KR20030041177A - 크린룸을 위한 에어샤워용 마이컴 컨트롤러 - Google Patents

크린룸을 위한 에어샤워용 마이컴 컨트롤러 Download PDF

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KR20030041177A
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Abstract

본 발명은 크린룸의 입/출구 개폐 및 먼지제거를 위한 에어샤워(air shower) 작동 등 다양한 기능을 갖춘 크린룸을 위한 에어 샤워용 마이컴 컨트롤러에 관한 것으로서, 특히 크림룸을 위해 설치되는 입출구문용 개폐용 전자밸브, 형광등, 먼지 제거를 위한 팬을 자동으로 제어하기 위한 것에 있어서, 외부의 상용 전압을 내부의 필요한 전압으로 정류 및 강하하여 공급하는 파워서플라이, 형광등, 팬마그네트, 앞문전자밸브, 앞문개폐용 감지센서, 후문전자밸브, 후문개폐용 감지센서, 앞문 마이크로 스위치, 후문 마이크로 스위치, 비상정지 스위치가 접속되는 단자대가 포함되되 자동/수동운전, 형광등 정등, 에어샤워시간 설정, 입구/출구 락을 미리 프로그램된 제어동작에 따라 상기 단자대를 적절히 제어하는 마이컴 컨트롤러와; 상기 마이컴 컨트롤러에 별도로 접속되며, 초기운전, 가동/정지, 가동/운전, 형광등, 에워샤워시간이 점소등되는 LED로 확인할 수 있도록 된 모니터부로 이루어진 것을 그 구성적 특징으로 한 것으로, 다양한 제어동작이 가능토록 함으로써 크린룸 기반시설의 향상 및 그에 따른 다양한 효과 예컨대, 반도도 제품의 품질향상 등이 기대될 수 있는 유용한 발명이다.

