전극(5B)은 패터닝된 투명 전극층(2L) 상에 금속 인출 전극층(6)을 형성하고, 그 위에 제2 전극(4)에 연결되는 금속 전극층(4L)을 형성하며, 이 인출 전극(5B)과 제1 전극(2) 사이는 절연막(7B)을 형성하여 단락 방지를 꾀하고 있다. 또한 이 유기 EL 소자는 외기(外氣)에 접촉하면 열화가 현저하기 때문에 실링 부재(8)를 설치하여 유기 EL 소자의 발광 영역(L) 부근을 기밀 상태로 밀봉한다.Here, the lead electrode 5A on the side of the first electrode 2 forms a metal lead electrode layer 6 for lowering the wiring resistance on the transparent electrode layer 2L when the first electrode 2 is formed. An insulating film 7A is formed between the lead electrode 5A and the second electrode 4 to prevent short circuit. Further, the lead electrode 5B on the second electrode side forms a metal lead electrode layer 6 on the patterned transparent electrode layer 2L, and forms a metal electrode layer 4L connected thereon to the second electrode 4. The insulating film 7B is formed between the lead electrode 5B and the first electrode 2 to prevent short circuit. In addition, since the organic EL element deteriorates remarkably when it comes into contact with outside air, a sealing member 8 is provided to seal the light emitting region L of the organic EL element in an airtight state.
이러한 유기 EL 표시 장치의 제조 공정은, 먼저 투명 기판(1) 상에 투명 전극층(2L)을 형성한 후, 이를 표시에 필요한 패턴으로 패터닝하여 제1 전극(2)을 형성하고, 아울러 이 투명 전극층(2L)으로 인출 전극(5A, 5B)의 베이스를 형성한다.In the manufacturing process of such an organic EL display device, first, the transparent electrode layer 2L is formed on the transparent substrate 1, and then patterned into a pattern required for display to form the first electrode 2, and the transparent electrode layer The base of the lead electrodes 5A and 5B is formed by 2L.
다음에, Cr 등으로 이루어지는 금속 인출 전극층(6)을 투명 전극층(2L) 상에 형성한 후, 이것을 패터닝하여 인출 전극(5A, 5B)을 형성한다. 그리고, 발광 영역(L)을 만들어 절연막(7A, &B)을 형성한 후, 제1 전극(2)의 노출면 상에 유기층(3)을 형성하여 그 유기층(3) 위 및 인출 전극(5B)의 금속 인출 전극층(6) 위에 금속 전극층(4L)을 형성하여 유기층(3) 상에 제2 전극(4)을 형성한다. 그리고 그 위에 발공 영역(L)을 덮도록 실링 부제(8)를 피복하여 실링 처리를 한다.Next, after forming the metal lead-out electrode layer 6 made of Cr or the like on the transparent electrode layer 2L, the lead-out electrodes 5A and 5B are formed by patterning it. After the light emitting region L is formed to form the insulating films 7A and & B, the organic layer 3 is formed on the exposed surface of the first electrode 2, on the organic layer 3 and the extraction electrode 5B. The metal electrode layer 4L is formed on the metal lead-out electrode layer 6, and the second electrode 4 is formed on the organic layer 3. Then, the sealing subsidiary 8 is coated to cover the pore area L thereon, and the sealing treatment is performed.
이 종래예의 제2 전극(4)측의 인출 전극(5B)은 Al 등으로 이루어지는 금속 전극층(4L)을 실링 부재(8) 밖으로 노출시키고, 이 노출시킨 금속 전극층(4L)과 ITO 등으로 이루어지는 투명 전극층(2L)의 사이에 금속 인출 전극층(6)을 사이에 둔 구조를 이루고 있다.The lead electrode 5B on the side of the second electrode 4 of this conventional example exposes the metal electrode layer 4L made of Al or the like out of the sealing member 8, and the transparent electrode made of the exposed metal electrode layer 4L and ITO or the like. The metal extraction electrode layer 6 is sandwiched between the electrode layers 2L.
이러한 구조를 취한 이유는 ITO 등으로 이루어지는 투명 전극층(2L) 상에 직접 Al 등의 금속 전극층(4L)을 접촉시키면 금속 전극층(4L)이 부식하기 쉽기 때문이지만, 이러한 인출 전극(5B) 구조에서는 금속 전극층(4L)의 표면이 외부에 노출되기 때문에 열·습기의 영향으로 금속 전극층(4L)의 노출 부분이 열화하여 제2 전극(4)에의 전기 공급에 지장이 생기는 문제가 있다. 또한, 제2 전극(4)을 형성하는 금속 전극층(4L)을 인출 전극(5B) 상에 형성할 때에 제2 전극으로 기능하는 부분과 인출 전극으로 기능하는 부분에서 서로 다른 패턴이 되기 때문에 각각 상이한 패턴을 형성하기 위한 마스크가 2매 필요하고, 또 상이한 패턴을 형성하기 위하여 공정적으로도 복잡하게 되며, 비용도 높아지는 다른 문제도 있다.The reason for taking this structure is that when the metal electrode layer 4L such as Al is directly contacted on the transparent electrode layer 2L made of ITO or the like, the metal electrode layer 4L is easily corroded. Since the surface of the electrode layer 4L is exposed to the outside, there is a problem that the exposed portion of the metal electrode layer 4L is deteriorated under the influence of heat and moisture, and thus, the supply of electricity to the second electrode 4 is disturbed. In addition, when the metal electrode layer 4L forming the second electrode 4 is formed on the lead electrode 5B, different patterns are formed in the portion serving as the second electrode and the portion serving as the lead electrode. Two masks for forming a pattern are required, and in order to form different patterns, there are other problems that are complicated in process and high in cost.
