KR20030012803A - Magnetic head - Google Patents

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KR20030012803A
KR20030012803A KR1020020011271A KR20020011271A KR20030012803A KR 20030012803 A KR20030012803 A KR 20030012803A KR 1020020011271 A KR1020020011271 A KR 1020020011271A KR 20020011271 A KR20020011271 A KR 20020011271A KR 20030012803 A KR20030012803 A KR 20030012803A
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coil
dielectric
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heat transfer
disk
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KR1020020011271A
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요시카와히로야스
가와사키고로
마츠모토츠요시
후지마키토루
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후지쯔 가부시끼가이샤
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Abstract

PURPOSE: To efficiently suppress the temperature rising of a coil for generating a magnetic field in a magnetic head. CONSTITUTION: This magnetic head H is provided with a dielectric 3 having a surface 30 opposite a disk D with a space, and a magnetic field generation coil 2 provided inside or on the surface 30 of the dielectric 3. A heat conductive layer 4 having a heat conductivity higher than the dielectric 3 is provided to receive heat generated from the coil 2, and at least a partial surface of the heat conductive layer 4 is formed as a recessed and projected surface having a plurality of recesses and projections. Preferably, the recessed and projected surface is exposed from the surface 30 of the dielectric 3. More preferably, a plurality of recessed grooves constituting the recessed and projected surface are formed to be narrower from one longitudinal-direction end which becomes an air inlet toward the other longitudinal-direction end which becomes an air outlet.

Description

자기 헤드{MAGNETIC HEAD}Magnetic head {MAGNETIC HEAD}

본원 발명은 광자기 디스크 또는 자기 디스크에 대한 데이터의 기록 및 재생을 행하는데 사용되는 자기 헤드에 관한 것이다. 본 명세서에서의 「자기 헤드」는 자계 발생용 코일을 구비한 데이터 기록 및 재생용 헤드를 의미하고 있으며, 광 자기 헤드도 포함하는 개념이다. 또한, 본 명세서에서 단순히 「디스크」라고 할 경우에는, 광자기 디스크와 자기 디스크가 모두 포함된다.The present invention relates to a magnetic head used for recording and reproducing data on a magneto-optical disk or a magnetic disk. The term " magnetic head " in the present specification means a data recording and reproducing head having a magnetic field generating coil, and also includes a magneto-optical head. In the present specification, when simply referred to as "disk", both magneto-optical disks and magnetic disks are included.

자기 헤드의 자계 발생용 코일에 전류를 흐르게 하면, 이 코일은 발열한다. 이 발열량이 많아져 코일이 과열 상태로 되면, 코일이 가늘어져, 극단적인 경우에는 단선에 이르는 마이그레이션(migration)이라고 불리는 현상을 발생시키는 경우가 있다. 또한, 코일의 온도가 상승하면, 이 코일의 전기 저항도 상승하기 때문에, 일정한 자계를 발생시키는데 필요한 소비전력도 증가한다. 그리하면, 이 소비전력의 증가가 코일의 발열 온도를 상승시켜 전기 저항의 상승을 초래하고, 상기한 현상이 가속적으로 진행된다. 그래서, 종래에 있어서는, 이러한 것을 개선하기 위한 하나의 수단으로서 일본국 특개평8-235556호 공보에 기재된 수단이 있다.When a current flows through the magnetic field generating coil of the magnetic head, the coil generates heat. When the amount of heat generated increases and the coil becomes overheated, the coil is thinned, and in extreme cases, a phenomenon called migration leading to disconnection may occur. In addition, when the temperature of the coil rises, the electrical resistance of the coil also increases, so that the power consumption required to generate a constant magnetic field also increases. Then, this increase in power consumption raises the heating temperature of the coil, resulting in an increase in the electrical resistance, and the above phenomenon accelerates. Therefore, conventionally, there is a means described in Japanese Patent Laid-Open No. 8-235556 as one means for improving such a problem.

상기 공보에 기재된 수단은, 도 14에 나타낸 바와 같이, 서스펜션(90)의 선단부에 지지된 슬라이더(91)에 자계 발생용 코일(92)을 부착시킨 것이며, 슬라이더(91)의 외면 중에서 디스크(D)에 대향하는 면에는 디스크(D)의 트랙 방향(둘레 방향)으로 연장되는 복수의 라인 형상의 오목 홈(93)이 형성되어 있다.As shown in FIG. 14, the means described in the above publication is such that the magnetic field generating coil 92 is attached to a slider 91 supported at the distal end of the suspension 90, and the disk D is formed on the outer surface of the slider 91. ), A plurality of line-shaped concave grooves 93 extending in the track direction (circumferential direction) of the disk D are formed.

이러한 구성에 의하면, 디스크(D)를 회전시켜 슬라이더(91)를 디스크(D) 위에 부상시켰을 때에, 이 슬라이더(91)와 디스크(D) 사이를 고속으로 흐르는 공기가 슬라이더(91)의 각 오목 홈(93) 내를 통과한다. 따라서, 상기 공기와의 접촉에 의해 슬라이더(91)를 냉각시킬 수 있어, 코일(92)의 온도 상승을 억제하는 효과를 얻을 수 있다.According to such a structure, when the disk D is rotated and the slider 91 is made to float on the disk D, the air which flows at a high speed between this slider 91 and the disk D is concave in each of the slider 91. It passes through the groove 93. Therefore, the slider 91 can be cooled by contact with the said air, and the effect which suppresses the temperature rise of the coil 92 can be acquired.

그러나, 상기 종래의 수단에 있어서는, 후술하는 바와 같이, 코일(92)의 온도 상승을 억제하는데 아직 충분하다고는 할 수 없는 경우가 있었다.However, in the said conventional means, there existed a case where it was not yet enough to suppress the temperature rise of the coil 92, as mentioned later.

즉, 슬라이더는 합성수지제로 되는 것이 일반적이나, 합성수지는 열전도율이 그다지 높지 않다. 또한, 자계 발생용 코일은, 절연 보호의 관점에서 산화규소 등의 유전체에 의해 덮여 있는 것이 통례이다. 따라서, 슬라이더(91)의 일부 면이 고속 공기류에 의해 냉각되었다고 하여도, 이 냉각 부분과 코일(92) 사이에는 열전도율이 낮은 물질이 개재되어 있음으로써, 코일(92) 자체는 충분히 냉각되지 않아, 그 방열 효율이 나쁜 경우가 있었다.In other words, the slider is generally made of a synthetic resin, but the synthetic resin is not very high in thermal conductivity. In addition, the coil for magnetic field generation is conventionally covered with a dielectric such as silicon oxide from the standpoint of insulation protection. Therefore, even if a part of the surface of the slider 91 is cooled by the high speed air flow, since the material with low thermal conductivity is interposed between this cooling part and the coil 92, the coil 92 itself does not cool sufficiently. In some cases, the heat dissipation efficiency was poor.

또한, 슬라이더(91)에 형성되어 있는 복수의 오목 홈(93)은, 그 길이 방향의 각처가 동일한 폭으로 형성된 것에 불과하다. 따라서, 각 홈(93) 내를 흐르는 공기와 각 오목 홈(93)을 규정하는 면과의 접촉 정도는 적어, 그 방열성을 향상시키는데 아직 개선의 여지가 있었다.Further, the plurality of concave grooves 93 formed in the slider 91 are merely formed in the same width in each of the longitudinal directions. Therefore, the contact degree of the air which flows in each groove 93 with the surface which defines each recessed groove 93 is small, and there exists still room for improvement in improving the heat dissipation.

본원 발명은 이러한 사정을 감안하여 안출된 것으로서, 자기 헤드의 자계 발생용 코일의 온도 상승을 효율적으로 억제할 수 있도록 하는 것을 그 과제로 하고 있다.This invention is devised in view of such a situation, and makes it the subject to be able to suppress the temperature rise of the magnetic field generation coil of a magnetic head efficiently.

도 1은 본원 발명의 일 실시형태를 나타내는 요부 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The principal part sectional drawing which shows one Embodiment of this invention.

도 2는 도 1의 요부 확대 단면도.2 is an enlarged cross-sectional view of the main portion of FIG.

도 3은 도 2의 화살표 Ⅲ-Ⅲ 평면도.3 is a plan view of arrow III-III of FIG. 2;

도 4의 (a) 내지 (e)는 전열층의 제작 공정의 일례를 나타내는 요부 단면도.Fig.4 (a)-(e) is principal part sectional drawing which shows an example of the manufacturing process of a heat exchanger layer.

도 5는 전열층의 요철의 다른 형태를 나타내는 평면도.5 is a plan view showing another embodiment of irregularities of the heat transfer layer.