Description

크린룸을 위한 에어샤워용 마이컴 컨트롤러{Micom controller for air show er used in a clean-room}
본 발명은 반도체 제작을 위해 필수적으로 설치되는 크린룸(clean room) 시설을 제어하기 위한 기숭에 고나한 것으로서, 특히 크린룸의 입/출구 개페 및 먼지제거를 위한 에어샤워(air shower) 작동 등 다양한 기능을 갖춘 크린물을 위한 에어 샤워용 마이컴 컨트롤러에 관한 것이다.
통상 반도체 제작공정은 미세한 먼지 하나가 제품 불량을 일으킬 정도로 정밀한 작업을 요함은 주지한 사실이다. 따라서, 양질의 반도체를 생산하기 위해서는 필수적으로 수반되는 크린룸 시설 제어가 매우 중요하다.
그러나, 종래에는 크린룸 제어 입출구문 단속, 에어샤워를 위한 팬구동, 형광등 등의 정확한 제어를 위한 그 수단이 미흡한 관계로 크린룸 운용이 효울적이지 못한 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 사항을 감안하여 안출한 것으로서, 그 목적은 크린룸 시설 제어를 위해 보다 정확한 기능을 갖춘 마이컴을 채용하되, 특히 입/출구 개폐, 먼지제거를 위한 에어샤워작동, 에어샤워시간 설정, 자동/수동 운전, 형광등 점등작동 등의 다양한 제어동작이 마이컴에 의해 가능토록 함으로써 크린룸 기반시설의 향상 또는 그외의 효과도 기대할 수 있는 크린룸을 위한 에어샤워용 마이컴 컨트롤러를 제공함에 있다.
도 1은 본 발명에 따른 자동문 제어를 위한 에어샤워용 마이컴 컨트롤러 접속 구성도,
도 2는 본 발명에 따른모니터부를 도시한 예시도,
도 3은 본 발명에 따른 수동문 제어를 위한 마이컴 컨트롤러 접속 구성도,
도 4a는 도 1의 입구 → 출구 자동문 동작 흐름도,
도 4b는 도 1의 출구 → 입구 자동문 동작 흐름도,
*도면의 주요부분에 대한 부호설명*
1 : 마이컴 컨트롤러 2 : 파워 서플라이
3 : 단자대 4 : 모니터
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은 크림룸을 위해 설치되는 입출구문용개폐용 전자밸브, 형광등, 먼지 제거를 위한 팬을 자동으로 제어하기 위한 것에 있어서, 외부의 상용 전압을 내부의 필요한 전압으로 정류 및 강하하여 공급하는 파워서플라이, 형광등, 팬마그네트, 앞문전자밸브, 앞문개폐용 감지센서, 후문전자밸브, 후문개폐용 감지센서, 앞문 마이크로 스위치, 후문 마이크로 스위치, 비상정지 스위치가 접속되는 단자대가 포함되되 자동/수동운전, 형광등 정등, 에어샤워시간 설정, 입구/출구 락을 미리 프로그램된 제어동작에 따라 상기 단자대를 적절히 제어하는 마이컴 컨트롤러와; 상기 마이컴 컨트롤러에 별도로 접속되며, 초기운전, 가동/정지, 가동/운전, 형광등, 에워샤워시간이 점소등되는 LED로 확인할 수 있도록 된 모니터부로 이루어진 것을 그 구성적 특징이 있다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 자동문 제어를 위한 에어샤워용 마이컴 컨트롤러 접속 구성도, 도 2는 본 발명에 따른모니터부를 도시한 예시도, 도 3은 본 발명에 따른 수동문 제어를 위한 마이컴 컨트롤러 접속 구성도, 도 4a는 도 1의 입구 → 출구 자동문 동작 흐름도, 도 4b는 도 1의 출구 → 입구 자동문 동작 흐름도이다.
크린룸이 제어되기 위한 제어대상 요소는 통상 입구, 출구, 형광등, 팬으로 나뉘는 바, 이와같은 요소는 본 발명의 마이컴 컨트롤러(1)에 의해 각각 최적으로 제어될 수 있다.
도 1은 자동문 타입의 그 일예로써 외부의 상용 전원(AC 220V)이 브레이커 (breaker)를 통해 마이컴 컨트롤러(1)의 단자대(3) R.S단에 접속되며, 이 R.S단은상용되는 전원을 정류 및 강하시켜 마이컴 내부의 필요한 전압으로 공급하는 파워서플라이(2)에 연결된다.
또한, 단자대(3)에 크린룸이 형광등(FL), 에어샤워 동작구동용 팬마그네트 (FAN), 앞문전자밸브(입구)(SV1), 앞문개폐용 감지센서(입구)(R1), 후문전자밸브(출구)(SV2), 후문개폐용 감지센서(출구)(R2), 앞문 마이크로 스위치(입구)(MS1), 후문 마이크로 스위치(출구)(MS2), 비상정지스위치(ES)가 연결되도록 결선한다.
도 3은 수동문 타입의 일례로 전술한 도 1의 구성과 동일하나, 다만 자동문 개폐에 따른 감지센서를 제외한 AC, DC 사용전원에 다른 결선방법이 다르다.
즉, AC 220V 사용시에는 앞문전자밸브(SV1), 후문전자밸브(SV2)이 접속된 구성이고 DC 24V 사용시 적용되는 앞문전자밸브(SV3), 후문전자밸브(SV4)이 접속된 구성이다.
한편, 상기와 같이 접속된 상태의 마이컴 컨트롤러(1)는 크린룸 전체를 총괄적으로 제어하되, 특히 그 내부로 미리 프로그램된 제어동작에 따라 자동/수동운전, 형광등 점등, 에어샤워시간 설정, 입구/출구 락(lock) 등을 할 수 있음은 물론이고 필요에 따라 다른 제어동작도 가능함은 당연하다.