이것에 대처한 다른 종래예로서, 도 5에 도시한 바와 같은 구조가 채용된다(전술한 종래예와 동일한 부분은 동일한 부호를 부여하여 중복하는 설명을 일부 생??한다). 이 종래예에서는 제2 전극(4)은 유기층(3) 위와 인출 전극(5B)에서의 금속 인출 전극층(6)의 일부에 걸치는 접속 부분(S) 위에만 형성되고, 이 제2 전극 전체를 실링 부재(8) 내에 수용하여 기밀로 밀봉하고 있다. 즉, 인출 전극(5B)은 투명 전극층(2L) 상에 금속 인출 전극층(6)을 형성한 것뿐인 구조를 이루고 있다.As another conventional example to cope with this, a structure as shown in Fig. 5 is employed (the same parts as those in the above-described conventional example are given the same reference numerals, and some overlapping explanations are made). In this conventional example, the second electrode 4 is formed only on the organic layer 3 and on the connection portion S that extends over a part of the metal withdrawal electrode layer 6 in the lead electrode 5B, and seals the entire second electrode. It is accommodated in the member 8 and sealed by airtightness. That is, the lead-out electrode 5B has only the structure which formed the metal lead-out electrode layer 6 on the transparent electrode layer 2L.
이 종래예에서는 금속 전극층(4L)은 제2 전극(4)으로서의 패턴을 형성하는 것만으로 끝나므로 단일 마스크를 이용하여 형성할 수 있으며, 공정도 단순화할 수 있어 비용면에서도 유리하며, 또 제2 전극(4)을 형성하는 금속 전극층(4L)을 완전히 밀봉하기 때문에 전극이 열화하여 전기 공급에 지장이 발생하는 경우는 없다.In this conventional example, since the metal electrode layer 4L only needs to form a pattern as the second electrode 4, the metal electrode layer 4L can be formed using a single mask, and the process can be simplified, which is advantageous in terms of cost. Since the metal electrode layer 4L forming the electrode 4 is completely sealed, the electrode is not deteriorated, and thus no disturbance occurs in the electrical supply.
그러나, 제2 전극(4)과 인출 전극(5B) 사이에는 이송 금속간 접합이고, 그것도 접촉 면적이 작은 접속 부분(S)을 사이에 두게되고, 또 인출 전극(5B) 상에 금속 전극층(4L)을 형성하기까지의 사이에 통상 열처리 공정을 사용하므로 인툴 전극(5B) 표면에 산화막이 발생하기 쉽고, 충분히 접촉 저항을 작게할 수 없는 문제가 있었다.However, between the second electrode 4 and the lead-out electrode 5B, it is a junction between the transport metals, which also has a connection portion S having a small contact area therebetween, and the metal electrode layer 4L on the lead-out electrode 5B. Since the heat treatment process is usually used until the formation of the N-M), an oxide film is easily generated on the surface of the in-tool electrode 5B, and there is a problem that the contact resistance cannot be sufficiently reduced.
그래서, 여기서는 유기 EL 표시 장치를 예로 들어 설명하고 있지만 이것에 한정되지 않으며, 발광 소자를 요소로 하는 다른 발광 표시 장치에서도 발광 소자의 전극과 인출 전극 사이에 접속 부분을 갖는 것에서는 동일한 문제가 발생하고 있다.Therefore, although the organic EL display device is described here as an example, the present invention is not limited thereto, and the same problem occurs in other light emitting display devices using the light emitting element as having a connection portion between the electrode and the extraction electrode of the light emitting element. have.
본 발명은 이러한 사정에 대처하기 위하여 제안된 것으로, 표시 신호가 공급되는 전극을 구비한 발광 소자로 이루어지며, 이 전극에 대해 표시 신호?? 공급하기 위한 인출 전극을 접속 한 발광 표시 장치, 이러한 발광 표시 장치의 하나인 유기 EL 표시 장치 및 그 제조 방법으로서, 이 전극과 인출 전극의 접합 부분에서의 전기 저항을 작게하여 양호한 신호 공급을 행하는 것을 과제로 한다.The present invention has been proposed to cope with this situation, and comprises a light emitting element having an electrode to which a display signal is supplied. A light emitting display device which is connected to a drawing electrode for supplying, an organic EL display device which is one of such light emitting display devices, and a method of manufacturing the same, wherein the electrical resistance at the junction between the electrode and the drawing electrode is reduced to provide good signal supply. It is a task.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 EL 표시 장치를 나타내는 설명도이다.1 is an explanatory diagram showing an organic EL display device according to an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 설명도이다.2 is an explanatory diagram showing another embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예를 나타내는 설명도이다.3 is an explanatory diagram showing still another embodiment of the present invention.
도 4는 종래예의 유기 EL 표시 장치를 나타내는 설명도이다.4 is an explanatory diagram showing an organic EL display device of a conventional example.
도 5는 종래예의 유기 EL 표시 장치를 나타내는 설명도이다.5 is an explanatory diagram showing an organic EL display device of a conventional example.
* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *Description of the main symbols in the drawings
1 : 투명 기판2 : 제1 전극DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent substrate 2 First electrode
3 : 유기층4 : 제2 전극3: organic layer 4: second electrode
5A, 5B : 인출 전극6 : 금속 인출 전극층5A, 5B: lead-out electrode 6: metal lead-out electrode layer
7A, 7B : 절연막8 : 실링 부재7A, 7B: insulating film 8: sealing member
9a, 9b : 용융 접합부L : 발광 영역9a, 9b: melt junction L: light emitting region
S : 접속 부분S: connection part
상기한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 이하여 특징을 갖는 것이다.In order to solve the above problems, the present invention has the following features.
청구항 1에 따른 발명은 투명 기판 상에 형성된 제1 전극, 상기 제1 전극 상에 형성된 최소한 한 층 이상의 발광 기능층, 및 상기 발광 기능층 상에 형성된 제2 전극을 구비한 발광 소자로 이루어지고, 상기 제2 전극에 표시 신호를 공급하기 위한 인출 전극을 접속한 발광 표시 장치로서, 상기 제2 전극과 상기 인출 전극의 접속 부분의 적어도 한 곳 이상을 용융 접합한 것을 특징으로 한다.The invention according to claim 1 consists of a light emitting element having a first electrode formed on a transparent substrate, at least one light emitting functional layer formed on the first electrode, and a second electrode formed on the light emitting functional layer, A light emitting display device in which a drawing electrode for supplying a display signal to the second electrode is connected, wherein at least one or more portions of the connection portion of the second electrode and the drawing electrode are melt-bonded.
제2항에 따른 발명은 투명 기판 상에 형성된 제1 전극, 상기 제1 전극 상에 형성된 적어도 한 층 이상의 발광 기능층, 및 상기 발광 기능층 상에 형성된 제2 전극을 구비한 발광 소자로 이루어지며, 상기 제2 전극에 표시 신호를 공급하기 위한 인출 전극을 접속한 발광 표시 장치로서, 상기 발광 소자를 덮는 실링 부재(sealing member)를 설치하고, 상기 제2 전극 전체를 상기 실링 부재로 밀봉하는 동시에 상기 상기 실링 부재 내에 상기 제2 전극과 상기 인출 전극을 접속하는 접속 부분을 형성하며, 상기 접속 부분의 적어도 한 곳 이상을 용융 접합한 것을 특징으로 한다.The invention according to claim 2 consists of a light emitting element having a first electrode formed on a transparent substrate, at least one light emitting functional layer formed on the first electrode, and a second electrode formed on the light emitting functional layer. And a light emitting display device connected to an extraction electrode for supplying a display signal to the second electrode, wherein a sealing member is provided to cover the light emitting element, and the entire second electrode is sealed with the sealing member. A connecting portion for connecting the second electrode and the lead electrode is formed in the sealing member, and at least one or more of the connecting portions are melt-bonded.
제3항에 따른 발명은 제1항, 제2항의 발광 표시 장치를 전제로 하여, 상기인출 전극은 상기 제2 전극과 다른 금속으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The invention according to claim 3, wherein the extraction electrode is formed of a metal different from that of the second electrode on the premise of the light emitting display device of claims 1 and 2.
제4항에 따른 발명은 제3항의 발광 표시 장치를 전제로 하여, 상기 제1 전극은 투명 전극이며, 상기 제2 전극은 금속 전극인 것을 특징으로 한다.The invention according to claim 4 is based on the light emitting display device of claim 3, wherein the first electrode is a transparent electrode, and the second electrode is a metal electrode.
제5항에 따른 발명은 제1항 ∼ 제4항의 발광 표시 장치를 전제로 하여, 상기 접속 부분의 용융 접합은 레이저광의 조사로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The invention according to claim 5 is based on the light emitting display device of any of claims 1 to 4, wherein the fusion bonding of the connection portion is made of laser light irradiation.
제6항에 따른 발명은 제1항 ∼ 제5항의 발광 표시 장치를 전제로 하고, 상기발광 소자는 유기 EL 소자인 것을 특징으로 한다.The invention according to claim 6 assumes the light emitting display device of any of claims 1 to 5, wherein the light emitting element is an organic EL element.
제7항에 따른 발명의 유기 EL 표시 장치는 투명 기판 상에 형성된 투명 전극층으로 이루어지는 제1 전극, 상기 제1 전극 상에 형성된 적어도 한 층 이상의 발광 기능층으로 이루어지는 유기층, 및 상기 유기층 상에 형성된 금속 전극층으로 이루어지는 제2 전극을 구비한 유기 EL 소자로 이루어지며, 상기 제2 전극에 표시신호를 공급하기 위한 인출 전극을 접속한 유기 EL 표시 장치로서, 상기 인출 전극은 상기 제1 전극으로부터 절연된 상기 투명 전극층 상에 형성된 금속 인출 전극층으로 이루어지고, 상기 금속 인출 전극층 상의 일부에 상기 제2 전극과의 접속 부분을 형성하고, 상기 제2 전극 및 접속 부분을 실링 부재에 내에 형성하여 기밀 상태로 밀봉하고, 상기 접속 부분의 적어도 한 곳 이상에 레이저광 조사에 의한 용융 접합부를 형성하는 것을 특징으로 한다.An organic EL display device according to claim 7 includes a first electrode comprising a transparent electrode layer formed on a transparent substrate, an organic layer consisting of at least one light emitting functional layer formed on the first electrode, and a metal formed on the organic layer. An organic EL display device comprising: an organic EL element having a second electrode formed of an electrode layer, and connected with an extraction electrode for supplying a display signal to the second electrode, wherein the extraction electrode is insulated from the first electrode; A metal lead-out electrode layer formed on the transparent electrode layer, wherein a part of the metal lead-out electrode layer is formed with a connection portion with the second electrode, and the second electrode and the connection part are formed in a sealing member to be sealed in an airtight state. And forming a fusion spliced portion by laser light irradiation on at least one of the connection portions. It is done.
