KR100666356B1 - Roller bearing unit and apparatus for delivering a substrate using the same - Google Patents

Roller bearing unit and apparatus for delivering a substrate using the same Download PDF

Info

Publication number
KR100666356B1
KR100666356B1 KR1020050064874A KR20050064874A KR100666356B1 KR 100666356 B1 KR100666356 B1 KR 100666356B1 KR 1020050064874 A KR1020050064874 A KR 1020050064874A KR 20050064874 A KR20050064874 A KR 20050064874A KR 100666356 B1 KR100666356 B1 KR 100666356B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
bearing cap
outer ring
fixing groove
fixing
Prior art date
Application number
KR1020050064874A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김수혁
함준호
배용길
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020050064874A priority Critical patent/KR100666356B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100666356B1 publication Critical patent/KR100666356B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
    • B65G49/069—Means for avoiding damage to stacked plate glass, e.g. by interposing paper or powder spacers in the stack
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)

Abstract

A roller bearing unit and a substrate delivery apparatus using the same are provided to facilitate the exchange of a support member and to prevent liquid chemical from flowing in a bearing by exchanging a bearing cap. A substrate delivery apparatus using a roller bearing unit comprises plural delivery rollers delivering a substrate by rotating; and a support member(100) positioned to contact one side surface of the substrate when the substrate is delivered by the rotation of the delivery roller. The support member is composed of an inner race(122) fixed on the table for delivering the substrate; an outer race(128) surrounding the inner race, and having at least one fixing groove(129) on the external circumference surface; a ball socket(124) positioned between the inner race and the outer race, and contacted with the inner race and the outer race; and a bearing cap(130) having a side wall surrounding the external circumference surface of the outer race, and at least one fixing tip(132) inserted in the fixing groove on the internal circumference surface. The bearing cap combines with the outer race according as the fixing tip fit to the fixing groove.

Description

롤러 베어링 유닛 및 이를 이용하여 기판을 반송하는 장치{roller bearing unit and apparatus for delivering a substrate using the same}Roller bearing unit and apparatus for conveying a substrate using the same {roller bearing unit and apparatus for delivering a substrate using the same}

도 1은 기판 반송장치를 개략적으로 나타내는 도면;1 is a view schematically showing a substrate transfer device;

도 2는 종래의 지지부재를 나타내는 사시도;2 is a perspective view showing a conventional support member;

도 3은 본 발명에 따른 지지부재를 나타내는 사시도;3 is a perspective view showing a support member according to the present invention;

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 베어링 캡의 위치변화를 나타내는 도면이다.4a and 4b is a view showing a position change of the bearing cap according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 기판 반송장치 10 : 롤러 베어링1: Substrate conveying device 10: Roller bearing

12, 122 : 내륜(inner race) 13, 124 : 볼 소켓(ball socket)12, 122: inner race 13, 124: ball socket

14, 126 : 볼 15, 128 : 외륜(outer race)14, 126: ball 15, 128: outer race

20 : 기판 30 : 반송 롤러20: substrate 30: conveying roller

100 : 지지부재 120 : 롤러 베어링100: support member 120: roller bearing

129 : 고정홈 130 : 베어링 캡129: fixing groove 130: bearing cap

132 : 고정팁132: fixed tip

본 발명은 액정 표시 모듈을 제조하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 반송하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for manufacturing a liquid crystal display module, and more particularly, to an apparatus for conveying a substrate.

도 1은 기판 반송장치(1)를 개략적으로 나타내는 도면이다.FIG. 1: is a figure which shows schematically the board | substrate conveyance apparatus 1. FIG.

기판(20)은 반송 롤러(30) 위에서 반송된다. 반송 방향에 따라 반송 롤러(30)는 일정한 방향으로 회전하며, 기판(20)은 반송 롤러(30)의 회전에 따라 일정한 방향을 향해 반송된다.The substrate 20 is conveyed on the conveyance roller 30. The conveyance roller 30 rotates in a fixed direction according to the conveyance direction, and the board | substrate 20 is conveyed toward a fixed direction according to the rotation of the conveyance roller 30.

종래에는 기판(20)이 수평으로 반송되었으나, 기판(20)이 대형화함에 따라 경사진 상태에서 반송하는 방법이 사용되고 있다. 도 1은 기판(20)이 지면과 일정 각도(θ)를 이루는 경사진 상태에서 반송되고 있는 모습을 나타낸다.Conventionally, although the board | substrate 20 was conveyed horizontally, as the board | substrate 20 enlarges, the method of conveying in the inclined state is used. 1 shows a state in which the substrate 20 is conveyed in an inclined state that forms a constant angle θ with the ground.

기판(20)의 측면에는 롤러 베어링(10)가 위치한다. 롤러 베어링(10)은 기판(20)의 일단을 지지하면서 기판(20)이 기설정된 위치로부터 이탈되는 것을 방지한다. 기판(20)이 반송됨에 따라 롤러 베어링(10)은 기판(20)의 반송방향에 대응하여 제자리에서 회전한다. 이하에서 롤러 베어링(10)에 대하여 서술한다.The roller bearing 10 is located at the side of the substrate 20. The roller bearing 10 supports one end of the substrate 20 and prevents the substrate 20 from being separated from the preset position. As the substrate 20 is conveyed, the roller bearing 10 rotates in place corresponding to the conveying direction of the substrate 20. The roller bearing 10 is described below.

도 2는 종래의 롤러 베어링(10)을 나타내는 사시도이다.2 is a perspective view illustrating a conventional roller bearing 10.

