KR20030048212A - Sprocket wheel for belt support in plating apparatus - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A sprocket wheel is provided to replace only a corroded component. CONSTITUTION: A first wheel body(20) is formed by a PVC(Polyvinyl Chloride) and has a through hole(22). A second wheel body(30) of a PVC is inserted in the upper part of the first wheel body, has grooves(32) for inserting pins through the circumference and has grooves(34) for combining bolts. A third wheel body(40) is inserted in the lower part of the first wheel body, has grooves(42) for inserting pins through the circumference and has through holes(44) for combining bolts corresponding to the grooves for combining bolts of the second wheel body. Suspension pins(50) are inserted in each groove for inserting pin of the second and the third wheel bodies. Thereby, only the auxiliary wheel body containing corroded suspension pins is replaced. Therefore, the waste of a sprocket wheel is solved.

Description

도금장비에서의 벨트 지지용 스프로켓 휠{SPROCKET WHEEL FOR BELT SUPPORT IN PLATING APPARATUS}Sprocket wheel for belt support in plating equipment {SPROCKET WHEEL FOR BELT SUPPORT IN PLATING APPARATUS}

본 발명은 반도체 제조용 도금장비에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 리드 프레임(lead frame)의 도금장비에서 벨트(belt)를 구동 및 지지하기 위해 사용되는 스프로켓 휠(Sprocket wheel)에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to plating equipment for semiconductor manufacturing, and more particularly, to a sprocket wheel used for driving and supporting a belt in a plating apparatus of a lead frame.

반도체 제조 기술이 발전함에 따라, 반도체 제조 공정은 자동화된 양산 체제로 수행되고 있다. 이러한 자동화 공정에서 다량의 반도체 소자들을 연속적으로 이송하기 위해 다양한 종류의 장치들이 사용되며, 한 예로, 컨베이어 벨트는 다량의 반도체 소자를 이송하기 위한 수단으로서 많이 사용되고 있다. 또한, 상기 컨베이어 벨트를 구동 및 지지하기 위한 부품으로서 스프로켓 휠(Sprocket wheel)이 사용되며, 이하에서는 이러한 스프로켓 휠에 대해 설명하도록 한다.As semiconductor manufacturing technology advances, the semiconductor manufacturing process is being performed in an automated mass production system. In this automated process, various kinds of devices are used to continuously transport a large amount of semiconductor devices. For example, a conveyor belt is widely used as a means for transporting a large amount of semiconductor devices. In addition, a sprocket wheel is used as a part for driving and supporting the conveyor belt, which will be described below.

도 1 및 도 2는 리드 프레임의 도금장비에서 사용되는 스프로켓 휠의 단면도 및 평면도이다.1 and 2 are a cross-sectional view and a plan view of the sprocket wheel used in the plating equipment of the lead frame.

도시된 바와 같이, 스프로켓 휠(10)은 중심을 관통하는 지지축을 갖는 휠 몸체(1)와, 상기 휠 몸체(1)의 상단 내부에 배치되면서 그의 원주면을 따라 상기 휠 몸체(1) 외측으로 돌출되게 일정 간격으로 배치되는 수 개의 서스 핀(Sus Pin : 3)을 갖는 서스 플레이트(SUS Plate : 2), 및 상기 휠 몸체(1)와 서스 플레이트(2)의 중심축에 배치된 샤프트 결합부(4)를 포함한다.As shown, the sprocket wheel 10 has a wheel body 1 having a support shaft penetrating the center thereof, and is disposed inside the upper end of the wheel body 1 and along the circumferential surface thereof to the outside of the wheel body 1. Sustain plate (SUS Plate 2) having a number of sus (Sus Pin: 3) arranged to protrude at regular intervals, and shaft coupling portion disposed on the central axis of the wheel body (1) and the susplate (2) It includes (4).

