KR20030057207A - 반사형 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반사형 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적인 반사형 액정 표시 장치는 입사광의 거울 반사에 따라 특정 방향에서의 휘도만 높기 때문에, 정면 방향의 휘도를 높이기 위해 요철을 이용할 수 있는데, 요철을 형성하기 위해서는 공정 조건이 까다롭고 재현성이 떨어지는 단점이 있다. 또한, 종래의 반사형 액정 표시 장치에서는 상하판 전극을 다른 물질로 형성하므로, 일함수 차이로 인해 플리커가 많이 발생하게 된다.
본 발명에 따른 반사형 액정 표시 장치에서는 반사판 상부에 제 2 기판보다 굴절률이 작으며, 표면이 톱니 모양으로 이루어진 보호층을 더 형성함으로써, 정면 방향에서의 휘도를 향상시킬 수 있으며, 톱니 모양의 보호층 상부에 공통 전극과 동일한 물질로 화소 전극을 형성하여, 플리커의 발생을 방지할 수 있다. 이때, 톱니 모양의 보호층을 컬러필터를 이용하여 형성할 경우에는 오정렬을 방지할 수도 있다.

Description

반사형 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법{reflective liquid crystal display devices and manufacturing method of the same}
본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반사형 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
최근 정보화 사회로 시대가 급발전함에 따라 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판 표시 장치(flat panel display)의 필요성이 대두되었다.
이러한 평판 표시 장치는 스스로 빛을 발하느냐 그렇지 못하냐에 따라 나눌 수 있는데, 스스로 빛을 발하여 화상을 표시하는 것을 발광형 표시 장치라 하고, 그렇지 못하고 외부의 광원을 이용하여 화상을 표시하는 것을 수광형 표시 장치라고 한다. 발광형 표시 장치로는 플라즈마 표시 장치(plasma display panel)와 전계 방출 표시 장치(field emission display), 전계 발광 표시 장치(electrolumine-scence display) 등이 있으며, 수광형 표시 장치로는 액정 표시 장치(liquid crystal display)가 있다.
이 중 액정 표시 장치가 해상도, 컬러표시, 화질 등이 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터에 활발하게 적용되고 있다.
일반적으로 액정 표시 장치는 전계 생성 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을 두 전극이 형성되어 있는 면이 마주 대하도록 배치하고 두 기판 사이에 액정 물질을 주입한 다음, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정 분자를 움직이게 함으로써, 이에 따라 달라지는 빛의 투과율에 의해 화상을 표현하는 장치이다.
그런데, 액정 표시 장치는 앞서 언급한 바와 같이 스스로 빛을 발하지 못하므로 별도의 광원이 필요하다.
따라서, 액정 패널 뒷면에 백라이트(backlight)를 배치하고 백라이트로부터 나오는 빛을 액정 패널에 입사시켜, 액정의 배열에 따라 빛의 양을 조절함으로써 화상을 표시한다. 이때, 액정 표시 장치의 전계 생성 전극은 투명 도전 물질로 형성되고, 두 기판 또한 투명 기판으로 이루어져야 한다.
이러한 액정 표시 장치를 투과형(transmission type) 액정 표시 장치라고 하는데, 투과형 액정 표시 장치는 백라이트와 같은 인위적인 배면광원을 사용하므로 어두운 외부 환경에서도 밝은 화상을 구현할 수 있으나, 백라이트로 인한전력소비(power consumption)가 큰 단점이 있다.
이와 같은 단점을 보완하기 위해 반사형(reflection type) 액정 표시 장치가 제안되었다. 반사형 액정 표시 장치는 외부의 자연광이나 인조광을 반사시킴으로써 액정의 배열에 따라 빛의 투과율을 조절하는 형태로 투과형 액정 표시 장치에 비해 전력소비가 적다. 반사형 액정 표시 장치에서 하부의 전계 생성 전극은 반사가 잘 되는 도전 물질로 형성하고, 상부의 전계 생성 전극은 외부광을 투과시키기 위해 투명 도전 물질로 형성한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 일반적인 반사형 액정 표시 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 일반적인 반사형 액정 표시 장치의 단면을 일부 도시한 것으로서, 도시한 바와 같이 소정간격을 가지고 제 1 기판(11)과 제 2 기판(21)이 배치되어 있다. 하부의 제 1 기판(11) 상에는 게이트 전극(12)이 형성되어 있으며, 그 위에 게이트 절연막(13)이 형성되어 있다. 도시하지 않았지만 게이트 절연막(13) 하부에는 게이트 전극(12)과 연결된 게이트 배선이 더 형성되어 있다. 다음, 게이트 전극(12) 상부의 게이트 절연막(13) 위에는 액티브층(14)과 오믹 콘택층(15a, 15b)이 차례로 형성되어 있다. 오믹 콘택층(15a, 15b) 위에는 소스 및 드레인 전극(16b, 16c)이 형성되어 있는데, 소스 및 드레인 전극(16b, 16c)은 게이트 전극(12)과 함께 박막 트랜지스터(T)를 이룬다. 한편, 소스 및 드레인 전극(16b, 16c)과 같은 물질로 이루어진 데이터 배선(16a)이 게이트 절연막(13) 위에 형성되어 있으며, 데이터 배선(16a)은 소스 전극(16b)과 연결되어 있다. 데이터배선(16a)은 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의한다. 다음, 데이터 배선(16a)과 소스 및 드레인 전극(16b, 16c) 상부에는 유기 물질로 이루어진 보호층(17)이 형성되어 박막 트랜지스터(T)를 덮고 있으며, 보호층(17)은 드레인 전극(16c)을 드러내는 콘택홀(17a)을 가진다. 다음, 보호층(17) 상부의 화소 영역에는 화소 전극(18)이 형성되어 있어, 콘택홀(17a)을 통해 드레인 전극(16c)과 연결되어 있다. 여기서, 화소 전극(18)은 금속과 같은 불투명한 도전 물질로 이루어지고 박막 트랜지스터(T)를 덮고 있으며, 데이터 배선(16a)과 중첩되어 있어 개구율을 향상시킬 수 있는데, 이때 보호층(17)이 저유전 상수를 가지는 유기 물질로 이루어지므로 화소 전극(18)과 데이터 배선(16a) 사이에 신호 간섭이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 제 2 기판(21)의 안쪽면에는 블랙 매트릭스(22)가 형성되어 있고, 그 하부에 적(R), 녹(G), 청(B)의 색이 순차적으로 반복되어 있는 컬러필터(23a, 23b, 23c)가 형성되어 있으며, 컬러필터(23a, 23b, 23c) 하부에는 투명 도전 물질로 이루어진 공통 전극(24)이 형성되어 있다. 여기서, 컬러필터(23a, 23b, 23c)는 하나의 색이 하나의 화소 전극(18)과 대응하며, 블랙 매트릭스(22)는 화소 전극(18)의 가장자리를 덮고 있다. 앞서 언급한 것처럼, 화소 전극(18)이 박막 트랜지스터(T)를 덮고 있으므로 블랙 매트릭스(22)는 화소 전극(18)의 가장자리만을 덮도록 이루어질 수 있다.