종래의 롤러 베어링(10)은 반송 테이블에 고정되는 내륜(12)과 내륜(12)을 감싸고 있는 외륜(15), 내륜(12)과 외륜(15) 사이에 위치하며 내륜(12)과 외륜(15)에 접하는 복수의 볼(14)을 장착하는 볼 소켓(13)을 포함한다.The conventional roller bearing 10 is located between the inner ring 12 fixed to the conveyance table and the outer ring 15 surrounding the inner ring 12, the inner ring 12 and the outer ring 15, and the inner ring 12 and the outer ring ( And a ball socket 13 for mounting a plurality of balls 14 in contact with 15.

내륜(12)은 반송 테이블(도시안됨) 상에 롤러 베어링(10)를 고정한다. 롤러 베어링(10)은 기판(20)의 일단에 위치하여 기판(20)이 반송 테이블 상에서 이탈하지 않도록 한다. 종래의 롤러 베어링(10)에서 내륜(12)은 상부에 형성된 홀을 통하 여 위에서 아래를 향하여 볼트로 고정된다.The inner ring 12 fixes the roller bearing 10 on the conveyance table (not shown). The roller bearing 10 is located at one end of the substrate 20 so that the substrate 20 does not leave the conveying table. In the conventional roller bearing 10, the inner ring 12 is bolted from the top to the bottom through a hole formed in the upper portion.

외륜(15)은 내륜(12)을 감싸고 있으며, 반송하려는 기판(20)과 접하고 있다. 기판(20)의 일단은 외륜(5)의 바깥 원주면에 접하여 지지되며, 기판(20)의 반송방향에 따라 외륜(15)도 함께 회전한다.The outer ring 15 surrounds the inner ring 12 and is in contact with the substrate 20 to be conveyed. One end of the substrate 20 is supported in contact with the outer circumferential surface of the outer ring 5, and the outer ring 15 also rotates along the conveying direction of the substrate 20.

내륜(12)과 외륜(15) 사이에는 복수의 볼(14)들이 위치한다. 볼(14)들은 내륜(2)이 고정된 상태에서 외륜(5)이 내륜(2)으로부터 자유롭게 회전할 수 있도록 도울 뿐만 아니라, 외륜(15)이 받는 외부의 힘을 내륜(12)으로 전달하며 내륜(12)에 의하여 외부의 힘을 지탱할 수 있도록 한다. 복수의 볼(14)들은 볼 소켓(13)에 의하여 고정되며 볼 소켓(13)은 복수의 볼(14)들을 장착할 수 있는 복수의 홀을 포함한다.A plurality of balls 14 are positioned between the inner ring 12 and the outer ring 15. The balls 14 not only allow the outer ring 5 to rotate freely from the inner ring 2 while the inner ring 2 is fixed, but also transmit the external force received by the outer ring 15 to the inner ring 12. By the inner ring 12 to support the external force. The plurality of balls 14 are fixed by the ball socket 13 and the ball socket 13 includes a plurality of holes for mounting the plurality of balls 14.

이하, 상술한 구성을 갖는 종래의 롤러 베어링(10)을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the conventional roller bearing 10 having the above-described configuration will be described.

롤러 베어링(10)은 기판(20)의 일단과 접한 상태에서 기판(20)이 기설정된 위치를 이탈하지 않도록 지지하는 역할을 한다. 상기한 바와 같이 롤러 베어링(10)에 있어서 기판(20)의 일단은 외륜(5)에 접한 상태에서 지지되며, 기판(20)의 반송방향에 따라서 외륜(15)도 함께 회전한다.The roller bearing 10 serves to support the substrate 20 so as not to deviate from the predetermined position in contact with one end of the substrate 20. As mentioned above, one end of the board | substrate 20 in the roller bearing 10 is supported in the state which contact | connected the outer ring 5, and the outer ring 15 also rotates together according to the conveyance direction of the board | substrate 20. As shown in FIG.

이때, 외륜(15)은 일정한 부위가 지속적으로 마찰에 의하여 마모되는 현상이 발생한다. 이는 상기한 바와 같이 기판(20)의 일단이 외륜(15)과 접한 상태에서 기판(20)이 반송되기 때문에 기판(20)에 의하여 외륜(15)이 갈리는 현상이 발생한다. 특히 기판(20)은 일정한 위치에서 반송되므로 외륜(15) 중에서도 기판(20)과 접촉하는 부분이 지속적으로 마모된다.At this time, the outer ring 15 is a phenomenon that a certain portion is continuously worn by friction. This causes the phenomenon that the outer ring 15 is divided by the substrate 20 because the substrate 20 is transported in a state where one end of the substrate 20 is in contact with the outer ring 15 as described above. In particular, since the substrate 20 is conveyed at a constant position, the portion of the outer ring 15 that contacts the substrate 20 is continuously worn.

특히, 도시한 바와 같이 반송방식이 경사반송인 경우에는 기판(20)의 하중이 복수의 롤러 베어링(10)에 의해서만 지탱되므로 외륜(15)의 마모속도가 더욱 빨라진다.In particular, when the conveying method is inclined conveyance as shown, since the load of the substrate 20 is supported only by the plurality of roller bearings 10, the wear rate of the outer ring 15 is further increased.