제8항에 따른 발명의 유기 EL 표시 장치의 제조 방법은 투명 기판 상에 필요 패턴의 투명 전극층을 형성하는 단계, 상기 투명 전극층을 패터닝하여 제1 전극을 형성하는 단계, 상기 투명 전극층 또는 투명 기판 상에 금속 인출 전극층을 형성하는 단계, 상기 제1 전극의 노출면 상에 적어도 한 층 이상의 발광 기능층을 포함하는 유기층을 형성하는 단계, 상기 유기층의 노출면 상에 제2 전극을 형성하는 동시에 상기 금속 인출 전극층 상에 접속 부분을 형성하는 금속 전극층을 형성하는 단계, 및 적어도 상기 금속 전극층의 전체를 실링 부재로 밀봉하는 밀봉 단계를 포함하며, 상기 밀봉 단계의 이전 또는 이후, 상기 접속 부분에서의 금속 인출 전극층과 금속 전극층을 레이저광의 조사로 용융 접합시키는 것을 특징으로 한다.A method of manufacturing an organic EL display device according to claim 8, further comprising the steps of: forming a transparent electrode layer of a required pattern on a transparent substrate, patterning the transparent electrode layer to form a first electrode, and forming a transparent electrode layer on the transparent electrode layer or the transparent substrate. Forming a metal withdrawal electrode layer on the surface, forming an organic layer including at least one light emitting functional layer on the exposed surface of the first electrode, and forming a second electrode on the exposed surface of the organic layer Forming a metal electrode layer forming a connection portion on the lead electrode layer, and sealing at least the entirety of the metal electrode layer with a sealing member, before or after the sealing step, withdrawing the metal from the connection portion; The electrode layer and the metal electrode layer are characterized by being melt-bonded by irradiation of laser light.
이러한 특징을 가지는 본 발명은 이하의 작용을 한다.The present invention having such characteristics has the following functions.
각 청구항의 발광 표시 장치에 의하면, 발광 소자에서 표시 신호가 공급되는 전극과 인출 전극의 접속 부분을 용융 접합하였기 때문에, 형성 시에 접속 부분의 접촉 상태에 문제가 있는 경우에도, 그 후에 용융 접합을 행하기 때문에 접속 부분의 전기적인 접합이 확실하게 이루어져 전기 저항을 저하시킬 수 있다. 이렇게 함으로써 발광 소자에의 신호 공급을 양호하게 행할 수 있다.According to the light emitting display device of each claim, since the connection portion between the electrode to which the display signal is supplied and the lead electrode is melt-bonded in the light emitting element, even if there is a problem in the contact state of the connection portion at the time of formation, the fusion bonding is performed after that. As a result, electrical joining of the connecting portion can be securely performed, and electrical resistance can be lowered. By doing in this way, a signal supply to a light emitting element can be performed favorably.
그리고, 제2항의 발광 표시 장치에서는 발광 소자를 덮는 실링 부재를 설치하여 제2 전극 전체를 이 실링 부재로 밀봉하고, 상기한 접속 부분을 실링 부재 내에 형성하고 있기 때문에 제2 전극 및 접속 부분의 열화를 방지할 수 있으며, 또한 접속 부분의 전기 저항을 저하시킬 수 있다. 또, 제2 전극은 발광 기능층 위와 인출 전극의 접속 부분 위에 형성하면 되므로 단일 마스크 패턴의 형성으로 족하고, 공정도 단순화할 수 있으므로 비용을 낮출 수 있다.In the light emitting display device of claim 2, since the sealing member covering the light emitting element is provided to seal the entire second electrode with the sealing member, and the above connecting portion is formed in the sealing member, deterioration of the second electrode and the connecting portion is performed. Can be prevented and the electrical resistance of the connecting portion can be lowered. In addition, since the second electrode may be formed on the light-emitting functional layer and on the connection portion of the extraction electrode, the formation of a single mask pattern is sufficient, and the process can be simplified, thereby reducing the cost.
또한 제3항, 제4항의 발광 표시 장치에서는 인출 전극을 제2 전극과 다른 금속 전극으로 형성하기 때문에, 이 인출 전극을 투명 전극층(제1 전극층)과 제2 전극층 사이에 끼워 버퍼층으로 할 수 있다. 이로써 투명 전극층 상에 제2 전극을 형성하는 경우에도 투명 전극층과 제2 전극이 직접 접촉하는 일이 없게 되어, 이 직접 접촉에 의한 제2 전극의 부식 또는 열화를 방지할 수 있다.In the light emitting display device of claims 3 and 4, the lead-out electrode is formed of a metal electrode different from the second electrode, so that the lead-out electrode can be sandwiched between the transparent electrode layer (first electrode layer) and the second electrode layer to form a buffer layer. . Thus, even when the second electrode is formed on the transparent electrode layer, the transparent electrode layer and the second electrode do not directly contact each other, and corrosion or deterioration of the second electrode due to the direct contact can be prevented.