상기 휠 몸체(1)는 도금장비의 특성상 케미컬(chemical)에 의한 부식에 견디기 위해 PVC로 이루어진다. PVC는 재료 특성상 강도는 약하지만, 케미털에 의한 내부식성이 강하므로, 물리적인 힘이 가해지지 않는 한 오랜 기간 사용할 수 있다. 상기 서스 핀(3)은 명칭에서 시사하는 바와 같이 스테인레스 합금으로 이루어지면서 대략 18개가 삽입 고정된다. 또한, 상기 서스 핀(3)은 단방향으로 돌출된 돌출부가 형성되어 있는 원기둥 형태를 가지며, 돌출부는 돌출되는 지점으로부터 직선구간(A)이 형성된 후에 소정의 반경으로 라운드 가공된 형태를 갖는다.The wheel body 1 is made of PVC to withstand the corrosion by chemical (chemical) due to the characteristics of the plating equipment. PVC is weak in strength due to its material characteristics, but it is resistant to corrosion by chemistry, so it can be used for a long time unless physical force is applied. As the name suggests, the susps 3 are made of stainless alloy and are inserted and fixed in approximately 18 pieces. In addition, the suspin 3 has a cylindrical shape in which a protrusion protruding in a unidirectional direction is formed, and the protrusion has a form in which the protrusion is rounded to a predetermined radius after a straight section A is formed.

이와 같은 스프로켓 휠에 있어서, 벨트와 접촉하는 부위는, 도 1을 참조할 때, 벨트의 홀에 삽입되는 서스 핀(3)과 휠 몸체(1)의 윗쪽 절반 정도이며, 상기 휠 몸체(1)의 아래쪽 절반은 벨트와 접촉하지 않는다.In such a sprocket wheel, the contact portion with the belt is about the upper half of the suspin 3 and the wheel body 1 inserted into the hole of the belt when referring to Fig. 1, the wheel body 1 The bottom half of the do not touch the belt.

이러한 스프로켓 휠의 구동을 살펴보면, 휠 몸체(1)가 회전함에 따라, 상기 휠 몸체(1)의 원주면에 배치된 서스 핀(3)이 컨베이어 벨트에 형성된 홀들에 차례로 끼워지고, 이러한 동작이 반복되어 컨베이어 벨트의 이송이 이루어진다.Looking at the driving of the sprocket wheel, as the wheel body 1 rotates, the suspins 3 disposed on the circumferential surface of the wheel body 1 are sequentially inserted in the holes formed in the conveyor belt, and this operation is repeated. The conveyor belt is then conveyed.

그러나, 전술한 바와 같은 구조를 갖는 종래의 스프로켓 휠은 그의 구동시에 컨베이어 벨트와 접촉하는 서스 핀의 마모가 필연적으로 일어나게 되는데, 이렇게 서스 핀의 마모가 일어날 경우에는 휠 몸체도 함께 교체해야 하기 때문에 낭비가 발생되는 문제점이 있다.However, the conventional sprocket wheel having the structure as described above inevitably causes wear of the suspin in contact with the conveyor belt during its driving, which is wasted because the wheel body must be replaced together when the wear of the suspin occurs. There is a problem that occurs.

즉, 상기 서스 핀이 일정 부분 이상 마모될 경우에는 벨트의 높이가 내려가거나 빠질 위험이 있으므로 스프로켓 휠을 교체해 주여야 하는데, 종래의 스프로켓 휠은 휠 몸체, 서스 핀 등이 모두 일체형으로 되어 있어서, 핀의 마모가 발생되는 경우에는 PVC 재질의 휠 몸체도 함께 교체해야 한다. 또한, 상기 서스 핀이 교체 가능하도록 구비되었다고 할지라도, 마모된 서스 핀을 일일이 교체하는 것이 어렵고, 특히, 서스 핀을 교체하는 과정에서 PCV 재질의 휠 몸체가 파손되는 경우가 발생되는 바, 불필요한 낭비가 발생하게 된다.In other words, when the suspension is worn over a certain portion, the height of the belt may be lowered or dropped. Therefore, the sprocket wheel should be replaced. However, the conventional sprocket wheel has a wheel body, a suspin, and the like. In case of wear, the wheel body made of PVC must also be replaced. In addition, even if the susp is provided to be replaced, it is difficult to replace the worn suspended by one, in particular, the wheel body made of PCV material is damaged during the replacement of the suspending bar, unnecessary waste Will occur.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 마모된 부품만의 교체가 가능하도록 한 도금장비에서의 벨트 지지용 스프로켓 휠을제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a belt support sprocket wheel in the plating equipment that can be replaced only worn parts to solve the above problems.

또한, 본 발명은 사용 수명을 증가시킨 도금장비에서의 벨트 지지용 스프로켓 휠을 제공함에 그 다른 목적이 있다.In addition, the present invention has another object to provide a sprocket wheel for supporting the belt in the plating equipment to increase the service life.