따라서, 외륜(15)이 마모된 롤러 베어링(10)은 더 이상 사용할 수 없어 폐기처분되며, 롤러 베어링(10) 전체를 교체해야 한다. 설계 기준서에 나타난 롤러 베어링(10)의 교환주기는 10개월∼12개월로 되어 있으나, 실제 사용시 외륜(15)의 마모로 인하여 6개월∼8개월 정도를 사용하고 있는 바 교환주기가 매우 짧다. 따라서, 설비 유지비용 및 생산단가에 큰 부담이 되며, 교체로 인하여 작업능률이 저하되는 결과를 낳고 있다. 게다가 기판 반송장치(1)에는 많은 수의 롤러 베어링(10)이 제공되어야I 하므로 이에 대한 대처방안이 필수적으로 요구된다.Therefore, the roller bearing 10 with the outer ring 15 worn out is no longer used and disposed of, and the entire roller bearing 10 needs to be replaced. Although the replacement cycle of the roller bearing 10 shown in the design standard is 10 months to 12 months, the replacement cycle of the roller bearing 10 is about 6 to 8 months due to the wear of the outer ring 15, which is very short. Therefore, it is a big burden on the maintenance cost and production cost of the equipment, resulting in a decrease in work efficiency due to replacement. In addition, since a large number of roller bearings 10 must be provided in the substrate conveying apparatus 1, a countermeasure for this is required.

또한, 내륜(12)을 반송 테이블에 고정할 때에 내륜(12)의 안쪽에 형성된 홈을 통하여 위에서부터 아래를 향하여 볼트로 고정하므로 롤러 베어링(10)의 내부가 노출될 수 밖에 없다. 따라서, 기판(20)을 반송하면서 기판(20)에 대하여 약액을 공급하는 경우에 약액이 롤러 베어링(10)의 내부로 침투하여 롤러 베어링(10)의 회전시 장애를 발생하며 롤러 베어링(10)의 수명을 단축시키는 문제가 발생한다.In addition, when the inner ring 12 is fixed to the conveying table, the inside of the roller bearing 10 is inevitably exposed because the bolt is fixed from the top downward through the groove formed in the inner ring 12. Therefore, when the chemical liquid is supplied to the substrate 20 while transporting the substrate 20, the chemical liquid penetrates into the roller bearing 10 to generate an obstacle when the roller bearing 10 rotates, and the roller bearing 10 The problem of shortening the lifespan occurs.

본 발명의 목적은 롤러 베어링의 교체주기를 연장할 수 있는 기판 반송장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a substrate conveying apparatus capable of extending the replacement cycle of a roller bearing.

본 발명의 다른 목적은 지지부재의 교체를 보다 용이하게 할 수 있는 기판 반송장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a substrate transfer device which can more easily replace the support member.

본 발명의 또 다른 목적은 약액의 침투를 방지할 수 있는 지지부재를 포함하는 기판 반송장치를 제공하는 데 있다.Still another object of the present invention is to provide a substrate transfer device including a support member capable of preventing the penetration of a chemical solution.

본 발명에 따르면, 기판을 반송하는 장치는 회전에 의하여 상기 기판을 반송하는 복수의 반송 롤러들과, 상기 반송 롤러들의 회전에 의해 기판이 반송될 때 상기 기판의 일측면과 접촉되도록 위치하는 지지부재를 포함하되, 상기 지지부재는 롤러 베어링과, 상기 롤러 베어링의 바깥 원주면을 감싸는 측벽을 가지는 베어링 캡을 포함한다.According to the present invention, an apparatus for conveying a substrate includes a plurality of conveying rollers for conveying the substrate by rotation, and a supporting member positioned to contact one side of the substrate when the substrate is conveyed by the rotation of the conveying rollers. The support member includes a bearing cap having a roller bearing and a side wall surrounding an outer circumferential surface of the roller bearing.

상기 반송 롤러는 지면과 경사진 상태에서 상기 기판을 반송하며, 상기 지지부재는 상기 기판 중 낮은 높이에 위치하는 일측면과 접촉할 수 있다.The conveying roller conveys the substrate in a state inclined from the ground, and the support member may contact one side surface positioned at a lower height among the substrates.

상기 베어링 캡은 상기 롤러 베어링 내부에 이물질이 침투하는 것을 방지하기 위하여 상기 롤러 베어링의 상부를 감싸는 상부면을 더 포함할 수 있다.The bearing cap may further include an upper surface surrounding an upper portion of the roller bearing to prevent foreign matter from penetrating into the roller bearing.

상기 롤러 베어링은 상기 기판을 반송하기 위한 테이블 위에 상기 롤러 베어링을 고정하는 내륜(inner race)과, 상기 내륜을 감싸는 외륜(outer race)과, 상기 내륜과 상기 외륜 사이에 위치하며 상기 내륜과 상기 외륜에 접하는 복수의 볼을 장착하는 볼 소켓을 포함할 수 있다.The roller bearing has an inner race for fixing the roller bearing on a table for conveying the substrate, an outer race surrounding the inner ring, and an inner race and the outer race, and is located between the inner race and the outer race. It may include a ball socket for mounting a plurality of balls in contact with.

상기 외륜은 바깥 원주면 상에 적어도 하나의 고정홈을 가지며, 상기 베어링 캡은 안쪽 원주면 상에 상기 고정홈에 삽입가능한 적어도 하나의 고정팁을 구비하며, 상기 고정팁이 상기 고정홈에 삽입됨으로써 상기 베어링 캡이 상기 롤러 베어링에 결합할 수 있다.The outer ring has at least one fixing groove on the outer circumferential surface, the bearing cap has at least one fixing tip that can be inserted into the fixing groove on the inner circumferential surface, the fixing tip is inserted into the fixing groove The bearing cap may be coupled to the roller bearing.