또, 본 발명에서는 제2 전극과 인출 전극의 접속 부분이 이종(異種) 금속 사이의 접속이 되지만, 이 접속 부분을 용융 접합하고 있기 때문에 이종 금속 사이의 접속이더라도 전기 저항을 저하시킬 수 있다. 이로 인해, 투명 전극층을 패터닝할 때에 이 층을 일부 남겨 그 위에 인출 전극층을 형성하고, 그 위에 제2 전극과의 접속 부분을 형성할 수 있기 때문에 제1 전극의 패터닝 공정을 간이화할 수 있다.Moreover, in this invention, although the connection part of a 2nd electrode and an extraction electrode becomes a connection between dissimilar metals, since this connection part is fusion-bonded, even if it is a connection between dissimilar metals, electrical resistance can be reduced. For this reason, when patterning a transparent electrode layer, a part of this layer can be left and the extraction electrode layer can be formed on it, and the connection part with a 2nd electrode can be formed on it, and the patterning process of a 1st electrode can be simplified.
제5항의 발광 표시 장치에서는 접속 부분의 용융 접합을, 레이저광을 조사하여 행함으로써 접속 부분에 스폿형의 용융 접합부를 형성할 수 있기 때문에, 소면적의 접속 부분이더라도 확실하게 전기 저항을 저하시킬 수 있다.In the light emitting display device of claim 5, since the spot-type fusion-junction portion can be formed in the connection portion by performing fusion bonding of the connection portion by irradiating a laser beam, the electrical resistance can be reliably lowered even in the small-area connection portion. have.
또, 접속 부분을 실링 부재 내에 형성하는 경우라도, 실링 부재에 의한 밀봉 후에 투명 기판을 통하여 레이저광을 접속 부분에 조사할 수 있기 때문에, 발광 표시 장치의 제조 공정 도중의 단계를 특히 변경하지 않고 접속 부분의 용융 접합을 실행할 수 있다. 실링 부재를 유리 등의 투명한 부재로 한 경우에는 이 실링 부재를 통하여 레이저광을 접속 부분에 조사할 수도 있다. 나아가, 인출 전극을 제2 전극과 다른 금속으로 형성한 경우라도 레이저광을 조사하여 이종 금속 사이의 접속 부분이 용융하여 합성되기 때문에, 확실히 접속 부분의 전기 저항을 저하시킬 수 있다.In addition, even when the connecting portion is formed in the sealing member, since the laser beam can be irradiated to the connecting portion through the transparent substrate after sealing by the sealing member, the connection during the manufacturing process of the light emitting display device is not particularly changed. Melt joining of parts can be performed. When the sealing member is made of a transparent member such as glass, a laser beam may be irradiated to the connecting portion via the sealing member. Furthermore, even when the lead electrode is formed of a metal different from the second electrode, the connection portion between the dissimilar metals is melted and synthesized by irradiating laser light, so that the electrical resistance of the connection portion can be reliably lowered.
제6항의 발광 표시 장치에서는 전술한 특징을 유기 EL 소자에 적용할 수 있기 때문에, 투명 기판 상에 직접 형성되지 않는 제2 전극을 인출 전극에 확실하게 접속하여 저(低)저항에서의 인출이 가능하게 된다. 또, 제2 전극 및 접속 부분을 실링 부재에 밀봉하는 것에서는 전극이 열화되는 일이 없이 제2 전극에의 전기공급을 확실하게 행할 수 있고, 또 유기 EL의 발광 기능층을 외기로부터 차단할 수 있어 발광 표시 장치의 장(長) 수명화를 달성할 수 있다.In the light emitting display device of claim 6, the above-described features can be applied to the organic EL element, so that the second electrode, which is not directly formed on the transparent substrate, can be reliably connected to the lead-out electrode and can be pulled out at low resistance. Done. In addition, in sealing the second electrode and the connecting portion to the sealing member, the supply of electricity to the second electrode can be reliably performed without deterioration of the electrode, and the light emitting functional layer of the organic EL can be blocked from the outside air. Long life of the light emitting display device can be achieved.
제7항, 제8항의 유기 EL 표시 장치 및 그 제조 방법에서는 투명 기판 상에 형성된 투명 전극층 상에 제2 전극에 접속하는 금속 인출 전극층을 형성하는 구조로 하고 있기 때문에, 투명 전극층의 일부를 남긴 위에 금속 인출 전극층을 형성할 수 있어, 투명 전극층의 패터닝을 간이화할 수 있다. 또, 금속 전극층으로 이루어지는 제2 전극은 금속 인출 전극층 상에 접속 부분이 형성되기 때문에, 금속 전극층과 투명 전극층이 직접 접촉하여 전극의 부식을 초래할 우려가 없다. 게다가, 접속 부분을 포함해서 금속 전극층을 실링 부재 내에 형성하여 기밀 상태로 밀봉하기 때문에, 금속 전극층이 열화될 우려가 없고, 제2 전극에의 전기 공급을 확실하게 행할 수 있다. 또, 금속 전극층은 제2 전극을 형성하는 유기층 위와 금속 인출 전극층 위의 일부에 형성하면 되므로, 제2 전극을 형성하는 단일 마스크 패턴의 형성으로 충분하며, 형성 공정을 간소화할 수도 있기 때문에, 비용을 줄이는 것도 된다.The organic EL display device according to claim 7 and the manufacturing method thereof have a structure in which a metal lead-out electrode layer connected to the second electrode is formed on a transparent electrode layer formed on a transparent substrate, so that a part of the transparent electrode layer remains. A metal lead-out electrode layer can be formed, and the patterning of a transparent electrode layer can be simplified. Further, in the second electrode made of the metal electrode layer, since the connection portion is formed on the metal lead-out electrode layer, there is no fear that the metal electrode layer and the transparent electrode layer directly contact and cause corrosion of the electrode. In addition, since the metal electrode layer including the connecting portion is formed in the sealing member and sealed in an airtight state, there is no fear that the metal electrode layer will deteriorate, and electricity supply to the second electrode can be reliably performed. In addition, since the metal electrode layer may be formed on a part of the organic layer forming the second electrode and on the metal drawing electrode layer, the formation of a single mask pattern for forming the second electrode is sufficient, and since the formation process can be simplified, the cost can be reduced. It can also be reduced.