도 6은 전열층의 요철의 다른 형태를 나타내는 평면도.6 is a plan view showing another embodiment of irregularities of the heat transfer layer.

도 7은 본원 발명의 다른 실시형태를 나타내는 요부 단면도.Fig. 7 is a sectional view showing the principal parts of another embodiment of the present invention.

도 8은 본원 발명의 다른 실시형태를 나타내는 요부 단면도.8 is a sectional view showing the principal parts of another embodiment of the present invention;

도 9는 본원 발명의 다른 실시형태를 나타내는 요부 단면도.9 is a sectional view showing the principal parts of another embodiment of the present invention.

도 10은 본원 발명의 다른 실시형태를 나타내는 요부 단면도.10 is a sectional view showing the principal parts of another embodiment of the present invention.

도 11은 본원 발명의 다른 실시형태를 나타내는 요부 단면도.Fig. 11 is a sectional view showing the principal parts of another embodiment of the present invention.

도 12는 도 11에 나타낸 자기 헤드의 유전체막의 표면 형태의 일례를 나타내는 평면도.FIG. 12 is a plan view showing an example of the surface form of a dielectric film of the magnetic head shown in FIG. 11; FIG.

도 13은 도 11에 나타낸 자기 헤드의 유전체막의 표면 형태의 다른 예를 나타내는 평면도.13 is a plan view showing another example of the surface form of the dielectric film of the magnetic head shown in FIG. 11;

도 14는 종래기술의 설명도.14 is an explanatory diagram of a prior art;

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ※※ Explanation of code about main part of drawing ※

H: 자기 헤드H: magnetic head

D: 광 자기 디스크(디스크)D: magneto-optical disk (disc)

2: 코일2: coil

3: 유전체막(유전체)3: dielectric film (dielectric)

4: 전열층4: heat transfer layer

10: 렌즈 홀더10: lens holder

11a, 11b: 대물 렌즈11a, 11b: objective lens

30: 표면(유전체막의)30: surface (of dielectric film)

40: 오목 홈40: concave groove

상기 과제를 해결하기 위해, 본원 발명에서는 다음의 기술적 수단을 강구하고 있다.In order to solve the said subject, this invention seeks the following technical means.

본원 발명의 제 1 측면에 의해 제공되는 자기 헤드는, 디스크에 대하여 간격을 두고 대향하는 표면을 갖고 있는 유전체와, 이 유전체의 내부 또는 상기 표면에 설치된 자계 발생용 코일을 구비하고 있는 자기 헤드로서, 상기 유전체보다도 열전도율이 높은 전열층이 상기 코일에서 발생한 열을 수용할 수 있도록 설치되어 있으며, 상기 전열층의 적어도 일부 면은 복수의 요철을 갖는 요철면으로서 형성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.The magnetic head provided by the first aspect of the present invention is a magnetic head having a dielectric having a surface facing at a distance to a disk, and a coil for generating a magnetic field provided in or on the surface of the dielectric, A heat transfer layer having a higher thermal conductivity than the dielectric is provided to accommodate heat generated in the coil, and at least part of the heat transfer layer is formed as an uneven surface having a plurality of unevennesses.

이러한 구성에 의하면, 코일에서 발생한 열의 일부는 전열층에 전달되고 나서 이 전열층을 통하여 외부에 방열된다. 전열층은 코일 주위의 유전체보다도 열전도율이 높기 때문에, 이 전열층에는 코일로부터 많은 열을 전달시킬 수 있다. 또한, 이 전열층에는 요철부가 형성되어 있기 때문에, 방열용 전열면의 면적을 크게 취할 수 있다. 따라서, 이러한 것에 의해, 코일에서 발생하는 열의 방열성을 양호하게 하여, 코일의 온도 상승을 억제할 수 있다. 그 결과, 코일의 과열에 기인하는 이동의 발생, 전기 저항의 증가에 기인하는 소비전력의 증가 및 코일의 온도 상승과 같은 악순환의 발생을 적절하게 방지하는 것이 가능해진다.According to this configuration, part of the heat generated in the coil is transferred to the heat transfer layer and then radiated to the outside through the heat transfer layer. Since the heat transfer layer has a higher thermal conductivity than the dielectric around the coil, much heat can be transferred from the coil to the heat transfer layer. Moreover, since the uneven part is formed in this heat transfer layer, the area of the heat transfer surface for heat dissipation can be taken large. Therefore, by doing this, the heat dissipation of the heat generated by the coil can be improved, and the temperature rise of the coil can be suppressed. As a result, it becomes possible to appropriately prevent the occurrence of vicious cycles such as the occurrence of movement due to overheating of the coil, the increase in power consumption due to the increase in electrical resistance, and the temperature rise of the coil.

본원 발명의 바람직한 실시형태에 있어서는, 상기 요철면은 상기 유전체의 상기 표면으로부터 노출되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 디스크의 회전에 따라 유전체의 표면과 디스크 사이에 발생하는 공기류에 전열층의 일부를 직접 접촉시킬 수 있기 때문에, 전열층의 방열성을 한층 더 양호하게 할 수 있다.In a preferred embodiment of the present invention, the uneven surface is exposed from the surface of the dielectric. According to this structure, part of the heat transfer layer can be brought into direct contact with the air flow generated between the surface of the dielectric and the disc as the disc rotates, whereby the heat dissipation of the heat transfer layer can be further improved.

본원 발명의 제 2 측면에 의해 제공되는 자기 헤드는, 디스크에 대하여 간격을 두고 대향하는 표면을 갖고 있는 유전체와, 이 유전체의 내부 또는 상기 표면에 설치된 자계 발생용 코일을 구비하고 있는 자기 헤드로서, 상기 유전체 내부 중의 상기 코일을 사이에 두고 상기 디스크와는 반대쪽 위치에는 상기 유전체보다도 열전도율이 높은 전열층이 위치하고 있으며, 이 전열층의 일부분은 상기 유전체의 상기 표면으로부터 노출되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.The magnetic head provided by the second aspect of the present invention is a magnetic head having a dielectric having a surface facing at a distance to a disk and a coil for generating magnetic fields provided in or on the surface of the dielectric, A heat transfer layer having a higher thermal conductivity than the dielectric is located at a position opposite to the disc with the coil in the dielectric interposed therebetween, and a portion of the heat transfer layer is exposed from the surface of the dielectric.

이러한 구성에 의하면, 자계 발생용 코일에서 발생하는 열 중에서 디스크와는 반대 방향을 향하는 열을 전열층에 수용시키고 나서, 이 열을 전열층 중의 유전체 표면으로부터 외부에 노출되고 있는 일부분으로부터 외부로 방출할 수 있다. 전열층은 유전체보다도 열전도율이 높으며, 이 전열층의 일부분에 대해서는 디스크의 회전에 따라 발생하는 공기류를 이용하여 냉각시킬 수 있다. 이러한 것에 의해, 상기 구성에 있어서는, 자계 발생용 코일을 디스크와는 반대쪽 위치로부터 냉각시키는 것과 동일한 효과를 나타내게 된다. 그 결과, 본원 발명의 제 1 측면에 의해 제공되는 자기 헤드와 동일하게, 코일의 온도 상승을 적절하게 억제하고, 코일의 이동 발생 등을 방지하는데 매우 적합하게 된다.According to this configuration, the heat generated in the magnetic field generating coil receives heat in a direction opposite to the disk in the heat transfer layer, and then the heat is discharged to the outside from the portion exposed to the outside from the dielectric surface in the heat transfer layer. Can be. The heat transfer layer has a higher thermal conductivity than the dielectric, and a portion of the heat transfer layer can be cooled by using an air flow generated by the rotation of the disk. As a result, in the above configuration, the same effect as cooling the magnetic field generating coil from the position opposite to the disk can be obtained. As a result, similarly to the magnetic head provided by the first aspect of the present invention, the temperature rise of the coil is appropriately suppressed and it is very suitable for preventing the occurrence of movement of the coil and the like.

본원 발명의 제 3 측면에 의해 제공되는 자기 헤드는, 자계 발생용 코일과 디스크에 대하여 간격을 두고 대향하는 면을 구비하고 있으며, 상기 면에는 상기 디스크가 회전될 때에 공기를 통과시키기 위한 복수의 오목 홈이 형성되어 있는 자기 헤드로서, 상기 각 오목 홈은, 상기 디스크가 회전될 때에 상기 공기의 유입구가 되는 길이 방향 일단부로부터 상기 공기의 유출구가 되는 길이 방향 타단부를 향하여 나아갈수록 폭이 좁아지는 형상으로 되어 있는 것을 특징으로 하고 있다. 상기 복수의 오목 홈이 형성되는 면은, 예를 들어, 자계 발생용 코일을 덮도록 설치된 유전체의 표면일 수도 있고, 또는 본원 발명의 제 1 및 제 2 측면에 의해 제공되는 자기 헤드의 전열층에 상당하는 부분의 표면일 수도 있다.The magnetic head provided by the third aspect of the present invention has a surface opposing the magnetic field generating coil and the disk at intervals, wherein the surface has a plurality of recesses for passing air when the disk is rotated. A groove is formed in the magnetic head, wherein each of the concave grooves becomes narrower toward the other end in the longitudinal direction, which becomes the outlet of the air, from the longitudinal one end, which becomes the inlet of the air, when the disk is rotated. It is characterized by being shaped. The surface on which the plurality of concave grooves are formed may be, for example, a surface of a dielectric provided to cover a coil for generating a magnetic field, or may be provided on the heat transfer layer of the magnetic head provided by the first and second aspects of the present invention. The surface of the corresponding part may be sufficient.