다음, 화소 전극(18)과 공통 전극(24) 사이에는 액정층(30)이 위치한다. 이때, 도시하지 않았지만 화소 전극(18) 상부와 공통 전극(24) 하부에는 액정 분자의초기 배열 상태를 결정하는 배향막이 각각 형성되어 있다.
이와 같이, 반사형 액정 표시 장치에서는 화소 전극을 반사가 잘 되는 물질로 형성하여 외부에서 입사된 빛을 반사시켜 화상을 표현한다. 따라서, 소비 전력을 감소시켜 장시간 사용할 수 있다.
그런데, 이러한 액정 표시 장치에서 반사 전극은 평탄한 면을 가지고 있어, 빛이 거울에서 반사되는 것과 같은 반사, 즉 거울반사(또는 정반사(正反射))를 하기 때문에, 광원의 위치에 따라 입사광의 정반사 방향에서만 빛의 휘도가 높고 정면의 휘도는 낮은 문제가 있다.
따라서, 정면 위치에서의 휘도를 높이기 위해 요철 형태의 반사판을 이용한 예가 제시되었다.
이러한 종래의 반사형 액정 표시 장치를 도 2에 도시하였는데, 도시한 바와 같이 종래의 반사형 액정 표시 장치에서는 보호층(17)의 상부면에 굴곡을 형성하여 반사 전극(18)의 표면이 요철 형태를 가지도록 한다. 따라서, 반사되는 빛의 각도를 변화시켜 정면 휘도를 향상시킬 수 있다.
그런데, 요철을 이용할 경우 요철의 곡면에 따라 입사된 빛의 일부는 원하지 않는 방향으로 반사되어 휘도가 떨어지게 된다. 이러한 요철에서 빛의 반사를 도 3에 도시하였는데, 빛의 방향에 영향을 미치는 층만을 도시하였으며 도 2와 동일한 부호를 사용한다.
여기서, 제 2 기판(21) 상부의 공기층은 굴절률이 1이고 제 2 기판(21)의 굴절률은 약 1.5이며, 액정층(30)의 굴절률은 제 2 기판(21)의 굴절률과 동일한 값을가지도록 한다.
도시한 바와 같이, 제 2 기판(21)의 상부 즉, 공기층으로부터 입사각 α를 가지고 제 2 기판(21)으로 입사한 빛(a1, b1)은 β의 각을 가지고 굴절된다(a2, b2). 이어, 굴절된 빛(a2, b2)은 화소 전극(18)의 요철에서 반사되고(a3, b3), 다시 제 2 기판(21)과 공기층의 경계면에서 굴절되어 나온다(a4, b4).
이때, 화소 전극(18)의 요철면으로 입사한 빛(a2, b2)과 반사된 빛(a3, b3)은 입사각(γ1, γ2)과 반사각(γ1, γ2)을 가지게 되는데, 이중 요철의 측면 하부쪽으로 입사한 빛(a2)의 입사각(γ1)이 상부쪽으로 입사한 빛(b3)의 입사각(γ2)보다 작은 값을 가지게 되므로, 반사각도 γ2가 γ1보다 큰 값을 가진다. 따라서, 반사되어 나온 빛(a3, b3)이 공기층으로 굴절되어 나갈 때에도 b3의 기판(21)에 대한 입사각이 a3보다 크기 때문에, 출력되는 빛(a4, b4)의 굴절각(θ1, θ2)도 b4가 a4보다 더 크게 되는데, 이러한 굴절각이 큰 빛은 정면 휘도 향상에 도움을 주지 못한다.
이와 같이, 요철 형태의 반사판을 이용할 경우에는 요철면의 위치에 따라 반사되는 빛의 방향이 바뀌게 되므로, 일부의 빛만이 정면 휘도 향상에 기여하게 된다.
또한, 이러한 반사형 액정 표시 장치에서 하판의 전극은 금속 물질로 형성하고 상판의 전극은 투명 도전 물질로 형성하는데, 이때 상하판 전극의 일함수 차이로 인해 플리커(flicker)가 많이 발생하는 문제가 있다.
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 주시야각에서의 휘도를 향상시킬 수 있으며, 플리커를 최소화할 수 있는 반사형 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 주시야각 범위에서 휘도를 향상시키면서도 오정렬을 방지할 수 있는 반사형 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법을 제공하는 것이다.
도 1은 일반적인 반사형 액정 표시 장치의 단면도.
도 2 는 종래의 반사형 액정 표시 장치에 대한 단면도.
도 3은 종래의 액정 표시 장치에서 빛의 진행 방향을 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치의 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 액정 표시 장치에서 빛의 진행 방향을 도시한 도면.
도 6a 내지 도 6f는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치의 어레이 기판에 대한 제조 과정을 도시한 단면도.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치의 단면도.
도 8a 내지 도 8g는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치의 어레이 기판에 대한 제조 과정을 도시한 단면도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
110 : 제 1 기판121 : 게이트 전극
130 : 게이트 절연막141 : 반도체층
151, 152 : 오믹 콘택층161 : 데이터 배선
162 : 소스 전극163 : 드레인 전극
170 : 제 1 보호층181 : 반사판
190 : 제 2 보호층191 : 콘택홀
200 : 투명 전극210 : 제 2 기판
220 : 블랙 매트릭스231, 232, 233 : 컬러필터
240 : 공통 전극250 : 액정층
T1 : 박막 트랜지스터
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반사형 액정 표시 장치에서는 제 1 기판 위에 게이트 배선과 게이트 배선에 연결된 게이트 전극이 형성되어 있고, 게이트 절연막이 이들을 덮고 있다. 다음, 게이트 전극 상부의 게이트 절연막 위에는 액티브층이 형성되어 있으며, 액티브층 상부에는 오믹 콘택층이 형성되어 있다. 이어, 오믹 콘택층 상부에 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선과 게이트 전극을 중심으로 마주 대하는 소스 및 드레인 전극이 형성되어 있으며, 그 위에 유기 물질로 이루어진 제 1 보호층이 형성되어 있다. 다음, 제 1 보호층 상부의 화소 영역에는 불투명 도전 물질로 이루어진 반사판이 형성되어 있고, 그 위에 제 1 보호층과 함께 드레인 전극을 드러내는 콘택홀을 가지며, 톱니 모양으로 이루어진 제 2 보호층이 형성되어 있다. 다음, 제 2 보호층 상부에는 콘택홀을 통해 드레인 전극과 연결되어 있는 투명 전극이 형성되어 있다. 이어, 제 1 기판 상부에는 제 2 기판이 제 1 기판과 일정 간격 이격되어 있으며, 제 2 기판 하부에는 투명 전극의 가장자리를 덮고 있는 블랙 매트릭스가 형성되어 있다. 다음, 블랙 매트릭스 하부에는 적, 녹, 청의 색이 순차적으로 이루어진 컬러필터가 형성되어 있고, 컬러필터 하부에는 공통 전극이 형성되어 있다. 이어, 투명 전극과 공통 전극 사이에는 액정층이 위치한다.