도 1 및 도 2는 종래의 벨트 지지용 스프로켓 휠의 단면도 및 평면도.1 and 2 are a cross-sectional view and a plan view of a conventional belt support sprocket wheel.

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 벨트 지지용 스프로켓 휠의 단면도 및 평면도.3 and 4 are a cross-sectional view and a plan view of the belt support sprocket wheel according to the present invention.

- 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 --Explanation of symbols for the main parts of the drawing-

20 : 제1 휠 몸체 22 : 관통홀20: first wheel body 22: through hole

30 : 제2 휠 몸체 32,42 : 핀 삽입용 홈30: second wheel body 32, 42: pin insertion groove

34 : 볼트 체결용 홈 40 : 제3 휠 몸체34: bolt fastening groove 40: third wheel body

44 : 볼트 체결용 홀 50 : 서스 핀44: bolt fastening hole 50: suspin

60 : 볼트 100 : 스프로켓 휠60: bolt 100: sprocket wheel

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 스프로켓 휠은, PVC 재질이며, 중심에 관통홀을 갖는 제1 휠 몸체; 상기 제1 휠 몸체의 상단측에서 끼워지며, 원주면을 따라 일정 간격으로 핀 삽입용 홈들이 구비되고, 하단에 볼트 체결용 홈을 갖는 PVC 재질의 제2 휠 몸체; 상기 제1 휠 몸체의 하단측에서 끼워지며, 원주면을 따라 일정 간격으로 핀 삽입용 홈들이 구비되고, 상기 제2 휠 몸체의 볼트 체결용 홈과 대응해서 볼트 체결용 관통 홀을 갖는 PVC 재질의 제3 휠 몸체; 및 상기 제2 및 제3 휠 몸체의 핀 삽입용 홈들 각각에 삽입 고정되는 서스 핀을 포함한다.Sprocket wheel of the present invention for achieving the above object, the first wheel body is made of PVC, having a through hole in the center; A second wheel body made of PVC material fitted at an upper end side of the first wheel body, provided with pin insertion grooves at predetermined intervals along a circumferential surface, and having a groove for fastening bolts at a lower end thereof; It is fitted in the lower side of the first wheel body, the pin is provided with grooves for pin insertion at regular intervals along the circumferential surface, of the PVC material having a through hole for bolt fastening corresponding to the bolt fastening groove of the second wheel body A third wheel body; And a suspin inserted into and fixed to each of the pin insertion grooves of the second and third wheel bodies.

본 발명에 따르면, 마모가 일어난 부품만 분리하여 교체할 수 있기 때문에 스프로켓 휠의 낭비 문제를 해결할 수 있고, 특히, 상단 또는 하단측 어느 한 쪽이 마모될 경우에는 뒤집어서 사용할 수 있는 것으로 인해 스프로켓 휠의 사용 수명을 연장시킬 수 있다.According to the present invention, it is possible to solve the problem of waste of the sprocket wheel because only the worn parts can be removed and replaced, and in particular, when either the top or bottom side is worn out, the sprocket wheel can be used upside down. The service life can be extended.

(실시예)(Example)

이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 자세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 도금장비에서의 벨트 지지용 스프로켓 휠을 도시한 단면도 및 평면도로서, 이를 설명하면 다음과 같다.3 and 4 is a cross-sectional view and a plan view showing a sprocket wheel for supporting the belt in the plating equipment according to an embodiment of the present invention, as follows.

도시된 바와 같이, 본 발명의 스프로켓 휠(100)은 하나의 휠 몸체가 아닌 3개의 휠 몸체(20, 30, 40)로 분리되어 구비된다. 제1, 제2 및 제3 휠 몸체 각각은 PCV 재질로 이루어지며, 전체적으로 동일한 외경을 갖는다.As shown, the sprocket wheel 100 of the present invention is provided separated into three wheel bodies 20, 30, 40, rather than one wheel body. Each of the first, second and third wheel bodies is made of PCV material and has the same outer diameter as a whole.