이러한 구성에 의하면, 디스크와 상기 면 사이의 공기가 디스크의 회전에 따라 상기 각 오목 홈 내를 통과할 때에는, 이 공기가 상기 각 오목 홈의 벽면에 강제적으로 접촉하게 된다. 따라서, 복수의 오목 홈의 길이 방향 각처의 폭이 동일하게 되어 있었던 종래기술의 경우보다도 상기 면의 냉각 효율을 향상시키는 것이가능해진다. 그 결과, 코일의 온도 상승을 종래기술보다도 억제하고, 이동 발생 등을 방지하는데 유리해진다.According to this configuration, when the air between the disk and the surface passes through each of the concave grooves as the disk rotates, the air is forced to contact the wall surface of the concave grooves. Therefore, it becomes possible to improve the cooling efficiency of the said surface compared with the case of the prior art which the width | variety of the each part of the longitudinal direction of several recessed grooves became the same. As a result, the temperature rise of the coil can be suppressed more than in the prior art, which is advantageous in preventing the occurrence of movement and the like.

본원 발명의 제 4 측면에 의해 제공되는 자기 헤드는, 자계 발생용 코일과 디스크에 대하여 간격을 두고 대향하는 면을 구비하고 있는 자기 헤드로서, 상기 면의 적어도 일부분은, 복수의 돌출부가 상기 디스크의 트랙 방향과 트래킹 방향으로 분산되어 배치된 요철면으로서 형성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다. 이 경우에 있어서도, 상기한 본원 발명의 제 3 측면에 의해 제공되는 자기 헤드의 경우와 동일하게, 상기 요철면으로서 형성되는 면으로서는, 예를 들어, 자계 발생용 코일을 덮도록 설치된 유전체의 표면일 수도 있고, 또는 본원 발명의 제 1 및 제 2 측면에 의해 제공되는 자기 헤드의 전열층에 상당하는 부분의 표면일 수도 있다.A magnetic head provided by a fourth aspect of the present invention is a magnetic head having a surface facing a magnetic field generating coil and spaced apart from each other, wherein at least a portion of the surface includes a plurality of protrusions of the disk. It is formed as the uneven surface arrange | positioned distributed in a track direction and a tracking direction. Also in this case, as in the case of the magnetic head provided by the third aspect of the present invention described above, the surface formed as the uneven surface may be, for example, a surface of a dielectric provided to cover the coil for magnetic field generation. It may be a surface of a part corresponding to the heat transfer layer of the magnetic head provided by the first and second aspects of the present invention.

이러한 구성에 의하면, 디스크의 트랙 방향으로 연장되는 라인 형상 홈을 형성함으로써, 소정 면을 요철 형상으로 하고 있었던 종래기술의 경우보다도 상기 요철면의 표면적을 크게 하고, 공기와의 접촉에 의해 냉각되는 전열면의 면적을 크게 취하는 것을 간단하게 행할 수 있게 된다. 또한, 디스크의 회전에 따라 이 디스크와 상기 요철면 사이를 공기가 흐를 때에는, 라인 형상의 홈 내를 공기가 흐르는 경우와는 달리, 예를 들어, 복수 돌출부의 전체 또는 대략 전체에 공기를 강제적으로 충돌시킴으로써, 상기 요철면의 각처에 공기가 접촉하는 정도를 높이는 것도 가능해진다. 따라서, 본원 발명의 제 1 내지 제 3 측면으로 의해 제공되는 자기 헤드와 동일하게, 코일 냉각 효율을 향상시켜, 코일의 과열에 기인하는 이동의 발생 방지 등을 도모하는데 바람직한 것으로 된다.According to this structure, by forming a line groove extending in the track direction of the disk, the surface area of the uneven surface is increased and cooled by contact with air than in the case of the prior art in which the predetermined surface is uneven. It becomes easy to take large area of a column surface. In addition, when air flows between the disk and the uneven surface as the disk rotates, air is forced to all or substantially all of the plurality of protrusions, unlike when the air flows through the grooves in the line shape. By making it collide, it becomes possible to raise the grade which air contacts each part of the said uneven surface. Therefore, as with the magnetic heads provided by the first to third aspects of the present invention, it is preferable to improve the coil cooling efficiency and to prevent the occurrence of movement due to overheating of the coil.

본원 발명의 그 이외의 특징 및 이점에 대해서는, 이하에 행하는 발명의 실시형태의 설명으로부터 보다 명확해질 것이다.Other features and advantages of the present invention will become more apparent from the following description of the embodiments of the invention.

이하, 본원 발명의 바람직한 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 구체적으로 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of this invention is described concretely, referring drawings.

도 1 내지 도 3은 본원 발명의 일 실시형태를 나타내고 있다. 도 1에 잘 도시되어 있는 바와 같이, 본 실시형태의 자기 헤드(H)는 렌즈 홀더(10)와, 이 렌즈 홀더(10)에 유지된 2개의 대물 렌즈(11a, 11b)와, 자계 발생용 코일(2)과, 이 코일(2)을 덮는 유전체막(3)과, 한 쌍의 전열층(4)을 구비한 광 자기 헤드로서 구성되어 있다.1 to 3 show one embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the magnetic head H of the present embodiment includes a lens holder 10, two objective lenses 11a and 11b held in the lens holder 10, and a magnetic field generating device. It is comprised as a magneto-optical head provided with the coil 2, the dielectric film 3 which covers this coil 2, and a pair of heat transfer layer 4. As shown in FIG.

렌즈 홀더(10)는 캐리지(50)에 탑재되어 있고, 광자기 디스크(D)의 아래쪽에 배치시킬 수 있다. 이 렌즈 홀더(10)는, 예를 들어, 화살표 Tg로 나타낸 광자기 디스크(D)의 트래킹 방향(반경 방향)으로 변위 가능한 지지수단(도시 생략)을 통하여 캐리지(50)에 지지되고 있으며, 동일 방향으로의 변위가 가능하다. 또한, 이 렌즈 홀더(10)는, 예를 들어, 전자 구동수단(19)의 구동력에 의해 화살표 Fc로 나타낸 포커스 방향으로 변위할 수 있도록 되어 있다. 광자기 디스크(D)는, 스핀들 모터(도시 생략)의 구동력에 의해 도 1의 가상선(C)을 중심으로 하여 고속 회전 가능하다. 광자기 디스크(D)의 기록층(88)은 광자기 디스크(D)의 양면 중에서 렌즈 홀더(10)에 대향하는 측의 면에 설치되어 있다(도 2 참조). 본 실시형태와는 달리, 기록층(88)을 광자기 디스크(D)의 상기 면과는 반대 면에 설치할 수도 있지만, 그렇게 하면 기록층(88)과 코일(2) 사이의 거리가 커져 자력 손실이 많아지는 동시에, 레이저광이 광자기 디스크(D)의 기판을 투과할 때에 그 왜곡의 영향을 받을 우려가 있다. 따라서, 그러한 결점을 해소하는 관점에서 보면, 본 실시형태와 같은 구성으로 하는 것이 바람직하다. 기록층(88)의 표면은 투광성을 갖는 절연 보호막(89)에 의해 덮여 있다.The lens holder 10 is mounted on the carriage 50 and can be disposed below the magneto-optical disk D. This lens holder 10 is supported by the carriage 50 via support means (not shown) which are displaceable in the tracking direction (radial direction) of the magneto-optical disk D indicated by an arrow Tg, for example. Displacement in the direction is possible. The lens holder 10 can be displaced in the focus direction indicated by the arrow Fc by, for example, the driving force of the electromagnetic drive means 19. The magneto-optical disk D can be rotated at high speed about the imaginary line C of FIG. 1 by the drive force of a spindle motor (not shown). The recording layer 88 of the magneto-optical disk D is provided on the surface of the both sides of the magneto-optical disk D opposite to the lens holder 10 (see Fig. 2). Unlike the present embodiment, the recording layer 88 may be provided on the surface opposite to the surface of the magneto-optical disk D. However, this increases the distance between the recording layer 88 and the coil 2 and causes magnetic loss. At the same time, there is a fear that the laser light is affected by the distortion when the laser beam passes through the substrate of the magneto-optical disk D. Therefore, from a viewpoint of eliminating such a fault, it is preferable to set it as the structure similar to this embodiment. The surface of the recording layer 88 is covered with an insulating protective film 89 having light transparency.