여기서, 제 2 보호층은 제 2 기판보다 작은 굴절률을 가지는 것이 좋다.
본 발명의 다른 반사형 액정 표시 장치에서는 제 1 기판 위에 게이트 배선과 게이트 배선에 연결된 게이트 전극이 형성되어 있고, 게이트 절연막이 이들을 덮고 있다. 다음, 게이트 전극 상부의 게이트 절연막 위에는 액티브층이 형성되어 있으며, 액티브층 상부에는 오믹 콘택층이 형성되어 있다. 이어, 오믹 콘택층 상부에 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선과 게이트 전극을 중심으로 마주 대하는 소스 및 드레인 전극이 형성되어 있으며, 그 위에 유기 물질로 이루어진 보호층이 형성되어 있다. 다음, 보호층 상부의 화소 영역에는 불투명 도전 물질로 이루어진 반사판이 형성되어 있고, 반사판 상부의 화소 영역에는 적, 녹, 청의 색이 순차적으로 이루어지고, 보호층과 함께 드레인 전극을 드러내는 콘택홀을 가지며 톱니 모양으로 이루어진 컬러필터가 형성되어 있다. 다음, 컬러필터 상부에는 콘택홀을 통해 드레인 전극과 연결되어 있는 투명 전극이 형성되어 있다. 이어, 제 1 기판 상부에는 제 2 기판이 제 1 기판과 일정 간격 이격되어 있으며, 제 2 기판 하부에는 공통 전극이 형성되어 있고, 투명 전극과 공통 전극 사이에는 액정층이 위치한다.
여기서, 반사판 상부의 화소 영역에 대응하는 부분에 개구부를 가지며, 톱니모양으로 이루어진 블랙 매트릭스가 더 형성되어 있을 수 있는데, 컬러필터는 제 2 기판보다 작은 굴절률을 가지는 것이 바람직하다.
본 발명에서 제 2 기판과 액정층은 동일한 굴절률을 가질 수 있다.
한편, 톱니 모양은 일면이 타면보다 완만한 경사를 가지는 것이 좋다.
또한, 본 발명에서 상기 투명 전극과 상기 공통 전극은 동일한 물질로 이루어지는 것이 좋으며, 인듐-틴-옥사이드로 이루어질 수 있다.
보호층은 벤조사이클로부텐으로 이루어질 수 있고, 이때 투명 전극은 데이터 배선과 중첩할 수도 있다.
본 발명에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법에서는 제 1 기판 위에 게이트 배선과 게이트 배선에 연결된 게이트 전극을 형성하고, 그 위에 게이트 절연막을 형성한다. 다음, 게이트 전극 상부의 게이트 절연막 위에 액티브층을 형성하고, 액티브층 상부에 오믹 콘택층을 형성한다. 다음, 오믹 콘택층 상부에 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선과 게이트 전극을 중심으로 마주 대하는 소스 및 드레인 전극을 형성한다. 이어, 데이터 배선과 소스 및 드레인 전극 상부에 유기 물질로 제 1 보호층을 형성한 후, 제 1 보호층 상부의 화소 영역에 불투명 도전 물질로 반사판을 형성한다. 다음, 반사판 상부에 제 1 보호층과 함께 드레인 전극을 드러내는 콘택홀을 가지며, 톱니 모양으로 이루어진 제 2 보호층을 형성한다. 다음, 제 2 보호층 상부에 콘택홀을 통해 드레인 전극과 연결되고, 톱니 모양을 가지는 투명 전극을 형성한다. 이어, 제 2 기판 위에 블랙 매트릭스를 형성하고, 그 위에 적, 녹, 청의 컬러필터를 형성한다. 다음, 컬러필터 상부에 공통 전극을 형성한 후, 투명 전극이 형성된 제 1 기판과 공통 전극이 형성된 제 2 기판을 배치하여 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 액정을 주입한다.
여기서, 제 2 보호층은 제 2 기판보다 작은 굴절률을 가지는 것이 좋다.
본 발명에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법에서는 제 1 기판 위에 게이트 배선과 게이트 배선에 연결된 게이트 전극을 형성하고, 그 위에 게이트 절연막을 형성한다. 다음, 게이트 전극 상부의 게이트 절연막 위에 액티브층을 형성하고, 액티브층 상부에 오믹 콘택층을 형성한다. 다음, 오믹 콘택층 상부에 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선과 게이트 전극을 중심으로 마주 대하는 소스 및 드레인 전극을 형성한다. 이어, 데이터 배선과 소스 및 드레인 전극 상부에 유기 물질로 보호층을 형성한 후, 보호층 상부의 화소 영역에 불투명 도전 물질로 반사판을 형성한다. 다음, 반사판 상부에 보호층과 함께 드레인 전극을 드러내는 콘택홀을 가지며, 톱니 모양으로 이루어진 적, 녹, 청의 컬러필터를 형성하고, 그 위에 콘택홀을 통해 드레인 전극과 연결되는 투명 전극을 형성한다. 다음, 제 2 기판 상부에 공통 전극을 형성하고, 제 1 기판과 제 2 기판을 배치하여 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 액정을 주입한다.
여기서, 데이터 배선 상부의 보호층 위에 톱니 모양을 가지는 블랙 매트릭스를 더 포함할 수 있으며, 컬러필터는 제 2 기판보다 작은 굴절률을 가지는 것이 바람직하다.