상기 고정홈은 층을 이루도록 복수개 제공되며, 상기 고정팁이 상기 고정홈에 삽입됨에 따라 상기 베어링 캡이 상기 외륜에 결합되는 상대적 높이를 조절할 수 있다.The fixing groove may be provided in plural to form a layer, and as the fixing tip is inserted into the fixing groove, the relative height of the bearing cap coupled to the outer ring may be adjusted.

상기 베어링 캡은 안쪽 원주면 상에 적어도 하나의 고정홈을 가지며, 상기 외륜은 바깥쪽 원주면 상에 상기 고정홈에 삽입가능한 적어도 하나의 고정팁을 구비하며, 상기 고정팁이 상기 고정홈에 삽입됨으로써 상기 베어링 캡이 상기 롤러 베어링에 결합할 수 있다.The bearing cap has at least one fixing groove on the inner circumferential surface, the outer ring has at least one fixing tip that can be inserted into the fixing groove on the outer circumferential surface, the fixing tip is inserted into the fixing groove The bearing cap can thereby be coupled to the roller bearing.

상기 고정홈은 층을 이루도록 복수개 제공되며, 상기 고정팁이 상기 고정홈에 삽입됨에 따라 상기 베어링 캡이 상기 외륜에 결합되는 상대적 높이를 조절할 수 있다.The fixing groove may be provided in plural to form a layer, and as the fixing tip is inserted into the fixing groove, the relative height of the bearing cap coupled to the outer ring may be adjusted.

상기 내륜의 안쪽 원주면 상에는 나사골을 형성하며, 상기 내륜은 상기 내륜의 하부로부터 상부를 향하는 방향으로 나사를 체결하여 고정될 수 있다.A screw bone is formed on an inner circumferential surface of the inner ring, and the inner ring may be fixed by fastening a screw in a direction from the lower portion of the inner ring to an upper portion thereof.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도 1 및 도 3 내지 도 4b를 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석돼서는 안 된다. 본 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 1 and 3 to 4B. Embodiment of the present invention may be modified in various forms, the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape of the elements in the drawings are exaggerated to emphasize a clearer description.

도 3은 본 발명에 따른 지지부재(100)를 나타내는 사시도이며, 도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 베어링 캡(130)의 위치변화를 나타내는 도면이다. 3 is a perspective view showing the support member 100 according to the present invention, Figures 4a and 4b is a view showing the position change of the bearing cap 130 according to the present invention.

본 실시예에서 지지부재(100)는 롤러 베어링(120)과 베어링 캡(130)을 포함한다.In this embodiment, the support member 100 includes a roller bearing 120 and a bearing cap 130.

롤러 베어링(120)은 반송 테이블에 고정되는 내륜(122)과, 내륜(122)을 감싸고 있는 외륜(128), 내륜(122)과 외륜(128) 사이에 위치하며 내륜(122)과 외륜(128)에 접하는 복수의 볼(126)을 장착하는 볼 소켓(124)을 포함한다.The roller bearing 120 is located between the inner ring 122 fixed to the conveying table, the outer ring 128 surrounding the inner ring 122, the inner ring 122 and the outer ring 128, and the inner ring 122 and the outer ring 128. Ball socket 124 for mounting a plurality of balls 126 abutting ().

내륜(122)은 반송 테이블(도시안됨) 상에 롤러 베어링(120)을 고정한다. 내륜(122)은 원통형이며, 내륜(122)의 안쪽 원주면에는 나사골(125)이 형성되어 있다. 내륜(122)은 종래의 롤러 베어링(10)과 달리 볼트를 이용하여 내륜(122)의 아래에서 위를 향하여 고정된다. 이는 베어링 캡(130)을 롤러 베어링(120)의 상부에 장착하기 위한 것으로, 이로써 롤러 베어링(120) 내부에 약액이 흘러 들어가는 것을 방지할 수 있다. 이에 대한 내용은 후술하기로 한다.The inner ring 122 fixes the roller bearing 120 on the conveyance table (not shown). The inner ring 122 is cylindrical, and the screw bone 125 is formed on the inner circumferential surface of the inner ring 122. The inner ring 122 is fixed upward from below the inner ring 122 by using a bolt, unlike the conventional roller bearing 10. This is for mounting the bearing cap 130 on the upper portion of the roller bearing 120, thereby preventing the chemical liquid from flowing into the roller bearing 120. This will be described later.

외륜(128)은 내륜(122)을 감싸고 있다. 외륜(128)에는 복수의 고정홈(129)이 형성되어 있으며, 이는 후술할 베어링 캡(130)을 고정하기 위한 것이다. 본 실시예에서는 아래로부터 제1고정홈(129a), 제2고정홈(129b), 제3고정홈(129c)이 설치된다.The outer ring 128 surrounds the inner ring 122. The outer ring 128 has a plurality of fixing grooves 129 is formed, which is for fixing the bearing cap 130 to be described later. In this embodiment, the first fixing groove 129a, the second fixing groove 129b, and the third fixing groove 129c are installed from below.

내륜(122)과 외륜(128) 사이에는 복수의 볼(126)들이 위치한다. 볼(126)들은 내륜(122)이 고정된 상태에서 외륜(128)이 내륜(122)으로부터 자유롭게 회전할 수 있도록 도울 뿐만 아니라, 외륜(128)이 받는 외부의 힘을 내륜(122)으로 전달하며 내륜(122)에 의하여 외부의 힘을 지탱할 수 있도록 한다. 복수의 볼(126)들은 볼 소켓(124)에 의하여 고정되며 볼 소켓(124)은 복수의 볼(126)들을 장착할 수 있는 복수의 홀을 포함한다.A plurality of balls 126 are positioned between the inner ring 122 and the outer ring 128. The balls 126 not only help the outer ring 128 rotate freely from the inner ring 122 while the inner ring 122 is fixed, but also transmit the external force received by the outer ring 128 to the inner ring 122. By the inner ring 122 to support the external force. The plurality of balls 126 are fixed by the ball socket 124 and the ball socket 124 includes a plurality of holes for mounting the plurality of balls 126.