캐리지(50)는, 예를 들어, 보이스 코일 모터(도시 생략)의 구동력에 의해 트래킹 방향 Tg로 이동 가능하다. 이 캐리지(50)의 이동에 의해, 렌즈 홀더(10)를 목적하는 트랙의 근방에 배치시키는 시크(seek) 동작이 실행된다. 레이저광은 레이저 다이오드(도시 생략) 또는 콜리메이터(collimator) 렌즈 등을 구비한 고정 광학부로부터 캐리지(50)를 향하여 진행하고, 캐리지(50)에 탑재된 스타트 미러(51)에 도달하도록 구성되어 있다. 스타트 미러(51)에 의해 위쪽에 반사된 레이저광은 대물 렌즈(11a, 11b)에 차례로 입사함으로써 집속(集束)되고, 이것에 의해 기록층(88) 위에는 레이저 스폿이 형성된다. 상기 고정 광학부에는 빔 스플리터 또는 광 검출기도 설치되어 있고, 기록층(88)에 의해 레이저광이 반사되면, 이 반사광은 상기 광 검출기에 의해 검출되도록 되어 있다. 트래킹 제어와 포커스 제어는 렌즈 홀더(10)의 소정 방향으로의 변위에 의해 가능하다. 다만, 예를 들어, 트래킹 제어에 대해서는, 스타트 미러(51)의 경사 각도를 변경하고, 레이저광의 반사 방향을 트래킹 방향으로 움직임으로써 행하는 것도 가능하며, 그들 제어의 구체적인 내용은 한정되지 않는다.The carriage 50 is movable in the tracking direction Tg by the driving force of a voice coil motor (not shown), for example. By the movement of the carriage 50, the seek operation which arrange | positions the lens holder 10 in the vicinity of the target track is performed. The laser beam is configured to travel toward the carriage 50 from the fixed optical unit including a laser diode (not shown), a collimator lens, or the like, and reach the start mirror 51 mounted on the carriage 50. . The laser light reflected upward by the start mirror 51 is focused by sequentially entering the objective lenses 11a and 11b, whereby a laser spot is formed on the recording layer 88. The fixed optical unit is also provided with a beam splitter or a photo detector. When the laser light is reflected by the recording layer 88, the reflected light is detected by the photo detector. Tracking control and focus control are possible by displacement of the lens holder 10 in a predetermined direction. However, for example, the tracking control can be performed by changing the inclination angle of the start mirror 51 and moving the reflection direction of the laser light in the tracking direction, and the details of these controls are not limited.

도 2에 잘 도시되어 있는 바와 같이, 자계 발생용 코일(2)은 대물 렌즈(11b)에 접착된 직사각형 등의 투명한 기판(60) 위에 형성되어 있다. 기판(60)은, 예를들어, 대물 렌즈(11b)와 동일한 재질의 유리제이며, 대물 렌즈(11b)와 기판(60)과의 경계면에 틈을 발생시키지 않도록 대물 렌즈(11b)에 대하여 빈틈없이 접착되어 있다. 또한, 본원 발명에 있어서는, 기판(60) 위에 코일(2)을 형성하는 대신에, 기판(60)을 이용하지 않고, 대물 렌즈(11b)의 표면 위에 코일(2)을 직접 형성한 구성으로 하는 것도 가능하다.As well shown in Fig. 2, the magnetic field generating coil 2 is formed on a transparent substrate 60 such as a rectangle bonded to the objective lens 11b. For example, the substrate 60 is made of glass of the same material as that of the objective lens 11b, and is tightly spaced with respect to the objective lens 11b so as not to generate a gap in the interface between the objective lens 11b and the substrate 60. It is glued. In addition, in this invention, instead of forming the coil 2 on the board | substrate 60, the coil 2 is formed directly on the surface of the objective lens 11b, without using the board | substrate 60. It is also possible.

코일(2)은 구리 등의 금속막을 소정 형상으로 패터닝함으로써 형성된 것이며, 반도체 제조 프로세스에 의해 제조하는 것이 가능하다. 이 코일(2)은, 예를 들어, 2층의 도체막(20a, 20b)을 갖는 2층 구조의 것으로서 구성되어 있고, 그들 2개의 도체막(20a, 20b)이 소용돌이 형상으로 된 나선형 코일이다. 이 코일(2)은, 대물 렌즈(11b)를 투과하여 온 레이저광을 차단하지 않도록 그 중심축(L1)이 대물 렌즈(11b)의 축(L2)의 연장선 위에 위치하도록 설치되어 있다. 도 3에 잘 도시되어 있는 바와 같이, 이 코일(2)의 2개의 도체막(20a, 20b) 각각의 일부분은 유전체막(3) 및 기판(60)의 에지부까지 인출되어 있고, 코일(2)에 대한 전력 공급용 단자부(20c, 20d)가 형성되어 있다. 도 2에 잘 도시되어 있는 바와 같이, 코일(2)보다도 아래쪽에는 퍼멀로이(permalloy) 등으로 이루어진 박막 형상의 자성체층(61)이 설치되어 있다. 이 자성체층(61)은 코일(2)에 의해 발생된 자계를 광자기 디스크(D)의 방향으로 효율적으로 작용시키기 위한 것이다.The coil 2 is formed by patterning a metal film such as copper into a predetermined shape, and can be manufactured by a semiconductor manufacturing process. The coil 2 is, for example, a two-layer structure having two conductive films 20a and 20b, and the two conductive films 20a and 20b are spiral coils having a spiral shape. . This coil 2 is provided so that the center axis L1 may be located on the extension line of the axis L2 of the objective lens 11b so as not to block the laser beam which has passed through the objective lens 11b. As shown in FIG. 3, a portion of each of the two conductor films 20a and 20b of the coil 2 is drawn out to the edge of the dielectric film 3 and the substrate 60, and the coil 2 Power supply terminal portions 20c and 20d are formed. As shown in FIG. 2, below the coil 2, a magnetic layer 61 having a thin film shape made of a permalloy or the like is provided. This magnetic layer 61 is for efficiently operating the magnetic field generated by the coil 2 in the direction of the magneto-optical disk D. As shown in FIG.

유전체막(3)은 투광성을 갖는 산화알루미늄 또는 산화규소 등의 유전 물질로 이루어지고, 자성체층(61) 및 코일(2)을 덮도록 기판(60) 위에 형성되어 있다. 이 유전체막(3)은, 자성체층(61) 또는 코일(2)의 박막 형성에 따라 형성되는 복수의박막 형상 유전체층이 일체적으로 적층되어 구성된 것이며, 본원 발명에서의 유전체의 일례에 상당한다. 이 유전체막(3)의 굴절률은, 바람직하게는 기판(60) 또는 대물 렌즈(11b)의 굴절률과 대략 동일하게 되어 있다.The dielectric film 3 is made of a dielectric material such as aluminum oxide or silicon oxide having a light transmissivity, and is formed on the substrate 60 so as to cover the magnetic layer 61 and the coil 2. The dielectric film 3 is formed by integrally stacking a plurality of thin film-like dielectric layers formed by forming the magnetic layer 61 or the thin film of the coil 2, and corresponds to an example of the dielectric in the present invention. The refractive index of the dielectric film 3 is preferably approximately equal to the refractive index of the substrate 60 or the objective lens 11b.