본 발명에서 제 2 기판과 액정층은 동일한 굴절률을 가질 수 있다.
톱니 모양은 일면이 타면보다 완만한 경사를 가지는 것이 좋다.
또한, 투명 전극과 공통 전극은 동일한 물질로 이루어지는 것이 좋으며, 투명 전극과 공통 전극은 인듐-틴-옥사이드로 이루어질 수 있다.
보호층은 벤조사이클로부텐으로 이루어질 수 있고, 이때 투명 전극은 데이터 배선과 중첩할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 따른 반사형 액정 표시 장치에서는 반사판 상부에 제 2 기판보다 굴절률이 작으며, 표면이 톱니 모양으로 이루어진 보호층을 더 형성함으로써, 정면 방향에서의 휘도를 향상시킬 수 있다. 이때, 톱니 모양의 보호층을 컬러필터를 이용하여 형성할 경우에는 오정렬을 방지할 수 있으며, 톱니 모양의 보호층 상부에 공통 전극과 동일한 물질로 화소 전극을 형성하여, 플리커의 발생을 방지할 수도 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법에 관하여 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치에 대한 단면도이다.
도시한 바와 같이, 절연 기판(110) 위에 금속과 같은 물질로 이루어진 게이트 전극(121)이 형성되어 있고, 게이트 전극(121) 상부에는 실리콘 질화막이나 실리콘 산화막으로 이루어진 게이트 절연막(130)이 형성되어 있다. 도시하지 않았지만 게이트 절연막(130) 하부에는 게이트 전극(121)과 연결된 게이트 배선이 더 형성되어 있다.
다음, 게이트 전극(121) 상부의 게이트 절연막(130) 위에는 비정질 실리콘으로 이루어진 액티브층(141)이 형성되어 있으며, 액티브층(141) 상부에는 불순물을 포함하는 비정질 실리콘으로 이루어진 오믹 콘택층(151, 152)이 형성되어 있다.
이어, 오믹 콘택층(151, 152) 상부에는 금속과 같은 도전 물질로 이루어지고, 게이트 전극(121)을 중심으로 마주 대하는 소스 및 드레인 전극(162, 163)이 형성되어 있으며, 또한 데이터 배선(161)이 형성되어 있는데, 데이터 배선(161)은 소스 전극(162)과 연결되어 있으며 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의한다. 한편, 소스 및 드레인 전극(162, 163)은 게이트 전극(121)과 함께 박막 트랜지스터(T1)를 이룬다.
다음, 데이터 배선(161)과 소스 및 드레인 전극(162, 163) 상부에는 제 1 보호층(170)이 형성되어 있는데, 제 1 보호층(170)은 저유전상수를 가지는 유기 물질로 이루어지는 것이 바람직하다.
이어, 제 1 보호층(170) 상부에는 금속과 같이 불투명한 도전 물질로 이루어진 반사판(181)이 형성되어 있다. 여기서, 반사판(181)은 박막 트랜지스터(T1)를 덮고 있으며, 데이터 배선(161)과 중첩하도록 형성되어 있어 개구율을 향상시킬 수 있다.
다음, 반사판(181) 상부에는 제 2 보호층(190)이 형성되어 있는데, 제 2 보호층(190)은 상부면이 톱니 모양으로 이루어지며, 하부의 제 1 보호층(170)과 함께 드레인 전극(163)을 드러내는 콘택홀(191)을 가진다. 여기서, 톱니 모양의 양측면은 외부 광원으로부터 빛이 입사되는 방향의 일면이 타면보다 길고 작은 경사각을 가진다.
이어, 제 2 보호층(190) 상부에는 투명한 도전 물질로 이루어진 투명 전극(200)이 형성되어 있다. 투명 전극(200)은 화소 전극으로서, 콘택홀(191)을 통해 하부의 드레인 전극(163)과 연결되어 있으며, 반사판(181)과는 분리되어 있다. 이때, 투명 전극(200)은 하부의 제 2 보호층(190) 상부면에 의해 톱니 모양을 가지게 된다.
다음, 제 1 기판(110) 상부에는 제 1 기판(110)과 일정 간격 이격되어 제 2 기판(210)이 배치되어 있고, 제 2 기판(210) 하부에는 블랙 매트릭스(220)가 형성되어 있다. 블랙 매트릭스(220)는 화소 영역 이외의 부분에서 빛이 새는 것을 방지하는 것으로, 투명 전극(200)의 가장자리를 덮고 있다. 일반적으로, 블랙 매트릭스(220)는 박막 트랜지스터(T1)를 덮도록 형성하여 박막 트랜지스터(T1)의 광전류 발생을 방지할 수 있는데, 본 발명에서는 반사판(181)이 박막 트랜지스터(T1)를 덮고 있어 빛이 박막 트랜지스터의 채널로 들어가는 것을 막기 때문에, 박막 트랜지스터(T1) 상부에 블랙 매트릭스(220)를 형성하지 않아도 된다.
다음, 블랙 매트릭스(220) 하부에는 적, 녹, 청의 색이 순차적으로 반복되어 있는 컬러필터(231, 232, 233)가 형성되어 있는데, 컬러필터(231, 232, 233)는 하나의 색이 하나의 화소 영역에 대응한다.
다음, 컬러필터(231, 232, 233) 하부에는 투명 도전 물질로 이루어진 공통 전극(240)이 형성되어 있다. 여기서, 공통 전극(240)은 투명 전극(200)과 동일한 물질로 이루어지는 것이 바람직하며, 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide : 이하 ITO라고 한다)와 같은 물질로 이루어질 수 있다. 한편, 컬러필터(231, 232, 233)와공통 전극(240) 사이에는 컬러필터(231, 232, 233)를 보호하기 위한 오버코트층(도시하지 않음)이 더 형성되어 있을 수도 있다.
이어, 투명 전극(200)과 공통 전극(240) 사이에는 액정층(250)이 위치하며, 액정층(250)의 액정 분자는 투명 전극(200)과 공통 전극(240)에 전압이 인가되었을 때, 두 전극(200, 240) 사이에 생성된 전기장에 의해 배열 상태가 변화된다. 이때, 도시하지 않았지만 투명 전극(200) 상부와 공통 전극(240) 하부에는 각각 배향막이 형성되어 있어, 액정 분자의 초기 배열 상태를 결정한다.
이러한 본 발명에 따른 반사형 액정 표시 장치에서 빛의 진행 과정을 도 5에 도시하였는데, 빛의 방향에 영향을 미치는 층만을 도시하였으며 앞선 도 4와 동일한 부호를 사용한다.