롤러 베어링(120)에는 베어링 캡(130)이 장착된다. 베어링 캡(130)은 롤러 베어링(120)의 외륜(128)을 감싸며, 롤러 베어링(120)의 상부를 페쇄한다. 베어링 캡(130)의 안쪽 원주면에는 고정팁(132)이 설치된다. 고정팁(132)은 베어링 캡(130)을 롤러 베어링(120)의 고정홈(129)에 삽입하기 위한 것으로, 이에 대해서는 후술한다. 베어링 캡(130)은 기판(20)에 의하여 회전하며, 베어링 캡(130)이 회전함에 따라 베어링 캡(130)에 밀착하고 있는 외륜(128)도 함께 회전한다.The bearing cap 130 is mounted on the roller bearing 120. The bearing cap 130 surrounds the outer ring 128 of the roller bearing 120 and closes the upper portion of the roller bearing 120. The fixing tip 132 is installed on the inner circumferential surface of the bearing cap 130. The fixing tip 132 is for inserting the bearing cap 130 into the fixing groove 129 of the roller bearing 120, which will be described later. The bearing cap 130 rotates by the substrate 20, and as the bearing cap 130 rotates, the outer ring 128, which is in close contact with the bearing cap 130, also rotates together.

이하, 상술한 구성을 갖는 본 발명의 기판 반송장치(100)의 작용을 상세히 설명한다.Hereinafter, the effect | action of the board | substrate conveyance apparatus 100 of this invention which has the structure mentioned above is demonstrated in detail.

도 1에 도시한 바와 같이, 기판 반송장치(1)에 설치된 반송 롤러(30) 상에는 기판(20)이 위치한다. 기판(20)의 일단에는 기판(20)이 기설정된 위치로부터 이탈하지 않도록 지지부재(100)가 설치된다.As shown in FIG. 1, the board | substrate 20 is located on the conveyance roller 30 provided in the board | substrate conveyance apparatus 1. As shown in FIG. One end of the substrate 20 is provided with a support member 100 so that the substrate 20 does not leave the predetermined position.

기판(20)은 반송 롤러(30)가 회전함에 따라 회전방향으로 반송되며, 기판(20)에 의하여 지지부재(100)도 제자리에서 회전한다. 기판(20)은 경우에 따라 수평반송 또는 경사반송의 방법이 채택되며, 본 실시예에서는 경사반송을 도시하고 있으나 수평반송의 경우에도 적용될 수 있다.The substrate 20 is conveyed in the rotation direction as the conveying roller 30 rotates, and the supporting member 100 also rotates in place by the substrate 20. The substrate 20 adopts a horizontal conveyance or an inclined conveyance method in some cases. In the present embodiment, the inclined conveyance is illustrated, but the substrate 20 may also be applied to the horizontal conveyance.

반송되는 기판(20)은 지지부재(100)에 의하여 지지되는 바, 기판(20)의 일단과 지지부재(100)의 바깥 원주면은 접한 상태에서 기판(20)과 지지부재(100)는 운동한다. 따라서, 기판(20)의 움직임에 의하여 지지부재(100)는 마모된다.The substrate 20 to be conveyed is supported by the support member 100, and the substrate 20 and the support member 100 move in a state where one end of the substrate 20 and the outer circumferential surface of the support member 100 are in contact with each other. do. Therefore, the support member 100 is worn by the movement of the substrate 20.

지지부재(100)는 롤러 베어링(120)과 베어링 캡(130)으로 이루어져 있으며, 베어링 캡(130)은 롤러 베어링(120)을 감싸고 있다. 따라서, 지지부재(100) 중 기판(20)과 접촉하는 베어링 캡(130) 부분이 마모된다. 특히, 기판(20)은 일정한 높이를 가지고 반송되므로, 베어링 캡(130)의 바깥쪽 원주면 중 특정부분만 집중적으로 마모된다.The support member 100 includes a roller bearing 120 and a bearing cap 130, and the bearing cap 130 surrounds the roller bearing 120. Therefore, a portion of the bearing cap 130 in contact with the substrate 20 of the support member 100 is worn. In particular, since the substrate 20 is conveyed with a constant height, only a specific portion of the outer circumferential surface of the bearing cap 130 is intensively worn.

베어링 캡(130)은 안쪽 원주면에 제1고정팁(132a), 제2고정팁(132b)을 가지고 있으며, 외륜(128)의 바깥쪽 원주면에 제1고정홈(129a), 제2고정홈(129b), 제3고정홈(129c)을 가지고 있다. 최초에는 제1고정팁(132a)이 제2고정홈(129b)에 삽입되고, 제2고정팁(132b)이 제3고정홈(129c)에 삽입되는 제1위치에 베어링 캡(130)을 고정한다.The bearing cap 130 has a first fixing tip 132a and a second fixing tip 132b on the inner circumferential surface, and a first fixing groove 129a and a second fixing on the outer circumferential surface of the outer ring 128. It has the groove 129b and the 3rd fixed groove 129c. Initially, the first fixing tip 132a is inserted into the second fixing groove 129b, and the bearing cap 130 is fixed to the first position where the second fixing tip 132b is inserted into the third fixing groove 129c. do.