한 쌍의 전열층(4)은 유전체막(3)보다도 열전도율이 높은, 예를 들어, 구리 등의 금속으로 이루어진다. 본 실시형태에 있어서는, 이 한 쌍의 전열층(4)은, 후술하는 바와 같이, 코일(2)의 온도 상승을 억제하기 위한 방열 기능을 갖는 동시에, 정전 용량에 의거하여 광자기 디스크(D)와 자기 헤드(H) 사이의 거리를 구하기 위한 도체 또는 센서로서의 역할도 수행하도록 구성되어 있다. 즉, 한 쌍의 전열층(4)과 기록층(88) 사이의 거리가 작아지면, 그들 사이의 정전 용량이 커진다. 따라서, 이 정전 용량의 값에 의거하여 광자기 디스크(D)와 자기 헤드(H)의 간격을 구할 수 있고, 한 쌍의 전열층(4)은 상기 정전 용량을 검출하는데 도움이 된다. 상기 정전 용량에 의거하여 얻어진 광자기 디스크(D)와 자기 헤드(H1)의 간격 데이터는, 예를 들어, 포커스 제어의 정밀도를 높이는데 이용된다.The pair of heat transfer layers 4 are made of a metal such as copper, which has a higher thermal conductivity than the dielectric film 3. In the present embodiment, the pair of heat transfer layers 4 have a heat dissipation function for suppressing the temperature rise of the coil 2 as described later, and at the same time based on the electrostatic capacity, the magneto-optical disk D And serve as a conductor or a sensor for determining the distance between the magnetic head and the magnetic head H. In other words, as the distance between the pair of heat transfer layers 4 and the recording layer 88 becomes smaller, the capacitance between them becomes larger. Therefore, the distance between the magneto-optical disk D and the magnetic head H can be obtained based on the value of the capacitance, and the pair of heat transfer layers 4 help to detect the capacitance. The interval data between the magneto-optical disk D and the magnetic head H1 obtained based on the electrostatic capacitance is used to, for example, increase the accuracy of focus control.

한 쌍의 전열층(4)은 그 표면이 유전체막(3)의 표면(30)으로부터 노출되어 있으며, 광자기 디스크(D)에 대하여 미소한 틈을 통하여 대향할 수 있도록 되어 있다. 도 3에 잘 도시되어 있는 바와 같이, 한 쌍의 전열층(4)은, 유전체막(3) 표면(30) 중에서 코일(2)의 형성 영역과 중첩된 부분을 제외하도록 하여, 유전체막(3) 표면(30)의 넓은 영역에 걸쳐 형성되어 있다. 다만, 한 쌍의 전열층(4)은 코일(2)의 반경 방향으로 연장되는 적당한 폭(s)의 틈을 통하여 2분할되어 있다. 이것은, 광자기 디스크(D)에 대한 데이터의 기록 방식으로서 자계 변조 방식을 채용하고, 코일(2)에 고주파 전류를 흐르게 할 때에, 전열층(4)에 유전 전류가 흐르기 어렵게 하여, 코일(2)에 의해 발생된 자계가 상기 유전 전류에 의거하여 발생하는 자계에 의해 약화되지 않도록 하기 위함이다.The pair of heat transfer layers 4 are exposed from the surface 30 of the dielectric film 3 so that the pair of heat transfer layers 4 can face the magneto-optical disks D through a small gap. As shown in FIG. 3, the pair of heat transfer layers 4 exclude the portion of the dielectric film 3 surface 30 that overlaps with the formation region of the coil 2 so as to exclude the dielectric film 3. ) Is formed over a large area of the surface 30. However, the pair of heat transfer layers 4 are divided into two through a gap of a suitable width s extending in the radial direction of the coil 2. This adopts a magnetic field modulation method as a data recording method for the magneto-optical disk D, and makes it difficult for the dielectric current to flow in the heat transfer layer 4 when the high frequency current flows in the coil 2, thereby making the coil 2 This is to prevent the magnetic field generated by) from being weakened by the magnetic field generated based on the dielectric current.

각 전열층(4)의 광자기 디스크(D)에 대향하는 표면은, 복수개의 홈(40)과 이들 복수개의 홈(40)끼리의 각 사이에 위치하는 복수의 돌출부(41)를 갖는 요철면으로서 형성되어 있다. 각 홈(40)은 광자기 디스크(D)의 화살표 Tc로 나타낸 트랙 방향으로 연장되어 있다. 다만, 각 홈(40)의 폭은 각처에서 균일하지 않고, 광자기 디스크(D)의 회전 방향이, 예를 들어, 도 3의 화살표 N1 방향이라고 하면, 그 상류측의 길이 방향 일단부(42a)의 폭(Sa)보다도 하류측의 길이 방향 타단부(42b)의 폭(Sb)이 더 작게 되어 있다. 보다 구체적으로는, 각 홈(40)의 폭을 규정하는 한 쌍의 벽면(43a, 43a)은 각 홈(40)의 일단부(42a)로부터 타단부(42b)를 향할수록 각 홈(40)의 폭을 서서히 작게 하는 비평행면으로 되어 있다.The surface facing the magneto-optical disk D of each heat-transfer layer 4 has an uneven surface having a plurality of grooves 40 and a plurality of protrusions 41 positioned between the plurality of grooves 40. It is formed as. Each groove 40 extends in the track direction indicated by the arrow Tc of the magneto-optical disk D. As shown in FIG. However, the width | variety of each groove | channel 40 is not uniform at each place, and if the rotation direction of the magneto-optical disk D is a direction of arrow N1 of FIG. 3, for example, the longitudinal direction one end part 42a of the upstream side The width Sb of the other end 42b in the longitudinal direction on the downstream side is smaller than the width Sa of. More specifically, the pair of wall surfaces 43a and 43a defining the width of each groove 40 are directed toward the other end 42b from one end 42a of each groove 40 to each groove 40. It is a non-parallel surface which gradually decreases the width of.

각 전열층(4)은, 코일(2) 또는 자성체층(61)과 동일하게, 반도체 제조 프로세스에 의해 제작할 수 있다. 그 일례를 나타내면, 먼저 도 4의 (a)에 나타낸 바와 같이, 베이스로 되는 유전체막(3a)(유전체막(3)의 일부) 위에 스퍼터링 또는 증착에 의해 구리의 베이스층(49a)을 형성한다. 이어서, 도 4의 (b)에 나타낸 바와 같이, 베이스층(49a) 위에 제 1 레지스트(69a)를 도포하여, 노광 및 현상 처리를 행하고 나서, 베이스층(49a)의 표면 중에서 제 1 레지스트(69a)에 의해 덮여 있지 않은 부분에서 도금 등에 의해 구리를 성장시켜 구리층(49b)을 더 형성한다. 그 후는, 도 4의 (c)에 나타낸 바와 같이, 제 1 레지스트(69a) 및 구리층(49b)의 표면에서 제 2 레지스트(69b)의 패터닝을 행하고 나서, 구리층(49b) 위에 복수의 라인 형상 형태를 갖는 구리층(49c)을 형성한다. 이 공정을 종료한 후에는, 도 4의 (d)에 나타낸 바와 같이, 제 1 및 제 2 레지스트(69a, 69b)를 제거하고, 그 후, 예를 들어, 이온 밀링에 의해 베이스층(49a) 중의 불필요 부분을 제거한다. 그리하면, 도 4의 (e)에 나타낸 바와 같이, 전열층(4)을 형성할 수 있다. 이러한 일련의 공정은 코일(2)의 제조 공정과 병행하여, 또는 코일(2)의 제조 공정에 이어서 효율적으로 행할 수 있다.Each heat transfer layer 4 can be manufactured by a semiconductor manufacturing process similarly to the coil 2 or the magnetic body layer 61. As an example thereof, first, as shown in Fig. 4A, a copper base layer 49a is formed on the dielectric film 3a (part of the dielectric film 3) serving as a base by sputtering or vapor deposition. . Subsequently, as shown in FIG. 4B, after the first resist 69a is applied on the base layer 49a to perform exposure and development treatment, the first resist 69a is formed on the surface of the base layer 49a. The copper layer 49b is further formed by growing copper by plating or the like at the portion not covered by the?). Thereafter, as shown in FIG. 4C, after patterning the second resist 69b on the surfaces of the first resist 69a and the copper layer 49b, a plurality of copper layers 49b are formed. A copper layer 49c having a line shape is formed. After finishing this process, as shown in FIG.4 (d), the 1st and 2nd resists 69a and 69b are removed, and after that, the base layer 49a is performed by ion milling, for example. Remove unnecessary parts of the Then, as shown in Fig. 4E, the heat transfer layer 4 can be formed. Such a series of processes can be performed in parallel with the manufacturing process of the coil 2, or following the manufacturing process of the coil 2 efficiently.

다음으로, 자기 헤드(H)의 작용에 대해서 설명한다.Next, the operation of the magnetic head H will be described.