여기서, 제 2 기판(210) 상부의 공기층 굴절률은 n1이라 하고, 제 2 기판(210)의 굴절률은 n2, 톱니 모양의 제 2 보호층(190)의 굴절률은 n3라고 하며, 액정층(250)의 굴절률은 제 2 기판(210)의 굴절률과 동일한 값을 가지도록 한다. 이때, 공기층의 굴절률 n1은 약 1이고, 제 2 기판(210)의 굴절률 n2는 약 1.5의 값을 가진다.
도 4에 도시한 바와 같이, 외부 광원(도시하지 않음)으로부터 입사각 ①을 가지고 제 2 기판(210)으로 입사한 빛(c1)은 굴절각 ②를 가지고 굴절되고(c2), 이 빛(c2)은 다시 제 2 보호층(190)으로 입사하는데, 제 2 보호층(190)의 일면과 수직한 선에 대해 입사각 ④를 가지게 된다. 여기서, 제 2 보호층(190) 일면이 화소 전극(181)에 대해 기울어진 각을 ③이라고 한다.
이어, 제 2 보호층(190)으로 입사한 빛(c2)은 제 2 보호층(190)의 일면에 대해 굴절각 ⑤를 가지고 굴절되며(c3), 이 빛(c3)은 반사판(181)에서 반사된다(c4). 이때, 반사판(181)에 대한 입사각(⑥)과 반사각(⑥)은 동일한 값을 가진다.
다음, 반사판(181)에서 반사된 빛(c4)은 다시 제 2 보호층(190)의 일면을 통해 입사각 ⑦을 가지고 액정층(250)으로 입사한 후, 굴절각 ⑧을 가지고 굴절된다(c5). 굴절된 빛(c5)은 기판에 수직한 선에 대해 각도 ⑨를 가지므로, 액정층(250)에서 굴절된 빛(c5)은 제 2 기판(210)에 대해 입사각 ⑨를 가지고 입사하여, 공기층에서 굴절각 ⑩을 가지고 굴절된다(c6).
이때, 반사형 액정 표시 장치의 정면 휘도를 향상시키기 위해서는 굴절되어 나온 빛(c6)의 굴절각(⑩)이 작은 것이 좋은데, 이러한 결과를 얻기 위해서는 굴절률이 n1＜n2＜n3이어야 하고, 제 2 보호층(190)의 일면이 가지는 경사각은 ③＞②인 조건을 만족해야 한다.
이와 같이, 본 발명에서는 반사판(181) 상부에 톱니 모양을 가지는 제 2 보호층(190)이 형성되어 있어 반사판(181)에서 반사된 빛을 주시야각 범위로 출력시킬 수 있다. 따라서, 정면 방향에서의 휘도를 향상시킬 수 있고, 제 2 보호층(190) 상부에 공통 전극(240)과 동일한 물질로 투명 전극(200)을 형성하므로 일함수 차이가 발생하지 않아 플리커를 방지할 수 있다.
이러한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치의 제조 과정을 도 6a 내지 도 6f를 참조하여 설명한다. 도 6a 내지 도 6f는 본 발명에 따른 반사형 액정 표시 장치의 어레이 기판에 대한 제조 과정을 도시한 단면도로서, 상부 기판은 종래와 동일한 공정으로 이루어지므로 여기서는 하부 기판에 대한 제조 공정만을 설명한다.
먼저, 도 6a에 도시한 바와 같이 기판(110) 위에 금속과 같은 도전 물질을 스퍼터링과 같은 방법으로 증착하고 패터닝하여 게이트 전극(121)을 형성한다. 이때, 게이트 전극(121)과 연결된 게이트 배선(도시하지 않음)도 함께 형성되며, 게이트 배선 및 게이트 전극(121)은 신호 지연을 방지하기 위해 비교적 비저항이 작은 물질로 형성하는 것이 좋다.
다음, 도 6b에 도시한 바와 같이 실리콘 질화막이나 실리콘 산화막을 증착하여 게이트 절연막(130)을 형성하고, 그 위에 비정질 실리콘과 불순물이 도핑된 비정질 실리콘을 증착한 후 패터닝하여 게이트 전극(121) 상부에 위치하는 액티브층(141)과 불순물 반도체층(153)을 형성한다.
다음, 도 6c에 도시한 바와 같이 금속과 같은 도전 물질을 증착하고 패터닝하여 데이터 배선(161)과 게이트 전극(121)을 중심으로 마주 대하는 소스 및 드레인 전극(162, 163)을 형성한다. 이어, 드러난 불순물 반도체층(도 6b의 153)을 식각하여 오믹 콘택층(151, 152)을 완성한다. 여기서, 데이터 배선(161)은 소스 전극(162)과 연결되어 있으며, 게이트 배선(도시하지 않음)과 교차하여 화소 영역을 정의한다. 소스 및 드레인 전극(162, 163)은 게이트 전극(121)과 함께 박막 트랜지스터(T1)를 이룬다.
다음, 도 6d에 도시한 바와 같이 유기 물질을 도포하고 패터닝하여 제 1 보호층(170)을 형성한 후, 금속과 같은 물질을 증착하고 패터닝하여 화소 영역에 반사판(181)을 형성한다. 여기서, 제 1 보호층(170)은 저유전 상수를 가지는 유기 물질로 이루어지는 것이 바람직하며, 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene : 이하 BCB라고 한다)과 같은 물질을 이용할 수 있다. 한편, 반사판(181)은 데이터 배선(161)과 중첩하며 박막 트랜지스터(T1)를 덮고 있는데, 알루미늄(Al)이나 알루미늄-네오디뮴(AlNd), 은(Ag) 또는 금(Au)과 같이 반사가 잘되는 물질로 형성할 수 있다. 이때, 드레인 전극(163) 상부에 위치하는 반사판(181) 부분을 일부 제거한다.
다음, 도 6e에 도시한 바와 같이 반사판(181) 상부에 제 2 보호층(190)을 형성하고, 이를 제 1 보호층(170)과 함께 패터닝하여 드레인 전극(163)을 일부 드러내는 콘택홀(191)을 형성한다. 이때, 제 2 보호층(190)은 유기 물질로 이루어지며 톱니 모양을 가지도록 형성되는데, 이러한 톱니 모양은 유기 물질을 도포하고 패터닝하여 일정 크기의 패턴을 형성한 다음, 패턴이 형성된 기판을 일정 각도, 예를 들면 90도로 기울여서 열처리함으로써 형성할 수 있다.
