KR20030012979A - exposing equipment having a plurality of hard disk drive - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 소자 제조를 위한 노광장비에 관한 것으로, 특히 하드 디스크 페일에 따른 로스를 최소화하는 노광장비의 콘트롤에 관한 것이다.The present invention relates to an exposure apparatus for manufacturing a semiconductor device, and more particularly, to a control of an exposure apparatus for minimizing loss due to a hard disk fail.
최근의 반도체 소자들의 경우, 경쟁력 확보에 필요한 저 비용 고품질의 달성을 위해 고집적화가 필수적이다. 고집적화를 위해서는 트랜지스터 소자의 게이트 산화막 두께 및 채널 길이들을 얇고 짧게 하는 작업 등을 포함하는 스케일 다운이수반되어지며, 그에 따라 반도체 제조공정의 기술 및 제조 장비도 다양한 형태로 발전되고 있는 추세이다.In the case of recent semiconductor devices, high integration is essential for achieving low cost and high quality required for securing competitiveness. In order to achieve high integration, scale-down including thinning and shortening of gate oxide film thickness and channel length of a transistor device is accompanied, and accordingly, technology and manufacturing equipment of a semiconductor manufacturing process are being developed in various forms.
반도체 소자의 대량제조를 위한 웨이퍼의 가공은 웨이퍼내의 각각의 칩상에 동일한 패턴을 갖는 전자회로를 구성하기 위해 필수적인 작업이다. 그러한 웨이퍼 가공작업에서, 로트(lot)단위의 매 반도체 웨이퍼의 표면에 여러종류의 막을 형성하고, 패턴 마스크를 이용하여 웨이퍼의 특정부분을 선택적으로 식각하는 작업이 반복적으로 행해진다.Processing of wafers for mass production of semiconductor devices is an essential task for constructing electronic circuits having the same pattern on each chip in the wafer. In such a wafer processing operation, various kinds of films are formed on the surface of each semiconductor wafer in a lot unit, and the operation of selectively etching specific portions of the wafer using a pattern mask is repeatedly performed.
일반적으로, 반도체 제조공정중의 하나인 포토리소그래피 공정은 코팅공정, 정렬 및 노광공정, 현상공정, 오버레이 측정공정, 크리티컬 디멘젼 측정공정 등의 순으로 진행된다. 여기서, 코팅공정 및 현상공정은 스피너(트랙장비라고도 함)에 의해 통상적으로 수행되고, 정렬 및 노광공정은 스텝퍼에 의해 통상적으로 수행된다. 상기 두 장비는 대개 인라인(in-line)으로 연결되어 상기의 공정들을 차례로 수행하므로 통칭 인라인 장비로서도 불려지며, 상기 코팅, 정렬 및 노광, 현상공정들은 인라인 공정에 속해있다.In general, a photolithography process, which is one of semiconductor manufacturing processes, is performed in order of a coating process, an alignment and exposure process, a developing process, an overlay measuring process, a critical dimension measuring process, and the like. Here, the coating process and the developing process are usually performed by a spinner (also called a track equipment), and the alignment and exposure process are usually performed by a stepper. The two equipments are usually referred to as inline equipment because they are connected in-line and perform the above processes one by one, and the coating, alignment, exposure, and developing processes belong to the inline process.
상기 인라인 공정중 정렬 및 노광을 수행하는 노광장비 예컨대 ASML 스텝퍼는 마스크 또는 레티클에 생성된 회로패턴을 웨이퍼상에 전사하기 위해 렌즈 콘트롤 유닛을 가지며, 콘트롤 회로내의 하드 디스크 드라이브에 머시인 제어용 상수들과 잡 파일을 저장하고 있다.An exposure apparatus for performing alignment and exposure during the inline process, such as an ASML stepper, has a lens control unit for transferring a circuit pattern generated on a mask or a reticle onto a wafer, The job file is being saved.
종래에는 도 1에 보여지는 바와 같이 단일의 하드 디스크 드라이브(20)를 콘트롤 회로 박스(10)내에 채용하여 왔기 때문에, 상기 하드 디스크 드라이브(20)가브로컨(broken)되면 머시인 제어용 상수들과 잡 파일들이 모두 사라져 버리는 문제점이 있다. 또한, 하드 디스크 드라이브의 브로컨으로 인한 페일발생시 스텝퍼의 오퍼레이팅 시스템이라고 할 수 있는 PAS(Philips ASML Semiconductor)시스템이 스톱되므로 렌즈 콘트롤 유닛의 동작도 정지되어 버린다. 그러한 경우에 하드 디스크를 교체하거나 다시 셋업을 하더라도 렌즈 콘트롤 안정화에 많은 시간이 요구된다. 따라서, 장비의 오퍼레이터들은 통상의 사무실 등에서 네트워크용으로 사용되던 워크스테이션에 상기한 머시인 제어용 상수들과 잡 파일들을 백업(back-up)받아 놓고 있지만, 장비의 버전에 따라 그러한 데이터들이 호환이 되지 않는 문제점이 있고, 상기 PAS 시스템의 스톱에 대한 대처는 무방비 상태에 있는 실정이다.In the related art, since a single hard disk drive 20 has been employed in the control circuit box 10 as shown in FIG. 1, when the hard disk drive 20 is broken, machine control constants and There is a problem that all job files disappear. In addition, since a PAS (Philips ASML Semiconductor) system, which is a stepper operating system, is stopped when a hard disk drive fails due to a broken disk, the operation of the lens control unit is stopped. In such a case, even if the hard disk is replaced or set up again, a lot of time is required to stabilize the lens control. Therefore, the operator of the equipment has backed up the above-mentioned machine control constants and job files to the workstation used for the network in a normal office, but such data are not compatible according to the version of the equipment. There is a problem, and the response to the stop of the PAS system is in a defenseless state.