그리고, 접속 부분에서는 금속 전극층과 이종 금속의 금속 인출 전극층이 접속되지만, 이 접속 부분에 레이저광 조사에 의한 용융 접합부를 형성하기 때문에 이종 금속 사이의 접속이며, 또 형성 시의 밀착성에 문제가 있더라도 낮은 전기 저항의 접속을 얻을 수 있다. 또, 이 레이저광 조사에 의한 용융 접합 처리는 투명 기판 또는 투명한 실링 부재를 통하여 레이저광을 접속 부분에 조사하는 것으로, 실링 부재에 의한 밀봉 공정 후에 행할 수 있기 때문에, 유기 EL 표시 장치의 제조 공정 도중의 공정을 변경하지 않고 필요한 처리을 행할 수 있다.In the connecting portion, the metal electrode layer and the metal drawing electrode layer of the dissimilar metal are connected, but since the fusion bonding portion is formed by laser light irradiation on the connecting portion, the connection between the dissimilar metals is low, and even if there is a problem in the adhesion during formation, The connection of the electrical resistance can be obtained. Moreover, since the fusion | bonding process by this laser beam irradiation can be performed after the sealing process by a sealing member by irradiating a laser beam to a connection part through a transparent substrate or a transparent sealing member, it is during the manufacturing process of an organic electroluminescence display. The necessary processing can be performed without changing the process of.
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다(종래 기술과 동일한 부분에는 동일한 부호를 부여하고 일부 설명을 생략한다). 또, 이하의 실시예에서는 유기 EL 표시 장치를 예로 들어 설명하지만, 본 발명은 동일한 발광 소자에서의 전극과 인출 전극의 구조를 가지는 다른 발광 표시 장치에서도 적용할 수 있는 것이다.Best Mode for Carrying Out the Invention Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following embodiments, the organic EL display device is described as an example. However, the present invention can be applied to other light emitting display devices having structures of electrodes and extraction electrodes in the same light emitting element.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 EL 표시 장치를 나타내는 설명도이다. 유기 EL 표시 장치는 유리 등으로 이루어지는 투명 기판(1)의 한쪽 측면 상에 ITO 등의 투명 전극층(2L)으로 이루어지는 제1 전극(양극)(2), Alq3등의 발광 재료로 이루어지는 적어도 한 층 이상의 발광 기능층을 포함하는 유기층(3), Al 등의 금속 전극층으로 이루어지는 제2 전극(음극)(4)을 차례로 적층한 유기 EL 소자로 이루어지는 것으로, 이 유기 EL 소자의 제1 전극(2) 및 제2 전극(4)에서는 표시 신호를 공급하기 위한 인출 전극(5A, 5B)이 형성되어 있다.1 is an explanatory diagram showing an organic EL display device according to an embodiment of the present invention. The organic EL display device comprises at least one layer made of a light emitting material such as Alq 3 and a first electrode (anode) 2 made of transparent electrode layer 2L such as ITO on one side of the transparent substrate 1 made of glass or the like. It consists of the organic electroluminescent element which laminated | stacked the organic layer 3 containing the above light emitting functional layer, and the 2nd electrode (cathode) 4 which consists of metal electrode layers, such as Al, and the 1st electrode 2 of this organic electroluminescent element And the drawing electrodes 5A and 5B for supplying a display signal are formed in the second electrode 4.
여기서, 제1 전극(2)측의 인출 전극(5A)은 제1 전극(2)을 형성할 때의 투명 전극층(2L) 상에 배리어층이 되는 금속 인출 전극층(6)을 형성하고 있으며, 이 인출 전극(5A)과 제2 전극(4) 사이는 절연막(7A)을 형성하여 단락 방지를 꾀하며,제2 전극측 인출 전극(5B)은 패터닝된 투명 전극층(2L)의 일부에 배리어층이 되는 금속 인출 전극층(6)을 형성하여, 이 인출 전극(5B)과 제1 전극(2) 사이는 절연막(7B)을 형성하여 단락방지를 꾀하고 있다.Here, the lead electrode 5A on the side of the first electrode 2 forms the metal lead electrode layer 6 serving as a barrier layer on the transparent electrode layer 2L when the first electrode 2 is formed. An insulating film 7A is formed between the lead electrode 5A and the second electrode 4 to prevent a short circuit, and the second electrode side lead electrode 5B serves as a barrier layer on a portion of the patterned transparent electrode layer 2L. The metal lead-out electrode layer 6 is formed, and an insulating film 7B is formed between the lead-out electrode 5B and the first electrode 2 to prevent short circuit.