광자기 디스크(D)로의 데이터 기록을 자계 변조 방식에 의해 행할 경우, 광자기 디스크(D)를 회전시키면서, 기록층(88)의 목적하는 트랙 위에 레이저빔을 연속적으로 조사하여 기록층(88)의 소정 자성체를 퀴리 온도까지 상승시킨다. 한편, 코일(2)에는 고주파 전류를 흐르게 하여 자계의 자속 방향을 바꾼다. 이것에 의해, 기록층(88)을 구성하는 자성체의 자화 방향을 제어한다. 이러한 데이터 기록 처리 시에 있어서, 코일(2)로부터 발생한 열의 일부는 유전체막(3)을 통하여 한 쌍의 전열층(4)에 전달되고, 이들 한 쌍의 전열층(4)을 통하여 외부(공기 중)로 방출된다. 각 전열층(4)은 열전도성이 우수하며, 그 표면은 유전체막(3)의 외부에 노출된 전열 면적이 큰 요철면으로 되어 있기 때문에, 우수한 방열 효과를 얻을 수 있다.When data recording to the magneto-optical disk D is performed by the magnetic field modulation method, the recording layer 88 is irradiated by continuously irradiating a laser beam onto a desired track of the recording layer 88 while rotating the magneto-optical disk D. The predetermined magnetic substance of is raised to the Curie temperature. On the other hand, the high frequency current flows through the coil 2, and the magnetic flux direction of a magnetic field is changed. This controls the magnetization direction of the magnetic body constituting the recording layer 88. In this data recording process, a part of the heat generated from the coil 2 is transferred to the pair of heat transfer layers 4 through the dielectric film 3 and is external (air) through the pair of heat transfer layers 4. Medium). Each heat transfer layer 4 is excellent in thermal conductivity, and since the surface thereof is a concave-convex surface with a large heat transfer area exposed to the outside of the dielectric film 3, excellent heat dissipation effect can be obtained.

또한, 각 전열층(4)과 광자기 디스크(D) 사이에는, 광자기 디스크(D)의 회전에 따라 고속 공기류가 발생하고 있으며, 각 전열층(4)의 표면은 이 고속 공기류에노출된다. 따라서, 전열층(4)은 이 고속 공기류에 의해 적극적으로 냉각된다. 고속 공기류는, 도 3의 화살표 N2에 나타낸 바와 같이, 각 홈(40) 내에는 그 일단부(42a)로부터 진입하고, 타단부(42b)를 향한다. 이것에 대하여, 상술한 바와 같이, 각 홈(40) 내는 타단부(42b)로 될수록 그 폭이 좁아지고 있다. 따라서, 상기 고속 공기류가 각 홈(40)의 한 쌍의 벽면(43a)에 접촉하는 정도를 증대시켜, 상기 고속 공기류에 의한 각 전열층(4)의 냉각을 보다 촉진시킬 수 있다.In addition, between each heat transfer layer 4 and the magneto-optical disk D, a high-speed air flow is generated by the rotation of the magneto-optical disk D, and the surface of each heat-transfer layer 4 is connected to this high-speed air flow. Exposed. Therefore, the heat transfer layer 4 is actively cooled by this high speed air flow. As shown by arrow N2 of FIG. 3, the high velocity air flow enters into each groove 40 from one end 42a and faces the other end 42b. On the other hand, as mentioned above, the width | variety becomes narrower in each groove | channel 40 as the other end part 42b becomes. Accordingly, the degree of contact of the high speed air stream with the pair of wall surfaces 43a of the grooves 40 can be increased to further promote the cooling of the heat transfer layer 4 by the high speed air stream.

이와 같이, 전열층(4)에서 효율적으로 방열을 행하게 하면, 이것에 의해 코일(2)의 온도 상승을 억제할 수 있다. 이것에 의해, 코일(2)의 이동을 방지할 수 있다. 또한, 온도 상승에 따른 코일(2)의 전기 저항 증대도 방지할 수 있기 때문에, 소비전력의 증가, 및 소비전력의 증가에 기인하는 코일의 발열 온도 상승과 같은 연쇄적인 현상도 매우 적합하게 억제하는 것이 가능해진다. 본 실시형태에 있어서는, 정전 용량에 의거하여 광자기 디스크(D)의 기록층(88)과 자기 헤드(H) 사이의 거리를 구하기 위한 도체 또는 센서로서의 역할을 수행하는 전열층(4)을 이용하여, 코일(2)의 냉각 효과를 높이도록 구성되어 있다. 따라서, 그 구성은 합리적이며, 자기 헤드(H)의 구성요소 수를 감소시켜, 그 간소화를 도모할 수 있는 만큼 제조 비용의 상승을 억제하는 것도 가능하다.In this way, when the heat dissipation is efficiently performed in the heat transfer layer 4, the temperature rise of the coil 2 can be suppressed by this. Thereby, the movement of the coil 2 can be prevented. In addition, the increase in the electrical resistance of the coil 2 due to the temperature rise can be prevented, so that a chain phenomenon such as an increase in the power consumption and an increase in the heat generation temperature of the coil due to the increase in the power consumption can be suitably suppressed. It becomes possible. In this embodiment, the heat transfer layer 4 serving as a conductor or a sensor for determining the distance between the recording layer 88 of the magneto-optical disk D and the magnetic head H based on the electrostatic capacitance is used. It is comprised so that the cooling effect of the coil 2 may be improved. Therefore, the structure is rational, and it is also possible to reduce the number of components of the magnetic head H, and to suppress the increase in manufacturing cost as much as it can simplify its construction.

도 5 내지 도 13은 본원 발명에 따른 자기 헤드의 다른 실시형태를 나타내고 있다. 이들 도면에 있어서, 상기 실시형태와 동일하거나 유사한 요소에는 상기 실시형태와 동일한 부호를 첨부하고 있다.5 to 13 show another embodiment of a magnetic head according to the present invention. In these drawings, the same or similar elements as in the above embodiment are given the same reference numerals as in the above embodiment.

도 5에 나타낸 구성에 있어서는, 코일(2)을 덮는 유전체막(3)으로부터 노출되는 각 전열층(4)의 표면을 요철 형상으로 하는 수단으로서, 직사각형 등의 형태를 갖는 복수의 돌출부(44)가 트래킹 방향 Tg와 트랙 방향 Tc의 각각으로 분산되어 설치되어 있다.In the configuration shown in FIG. 5, a plurality of protrusions 44 having a rectangular shape or the like is a means for making the surface of each heat transfer layer 4 exposed from the dielectric film 3 covering the coil 2 into an uneven shape. Are distributed in each of the tracking direction Tg and the track direction Tc.

이러한 구성에 의하면, 복수의 돌출부(44)가 분산 배치되어 있음으로써, 각 전열층(4)의 전열면으로 되는 표면의 면적을 크게 할 수 있기 때문에, 역시 우수한 냉각 효과를 얻을 수 있다. 또한, 광자기 디스크가 회전됨으로써, 이 광자기 디스크와 각 전열층(4)의 표면과의 사이에 고속 공기류가 발생했을 때에는, 화살표 n1에 나타낸 바와 같이, 이 고속 공기류를 각 돌출부(44)의 측면에 충돌시킬 수 있다. 따라서, 이러한 작용에 의해서도 냉각 효율을 향상시킬 수 있고, 코일(2)의 온도 상승을 억제하는데 매우 적합하게 된다.According to such a structure, since the some protrusion part 44 is disperse arrange | positioned, since the area of the surface used as the heat-transfer surface of each heat-transfer layer 4 can be enlarged, the outstanding cooling effect can also be obtained. In addition, when the high-speed airflow is generated between the magneto-optical disk and the surface of each heat-transfer layer 4 by rotating the magneto-optical disk, as shown by arrow n1, the high-speed airflow is applied to each of the protrusions 44. Can collide with the sides. Therefore, the cooling efficiency can be improved also by such an effect, and it becomes very suitable to suppress the temperature rise of the coil 2.

도 6에 나타낸 구성에 있어서는, 각 전열층(4)의 복수의 홈(45)이 서로 평행한 벽면(45a)에 의해 규정된 소위 평행 홈으로서 형성되어 있다.In the structure shown in FIG. 6, the some groove 45 of each heat-transfer layer 4 is formed as what is called a parallel groove prescribed | regulated by the wall surface 45a parallel to each other.

이러한 구성에 의하면, 각 전열층(4)과 광자기 디스크 사이에 발생한 고속 공기류가 화살표 N3에 나타낸 바와 같이 각 홈(45) 내에 진입할 경우, 이 고속 공기류가 각 전열층(4)의 표면에 접촉하는 정도는 도 3 또는 도 5에 나타낸 구성의 것과 비교하면 낮아진다. 다만, 각 전열층(4)의 표면이 요철을 갖지 않는 평면 형상으로 되어 있는 경우와 비교하면, 각 전열층(4)의 냉각 효율을 향상시키는 것이 가능하며, 본원 발명은 각 전열층(4)의 표면을 요철로 하는 수단으로서 도 6에 나타낸 바와 같은 구성을 채용할 수도 있다.According to this configuration, when the high speed air flow generated between each heat transfer layer 4 and the magneto-optical disk enters each groove 45 as indicated by arrow N3, the high speed air flow is generated in each heat transfer layer 4. The degree of contact with the surface is lower than that of the configuration shown in FIG. 3 or 5. However, as compared with the case where the surface of each heat-transfer layer 4 becomes planar shape which does not have an unevenness | corrugation, it is possible to improve the cooling efficiency of each heat-transfer layer 4, and this invention provides each heat-transfer layer 4 As a means for roughening the surface of the structure, a structure as shown in FIG. 6 may be employed.