또는, 유기 물질을 도포하고 전자 빔(electron beam)을 이용하여 도포된 유기 물질을 노광하는데, 이때 노광 정도를 위치에 따라 다르게 한다. 따라서 노광된 유기 물질을 현상하여 톱니 모양을 가지는 제 2 보호층(190)을 형성할 수도 있다.
본 발명에서는 제 2 보호층(190)을 형성하고 제 1 보호층(170)과 함께 패터닝하여 콘택홀(191)을 형성하였으나, 제 1 보호층(170) 형성시 제 1 콘택홀을 형성하고 제 2 보호층(190) 형성시 제 1 콘택홀 상부에 제 2 콘택홀을 형성함으로써, 드레인 전극(163)을 드러내는 콘택홀(191)을 형성할 수도 있다.
다음, 도 6f에 도시한 바와 같이 제 2 보호층(190) 상부에 ITO와 같은 투명한 도전 물질을 증착하고 패터닝하여 투명 전극(200)을 형성한다. 투명 전극(200)은 제 2 보호층(190)과 마찬가지로 표면이 톱니 모양을 가지며, 콘택홀(191)을 통해 드레인 전극(163)과 연결되는데, 이때 반사판(181)과는 분리되어 있다. 또한, 투명 전극(200)은 데이터 배선(161)과 중첩하며 박막 트랜지스터(T1)를 덮도록 형성할 수 있다.
이와 같이 반사형 액정 표시 장치의 하부 기판을 형성하고, 종래와 같은 방법으로 상부 기판을 형성한 다음, 두 기판을 배치하고 그 사이에 액정을 주입하여 도 4와 같은 반사형 액정 표시 장치를 완성한다.
그런데, 액정 표시 장치의 두 기판을 배치하는 과정에서 오정렬(misalign)이 발생하여 이후 액정 표시 장치의 구동시 빛샘과 같은 불량이 생길 수 있다. 이를 방지하기 위해 상부 기판의 블랙 매트릭스 폭을 넓게 형성할 수 있는데, 이러한 경우 액정 표시 장치의 개구율이 낮아지게 된다. 따라서, 최근에는 액정 표시 장치의 오정렬을 방지하고 개구율을 향상시키기 위해 컬러 필터를 어레이 기판에 형성하는 방법이 제시되었다.
이러한 구조를 가지는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치에 대하여 도 7에 도시하였다.
도시한 바와 같이, 절연 기판(310) 위에 게이트 전극(321)이 형성되어 있고, 게이트 전극(321) 상부에는 게이트 절연막(330)이 형성되어 있다. 도시하지 않았지만 게이트 절연막(330) 하부에는 게이트 전극(321)과 연결된 게이트 배선이 더 형성되어 있다.
다음, 게이트 전극(321) 상부의 게이트 절연막(330) 위에는 비정질 실리콘으로 이루어진 액티브층(341)이 형성되어 있으며, 액티브층(341) 상부에는 불순물을 포함하는 비정질 실리콘으로 이루어진 오믹 콘택층(351, 352)이 형성되어 있다.
이어, 오믹 콘택층(351, 352) 상부에는 금속과 같은 도전 물질로 이루어지고, 게이트 전극(321)을 중심으로 마주 대하는 소스 및 드레인 전극(362, 363)이 형성되어 있으며, 또한 데이터 배선(361)이 형성되어 있는데, 데이터 배선(361)은 소스 전극(362)과 연결되어 있으며, 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의한다.
다음, 데이터 배선(361)과 소스 및 드레인 전극(362, 363) 상부에는 보호층(370)이 형성되어 있는데, 보호층(370)은 저유전상수를 가지는 유기 물질로 이루어지는 것이 바람직하다.
이어, 보호층(370) 상부에는 금속과 같이 불투명한 도전 물질로 이루어진 반사판(381)이 형성되어 있다. 반사판(381)은 박막 트랜지스터(T2)를 덮고 있으며, 데이터 배선(361)과 중첩되어 있다.
다음, 데이터 배선(361) 상부의 보호층(370) 위에는 블랙 매트릭스(390)가 형성되어 있는데, 블랙 매트릭스(390)는 톱니 모양을 가지며 반사판(381) 사이에 위치한다. 여기서, 블랙 매트릭스(390)는 흑색 수지(black resin)와 같은 유기 물질로 이루어질 수 있다.
다음, 블랙 매트릭스(390) 상부에는 적, 녹, 청의 색이 순차적으로 반복되어 있는 컬러필터(401, 402, 403)가 형성되어 있는데, 컬러필터(401, 402, 403)는 표면이 톱니 모양으로 이루어지고 하나의 색이 하나의 화소 영역에 대응하며, 하부의 보호층(370)과 함께 드레인 전극(363)을 드러내는 콘택홀(402a)을 가진다.
이어, 컬러필터(401, 402, 403) 상부에는 ITO와 같은 투명 도전 물질로 이루어진 투명 전극(410)이 형성되어 있다. 투명 전극(410)은 콘택홀(402a)을 통해 하부의 드레인 전극(363)과 연결되어 있으며, 반사판(381)과는 분리되어 있다. 여기서, 투명 전극(410)도 컬러필터(401, 402, 403)와 마찬가지로 톱니 모양을 가지게 된다.
다음, 제 1 기판(310) 상부에는 제 1 기판(310)과 일정 간격 이격되고 투명한 제 2 기판(510)이 배치되어 있고, 제 2 기판(510) 하부에는 ITO와 같은 투명 도전 물질로 이루어진 공통 전극(520)이 형성되어 있다.
다음, 투명 전극(431)과 공통 전극(520) 사이에는 액정층(550)이 위치하며, 이때 도시하지 않았지만 투명 전극(431) 상부와 공통 전극(520) 하부에는 각각 배향막이 형성되어 있다.
본 발명의 제 2 실시예에서 컬러필터(401, 402, 403)는 액정층(550) 및 제 2 기판(510)의 굴절률보다 작은 값을 가지는 것이 바람직하다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치의 제조 방법에 대하여 도 8a 내지 도 8h를 참조하여 설명한다.
먼저, 도 8a에 도시한 바와 같이 기판(310) 위에 금속과 같은 도전 물질을 스퍼터링과 같은 방법으로 증착하고 패터닝하여 게이트 전극(321)을 형성한다. 이때, 게이트 전극(321)과 연결된 게이트 배선(도시하지 않음)도 함께 형성되며, 게이트 배선 및 게이트 전극(321)은 신호 지연을 방지하기 위해 비교적 비저항이 작은 물질로 형성하는 것이 좋다.