일정시간이 경과하여 베어링 캡(130)이 어느 정도 마모된 뒤에는 제1고정팁(132a)이 제1고정홈(129a)에 삽입되고, 제2고정팁(132b)이 제2고정홈(129b)에 삽입되는 제2위치에 베어링 캡(130)을 고정한다.After a certain period of time, after the bearing cap 130 is worn to some extent, the first fixing tip 132a is inserted into the first fixing groove 129a, and the second fixing tip 132b is inserted into the second fixing groove 129b. Fix the bearing cap 130 in the second position to be inserted into.

이는 기판에 의하여 마모되는 부위가 특정되므로, 마모되는 특정 부위를 작업자가 선택적으로 결정함으로써 지지부재(100)의 교체주기를 더욱 연장하는데 목적이 있다. 따라서, 작업자는 제1위치에 있는 베어링 캡(130)이 마모되었을 경우 베어링 캡(130)을 제2위치로 이동함으로서 교체주기를 연장할 수 있다.This is because the part to be worn by the substrate is specified, it is an object to further extend the replacement cycle of the support member 100 by the operator to selectively determine the specific part to be worn. Therefore, the operator can extend the replacement cycle by moving the bearing cap 130 to the second position when the bearing cap 130 in the first position is worn.

본 실시예와 달리 고정홈(129)과 고정팁(132)은 복수로 구성할 수 있다. 그러나, 베어링 캡(130)이 외륜(128)에 밀착하기 위해서는 고정홈(129)이 고정팁(132)보다 많아야 한다. 고정팁(132)이 많은 경우에는 고정팁(132)을 고정홈(129)에 삽입할 수 없으므로 베어링 캡(130)과 외륜(128) 사이에 간격이 생겨 양자를 단 단하게 결합할 수 없다.Unlike the present embodiment, the fixing groove 129 and the fixing tip 132 may be configured in plural. However, in order for the bearing cap 130 to be in close contact with the outer ring 128, the fixing groove 129 should be larger than the fixing tip 132. If there are many fixing tips 132, the fixing tip 132 can not be inserted into the fixing groove 129, so there is a gap between the bearing cap 130 and the outer ring 128, it is impossible to firmly combine both.

베어링 캡(130)은 상기한 바와 같이 마모된 특정 부분을 이동함으로써 지지부재(100)의 교체주기를 연장할 수 있다. 또한, 종래의 경우에는 롤러 베어링(120) 전체를 교체하여야 했으나 본 발명의 실시예에서는 베어링 캡(130) 만을 교체함으로써 지지부재(100)를 교체할 수 있는 바 지지부재(100)의 교체를 용이하게 할 수 있다.The bearing cap 130 may extend the replacement cycle of the support member 100 by moving a particular worn portion as described above. In addition, in the conventional case, the entire roller bearing 120 had to be replaced, but in the embodiment of the present invention, the support member 100 can be easily replaced by replacing only the bearing cap 130. It can be done.

베어링 캡(130)은 상기한 효과 이외에도 기판의 약액 처리과정에서 약액이 상기 롤러 베어링(120) 내부로 침투하는 것을 방지할 수 있다. 베어링 캡(130)에 의하여 롤러 베어링(120)의 상부를 폐쇄하는 경우, 롤러 베어링(120)의 내륜(122)은 아래에서 위를 향하여 볼트를 삽입하므로서 고정될 수 있다.In addition to the above effects, the bearing cap 130 may prevent the chemical liquid from penetrating into the roller bearing 120 during the chemical treatment of the substrate. When the upper portion of the roller bearing 120 is closed by the bearing cap 130, the inner ring 122 of the roller bearing 120 may be fixed by inserting a bolt from below to upward.

베어링 캡(130)의 재질은 롤러 베어링(120)과 같은 재질을 사용하는 것이 바람직하다. 롤러 베어링(120)에는 폴리클로로트리플루오로에틸렌(PolyChloroTri-FluoroEthylene:PCTFE)이 사용된다. 주의할 사항은 베어링 캡(130)의 재질이 기판에 비하여 단단한 경우에는 양자가 마찰될 때 기판(20)이 마모되기 쉬우며, 베어링 캡(130)의 재질이 무른 경우에는 기판(20)에 의하여 베어링 캡(130)이 쉽게 마모될 수 있다. 따라서, 단지 베어링 캡(130)의 수명을 연장하기 위하여 세라믹과 같은 단단한 재질을 사용하는 경우 기판(20)을 반송하는 과정에서 기판(20)이 손상되는 결과를 낳을 수 있다.The bearing cap 130 is preferably made of the same material as the roller bearing 120. Polychlorotrifluoroethylene (PolyChloroTri-FluoroEthylene: PCTFE) is used for the roller bearing 120. Note that when the material of the bearing cap 130 is harder than the substrate, the substrate 20 is likely to be worn when both are frictioned, and when the material of the bearing cap 130 is soft, the substrate 20 may be damaged by the substrate 20. Bearing cap 130 may be easily worn. Therefore, in the case of using a hard material such as ceramic only to extend the life of the bearing cap 130, the substrate 20 may be damaged in the process of conveying the substrate 20.

본 발명에 의하면 베어링 전체를 교체하지 않으므로 교체에 드는 비용과 시 간을 절약할 수 있다.According to the present invention, since the entire bearing is not replaced, the cost and time required for the replacement can be saved.

본 발명에 의하면 베어링 캡의 마모위치를 선택적으로 변경함으로써 베어링 캡의 교체주기를 더욱 연장할 수 있다.According to the present invention, the replacement period of the bearing cap can be further extended by selectively changing the wear position of the bearing cap.