도 7에 나타낸 구성에 있어서는, 유전체막(3)의 내부 중에서 코일(2)보다도기판(60) 근방의 부분에 유전체막(3)보다도 열전도율이 높은 전열층(4A)이 설치되어 있다. 이 전열층(4A)은 상술한 실시형태의 자성체층(61)과 동일한 역할을 수행하는 것이며, 자성체로 이루어진다. 이 전열층(4A)은 기판(60)의 한쪽 면의 비교적 넓은 영역에 걸쳐 형성되어 있으며, 이 전열층(4A) 양면 중의 적어도 1개 면은 복수의 돌출부(48a) 및 오목부(48b)를 갖는 요철면으로 되어 있다.In the structure shown in FIG. 7, the heat transfer layer 4A having a higher thermal conductivity than the dielectric film 3 is provided in the portion of the dielectric film 3 near the substrate 60 than the coil 2. This heat transfer layer 4A performs the same role as the magnetic body layer 61 of the above-mentioned embodiment, and consists of a magnetic body. The heat-transfer layer 4A is formed over a relatively wide area of one side of the substrate 60, and at least one surface of both surfaces of the heat-transfer layer 4A is provided with a plurality of protrusions 48a and recesses 48b. It has the uneven surface which has.

이러한 구성에 의하면, 전열층(4A)의 한쪽 면이 요철면으로 되어 있음으로써, 이 전열층(4A)의 표면적이 크게 되어 있기 때문에, 이 전열층(4A)의 방열성을 그만큼 향상시킬 수 있다. 전열층(4A)은 그 전체 또는 대략 전체가 유전체막(3) 내에 매설되어 있지만, 이 전열층(4A)은 유전체막(3)보다도 높은 열전도율을 갖기 때문에, 코일(2)로부터 발생하는 열을 전열층(4A)을 통하여 발산시킬 수 있다. 따라서, 본 실시형태에 의해서도, 코일(2)의 온도 상승을 억제하는 효과를 얻을 수 있다.According to such a structure, since one surface of 4 A of heat-transfer layers is an uneven surface, since the surface area of this heat-transfer layer 4A becomes large, the heat dissipation of this heat-transfer layer 4A can be improved by that much. The heat transfer layer 4A is entirely or substantially entirely embedded in the dielectric film 3, but since the heat transfer layer 4A has a higher thermal conductivity than the dielectric film 3, the heat generated from the coil 2 is reduced. It can diverge through the heat transfer layer 4A. Therefore, also in this embodiment, the effect which suppresses the temperature rise of the coil 2 can be acquired.

도 7에 나타낸 실시형태로부터 이해되는 바와 같이, 본원 발명에 있어서는, 방열을 행하는데 이용되는 부분(전열층)은 반드시 유전체막(3)의 표면에 노출되어 있지 않아도 된다. 따라서, 예를 들어, 도 1 내지 도 3에 나타낸 실시형태의 전열층(4)의 요철면이 유전체막(3)에 의해 덮인 구조로 되어 있을 수도 있으며, 이러한 구성을 채용한 경우도 본원 발명의 기술적 범위에 포섭된다.As understood from the embodiment shown in FIG. 7, in the present invention, the portion (heat transfer layer) used for dissipating heat does not necessarily have to be exposed to the surface of the dielectric film 3. Therefore, for example, the uneven surface of the heat-transfer layer 4 of the embodiment shown to FIG. 1 thru | or 3 may be comprised by the dielectric film 3, and when such a structure is employ | adopted, It is included in the technical scope.

도 8에 나타낸 구성에 있어서는, 전열층(4B)이 코일(2)보다도 기판(60) 근방의 위치에 설치된 제 1 층(46a) 위에 제 2 층(46b)이 적층되어 설치된 구성을 갖고 있다. 이들 제 1 및 제 2 층(46a, 46b)은 모두 유전체막(3)보다도 열전도율이 높은 것이며, 제 2 층(46b)은 그 표면이 유전체막(3)의 표면(30)으로부터 노출되어 광자기 디스크(D)에 대향하도록 형성되어 있다. 제 1 층(46a)은 도 2에 나타낸 자성체층(61)과 동일한 역할을 수행하는 것이며, 자성체로 이루어진다.In the structure shown in FIG. 8, the heat-transfer layer 4B has the structure by which the 2nd layer 46b was laminated | stacked on the 1st layer 46a provided in the position near the board | substrate 60 rather than the coil 2. As shown in FIG. Both of these first and second layers 46a and 46b have higher thermal conductivity than the dielectric film 3, and the second layer 46b has a surface that is exposed from the surface 30 of the dielectric film 3 and is magneto-optical. It is formed so as to oppose the disk D. The first layer 46a plays the same role as the magnetic layer 61 shown in FIG. 2 and is made of magnetic material.

이러한 구성에 의하면, 코일(2)로부터 발생한 열 중에서 기판(60)을 향하는 열이 전열층(4B)에 효율적으로 전달된다. 그리고, 이 열은 전열층(4B)의 광자기 디스크(D)에 대면하는 면으로부터 효율적으로 외부로 방출된다. 본 실시형태에 의하면, 유전체막(3)의 두께 방향 내부에 남으려고 하는 열을 유전체막(3)의 표면 측에 적극적으로 유도하여 방출할 수 있다. 따라서, 코일(2)의 온도 상승 억제 효과는 우수해진다.According to such a structure, the heat toward the board | substrate 60 among the heat | fever which generate | occur | produced from the coil 2 is efficiently transmitted to the heat transfer layer 4B. This heat is efficiently released to the outside from the surface facing the magneto-optical disk D of the heat transfer layer 4B. According to the present embodiment, heat that is intended to remain inside the thickness direction of the dielectric film 3 can be actively induced and released on the surface side of the dielectric film 3. Therefore, the temperature rise suppression effect of the coil 2 becomes excellent.

도 9에 나타낸 구성에 있어서는, 전열층(4C)이 코일(2)보다도 기판(60) 근방에 위치하는 제 1 층(47a)(자성체층)과, 유전체막(3)으로부터 표면이 노출되는 제 2 층(47b)과, 이들 제 1 및 제 2 층(47a, 47b)을 연결시키는 중간층(47c)으로 구성되어 있다.In the configuration shown in FIG. 9, the heat-transfer layer 4C is a first layer 47a (magnetic material layer) located closer to the substrate 60 than the coil 2, and an agent on which the surface is exposed from the dielectric film 3. It consists of the 2nd layer 47b and the intermediate | middle layer 47c which connects these 1st and 2nd layers 47a and 47b.

이러한 구성에 의하면, 제 2 층(47b)의 면적을 제 1 층(47a)의 면적보다도 크게 하여, 전열층(4C)이 유전체막(3) 표면으로부터 노출되는 면의 면적을 크게 하는 것이 용이해진다. 따라서, 방열 효과를 높이는데 보다 바람직한 것으로 된다.According to such a structure, it becomes easy to make the area of the 2nd layer 47b larger than the area of the 1st layer 47a, and to enlarge the area of the surface by which the heat-transfer layer 4C is exposed from the dielectric film 3 surface. . Therefore, it becomes more preferable to raise a heat radiating effect.

도 10에 나타낸 구성에 있어서는, 전열층(4D)의 제 2 층(47b) 상면(노출면)이 복수의 요철을 갖는 요철면으로서 형성되어 있다.In the structure shown in FIG. 10, the upper surface (exposed surface) of the 2nd layer 47b of the heat-transfer layer 4D is formed as an uneven surface which has some unevenness | corrugation.

이러한 구성에 의하면, 전열층(4D)의 공기에 접촉하는 면의 표면적을 크게 할 수 있는 만큼 그 방열성을 보다 향상시킬 수 있다. 전열층(4D)의 노출면 요철을 도 3, 도 5, 또는 도 6에 나타낸 것과 동일한 형태로 했을 경우에는, 그들 도면을 참조하여 설명한 것과 동일한 효과를 기대할 수 있다.According to such a structure, the heat dissipation property can be improved more as much as the surface area of the surface which contacts the air of the heat-transfer layer 4D can be enlarged. When the exposed surface unevenness | corrugation of the heat-transfer layer 4D is made into the same form as shown in FIG. 3, FIG. 5, or FIG. 6, the same effect as what was demonstrated with reference to those drawings can be expected.