상기한 바와 같이, 종래에는 하드 디스크 드라이브의 페일발생시 노광장비가 스탑되고 복구 정상가동까지의 시간이 길어 작업의 로스가 있게 되는 문제점이 있었다.As described above, conventionally, when a hard disk drive fails, an exposure apparatus stops and a long time is required to restore normal operation, thereby causing a loss of work.
따라서, 본 발명의 목적은 상기의 종래의 문제점들을 해결할 수 있는 노광장비를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an exposure apparatus that can solve the above conventional problems.
본 발명의 다른 목적은 하드 디스크 페일시의 로스를 최소화할 수 있는 노광장비를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide an exposure apparatus capable of minimizing loss of hard disk failing.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 양상(aspect)에 따른 노광장비는, 렌즈의 온도를 유지하기 위한 렌즈 콘트롤 유닛과, 운영자의 입력을 수신하는입력부와, 상기 입력부로 부터 명령을 수신하며 미리 설정된 프로그램에 따라 상기 렌즈 콘트롤 유닛 및 각부의 구동에 대한 제반 제어를 수행하는 콘트롤러와, 상기 콘트롤러에 연결되어 작업의 상태를 디스플레이하는 모니터와, 상기 콘트롤러에 연결되며 운영 프로그램 및 각종 데이터가 저장되어 있는 메모리와, 상기 콘트롤러에 의해 제어되며 잡 파일과 장비 구동을 위한 각종 상수 데이터가 저장되어 있는 제1 하드 디스크 드라이브와, 상기 제1 하드 디스크 드라이브와 미러방식으로 구동되어 상기 제1 하드 디스크 드라이브의 저장내용과 동일한 저장내용을 갖는 제2 하드 디스크 드라이브를 구비함을 특징으로 한다.An exposure apparatus according to an aspect of the present invention for achieving the above object, the lens control unit for maintaining the temperature of the lens, an input unit for receiving an operator's input, and receives a command from the input unit A controller for performing general control of driving the lens control unit and each unit according to a preset program, a monitor connected to the controller to display the status of a job, an operating program and various data stored in the controller A first hard disk drive, which is controlled by the controller, stores a job file and various constant data for driving a device, and is driven in a mirror manner with the first hard disk drive. A second hard disk drive with the same contents as the contents It characterized by biham.
도 1은 종래기술에 따른 노광장비의 단일 하드 디스크 드라이브를 보인 외관도1 is an external view showing a single hard disk drive of an exposure apparatus according to the prior art
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 트윈 하드 디스크 드라이브를 보인 외관도Figure 2 is an external view showing a twin hard disk drive according to an embodiment of the present invention
도 3은 본 발명에 따라 도 2의 트윈 하드 디스크 드라이브를 채용한 노광장비의 하드웨어 블록도3 is a hardware block diagram of an exposure apparatus employing the twin hard disk drive of FIG. 2 in accordance with the present invention.
이하에서는 본 발명에 따라 하드 디스크 페일 로스를 최소화하기 위해 미러방식으로 구동되는 복수의 하드 디스크를 갖는 노광장비에 대한 바람직한 실시 예가 첨부된 도면들을 참조하여 설명된다. 비록 다른 도면에 표시되어 있더라도 동일내지 유사한 기능을 수행하는 구성요소들은 동일한 참조부호로서 나타나 있다.Hereinafter, a preferred embodiment of an exposure apparatus having a plurality of hard disks driven in a mirror manner to minimize the hard disk fail in accordance with the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Although shown in different drawings, components that perform the same or similar functions are denoted by the same reference numerals.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 트윈 하드 디스크 드라이브를 보인 외관도로서, 적어도 2개이상의 하드 디스크 드라이브(20,30)를 콘트롤 회로 박스(10)내에 채용한 것이 보여진다. 따라서, 하나의 하드 디스크 드라이브(20)가 하드 브로컨되면 다른 하나의 하드 디스크 드라이브(30)를 통해 머시인 제어용 상수들과 잡 파일들을 모두 복구할 수 있게 된다. 또한, PAS 시스템도 스톱되지 않게 되어 렌즈 콘트롤 유닛의 동작이 그대로 유지될 수 있다.FIG. 2 is an external view of a twin hard disk drive according to an exemplary embodiment of the present invention, in which at least two hard disk drives 20 and 30 are employed in the control circuit box 10. Therefore, when one hard disk drive 20 is hard broken, it is possible to recover both machine control constants and job files through the other hard disk drive 30. In addition, the PAS system is also not stopped so that the operation of the lens control unit can be maintained as it is.