금속 인출 전극층(6)의 재료는 제2 전극(4)을 형성하는 금속 전극층(4L) 또는 투명 전극층(2L)과는 상이한 도전성의 금속 재료이며, Cr 등의 재료가 사용되고, 금속 전극층(4L) 전체를 금속 또는 유리로 이루어지는 실링 부재(8)로 밀봉하여, 이 밀봉부재(8) 내에 금속 인출 전극층(6)과 금속 전극층(4L)의 접속 부분(S)을 형성하고 있다. 그리고, 이 접속 부분(S)에는 투명 기판(1)을 통하여 레이저광 (La)이 조사되고, 스폿형의 용융 접합부(9a)가 적어도 한 곳, 필요에 따라 여러 곳에 형성되어 있다. 이 용융 접합부(9a)는 실링 부재(8)를 유리 등의 투명 부재로 형성한 경우에는 실링 부재(8)를 통한 레이저광(La')의 조사에 의해서도 형성할 수 있다.The material of the metal lead-out electrode layer 6 is a conductive metal material different from the metal electrode layer 4L or the transparent electrode layer 2L forming the second electrode 4, and a material such as Cr is used, and the metal electrode layer 4L is used. The whole is sealed with the sealing member 8 which consists of metal or glass, and the connection part S of the metal extraction electrode layer 6 and the metal electrode layer 4L is formed in this sealing member 8. And the laser beam La is irradiated to this connection part S through the transparent board | substrate 1, and the spot type fusion bonding part 9a is formed in at least one place and several places as needed. In the case where the sealing member 8 is formed of a transparent member such as glass, the fusion bonded portion 9a can also be formed by irradiation of laser light La 'through the sealing member 8.
이러한 실시예의 유기 EL 표시 장치에 의하면, 이종 금속의 금속 인출 전극층(6)과 금속 전극층(4L)이 접속 부분(S)에서 레이저광에 의한 국부적인 가열에 의해서 용융 접합되기 때문에, 이 접속 부분(S)에서의 전기 저항을 저감시킬 수 있게 된다. 또, 접속 부분(S)을 포함하여 금속 전극층(4L) 전체를 실링 부재(8)로 밀봉하기 때문에, 제2 전극(4)을 형성하는 금속 전극층(4L)이 열이나 습기에 접촉하여 열화되는 일도 없다. 이에 따라 제2 전극에의 전기 공급을 양호하게 행할 수 있게 된다.According to the organic EL display device of this embodiment, since the metal extraction electrode layer 6 and the metal electrode layer 4L of the dissimilar metal are melt-bonded by the local heating by the laser beam at the connection portion S, this connection portion ( Electrical resistance in S) can be reduced. In addition, since the entire metal electrode layer 4L including the connecting portion S is sealed with the sealing member 8, the metal electrode layer 4L forming the second electrode 4 deteriorates in contact with heat or moisture. There is no work. Thereby, the electricity supply to a 2nd electrode can be performed favorably.
이 실시예에서의 유기 EL 표시 장치의 제조 방법에 대하여 설명한다. 제1단계에서는 투명 기판(1) 상에 투명 전극층(2L)을 형성하고, 표시에 필요한 패터닝을 실시하여 제1 전극(2)을 형성한다. 이 때에 패터닝은 최소한으로 그치고, 투명 전극층(2L)을 인출 전극(5A, 5B)의 베이스로 남겨 둠으로써 패터닝 처리를 간이화할 수 있다.The manufacturing method of the organic electroluminescence display in this Example is demonstrated. In the first step, the transparent electrode layer 2L is formed on the transparent substrate 1, and the first electrode 2 is formed by patterning necessary for display. At this time, the patterning is minimized, and the patterning process can be simplified by leaving the transparent electrode layer 2L as the base of the lead electrodes 5A and 5B.
다음 단계에서는, 인출 전극(5A, 5B) 상에 금속 인출 전극층(6)을 형성하고, 계속하여 발광 영역(L)을 마스크하여 절연막(7A, 7B)을 필요한 영역에 형성한다. 그리고, 제1 전극(2)의 노출면 상에 유기층(3)을 증착 등에 의해 형성한 후, 이 유기층(3) 위와 금속 인출 전극층(6)의 접속 부분(S) 위에 제2 전극(4)이 되는 금속 전극층(4L)을 형성한다.In the next step, the metal lead-out electrode layer 6 is formed on the lead electrodes 5A and 5B, and the light emitting region L is subsequently masked to form the insulating films 7A and 7B in the required regions. After the organic layer 3 is formed on the exposed surface of the first electrode 2 by vapor deposition or the like, the second electrode 4 is formed on the organic layer 3 and on the connection portion S of the metal lead-out electrode layer 6. The metal electrode layer 4L to be formed is formed.
그리고, 금속 전극층(4L) 전체를 덮는 실링 부재(8)를 설치하는 밀봉 단계를 거치고, 그 후에 레이저광(La 또는 La')의 조사에 의한 용융 접합부(9a)의 형성을 실시한다. 이 레이저광 조사에서의 사용 광원은 YAG 레이저 등의 원하는 출력을 얻을 수 있는 레이저이며, 그 출력광을 광학 시스템에 의해 스폿형으로 집광하여 투명 기판(1) 또는 투명한 실링 부재(8)를 통하여 접속 부분에 조사한다.Then, the sealing step 8 is provided to cover the entire metal electrode layer 4L, and then the fusion spliced portion 9a is formed by irradiation with laser light La or La '. The light source used in this laser light irradiation is a laser which can obtain desired output, such as a YAG laser, and collects the output light into a spot shape with an optical system, and connects it through the transparent substrate 1 or the transparent sealing member 8 Investigate.