도 11에 나타낸 구성에 있어서는, 유전체막(3)의 표면(30) 중에서 레이저광이 투과하는 부분을 제외한 영역의 대략 전역이 요철면으로서 형성되어 있다. 이 요철면의 형태는 도 3 또는 도 5에 도시된 전열층(4)의 요철면과 동일한 형태로 되어 있다. 구체적으로는, 유전체막(3)의 요철면은, 예를 들어, 도 12에 나타낸 바와 같이, 복수의 홈(39)과 복수의 돌출부(38)를 가지며, 각 홈(39)을 규정하는 한 쌍의 벽면(39a) 폭이 고속 공기류의 방향(화살표 N5 방향)에 대하여 하류측으로 갈 수록 서서히 좁아지는 비평행면으로 되어 있다. 또는, 유전체막(3)의 요철면은, 도 13에 나타낸 바와 같이, 직사각형 등을 갖는 복수의 돌출부(37)가 트래킹 방향 및 트랙 방향으로 분산 배치된 구성으로 되어 있다.In the structure shown in FIG. 11, the substantially whole area | region except the part which laser beam permeate | transmits in the surface 30 of the dielectric film 3 is formed as an uneven surface. This uneven surface has the same shape as that of the uneven surface of the heat transfer layer 4 shown in FIG. 3 or 5. Specifically, the uneven surface of the dielectric film 3 has a plurality of grooves 39 and a plurality of protrusions 38, as shown in FIG. 12, so long as each groove 39 is defined. The width | variety of the pair of wall surfaces 39a becomes a non-parallel surface which becomes narrow gradually as it goes downstream with respect to the direction (arrow N5 direction) of a high speed air flow. Alternatively, the uneven surface of the dielectric film 3 has a configuration in which a plurality of protrusions 37 having a rectangular shape or the like are distributed in the tracking direction and the track direction as shown in FIG. 13.

이러한 구성에 의하면, 유전체막(3)의 전열면으로 되는 표면(30)의 면적을 크게 할 수 있는 동시에, 유전체막(3)의 표면(30)에는, 도 3 또는 도 5를 참조하여 설명한 전열층(4)의 요철면의 경우와 동일한 원리에 의해, 이 유전체막(3)의 표면(30)과 광자기 디스크(D)와의 사이에서 발생되는 고속 공기류가 효율적으로 작용한다. 따라서, 유전체막의 표면이 단순한 평면 형상으로 되어 있는 것, 또는 유전체막 표면에 복수개의 단순한 평행 홈이 형성되어 있는 것에 불과한 것과 비교하면, 유전체막(3) 표면 부분에서의 방열성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 코일(2)의 온도 상승을 억제하는데 바람직한 것으로 된다.According to such a structure, the area of the surface 30 used as the heat transfer surface of the dielectric film 3 can be enlarged, and the heat transfer described with reference to FIG. 3 or 5 on the surface 30 of the dielectric film 3. By the same principle as in the case of the uneven surface of the layer 4, the high-speed air flow generated between the surface 30 of the dielectric film 3 and the magneto-optical disk D acts efficiently. Therefore, the heat dissipation at the surface portion of the dielectric film 3 can be improved as compared with the surface of the dielectric film having a simple planar shape or only a plurality of simple parallel grooves formed on the surface of the dielectric film. Therefore, it becomes preferable to suppress the temperature rise of the coil 2.

본원 발명의 내용은 상술한 실시형태에 한정되지 않는다. 본원 발명에 따른자기 헤드의 각부의 구체적인 구성은 다양하게 설계 변경할 수 있다.The content of this invention is not limited to embodiment mentioned above. Specific configuration of each part of the magnetic head according to the present invention can be variously changed design.

예를 들면, 본원 발명에서의 유전체는 기판 표면에 형성된 유전체막에 한정되지 않는다. 본원 발명에 있어서는, 예를 들어, 대물 렌즈의 표면에 코일을 직접 형성하는 것도 가능하며, 이 대물 렌즈를 본원 발명에서의 유전체로 하는 것도 가능하다.For example, the dielectric in the present invention is not limited to the dielectric film formed on the substrate surface. In the present invention, for example, a coil can be formed directly on the surface of the objective lens, and the objective lens can also be used as the dielectric in the present invention.

본원 발명에 따른 자기 헤드는, 디스크에 대하여 미소 간격을 두고 부상하는 슬라이더를 구비하며, 이 슬라이더에 코일을 설치한 타입의 자기 헤드로서 구성할 수도 있다. 또한, 본원 발명에 따른 자기 헤드는, 대물 렌즈를 갖지 않는 자기 헤드로서 구성할 수도 있다. 코일은 반도체 제조 프로세스에 의해 박막 형성하면, 그 제조가 용이하지만, 역시 이것에 한정되지 않는다.The magnetic head according to the present invention includes a slider which floats with a small distance from the disk, and may be configured as a magnetic head of a type in which a coil is provided on the slider. Moreover, the magnetic head which concerns on this invention can also be comprised as a magnetic head which does not have an objective lens. When a coil is formed into a thin film by a semiconductor manufacturing process, its manufacture is easy, but it is not limited to this again.

이상의 설명으로부터 알 수 있는 바와 같이, 본원 발명에 따른 자기 헤드에 의하면, 자계 발생용 코일의 발열 온도의 상승을 효율적으로 억제하고, 코일의 이동 발생 또는 소비전력의 증가 등을 방지하는데 매우 적합하게 된다.As can be seen from the above description, according to the magnetic head according to the present invention, it is very suitable for effectively suppressing the increase in the heat generation temperature of the magnetic field generating coil and preventing the movement of the coil or the increase of the power consumption. .

Claims (5)

디스크에 대하여 간격을 두고 대향하는 표면을 갖고 있는 유전체와, 이 유전체의 내부 또는 상기 표면에 설치된 자계 발생용 코일을 구비하고 있는 자기 헤드로서,A magnetic head having a dielectric having a surface opposed to a disk at a distance, and a coil for generating a magnetic field provided on or in the dielectric. 상기 유전체보다도 열전도율이 높은 전열층이 상기 코일에서 발생한 열을 수용할 수 있도록 설치되어 있으며,A heat transfer layer having a higher thermal conductivity than the dielectric is provided to receive heat generated from the coil, 상기 전열층의 적어도 일부 면은 복수의 요철을 갖는 요철면으로서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 헤드.At least one surface of the heat transfer layer is formed as an uneven surface having a plurality of unevenness. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 요철면은 상기 유전체의 상기 표면으로부터 노출되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 헤드.The uneven surface is exposed from the surface of the dielectric. 디스크에 대하여 간격을 두고 대향하는 표면을 갖고 있는 유전체와, 이 유전체의 내부 또는 상기 표면에 설치된 자계 발생용 코일을 구비하고 있는 자기 헤드로서,A magnetic head having a dielectric having a surface opposed to a disk at a distance, and a coil for generating a magnetic field provided on or in the dielectric. 상기 유전체 내부 중의, 상기 코일을 사이에 두고 상기 디스크와는 반대쪽 위치에는 상기 유전체보다도 열전도율이 높은 전열층이 위치하고 있으며,In the dielectric, a heat transfer layer having a higher thermal conductivity than the dielectric is located at a position opposite to the disk with the coil interposed therebetween. 이 전열층의 일부분은 상기 유전체의 상기 표면으로부터 노출되어 있는 것을특징으로 하는 자기 헤드.A portion of the heat transfer layer is exposed from the surface of the dielectric. 자계 발생용 코일과 디스크에 대하여 간격을 두고 대향하는 면을 구비하고 있으며,The magnetic field generating coils and disks face each other at intervals. 상기 면에는 상기 디스크가 회전될 때에 공기를 통과시키기 위한 복수의 오목 홈이 설치되어 있는 자기 헤드로서,A magnetic head having a plurality of concave grooves provided on the surface to allow air to pass through when the disk is rotated, 상기 각 오목 홈은, 상기 디스크가 회전할 때에 상기 공기의 유입구가 되는 길이 방향 일단부로부터 상기 공기의 유출구가 되는 길이 방향 타단부를 향하여 나아갈수록 폭이 좁아지는 형상으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 헤드.Each of the concave grooves has a shape in which the width becomes narrower as it goes toward the other end in the longitudinal direction, which becomes the outlet of the air, from the one end in the longitudinal direction, which becomes the inlet of the air, when the disk rotates. head. 자계 발생용 코일과 디스크에 대하여 간격을 두고 대향하는 면을 구비하고 있는 자기 헤드로서,A magnetic head having a surface facing at a distance to a magnetic field generating coil and a disk, 상기 면의 적어도 일부분은, 복수의 돌출부가 상기 디스크의 트랙 방향과 트래킹 방향으로 분산되어 배치된 요철면으로서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 헤드.At least a portion of the surface is a magnetic head, characterized in that a plurality of protrusions are formed as uneven surfaces in which the plurality of protrusions are distributed in the track direction and the tracking direction of the disk.
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