그리고, 4는 모니터부로서, 상기 마이컴 컨트롤러(1)에 별도로 접속되며, 도 2에 도시된 바와같이 전면 구성을 갖고, 초기운전(43), 가동/정지(42), 자동/수동운전(44), 형광등(45), 에어샤워시간(41)이 소소등되는 LED가 부가되어 있어 외부에서 육안으로 각종의 상황을 쉽게 확인할 수 있다.
미설명된 부호 FOL은 팬오버로드(Fan Overload)이다.
이와같이 구성된 본 발명은 크린룸 시설 제어를 위해 보다 정확한 기능이 갖춰진 마이컴이 채용된 것으로, 상용의 전원(AC 220V)이 단자대(R.S)(3)를 통해 파워서플라이(2)에 공급된 상태에서 우선 마이컴 컨트롤러(1)에 전원이 인가되도록 모니터부(2)의 전원키(43)를 누르면 파워서플라이(2)에 의해 내부에 필요한 전압이 공급되어 이후 동작이 이루어진다.
첫째, 초기운전시 전원투입에 이어 모니터부(2)의 전원(power) LED(43), 타임 LED(42), 전원시간표시(초단위), 형광램프 온, 타임 LED 점검을 할 수 있고,
둘째, 에어샤워 마이컴의 가동/정지상태는 타임 LED(42)와 샤워시간표시(44)의 동작/유무로 판단할 수 있는바, 마이컴이 가동중일때는 타임 LED(42)가 지속적으로 깜빡거리면서 샤워시간이 표시되지만 정지중일때는 전원 LED(43)만 켜져 있게되고, 전원 LED(43) 하측에 위치한 온/오프키를 누르면 가동중일때는 정지상태로, 정지중일때는 가동상태로 된다.
세째, 자동/수동(44)운전으로서, 자동운전일 때는 출입문의 개폐에 다라서 팬과 출입문이 제어되는 만면, 수동운전일 경우는 팬을 오프시키고 출입문을 강제로 닫는 수동상태가 되는데, 이 때 동작(operation) LED가 켜진다.
네째, F.L형광등(45)으로서, 초기운전을 시작하면 크린룸의 형광등은 무조건 켜지고 끄고 싶으면 F.L LED 하측에 위치한 온/오프키를 누른다. 오푸상태에서 온/오프키를 누르면 F.L LED가 켜지면서 형광등도 켜진다.
다섯째, 타임 락(46)으로서, 초기운전시 락(lock) 상태 업/다운(up/down)키가 사용불가이고, 업/타운키를 동시에 누르고 약 5초정도 있으면 락해제이며 이후업/다운키 사용가능으로 후술하는 여섯째의 타임세트가 가능한 반면, 업/다운키를 동시에 누르고 약 5초정도 있으면 락이며, 이루 업/다운키 사용불가 타임세팅이 불가능하다.
여섯째, 타임세트(41)로서, 에어샤워시간은 락해제후 초단위로 설정가능하며 설정범위는 1∼60초이다. 당연히 업/다운키는 1초단위로 설정값을 증감시킬 수 있다. 여기서 저장된 값은 정전후에도 그대로 유지된다.
일곱째, 자동운전 사이클로 그 동작수순을 도 4a와 도 4b에 타나내었다. 이에 도시된 바와 같이 이용자가 크린룸에 접근하여 입구측에서 출구측으로 들어갈 때 먼저 입구열림(S1)이 있는데, 즉, 자동문 감지센서(1)는 SV1을 제어하여 입구를 강제로 개방함과 동시에 출구를 락시킨다(S2). 이어 출구락상태에서 입구가 닫히면 (MS1)(S3), 이를 감지하여 입구를 락시키고(S4) 약 1초의 지연시간을 갖는다(S5).
이 상태는 이용자가 크린룸내에 진입해 있으므로 마이컴 컨트롤러(1)는 팬의 구동을 통해 설정 타임시간 동안 먼지를 제거하는 에어샤워를 실시한다(S6).
단계5의 설정시간이 도달하면, 입/출구 락을 도시에 해제하며(s7), 자동문감지센서(R2)로부터 물체 및 사람의 접근을 감지하여 그에 따라 마이컴 컨트롤러 (1)는 SV2를 제어하여 출구를 강제로 개방함과 동시에 입구를 락시킨다(S8)(S9).
이후 입구락상태에서 출구가 닫히면(MS2) 마이컴 컨트롤러(1)는 이를 감지하여 입구락을 해제시키고(S11) 원래의 상태로 복귀된다.
한편, 도 4b는 출구측에서 입구측으로 들어갈 때 출구열림(S12)이 있는데, 즉, 자동문 감지센서(R2)로부터 물체 및 사람의 접근을 감지하여 그에 따라 마이컴컨트롤러(1)는 SV2를 제어하여 출구를 강제로 개방함과 동시에 입구를 락시킨다 (S12). 이어 입구락 상태에서 출구가 닫히면(MS2) 이를 감지하여 입구락을 해제 (S15)시킨다.
입구 락이 해제된 상태에서, 자동문 감지센서(R1)로부터 물체 및 사람의 접근을 감지하여 그에 따라 마이컴 컨트롤러(1)는 SV1을 제어하여 입구를 강제로 개방시키고(S16) 이후 입구가 닫히면(MS1)(S17) 원래의 상태로 복귀된다.
이상의 설명은 자동문의 타입 예를 들었지만 수동문의 경우는 전술한 동작과 동일하며 다만 자동감지센서를 배제한 즉, 출입구의 열림과 닫힘을 사용자가 손으로 여닫는 동작이 별개로 수반됨이 자동문과 다른점이다.
이상에서 살펴본 바와같이 본 발명은 크린룸 시설 제어를 위해 보다 정확한 기능을 갖춘 마이컴을 채용하되, 특히 입/출구 개폐, 먼지제거를 위한 에어샤워 작동, 에어샤워시간 설정, 자동/수동운전, 형광등 점등동작 등의 다양한 제어동작이 마이컴에 의해 가능토록 함으로써 크린룸 기반시설의 향상 및 그에 따라 수반되는 효과 예컨대, 반도체 제품의 품질 향상 등이 기대될 수 있는 유용한 발명이다.