도 3은 본 발명에 따라 도 2의 트윈 하드 디스크 드라이브를 채용한 노광장비의 하드웨어 블록도로서, 렌즈의 온도를 유지하기 위한 렌즈 콘트롤 유닛(3)과, 운영자의 입력을 수신하는 입력부(4)와, 상기 입력부(4)로 부터 명령을 수신하며 미리 설정된 프로그램에 따라 상기 렌즈 콘트롤 유닛 및 각부의 구동에 대한 제반 제어를 수행하는 콘트롤러(1)와, 상기 콘트롤러(1)에 연결되어 작업의 상태를 디스플레이하는 모니터(2)와, 상기 콘트롤러(1)에 연결되며 운영 프로그램 및 각종 데이터가 저장되어 있는 메모리(5)와, 상기 콘트롤러(1)에 의해 제어되며 잡 파일과 장비 구동을 위한 각종 상수 데이터가 저장되어 있는 제1 하드 디스크 드라이브(20)와, 상기 제1 하드 디스크 드라이브(20)와 미러방식으로 구동되어 상기 제1 하드 디스크 드라이브(20)의 저장내용과 동일한 저장내용을 갖는 제2 하드 디스크 드라이브(30)가 보여진다.3 is a hardware block diagram of an exposure apparatus employing the twin hard disk drive of FIG. 2 in accordance with the present invention, the lens control unit 3 for maintaining the temperature of the lens and the input unit 4 for receiving an operator input. A controller 1 which receives a command from the input unit 4 and performs general control of driving the lens control unit and each unit according to a preset program; and a state of a job connected to the controller 1 A monitor (2) for displaying a display, a memory (5) connected to the controller (1) and storing an operating program and various data, and various constants for controlling job files and equipment by the controller (1). The first hard disk drive 20 in which data is stored and the first hard disk drive 20 are driven in a mirror manner to store the contents of the first hard disk drive 20. The second hard disk drive 30 having the same information stored are shown.
상기한 구성에서, 하드 디스크 페일 로스를 최소화하기 위해 상기 제1 및 제2 하드 디스크 드라이브(20,30)는 서로 미러방식으로 구동되는데, 그러한 미러방식은 웹서버에서 사용되는 미러잉(mirroring)방식을 채용할 수 있다. 그러한 미러 방식의 채용에 의해 상기 제1 및 제2 하드 디스크 드라이브(20,30)에 저장되어 있는 저장내용은 서로 동일하게 된다.In the above configuration, in order to minimize hard disk failure, the first and second hard disk drives 20 and 30 are mirrored with each other, and such mirroring is a mirroring method used in a web server. Can be adopted. By employing such a mirror method, the stored contents stored in the first and second hard disk drives 20 and 30 are identical to each other.
상기 렌즈 콘트롤 유닛(3)의 노광원은 248nm 파장을 갖는 KrF 엑시머(EXIMER) 레이저가 될 수 있다. 장비의 구동중에 상기 제1 하드 디스크 드라이브(20)가 하드 브로컨되면 제2 하드 디스크 드라이브(30)가 마스터로서 기능하여 머시인 제어용 상수들과 잡 파일들을 그대로 제공한다. 이 경우에 PAS 시스템도 스톱되지 않게 되어 렌즈 콘트롤 유닛의 동작이 그대로 유지된다.The exposure source of the lens control unit 3 may be a KrF excimer laser having a wavelength of 248 nm. If the first hard disk drive 20 is hard broken during operation of the equipment, the second hard disk drive 30 functions as a master to provide machine constants and job files. In this case, the PAS system is also not stopped so that the operation of the lens control unit is maintained as it is.
상기한 설명에서 본 발명의 실시 예를 위주로 도면을 따라 예를 들어 설명하였지만, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변형 또는 변경할 수 있음은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 그러한 변형이나 변경 역시 본 발명의 범위에 속한다 할 것이다. 예를 들어, 사안이 다른 경우에 하드 디스크 드라이브를 더 설치하거나, 하드 디스크 드라이브 대신에 플래시 메모리나 타의 백업용 소자를 사용할 수 있음은 물론이다.Although the foregoing description has been given by way of example only with reference to the accompanying drawings, it will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be variously modified or changed within the scope of the technical idea of the present invention. Such modifications and variations will also fall within the scope of the present invention. For example, if the problem is different, you can install more hard disk drives, or use flash memory or other backup devices instead of hard disk drives.
상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 하나의 하드 디스크 페일시 다른 하나의 하드 디스크를 사용하여 작업 로스를 최소화할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, when one hard disk fails, there is an effect of minimizing work loss by using another hard disk.
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| KR100901940B1 (en) * | 2006-06-21 | 2009-06-10 | 캐논 가부시끼가이샤 | Projection optical system |
| KR101460164B1 (en) * | 2013-05-31 | 2014-11-10 | (주)세미즈 | Controlling apparatus for substrate processing equipment and method of operating the same |
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