중간에 배치되는 제1 휠 몸체(20)는 실질적인 휠 몸체로서 그 중심에 관통홀(22)을 갖는다. 제2 및 제3 휠 몸체(30, 40)는 상기 제1 휠 몸체(20)의 상측 및 하측 각각에 교체 가능하게 끼워지는 보조 휠 몸체로서, 상기 제1 휠 몸체(20)의 관통홀(22) 내에 끼워질 수 있도록 상기 관통홀(22)과 유사 직경의 돌출부를 구비하며, 그리고, 돌출부를 제외한 각 부분의 원주면을 따라 서스 핀의 삽입 고정이 이루어질 수 있도록 수 개의 핀 삽입용 홈(32, 42)이 구비된다.The first wheel body 20 disposed in the middle is a substantially wheel body and has a through hole 22 in the center thereof. The second and third wheel bodies 30 and 40 are auxiliary wheel bodies that are interchangeably fitted to the upper and lower sides of the first wheel body 20, respectively, and the through holes 22 of the first wheel body 20. And a projection having a diameter similar to that of the through-hole 22 so as to be fitted into the groove, and a plurality of pin insertion grooves 32 to allow insertion and fixing of the suspins along the circumferential surface of each part except the projection. 42).

또한, 도 3을 참조할 때, 상기 제1 휠 몸체(20)의 상단측에서 끼워지는 제2 휠 몸체(30)에는 바닥면에 볼트 체결용 홈(34)이 구비되며, 상기 제1 휠 몸체(40)의 하단측에서 끼워지는 제3 휠 몸체(40)에는 상기 제2 휠 몸체(30)의 볼트 체결용 홈(34)과 대응해서 볼트 체결용 관통 홀(44)이 구비된다.In addition, referring to FIG. 3, the second wheel body 30 fitted at the upper end side of the first wheel body 20 is provided with a bolt fastening groove 34 at a bottom thereof, and the first wheel body The third wheel body 40 fitted at the lower end side of the 40 has a bolting through hole 44 corresponding to the bolt fastening groove 34 of the second wheel body 30.

아울러, 상기 제2 및 제3 휠 몸체(30, 40)의 핀 삽입용 홈들(32, 42) 각각에 서스 핀(50)이 삽입 고정된다.In addition, the susp 50 is inserted into and fixed to each of the pin insertion grooves 32 and 42 of the second and third wheel bodies 30 and 40.

상기 제2 및 제3 휠 몸체(30, 40)는 상기 제1 휠 몸체(20)의 상단 및 하단측 각각에서 각 돌출부가 상기 제1 휠 몸체(20)의 관통홀(22) 내에 서로 접하도록 끼워지며, 아울러, 상기 제3 휠 몸체(40)의 볼트 체결용 관통홀(44)의 하부로부터 상기 제2 휠 몸체(30)의 볼트 체결용 홈(34) 내에 볼트(60)를 삽입하는 것에 의해 휠 몸체들(20, 30, 40)간의 결합이 이루어진다.Each of the second and third wheel bodies 30 and 40 may contact each other in the through hole 22 of the first wheel body 20 at each of the upper and lower ends of the first wheel body 20. Inserting the bolt 60 into the bolt fastening groove 34 of the second wheel body 30 from the lower portion of the bolt fastening through hole 44 of the third wheel body 40. The coupling between the wheel bodies 20, 30, 40 is made.

이와 같은 본 발명의 스프로켓 휠에 있어서, 벨트와 접촉하는 부위는 제2 또는 제3 휠 몸체와 제1 휠 몸체의 절반 정도가 되기 때문에, 예컨데, 제1 휠 몸체의 상단에 끼워진 제2 휠 몸체의 서스 핀에서 마모가 일어나 경우에는 제1 휠 몸체를 뒤집어서 제3 휠 몸체를 사용하여 벨트의 구동을 이룰 수 있으며, 아울러, 서스 핀의 마모가 일어난 제2 휠 몸체만을 분리하여 교체할 수 있다.In the sprocket wheel of the present invention, the contact portion with the belt is about half of the second or third wheel body and the first wheel body, for example, the second wheel body fitted to the upper end of the first wheel body When wear occurs in the suspin, the first wheel body may be inverted to drive the belt using the third wheel body, and only the second wheel body in which the wear of the suspin occurs may be removed and replaced.