다음, 도 8b에 도시한 바와 같이 실리콘 질화막이나 실리콘 산화막을 증착하여 게이트 절연막(330)을 형성하고, 그 위에 비정질 실리콘과 불순물이 도핑된 비정질 실리콘을 증착한 후 패터닝하여 게이트 전극(321) 상부에 액티브층(341)과 불순물 반도체층(353)을 차례로 형성한다.
다음, 도 8c에 도시한 바와 같이 금속과 같은 도전 물질을 증착하고 패터닝하여 데이터 배선(361)과 게이트 전극(321)을 중심으로 마주 대하는 소스 및 드레인 전극(362, 363)을 형성한다. 이어, 드러난 불순물 반도체층(도 8b의 353)을 식각하여 오믹 콘택층(351, 352)을 완성한다. 여기서, 데이터 배선(361)은 소스 전극(362)과 연결되어 있으며, 게이트 배선(도시하지 않음)과 교차하여 화소 영역을 정의한다. 소스 및 드레인 전극(362, 363)은 게이트 전극(321)과 함께 박막 트랜지스터(T2)를 이룬다.
이어, 도 8d에 도시한 바와 같이 유기 물질을 도포하고 패터닝하여 보호층(370)을 형성한 후, 금속과 같은 물질을 증착하고 패터닝하여 화소 영역에 반사판(381)을 형성한다. 여기서, 보호층(370)은 BCB와 같이 저유전 상수를 가지는 유기 물질로 이루어지는 것이 바람직하고, 반사판(381)은 반사가 잘되는 알루미늄이나 크롬과 같은 물질로 형성하는 것이 좋다. 반사판(381)은 데이터 배선(361)과 중첩하며 박막 트랜지스터(T2)를 덮도록 형성하는데, 이때, 드레인 전극(363) 상부에 위치하는 부분은 일부 제거한다.
다음, 도 8e에 도시한 바와 같이 보호층(370) 상부에 흑색 수지와 같은 물질을 도포하고 패터닝하여 톱니 모양을 가지는 블랙 매트릭스(390)를 형성한다. 블랙 매트릭스(390)는 데이터 배선(361) 상부 즉, 반사판(381) 사이에 위치한다. 여기서, 블랙 매트릭스(390)는 앞선 제 1 실시예에서 제 2 보호층의 톱니 모양을 형성하는 방법과 동일한 방법으로 형성할 수 있다.
이어, 도 8f에 도시한 바와 같이 블랙 매트릭스(390) 사이에 적, 녹, 청의 컬러필터(401, 402, 403)를 각각 형성한다. 이때, 컬러필터(401, 402, 403)도 블랙 매트릭스(390)와 마찬가지 방법으로 형성하여 표면이 톱니 모양을 가지도록 하며, 컬러필터(401, 402, 403)는 또한 하부의 보호층(370)과 함께 패터닝하여 드레인 전극(363)을 드러내는 콘택홀(402a)을 가진다.
다음, 도 8g에 도시한 바와 같이 컬러필터(401, 402, 403) 상부에 ITO와 같은 투명한 도전 물질을 증착하고 패터닝하여 투명 전극(410)을 형성한다. 투명 전극(410)은 표면이 톱니 모양을 가지며, 콘택홀(402a)을 통해 드레인 전극(363)과 연결된다.
이와 같이 반사형 액정 표시 장치의 하부 기판을 형성하고, 투명한 기판에 ITO와 같은 물질로 공통 전극을 형성하여 상부 기판을 형성한 후, 두 기판을 배치하여 그 사이에 액정을 주입함으로써 도 7과 같은 반사형 액정 표시 장치를 완성한다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 이상 다양한 변화와 변형이 가능하다.
본 발명에 따른 반사형 액정 표시 장치에서는 반사판 상부에 제 2 기판보다 굴절률이 작으며, 표면이 톱니 모양으로 이루어진 보호층을 더 형성함으로써, 출력되는 빛의 각도를 작게 하여 정면 방향에서의 휘도를 향상시킬 수 있다.
이때, 톱니 모양의 보호층을 컬러필터를 이용하여 형성할 수 있는데, 이러한 경우에는 오정렬을 방지할 수 있다.
또한, 톱니 모양의 보호층 상부에 공통 전극과 동일한 물질로 화소 전극을 형성하여, 플리커의 발생을 방지할 수 있다.

Claims (22)

  1. 제 1 기판;
    상기 제 1 기판 상에 형성된 게이트 배선과 상기 게이트 배선에 연결된 게이트 전극;
    상기 게이트 배선 및 게이트 전극을 덮고 있는 게이트 절연막;
    상기 게이트 전극 상부의 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 액티브층;
    상기 액티브층 상부의 오믹 콘택층;
    상기 오믹 콘택층 상부에 형성되어 있고, 상기 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선과 상기 게이트 전극을 중심으로 마주 대하는 소스 및 드레인 전극;
    상기 데이터 배선과 상기 소스 및 드레인 전극 상부에 유기 물질로 이루어진 제 1 보호층;
    상기 제 1 보호층 상부의 화소 영역에 형성되고, 불투명 도전 물질로 이루어진 반사판;
    상기 반사판 상부에 형성되고 상기 제 1 보호층과 함께 상기 드레인 전극을 드러내는 콘택홀을 가지며, 톱니 모양으로 이루어진 제 2 보호층;
    상기 제 2 보호층 상부에 형성되어 있으며, 상기 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극과 연결되어 있는 투명 전극;
    상기 제 1 기판 상부에 상기 제 1 기판과 일정 간격 이격되어 있는 제 2 기판;
    상기 제 2 기판 하부에 형성되어 있으며, 상기 투명 전극의 가장자리를 덮고 있는 블랙 매트릭스;
    상기 블랙 매트릭스 하부에 적, 녹, 청의 색이 순차적으로 형성되어 있는 컬러필터;
    상기 컬러필터 하부에 형성되어 있는 공통 전극;
    상기 투명 전극과 상기 공통 전극 사이에 위치하는 액정층
    을 포함하는 반사형 액정 표시 장치.