본 발명에 의하면 베어링 캡에 의하여 약액 처리단계에서 침투한 약액에 의하여 베어링 내부가 부식되는 결과를 방지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to prevent a result of corrosion of the inside of the bearing by the chemical liquid penetrated in the chemical liquid treatment step by the bearing cap.

Claims (9)

기판을 반송하는 장치에 있어서,In the apparatus for conveying a substrate, 회전에 의하여 상기 기판을 반송하는 복수의 반송 롤러들; 및A plurality of conveying rollers for conveying the substrate by rotation; And 상기 반송 롤러들의 회전에 의해 기판이 반송될 때 상기 기판의 일측면과 접촉되도록 위치하는 지지부재를 포함하되,And a support member positioned to be in contact with one side of the substrate when the substrate is conveyed by the rotation of the conveying rollers. 상기 지지부재는,The support member, 상기 기판을 반송하기 위한 테이블 위에 고정되는 내륜(inner race);An inner race fixed on a table for carrying the substrate; 상기 내륜을 감싸며, 바깥 원주면 상에 적어도 하나의 고정홈을 가지는 외륜(outer race);An outer race surrounding the inner race and having at least one fixing groove on an outer circumferential surface thereof; 상기 내륜과 상기 외륜 사이에 위치하며 상기 내륜과 상기 외륜에 접하는 복수의 볼을 장착하는 볼 소켓; 및A ball socket positioned between the inner ring and the outer ring and mounting a plurality of balls in contact with the inner ring and the outer ring; And 상기 외륜의 바깥 원주면을 감싸는 측벽을 가지며, 안쪽 원주면 상에 상기 고정홈에 삽입가능한 적어도 하나의 고정팁을 구비하는 베어링 캡을 포함하며,A bearing cap having a sidewall surrounding an outer circumferential surface of the outer ring, the bearing cap having at least one fixing tip insertable into the fixing groove on an inner circumferential surface; 상기 고정팁이 상기 고정홈에 삽입됨으로써 상기 베어링 캡이 상기 외륜과 결합하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.And the bearing cap is coupled to the outer ring by inserting the fixing tip into the fixing groove. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 반송 롤러는 지면과 경사진 상태에서 상기 기판을 반송하며,The conveying roller conveys the substrate in a state inclined with the ground, 상기 지지부재는 상기 기판 중 낮은 높이에 위치하는 일측면과 접촉하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.The support member is a substrate transport apparatus, characterized in that the contact with one side located at a lower height of the substrate. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 베어링 캡은 상기 내륜 및 상기 외륜의 사이에 이물질이 침투하는 것을 방지하기 위하여 상기 외륜의 상부를 감싸는 상부면을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.The bearing cap further comprises a top surface surrounding the upper portion of the outer ring to prevent foreign matter from penetrating between the inner ring and the outer ring. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 고정홈은 층을 이루도록 복수개 제공되며,The fixing groove is provided in plurality to form a layer, 상기 고정팁이 상기 고정홈에 삽입됨에 따라 상기 베어링 캡이 상기 외륜에 결합되는 상대적 높이를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.Substrate conveying apparatus, characterized in that for adjusting the relative height that the bearing cap is coupled to the outer ring as the fixing tip is inserted into the fixing groove. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 내륜의 안쪽 원주면 상에는 나사골을 형성하며,On the inner circumferential surface of the inner ring to form a screw bone, 상기 내륜은 상기 내륜의 하부로부터 상부를 향하는 방향으로 나사를 체결하여 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.And the inner ring is fixed by fastening a screw in a direction from the lower portion to the upper portion of the inner ring. 기판을 반송하는 장치에 있어서,In the apparatus for conveying a substrate, 회전에 의하여 상기 기판을 반송하는 복수의 반송 롤러들; 및A plurality of conveying rollers for conveying the substrate by rotation; And 상기 반송 롤러들의 회전에 의해 기판이 반송될 때 상기 기판의 일측면과 접촉되도록 위치하는 지지부재를 포함하되,And a support member positioned to be in contact with one side of the substrate when the substrate is conveyed by the rotation of the conveying rollers. 상기 지지부재는,The support member, 상기 기판을 반송하기 위한 테이블 위에 상기 고정되는 내륜(inner race);The inner race fixed to a table for conveying the substrate; 상기 내륜을 감싸며, 바깥 원주면 상에 적어도 하나의 고정팁을 가지는 외륜(outer race);An outer race surrounding the inner ring and having at least one fixing tip on an outer circumferential surface thereof; 상기 내륜과 상기 외륜 사이에 위치하며 상기 내륜과 상기 외륜에 접하는 복수의 볼을 장착하는 볼 소켓; 및A ball socket positioned between the inner ring and the outer ring and mounting a plurality of balls in contact with the inner ring and the outer ring; And 상기 외륜의 바깥 원주면을 감싸는 측벽을 가지며, 안쪽 원주면 상에 상기 고정팁이 삽입가능한 적어도 하나의 고정홈을 구비하는 베어링 캡을 포함하며,A bearing cap having a side wall surrounding an outer circumferential surface of the outer ring, the bearing cap having at least one fixing groove into which the fixing tip is insertable on an inner circumferential surface; 상기 고정팁이 상기 고정홈에 삽입됨으로써 상기 베어링 캡이 상기 외륜과 결합하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.And the bearing cap is coupled to the outer ring by inserting the fixing tip into the fixing groove. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 고정홈은 층을 이루도록 복수개 제공되며,The fixing groove is provided in plurality to form a layer, 상기 고정팁이 상기 고정홈에 삽입됨에 따라 상기 베어링 캡이 상기 외륜에 결합되는 상대적 높이를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.Substrate conveying apparatus, characterized in that for adjusting the relative height that the bearing cap is coupled to the outer ring as the fixing tip is inserted into the fixing groove. 롤러 베어링 유닛에 있어서,In the roller bearing unit, 내륜(inner race);Inner race; 상기 내륜을 감싸며, 바깥 원주면 상에 적어도 하나의 고정홈을 가지는 외륜(outer race);An outer race surrounding the inner race and having at least one fixing groove on an outer circumferential surface thereof; 상기 내륜과 상기 외륜 사이에 위치하며 상기 내륜과 상기 외륜에 접하는 복수의 볼을 장착하는 볼 소켓; 및A ball socket positioned between the inner ring and the outer ring and mounting a plurality of balls in contact with the inner ring and the outer ring; And 상기 외륜의 바깥 원주면을 감싸는 측벽을 가지며, 안쪽 원주면 상에 상기 고정홈에 삽입가능한 적어도 하나의 고정팁을 구비하는 베어링 캡을 포함하며,A bearing cap having a sidewall surrounding an outer circumferential surface of the outer ring, the bearing cap having at least one fixing tip insertable into the fixing groove on an inner circumferential surface; 상기 고정팁이 상기 고정홈에 삽입됨으로써 상기 베어링 캡이 상기 외륜과 결합하는 것을 특징으로 하는 롤러 베어링 유닛.The bearing cap is coupled to the outer ring by the fixing tip is inserted into the fixing groove. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 고정홈은 층을 이루도록 복수개 제공되며,The fixing groove is provided in plurality to form a layer, 상기 고정팁이 상기 고정홈에 삽입됨에 따라 상기 베어링 캡이 상기 외륜에 결합되는 상대적 높이를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 롤러 베어링 유닛.Roller bearing unit, characterized in that to adjust the relative height that the bearing cap is coupled to the outer ring as the fixing tip is inserted into the fixing groove.
KR1020050064874A 2005-07-18 2005-07-18 Roller bearing unit and apparatus for delivering a substrate using the same KR100666356B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050064874A KR100666356B1 (en) 2005-07-18 2005-07-18 Roller bearing unit and apparatus for delivering a substrate using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050064874A KR100666356B1 (en) 2005-07-18 2005-07-18 Roller bearing unit and apparatus for delivering a substrate using the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100666356B1 true KR100666356B1 (en) 2007-01-11