따라서, 스프로켓 휠의 전체가 아닌, 마모가 일어난 부품에 대해서만 교체를 할 수 있기 때문에 종래의 낭비 문제를 해결할 수 있으며, 특히, 상,하를 뒤집어서 사용할 수 있으므로 인해 종래 보다 사용수명을 2배로 증가시킬 수 있다.Therefore, it is possible to solve the conventional waste problem because it is possible to replace only the worn parts, not the entire sprocket wheel, and in particular, it can be used upside down to double the service life than the conventional one. Can be.

이상에서와 같이, 본 발명은 실질적인 휠 몸체의 상단 및 하단 각각에 서스 핀이 구비된 보조 휠 몸체들을 삽입 고정시킴으로써, 마모가 일어난 서스 핀을 포함한 보조 휠 몸체만을 분리 교체할 수 있으며, 이에 따라, 스프로켓 휠의 낭비 문제를 해결할 수 있다.As described above, the present invention by inserting and fixing the auxiliary wheel body having a suspin at each of the upper and lower ends of the substantial wheel body, it is possible to separate and replace only the auxiliary wheel body including the suspend is worn, accordingly, The waste problem of the sprocket wheel can be solved.

또한, 어느 한 쪽의 보조 휠 몸체에 구비된 서스 핀들에서 마모가 일어난 경우에는 뒤집어서 마모가 일어나지 않은 서스 핀들을 사용할 수 있기 때문에 스프로켓 휠의 사용 수명을 연장시킬 수 있으며, 이에 따라, 장비운영 상의 유지비용을 절감할 수 있음은 물론, 생산성을 향상시킬 수 있다.In addition, when the wear occurs in the suspins provided on either side of the auxiliary wheel body, it is possible to extend the service life of the sprocket wheel because it can be used to turn over the non-wearing suspins, thereby maintaining the operation of the equipment Not only can you save money, but you can also increase your productivity.

기타, 본 발명은 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.In addition, this invention can be implemented in various changes within the range which does not deviate from the summary.

Claims (3)

PVC 재질이며, 중심에 관통홀을 갖는 제1 휠 몸체;A first wheel body made of PVC and having a through hole at its center; 상기 제1 휠 몸체의 상단측에서 끼워지며, 원주면을 따라 일정 간격으로 핀 삽입용 홈들이 구비되고, 하단에 볼트 체결용 홈을 갖는 PVC 재질의 제2 휠 몸체;A second wheel body made of PVC material fitted at an upper end side of the first wheel body, provided with pin insertion grooves at predetermined intervals along a circumferential surface, and having a groove for fastening bolts at a lower end thereof; 상기 제1 휠 몸체의 하단측에서 끼워지며, 원주면을 따라 일정 간격으로 핀 삽입용 홈들이 구비되고, 상기 제2 휠 몸체의 볼트 체결용 홈과 대응해서 볼트 체결용 관통 홀을 갖는 PVC 재질의 제3 휠 몸체; 및It is fitted in the lower side of the first wheel body, the pin is provided with grooves for pin insertion at regular intervals along the circumferential surface, of the PVC material having a through hole for bolt fastening corresponding to the bolt fastening groove of the second wheel body A third wheel body; And 상기 제2 및 제3 휠 몸체의 핀 삽입용 홈들 각각에 삽입 고정되는 서스 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 도금장비에서의 벨트 지지용 스프로켓 휠.The sprocket wheel for supporting the belt in the plating equipment, characterized in that it comprises a suspin that is inserted into each of the pin insertion grooves of the second and third wheel body. 제 1 항에 있어서, 상기 제2 및 제3 휠 몸체는 전체적으로 상기 제1 휠 몸체와 동일한 외경을 갖으면서, 상기 제1 휠 몸체의 관통홀에 끼워지는 돌출부가 각각 구비된 것을 특징으로 하는 도금장비에서의 벨트 지지용 스프로켓 휠.The plating apparatus according to claim 1, wherein the second and third wheel bodies have the same outer diameter as the first wheel body as a whole, and protrusions are fitted into the through holes of the first wheel body. Sprocket wheels for belt support 제 1 항에 있어서, 상기 제2 및 제3 휠 몸체는 상기 제1 휠 몸체의 관통홀 내에 서로 접하도록 끼워지는 것을 특징으로 하는 도금장비에서의 벨트 지지용 스프로켓 휠.The sprocket wheel of claim 1, wherein the second and third wheel bodies are fitted to be in contact with each other in a through hole of the first wheel body.
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