  2. 제 1 기판;
    상기 제 1 기판 상에 형성된 게이트 배선과 상기 게이트 배선에 연결된 게이트 전극;
    상기 게이트 배선 및 게이트 전극을 덮고 있는 게이트 절연막;
    상기 게이트 전극 상부의 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 액티브층;
    상기 액티브층 상부의 오믹 콘택층;
    상기 오믹 콘택층 상부에 형성되어 있고, 상기 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선과 상기 게이트 전극을 중심으로 마주 대하는 소스 및 드레인 전극;
    상기 데이터 배선과 상기 소스 및 드레인 전극 상부에 유기 물질로 이루어진보호층;
    상기 보호층 상부의 화소 영역에 형성되고, 불투명 도전 물질로 이루어진 반사판;
    상기 반사판 상부의 화소 영역에 적, 녹, 청의 색이 순차적으로 형성되어 있고, 상기 보호층과 함께 상기 드레인 전극을 드러내는 콘택홀을 가지며 톱니 모양으로 이루어진 컬러필터;
    상기 컬러필터 상부에 형성되고, 상기 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극과 연결되어 있는 투명 전극;
    상기 제 1 기판 상부에 상기 제 1 기판과 일정 간격 이격되어 있는 제 2 기판;
    상기 제 2 기판 하부에 형성되어 있는 공통 전극;
    상기 투명 전극과 상기 공통 전극 사이에 위치하는 액정층
    을 포함하는 반사형 액정 표시 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 반사판 상부에 형성되어 있고 상기 화소 영역에 대응하는 부분에 개구부를 가지며, 톱니 모양으로 이루어진 블랙 매트릭스;
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 컬러필터는 상기 제 2 기판보다 작은 굴절률을 가지는 반사형 액정 표시 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 보호층은 상기 제 2 기판보다 작은 굴절률을 가지는 반사형 액정 표시 장치.
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 제 2 기판과 상기 액정층은 동일한 굴절률을 가지는 반사형 액정 표시 장치.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 톱니 모양은 일면이 타면보다 완만한 경사를 가지는 반사형 액정 표시 장치.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 투명 전극과 상기 공통 전극은 동일한 물질로 이루어진 반사형 액정 표시 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 투명 전극과 상기 공통 전극은 인듐-틴-옥사이드로 이루어진 반사형 액정 표시 장치.
  10. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 보호층은 벤조사이클로부텐으로 이루어진 반사형 액정 표시 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 투명 전극은 상기 데이터 배선과 중첩하는 반사형 액정 표시 장치.
  12. 제 1 기판 위에 게이트 배선과 상기 게이트 배선에 연결된 게이트 전극을 형성하는 단계;
    상기 게이트 배선 및 게이트 전극 상부에 게이트 절연막을 형성하는 단계;
    상기 게이트 전극 상부의 게이트 절연막 위에 액티브층을 형성하는 단계;
    상기 액티브층 상부에 오믹 콘택층을 형성하는 단계;
    상기 오믹 콘택층 상부에 상기 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선과 상기 게이트 전극을 중심으로 마주 대하는 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계;
    상기 데이터 배선과 상기 소스 및 드레인 전극 상부에 유기 물질로 제 1 보호층을 형성하는 단계;
    상기 제 1 보호층 상부의 화소 영역에 불투명 도전 물질로 반사판을 형성하는 단계;
    상기 반사판 상부에 상기 제 1 보호층과 함께 상기 드레인 전극을 드러내는 콘택홀을 가지며, 톱니 모양으로 이루어진 제 2 보호층을 형성하는 단계;
    상기 제 2 보호층 상부에 상기 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극과 연결되고, 톱니 모양을 가지는 투명 전극을 형성하는 단계;
    제 2 기판 위에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계;
    상기 블랙 매트릭스 상부에 적, 녹, 청의 컬러필터를 형성하는 단계;
    상기 컬러필터 상부에 공통 전극을 형성하는 단계;
    상기 투명 전극이 형성된 제 1 기판과 상기 공통 전극이 형성된 제 2 기판을 배치하는 단계;
    상기 배치된 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 액정을 주입하는 단계
    를 포함하는 반사형 액정 표시 장치의 제조 방법.
  13. 제 1 기판 위에 게이트 배선과 상기 게이트 배선에 연결된 게이트 전극을 형성하는 단계;
    상기 게이트 배선 및 게이트 전극 상부에 게이트 절연막을 형성하는 단계;
    상기 게이트 전극 상부의 게이트 절연막 위에 액티브층을 형성하는 단계;
    상기 액티브층 상부에 오믹 콘택층을 형성하는 단계;
    상기 오믹 콘택층 상부에 상기 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선과 상기 게이트 전극을 중심으로 마주 대하는 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계;
    상기 데이터 배선과 상기 소스 및 드레인 전극 상부에 유기 물질로 보호층을 형성하는 단계;
    상기 보호층 상부의 화소 영역에 불투명 도전 물질로 반사판을 형성하는 단계;
    상기 반사판 상부에 상기 보호층과 함께 상기 드레인 전극을 드러내는 콘택홀을 가지며, 톱니 모양으로 이루어진 적, 녹, 청의 컬러필터를 형성하는 단계;
    상기 컬러필터 상부에 상기 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극과 연결되는 투명 전극을 형성하는 단계;
    제 2 기판 상부에 공통 전극을 형성하는 단계;
    상기 투명 전극이 형성된 제 1 기판과 상기 공통 전극이 형성된 제 2 기판을 배치하는 단계;
    상기 배치된 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 액정을 주입하는 단계
    를 포함하는 반사형 액정 표시 장치의 제조 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 반사판을 형성하는 단계와 상기 컬러필터를 형성하는 단계 사이에 상기 데이터 배선 상부의 보호층 위에 위치하며, 톱니 모양을 가지는 블랙 매트릭스를 형성하는 단계를 더 포함하는 반사형 액정 표시 장치의 제조 방법.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 컬러필터는 상기 제 2 기판보다 작은 굴절률을 가지는 반사형 액정 표시 장치의 제조 방법.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 제 2 보호층은 상기 제 2 기판보다 작은 굴절률을 가지는 반사형 액정표시 장치의 제조 방법.
  17. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
    상기 제 2 기판과 상기 액정층은 동일한 굴절률을 가지는 반사형 액정 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서,
    상기 톱니 모양은 일면이 타면보다 완만한 경사를 가지는 반사형 액정 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서,
    상기 투명 전극과 상기 공통 전극은 동일한 물질로 이루어지는 반사형 액정 표시 장치의 제조 방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 투명 전극과 상기 공통 전극은 인듐-틴-옥사이드로 이루어지는 반사형액정 표시 장치의 제조 방법.
  21. 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서,
    상기 보호층은 벤조사이클로부텐으로 이루어지는 반사형 액정 표시 장치의 제조 방법.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 투명 전극은 상기 데이터 배선과 중첩하는 반사형 액정 표시 장치의 제조 방법.
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