Claims (3)

  1. 크림룸을 위해 설치되는 입출구문용 개폐용 전자밸브, 형광등, 먼지 제거를 위한 팬을 자동으로 제어하기 위한 것에 있어서,
    외부의 상용 전압을 내부의 필요한 전압으로 정류 및 강하하여 공급하는 파워서플라이, 형광등, 팬마그네트, 앞문전자밸브, 앞문개폐용 감지센서, 후문전자밸브, 후문개폐용 감지센서, 앞문 마이크로 스위치, 후문 마이크로 스위치, 비상정지 스위치가 접속되는 단자대가 포함되되 자동/수동운전, 형광등 정등, 에어샤워시간 설정, 입구/출구 락을 미리 프로그램된 제어동작에 따라 상기 단자대를 적절히 제어하는 마이컴 컨트롤러와;
    상기 마이컴 컨트롤러에 별도로 접속되며, 초기운전, 가동/정지, 가동/운전, 형광등, 에워샤워시간이 점소등되는 LED로 확인할 수 있도록 된 모니터부로 구성된 것을 특징으로 한 크린룸을 위한 에어샤워용 마이컴 컨트롤러.
  2. 제 1 항에 있어서, 입구에서 출구로 진행되 때의 자동운전은 초기 입구열림, 출구락, 입구닫힘, 입구락, 일정시간지연, 에어샤워, 입/출구락해제, 굴구열림, 입구락, 출구닫힘, 입구락해제의 수순으로 제어되도록 한 것을 특징으로 한 크린룸을 위한 에어샤워용 마이컴 컨트롤러.
  3. 제 1 항에 있어서, 출구에서 입구로 진행될 때의 자동운전은 출구열림, 입구락, 출구닫힘, 입구락해제, 입구열림, 입구닫힘의 수순으로 제어되도록 한 것을 특징으로 한 크린룸을 위한 에어샤워용 마이컴 컨트롤러.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100720979B1 (ko) * 2006-03-16 2007-05-23 성진세미텍주식회사 바디-아이샤워
CN104550126A (zh) * 2015-01-14 2015-04-29 扬州润洁空调净化设备有限公司 新型风淋室
KR20180054127A (ko) * 2016-11-15 2018-05-24 대한민국(농촌진흥청장) 고온 건조식 대인 소독장치
KR102327798B1 (ko) 2020-12-28 2021-11-18 주식회사 제일오토테크 에어샤워 구조물을 구비한 자동문

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