이러한 제조 방법에 의하면, 투명 전극층(2L)을 인출 전극(5B)의 베이스로 남긴 경우에도 금속 인출 전극(6)이 사이에 끼어 투명 전극층(2L)과 제2 전극(4)을 직접 접촉시키지 않기 때문에, 전극의 부식을 발생시키는 일이 없다. 또, 레이저광 조사에 의한 용융 접합부(9a)의 형성은 밀봉 단계 종료후에 행하기 때문에, 유기 EL 표시 장치의 일련의 제조 단계를 변경할 필요가 없다.According to this manufacturing method, even when the transparent electrode layer 2L is left as the base of the lead electrode 5B, the metal lead electrode 6 is sandwiched between them so that the transparent electrode layer 2L and the second electrode 4 do not directly contact each other. Therefore, corrosion of the electrode does not occur. In addition, since the formation of the fusion | melting junction part 9a by laser beam irradiation is performed after completion | finish of a sealing step, it is not necessary to change a series of manufacturing steps of an organic electroluminescence display.
도 2는 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 설명도이다. 전술한 실시예와 동일 부분에는 동일 부호를 부여하여 중복되는 설명을 일부 생략한다. 이 실시예에서는 접속 부분(S)에 형성되는 용융 접합부(9b)를 레이저광 조사에 의한 스폿 구멍으로 한 것이다. 이렇게 하여도 스폿 구멍의 내면에 금속 인출 전극층(6)과 금속 전극층(4L)의 용융 접합 부분이 형성되기 때문에, 전술한 실시예와 동일한 작용 효과가 있다. 또, 제조 방법은 전술한 실시예와 동일한 공정으로 행할 수 있다.2 is an explanatory diagram showing another embodiment of the present invention. The same reference numerals are given to the same parts as in the above-described embodiment, and some overlapping descriptions are omitted. In this embodiment, the fusion spliced portion 9b formed in the connecting portion S is a spot hole by laser light irradiation. Even in this case, since the fusion-bonded portion of the metal lead-out electrode layer 6 and the metal electrode layer 4L is formed on the inner surface of the spot hole, there is an effect similar to that of the above-described embodiment. In addition, a manufacturing method can be performed by the same process as the Example mentioned above.
도 3은 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 설명도이다. 전술한 실시예와 동일 부분에는 동일 부호를 부여하여 중복되는 설명을 일부 생략한다. 이 실시예에서는 투명 전극층(2L)을 패터닝할 때에, 인출 전극(5B)에서의 베이스층을 제거한 것이다. 이에 의하면, 제2 전극(4)측 인출 전극(5B)은 Cr 등으로 이루어지는 금속 인출 전극층(6)에 따라서만 형성되고, 실링 부재(8) 내의 접속 부분(S)에서 제2 전극(4)을 형성하는 금속 전극층(4L)과 접속되어 있다. 이 실시예에서도, 실링 부재(8) 내의 접속 부분(S)에 용융 접합부(9b)를 형성함으로써, 전술한 실시예와 동일한 작용을 나타내는 것이다. 또, 이 실시예의 제조 방법도 투명 전극층(2L)의 패터닝을 제외하고는 전술한 실시예와 동일한 공정으로 행할 수 있다.3 is an explanatory diagram showing another embodiment of the present invention. The same reference numerals are given to the same parts as in the above-described embodiment, and some overlapping descriptions are omitted. In this embodiment, when the transparent electrode layer 2L is patterned, the base layer of the lead electrode 5B is removed. According to this, the 2nd electrode 4 side drawing electrode 5B is formed only according to the metal extraction electrode layer 6 which consists of Cr etc., and the 2nd electrode 4 is connected in the connection part S in the sealing member 8. It is connected with 4L of metal electrode layers which form a metal. Also in this embodiment, the same action as in the above-described embodiment is obtained by forming the fusion spliced portion 9b in the connecting portion S in the sealing member 8. In addition, the manufacturing method of this embodiment can also be performed by the same process as the above-mentioned embodiment except patterning of the transparent electrode layer 2L.
또, 전술한 도 1 ∼ 도 5에서는 발명의 이해를 용이하게 하기 위하여 단독의 발광 영역(L)으로 이루어지는 발광 표시 장치를 나타내고 있지만, 본 발명에서의 발광 표시 장치는 이러한 형태에 한정되는 것은 아니며, 발광 영역(L)이 복수 개 도트 매트릭스형으로 배열된 발광 표시 장치를 대상으로 삼을 수 있다.In addition, although the light emitting display device which consists of a single light emitting area | region L is shown in FIGS. 1-5 mentioned above in order to make understanding of an invention easy, the light emitting display device in this invention is not limited to this form, A light emitting display device having a plurality of light emitting regions L arranged in a dot matrix may be used as an object.
본 발명은 이와 같이 구성되기 때문에, 표시 신호가 공급되는 전극을 구비한발광 소자로 이루어지고, 이 전극에 표시 신호를 공급하기 위한 인출 전극을 접속한 발광 표시 장치, 이러한 발광 표시 장치의 하나인 유기 EL 표시 장치 및 그 제조 방법에서, 이 전극과 인출 전극의 접속 부분에서의 전기 저항을 작게 하여 양호한 신호공급을 행할 수 있다.Since the present invention is constituted as described above, a light emitting display device comprising an light emitting element having an electrode to which a display signal is supplied, and connected to an extraction electrode for supplying a display signal to the electrode, an organic light emitting device which is one of such light emitting display devices In the EL display device and the method of manufacturing the same, good signal supply can be performed by reducing the electrical resistance at the connection portion between the electrode and the drawing electrode.
Claims (8)
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