Family

ID=37867367

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050064874A KR100666356B1 (en) 2005-07-18 2005-07-18 Roller bearing unit and apparatus for delivering a substrate using the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100666356B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101388506B1 (en) 2012-07-09 2014-04-28 주식회사 케이씨텍 Guide roller for substrate processing apparatus

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04117214U (en) * 1991-03-29 1992-10-20 日本サーボ株式会社 bearing device
JP2000120669A (en) 1998-10-07 2000-04-25 Nsk Ltd Rolling bearing
US6322254B1 (en) 1999-03-24 2001-11-27 INA Wälzlager Schaeffler oHG Bearing assembly for a threaded drive
JP2003156061A (en) 2001-11-22 2003-05-30 Nsk Ltd Angular ball bearing assembling method and angular ball bearing

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04117214U (en) * 1991-03-29 1992-10-20 日本サーボ株式会社 bearing device
JP2000120669A (en) 1998-10-07 2000-04-25 Nsk Ltd Rolling bearing
US6322254B1 (en) 1999-03-24 2001-11-27 INA Wälzlager Schaeffler oHG Bearing assembly for a threaded drive
JP2003156061A (en) 2001-11-22 2003-05-30 Nsk Ltd Angular ball bearing assembling method and angular ball bearing

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101388506B1 (en) 2012-07-09 2014-04-28 주식회사 케이씨텍 Guide roller for substrate processing apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100897548B1 (en) Substrate transporting apparatus and substrate guiding unit used in the apparatus
CN102551773A (en) Self-regulating bearing for CT (Computed Tomography) scanning frame
EP1770771A2 (en) Substrate transfer apparatus
KR101105429B1 (en) Table Height Adjusting Mechanism and Height Adjusting Table Using The Same
KR100666356B1 (en) Roller bearing unit and apparatus for delivering a substrate using the same
JP4911535B2 (en) Conveyor straightening device and inspection device for washer built-in screw
KR20150125378A (en) Lift pin assembly
US3648824A (en) Idler roller device for troughed conveyor belts
KR100302666B1 (en) Continuous Plating Equipment
KR100795904B1 (en) Substrate transfer apparatus
BR112021005227A2 (en) self-aligning seal assembly
CN100582886C (en) Apparatus for treating substrates
KR20080082137A (en) Apparatus for conveying substrate and method for conveying the same
KR100541918B1 (en) Apparatus for Ttransfering Plate
CN110759637B (en) Glass conveying device
KR200419122Y1 (en) A switch for belt swerving
KR100706182B1 (en) Lubricating bearing for supporting transferring shafts of works
KR20100061886A (en) Structure for stabilizing carriage movement of turning center
KR101693739B1 (en) substrate treatment apparatus
KR100906331B1 (en) Conveyer without shaft
US20050193950A1 (en) Supporting module and alignment apparatus for a substrate
KR200397740Y1 (en) Mask aligner mounted with air bearing
KR20170030757A (en) Giude roller for substrate transferring apparatus
KR101077485B1 (en) Idle roller device for substrate transferring
KR20120031709A (en) Apparatus for preventing swerving of belt conveyor

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130103

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140103

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150106

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee