KR20030010412A - Reflective-transmissive type liquid crystal device and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A transflective LCD and a method for fabricating the same are provided to reflect light from a backlight to transmission windows via a lower reflecting plate for increasing the efficiency of light passing through the transmission windows of the same area, thereby improving the display characteristics in the transmission mode. CONSTITUTION: A transflective LCD includes gate electrodes formed on a substrate(100), a gate insulating film(104) formed on the gate electrodes and the substrate, an active layer(106) formed on the gate insulating film on the gate electrodes, first and second electrodes(110a,110b) formed on the gate insulating film and overlapping both edges of the active layer, an insulating film(112) formed on the first and second electrodes and the gate insulating film and having contact holes(114) for exposing the second electrodes, transparent electrodes(116) formed on the insulating film and connected to the second electrodes via the contact holes, and reflecting electrodes(122) formed on the transparent electrodes and having transmission windows(T) for exposing the transparent electrodes.

Description

반사-투과형 액정표시장치 및 그 제조방법{Reflective-transmissive type liquid crystal device and method of manufacturing the same}Reflective-transmissive type liquid crystal device and method of manufacturing the same

본 발명은 반사-투과형 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 투과 효율을 증가시킬 수 있는 반사-투과형 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a reflection-transmissive liquid crystal display device and a manufacturing method thereof, and more particularly, to a reflection-transmissive liquid crystal display device and a method of manufacturing the same that can increase the transmission efficiency.

오늘날과 같은 정보화 사회에 있어서 전자 디스플레이 장치(electronic display device)의 역할은 갈수록 중요해지며, 각종 전자 디스플레이 장치가 다양한 산업 분야에 광범위하게 사용되고 있다.In today's information society, the role of electronic display devices becomes more and more important, and various electronic display devices are widely used in various industrial fields.

일반적으로 전자 디스플레이 장치란 다양한 정보를 시각을 통해 인간에게 전달하는 장치를 말한다. 즉, 전자 디스플레이 장치란 각종 전가 기기로부터 출력되는 전기적 정보 신호를 인간의 시각으로 인식 가능한 광 정보 신호로 변환하는 전자 장치라고 정의할 수 있으며, 인간과 전자 기기를 연결하는 가교적 역할을 담당하는 장치로 정의될 수도 있다.In general, an electronic display device refers to a device that transmits various information to a human through vision. In other words, an electronic display device may be defined as an electronic device that converts electrical information signals output from various electronic devices into optical information signals that can be recognized by human eyes, and serves as a bridge that connects humans and electronic devices. It may be defined as.

이러한 전자 디스플레이 장치에 있어서, 광 정보 신호가 발광 현상에 의해 표시되는 경우에는 발광형 표시(emissive display) 장치로 불려지며, 반사, 산란, 간섭 현상 등에 의해 광 변조를 표시되는 경우에는 수광형 표시(non-emissivedisplay) 장치로 일컬어진다. 능동형 표시 장치라고도 불리는 상기 발광형 표시 장치로는 음극선관(cathode ray tube; CRT), 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel; PDP), 발광 다이오드(light emitting diode; LED) 및 일렉트로 루미네슨트 디스플레이(electroluminescent display; ELD) 등을 들 수 있다. 또한, 수동형 표시 장치인 상기 수광형 표시 장치에는 액정표시장치(liquid crystal display; LCD), 전기화학 표시장치(electrochemical display; ECD) 및 전기 영동 표시장치(electrophoretic image display; EPID) 등이 해당된다.In such an electronic display device, when an optical information signal is displayed by a light emitting phenomenon, it is called an emissive display device, and when a light modulation is displayed by reflection, scattering, or interference phenomenon, a light receiving display ( It is called a non-emissive display device. The light emitting display device, also called an active display device, includes a cathode ray tube (CRT), a plasma display panel (PDP), a light emitting diode (LED), and an electroluminescent display (electroluminescent display). display; ELD). In addition, the light receiving display device, which is a passive display device, includes a liquid crystal display (LCD), an electrochemical display (ECD), an electrophoretic image display (EPID), and the like.

텔레비전이나 컴퓨터용 모니터 등과 같은 화상표시장치에 사용되는 음극선관(CRT)은 표시 품질 및 경제성 등의 면에서 가장 높은 점유율을 차지하고 있으나, 무거운 중량, 큰 용적 및 높은 소비 전력 등과 같은 많은 단점을 가지고 있다.Cathode ray tubes (CRTs) used in image display devices such as televisions and computer monitors occupy the highest share in terms of display quality and economy, but have many disadvantages such as heavy weight, large volume and high power consumption. .

그러나, 반도체 기술의 급속한 진보에 의해 각종 전자 장치의 고체화, 저 전압 및 저 전력화와 함께 전자 기기의 소형 및 경량화에 따라 새로운 환경에 적합한 전자 디스플레이 장치, 즉 얇고 가벼우면서도 낮은 구동 전압 및 낮은 소비 전력의 특징을 갖춘 평판 패널(flat panel)형 디스플레이 장치에 대한 요구가 급격히 증대하고 있다.However, due to the rapid progress of semiconductor technology, the electronic display device suitable for the new environment, that is, the thin and light, the low driving voltage and the low power consumption of the electronic device, according to the miniaturization, low voltage and low power of various electronic devices, and the miniaturization and light weight of the electronic device, The demand for flat panel display devices with features is rapidly increasing.

현재 개발된 여러 가지 평판 디스플레이 장치 중에서 액정표시장치는 다른 디스플레이 장치에 비해 얇고 가벼우며, 낮은 소비 전력 및 낮은 구동 전압을 갖추고 있을 뿐만 아니라, 음극선관에 가까운 화상 표시가 가능하기 때문에 다양한 전자 장치에 광범위하게 사용되고 있다.Among the various flat panel display devices currently developed, liquid crystal displays are thinner and lighter than other display devices, have low power consumption and low driving voltage, and are widely used in various electronic devices because they can display images close to cathode ray tubes. Is being used.

액정표시장치는 전극이 형성되어 있는 두 장의 기판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어지며, 상기 전극에 전압을 인가하여 상기 액정층의 액정 분자들을 재배열시켜 투과되는 빛의 양을 조절하여 디스플레이 장치이다. 상기 두 장의 기판에는 각각 전극이 형성되며, 각 전극에 인가되는 전압을 스위칭하기 위한 박막 트랜지스터(thin film transistor; TFT)가 두 장의 기판 중 하나의 기판에 형성된다.The liquid crystal display device is composed of two substrates having electrodes formed thereon and a liquid crystal layer inserted therebetween, by applying a voltage to the electrodes to rearrange liquid crystal molecules of the liquid crystal layer to control the amount of transmitted light. Display device. Electrodes are formed on each of the two substrates, and a thin film transistor (TFT) for switching a voltage applied to each electrode is formed on one of the two substrates.

한편, 액정표시장치는 외부 광원을 이용하여 화상을 표시하는 투과형 액정표시장치와 외부 광원 대신 자연광을 이용한 반사형 액정표시장치로 구분될 수 있다. 시계나 계산기와 같이 전력 소모를 극소화해야 하는 전자 기기에서는 반사형 액정표시장치를 많이 사용하지만, 대화면 고품위의 화상표시를 요구하는 노트북 컴퓨터에는 투과형 액정표시장치를 사용하는 것이 일반적이다.Meanwhile, the liquid crystal display may be classified into a transmissive liquid crystal display displaying an image using an external light source and a reflective liquid crystal display using natural light instead of the external light source. In electronic devices such as clocks and calculators that require minimal power consumption, reflective liquid crystal displays are often used. However, transmissive liquid crystal displays are generally used in notebook computers that require high quality image display.

현재의 추세로는, 전력의 소모를 줄이면서 최대한의 고품위 화상을 구현하기 위해 반사형과 투과형의 두 가지 형태의 장점을 모두 살려서 주변 광도의 변화에도 불구하고 사용 환경에 맞게 적절한 시인성을 확보할 수 있는 반사-투과형 액정표시장치가 개발되고 있다.In the current trend, in order to realize the maximum high quality image while reducing the power consumption, it is possible to take advantage of both the reflection type and the transmission type to obtain the appropriate visibility for the use environment despite the change in the ambient light intensity. Reflective-transmissive liquid crystal display devices have been developed.

도 1a 및 도 1b는 종래의 반사-투과형 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다.1A and 1B are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a conventional reflective-transmissive liquid crystal display device.

도 1a를 참조하면, 유리, 석영 또는 사파이어로 이루어진 투명 기판(10) 상에 게이트 배선용 제1 금속막을 증착한 후, 제1 마스크를 사용한 사진식각 공정으로 상기 제1 금속막을 패터닝하여 게이트 전극(12) 및 상기 게이트 전극(12)에 연결되어 제1 방향으로 신장되는 게이트 라인(도시하지 않음)을 포함하는 게이트 배선을 형성한다.Referring to FIG. 1A, after depositing a first metal film for gate wiring on a transparent substrate 10 made of glass, quartz, or sapphire, the first metal film is patterned by a photolithography process using a first mask to form a gate electrode 12. ) And a gate line connected to the gate electrode 12 and including a gate line (not shown) extending in a first direction.

상기 게이트 배선 및 기판(10) 상에 실리콘 질화막을 증착하여 게이트 절연막(14)을 형성한다. 상기 게이트 절연막(14) 상에 비정질실리콘을 증착하여 제1 반도체막을 형성하고, 그 위에 n+로 도핑된 비정질실리콘을 증착하여 제2 반도체막을 형성한다. 이어서, 제2 마스크를 사용한 사진식각 공정으로 상기 제2 반도체막 및 제1 반도체막을 패터닝하여, 상기 제1 반도체막, 즉 비정질실리콘막으로 이루어진 액티브층(16) 및 상기 제2 반도체막, 즉 n+로 도핑된 비정질실리콘막으로 이루어진 오믹 콘택층(18)이 형성된다.The silicon nitride film is deposited on the gate line and the substrate 10 to form a gate insulating film 14. Amorphous silicon is deposited on the gate insulating layer 14 to form a first semiconductor layer, and n + doped amorphous silicon is deposited on the gate insulating layer 14 to form a second semiconductor layer. Subsequently, the second semiconductor film and the first semiconductor film are patterned by a photolithography process using a second mask, so that the active layer 16 made of the first semiconductor film, that is, an amorphous silicon film, and the second semiconductor film, that is, n An ohmic contact layer 18 made of an amorphous silicon film doped with + is formed.

상기 결과물의 전면에 데이터 배선용 제2 금속막을 증착한 후, 제3 마스크를 이용한 사진식각 공정으로 제2 금속막을 패터닝하여 상기 게이트 라인과 교차하는 화소부를 구획하는 데이터 라인(도시하지 않음) 및 소오스/드레인 전극(20a, 20b)을 포함하는 데이터 배선을 형성한다. 계속해서, 상기 제3 마스크를 이용하여 노출된 콘택층(18)을 식각 공정으로 제거함으로써, 채널 영역이 될 액티브층(16)만 남긴다.After depositing the second metal film for data wiring on the entire surface of the resultant, the second metal film is patterned by a photolithography process using a third mask to define a data line (not shown) and a source / Data wirings including the drain electrodes 20a and 20b are formed. Subsequently, the contact layer 18 exposed using the third mask is removed by an etching process, thereby leaving only the active layer 16 to be a channel region.

상기 결과물의 전면에 감광성 유기막을 스핀-코팅하여 층간 절연막과 보호막의 역할을 하는 제1 절연막(22)을 형성한 후, 제4 마스크를 이용하여 상기 제1 절연막(22)을 노광 및 현상함으로써 상기 드레인 전극(20a)의 일부분을 노출시키는 제1 콘택홀(24)을 형성한다. 이때, 화소부의 반사판을 산란 구조로 만들기 위해 상기 제1 절연막(22)의 표면에 요철부를 형성한다.Spin-coating a photosensitive organic film on the entire surface of the resultant to form a first insulating film 22 serving as an interlayer insulating film and a protective film, and then exposing and developing the first insulating film 22 using a fourth mask. A first contact hole 24 exposing a portion of the drain electrode 20a is formed. In this case, an uneven portion is formed on the surface of the first insulating layer 22 in order to form a scattering structure of the pixel portion.

상기 제1 콘택홀(24) 및 제1 절연막(22) 상에 투과창 및 화소 전극으로 제공되는 ITO(indium-tin-oxide)나 IZO(indium-zinc-oxide)와 같은 투명 도전막을 증착한 후, 제5 마스크를 이용한 사진식각 공정으로 상기 투명 도전막을 패터닝한다. 그러면, 상기 제1 콘택홀(24)을 통해 상기 드레인 전극(20b)과 연결되는 투명 전극(26)이 형성된다.After depositing a transparent conductive film such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO) provided as a transmission window and a pixel electrode on the first contact hole 24 and the first insulating film 22 The transparent conductive film is patterned by a photolithography process using a fifth mask. Then, the transparent electrode 26 connected to the drain electrode 20b through the first contact hole 24 is formed.

상기 투명 전극(26) 및 제1 절연막(22) 상에 제2 절연막(28)을 형성한 후, 제6 마스크를 이용한 사진식각 공정으로 상기 제2 절연막(28)을 식각하여 드레인 전극(20b)의 일부분을 노출시키는 제2 콘택홀(30)을 형성한다.After forming the second insulating film 28 on the transparent electrode 26 and the first insulating film 22, the second insulating film 28 is etched by a photolithography process using a sixth mask to drain the electrode 20b. A second contact hole 30 is formed to expose a portion of the second contact hole 30.

상기 제2 콘택홀(30) 및 제2 절연막(28) 상에 반사판 및 화소 전극으로 제공되는 알루미늄(Al)이나 은(Ag)과 같은 반사 도전막을 증착한 후, 제7 마스크를 이용한 사진식각 공정으로 상기 반사 도전막을 패터닝한다. 그러면, 상기 제2 콘택홀(30)을 통해 상기 드레인 전극(20b)과 연결되는 반사 전극(32)이 형성된다. 이때, 상기 투명 전극(26) 위에 반사 전극(32)이 남아있는 영역은 반사창(R)이 되고, 투명 전극(26)만 남아있는 영역은 투과창(T)이 된다.After depositing a reflective conductive film such as aluminum (Al) or silver (Ag) provided as a reflector and a pixel electrode on the second contact hole 30 and the second insulating film 28, a photolithography process using a seventh mask The reflective conductive film is then patterned. Then, the reflective electrode 32 connected to the drain electrode 20b is formed through the second contact hole 30. In this case, an area in which the reflective electrode 32 remains on the transparent electrode 26 becomes a reflection window R, and an area in which only the transparent electrode 26 remains is a transmission window T.

상술한 종래의 반사-투과형 액정표시장치에 의하면, 하나의 화소부 내에 투과창과 반사창을 동시에 형성하기 때문에 기존의 투과형 또는 반사형 패널에 비해 유효 투과 또는 유효 반사 면적이 감소된다. 예를 들어, 투과 모드시 액정 패널의 후면에 부착된 백라이트 어셈블리로부터 상기 액정 패널로 입사되는 광은 그 일부분만 투과창(T)을 통과하고 나머지는 반사창(R)으로부터 반사된다. 따라서, 기존의단일 모드 패널, 즉 투과형 또는 반사형 패널에 비해 표시 특성의 저하가 발생할 가능성이 크다.According to the above-mentioned conventional reflection-transmissive liquid crystal display device, since the transmission window and the reflection window are simultaneously formed in one pixel portion, the effective transmission or effective reflection area is reduced as compared with the conventional transmission or reflection panel. For example, in the transmissive mode, light incident on the liquid crystal panel from the backlight assembly attached to the rear side of the liquid crystal panel passes through the transmission window T, and the rest of the light is reflected from the reflection window R. Therefore, there is a high possibility of deterioration of display characteristics compared to the conventional single mode panel, that is, the transmissive or reflective panel.

따라서, 본 발명의 제1의 목적은 투과창을 통과하는 빛의 효율을 증가시켜 투과 모드시 표시 특성을 향상시킬 수 있는 반사-투과형 액정표시장치를 제공하는데 있다.Accordingly, a first object of the present invention is to provide a reflection-transmissive liquid crystal display device which can improve display characteristics in a transmission mode by increasing the efficiency of light passing through the transmission window.

본 발명의 제2의 목적은 투과창을 통과하는 빛의 효율을 증가시켜 투과 모드시 표시 특성을 향상시킬 수 있는 반사-투과형 액정표시장치의 제조방법을 제공하는데 있다.It is a second object of the present invention to provide a method of manufacturing a reflection-transmissive liquid crystal display device which can improve display characteristics in a transmission mode by increasing the efficiency of light passing through the transmission window.

도 1a 및 도 1b는 종래의 반사-투과형 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다.1A and 1B are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a conventional reflective-transmissive liquid crystal display device.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 의한 반사-투과형 액정표시장치의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a reflection-transmissive liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

도 3a 내지 도 3f는 도 2에 도시한 반사-투과형 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다.3A to 3F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the reflection-transmissive liquid crystal display shown in FIG. 2.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 의한 반사-투과형 액정표시장치의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of a reflection-transmissive liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.

도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 실시예들에 의한 하부 반사판의 여러 가지 형태를 도시한 평면도이다.5A to 5C are plan views illustrating various types of lower reflector plates according to embodiments of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of the drawings>

100, 200 : 투명 기판 102, 102a : 게이트 전극100, 200: transparent substrate 102, 102a: gate electrode

102b, 210c : 하부 반사판104, 204 : 게이트 절연막102b and 210c lower reflector 104 and 204 gate insulating film

106, 206 : 액티브층108, 208 : 오믹 콘택층106, 206: active layer 108, 208: ohmic contact layer

110a, 110b, 210a, 210b : 소오스/드레인 전극110a, 110b, 210a, 210b: source / drain electrodes

112, 212 : 제1 절연막 114, 214 : 제1 콘택홀112, 212: first insulating film 114, 214: first contact hole

116, 216 : 투명 전극118, 218 : 제2 절연막116 and 216 transparent electrode 118 and 218 second insulating film

120, 220 : 제2 콘택홀122, 222 : 반사 전극120, 220: second contact hole 122, 222: reflective electrode

상기 제1의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판 상에 형성된 게이트 전극; 상기 게이트 전극 및 기판 상에 형성된 게이트 절연막; 상기 게이트 전극 위의 게이트 절연막 상에 형성된 액티브층; 상기 게이트 절연막 상에 형성되고 상기 액티브층의 양쪽 가장자리와 각각 중첩되는 제1 전극 및 제2 전극; 상기 제1 및 제2 전극과 상기 게이트 절연막 상에 형성되고, 상기 제2 전극을 노출시키는 제1 콘택홀을 갖는 제1 절연막; 상기 제1 절연막 상에 형성되고 상기 제1 콘택홀을 통해 상기 제2 전극과 연결되는 투명 전극; 상기 투명 전극, 제1 절연막 및 제1 콘택홀 상에 형성되고, 상기 제2 전극을 노출시키는 제2 콘택홀을 갖는 제2 절연막; 및 상기 제2 절연막 상에 형성되고 상기 제2 콘택홀을 통해 상기 제2 전극과 연결되며, 상기 투명 전극을 노출시키는 투과창을 갖는 반사 전극을 구비하며, 상기 투과창 외부의 반사 전극의 하부 영역에 적어도 하나의 하부 반사판이 형성된 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치를 제공한다.The present invention to achieve the first object, a gate electrode formed on a substrate; A gate insulating film formed on the gate electrode and the substrate; An active layer formed on the gate insulating film on the gate electrode; First and second electrodes formed on the gate insulating layer and overlapping both edges of the active layer, respectively; A first insulating layer formed on the first and second electrodes and the gate insulating layer and having a first contact hole exposing the second electrode; A transparent electrode formed on the first insulating layer and connected to the second electrode through the first contact hole; A second insulating film formed on the transparent electrode, the first insulating film, and the first contact hole and having a second contact hole exposing the second electrode; And a reflective electrode formed on the second insulating layer and connected to the second electrode through the second contact hole, the reflective electrode having a transmission window exposing the transparent electrode, and a lower region of the reflective electrode outside the transmission window. Provided is a reflective-transmissive liquid crystal display device, characterized in that at least one lower reflector is formed thereon.

상기 제2의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계; 상기 결과물의 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계; 상기 게이트 전극 위의 게이트 절연막 상에 액티브 패턴을 형성하는 단계; 상기 게이트 절연막 상에 상기 액티브 패턴의 양쪽 가장자리와 각각 중첩되는 제1 전극 및 제2 전극을 형성하는 단계; 상기 결과물의 전면에 제1 절연막을 형성하는 단계; 상기 제1 절연막을 식각하여 상기 제2 전극을 노출시키는 제1 콘택홀을 형성하는 단계; 상기 제1 절연막 상에 상기 제1 콘택홀을 통해 상기 제2 전극과 연결되는 투명 전극을 형성하는 단계; 상기 결과물의 전면에 제2 절연막을 형성하는 단계; 상기 제2 절연막을 식각하여 상기 제2 전극을 노출시키는 제2 콘택홀을 형성하는 단계; 및 상기 제2 절연막 상에 상기 제2 콘택홀을 통해 상기 제2 전극과 연결되며 상기 투명 전극을 노출시키는 투과창을 갖는 반사 전극을 형성하는 단계를 구비하며, 상기 제1 절연막을 형성하는 단계 전에, 상기 투과창 외부의 반사 전극의 하부 영역에 적어도 하나의 하부 반사판을 형성하는 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치의 제조방법을 제공한다.The present invention to achieve the second object, forming a gate electrode on a substrate; Forming a gate insulating film on the entire surface of the resultant product; Forming an active pattern on a gate insulating film on the gate electrode; Forming first and second electrodes overlapping both edges of the active pattern on the gate insulating layer; Forming a first insulating film on the entire surface of the resultant product; Etching the first insulating layer to form a first contact hole exposing the second electrode; Forming a transparent electrode on the first insulating layer, the transparent electrode being connected to the second electrode through the first contact hole; Forming a second insulating film on the entire surface of the resultant product; Etching the second insulating layer to form a second contact hole exposing the second electrode; And forming a reflective electrode on the second insulating film, the reflective electrode having a transmission window connected to the second electrode through the second contact hole and exposing the transparent electrode, before the forming of the first insulating film. And forming at least one lower reflector in a lower region of the reflective electrode outside the transmission window.

본 발명에 의하면, 투과창 외부의 반사 전극, 즉 반사창의 하부 영역에 게이트 전극 또는 소오스/드레인 전극과 동일한 층으로 이루어진 적어도 하나의 하부 반사판을 형성한다. 그러면, 상기 반사창으로 입사되는 백라이트 광이 상기 하부 반사판을 통해 투과창으로 반사되기 때문에, 동일한 면적의 투과창을 통과하는 빛의 효율을 증가시켜 투과 모드시 표시 특성을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, at least one lower reflector formed of the same layer as the gate electrode or the source / drain electrode is formed in the reflective electrode outside the transmission window, that is, the lower region of the reflective window. Then, since the backlight light incident on the reflective window is reflected to the transmission window through the lower reflector, the efficiency of light passing through the transmission window having the same area may be increased to improve display characteristics in the transmission mode.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 의한 반사-투과형 액정표시장치의 단면도이다. 도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 실시예들에 의한 하부 반사판의 여러 가지 형태를 도시한 평면도이다.2 is a cross-sectional view of a reflection-transmissive liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention. 5A to 5C are plan views illustrating various types of lower reflector plates according to embodiments of the present invention.

도 2를 참조하면, 투명 기판(100) 상에 알루미늄(Al), 크롬(Cr) 또는 몰리브덴 텅스텐(MoW) 등의 제1 금속막으로 이루어진 게이트 배선이 형성된다. 상기 게이트 배선은 제1 방향(즉, 횡방향)으로 신장되는 게이트 라인(도시하지 않음) 및 상기 게이트 라인의 일부분인 박막 트랜지스터의 게이트 전극(102a)을 포함한다. 또한, 상기 기판(100) 상에는 게이트 배선과 동일한 층으로 이루어진 적어도 하나의 하부 반사판(102b)이 형성된다. 상기 하부 반사판(102b)은 반사 모드시에는 아무런 역할을 하지 않지만, 투과 모드시에는 투과창으로 백라이트 입사광을 반사시켜 투과 효율을 증가시키는 역할을 한다.Referring to FIG. 2, a gate wiring made of a first metal film such as aluminum (Al), chromium (Cr), or molybdenum tungsten (MoW) is formed on the transparent substrate 100. The gate line includes a gate line (not shown) extending in a first direction (ie, a transverse direction) and a gate electrode 102a of a thin film transistor that is part of the gate line. In addition, at least one lower reflector 102b formed of the same layer as the gate line is formed on the substrate 100. The lower reflector 102b does not play any role in the reflection mode, but increases the transmission efficiency by reflecting the backlight incident light to the transmission window in the transmission mode.

상기 하부 반사판(102b)은 도 5a 및 도 5b에 도시한 바와 같이, 다수개의 원형 또는 다각형으로 형성한다. 상기 하부 반사판(102b)은 투과창의 주변을 둘러싸는 링 형태로 형성할 수도 있고, 도 5c에 도시한 바와 같이 하나의 링과 다수개의 원형이 혼합된 형태 또는 하나의 링과 다수개의 다각형이 혼합된 형태로 형성할 수 있다. 상기 하부 반사판(102b)을 링 형태로 형성할 경우, 공간이 충분한 영역(도 5c에서는 세로 부분)에서는 그 폭을 두껍게 형성하고 공간이 비좁은 영역(도 5c에서는 가로 부분)에서는 그 폭을 얇게 형성할 수도 있다. 또한, 상기 하부 반사판(102b)을 링 형태로 형성할 경우에는 화소부 내에 별도의 캐패시터 배선을 형성하지 않고 상기 하부 반사판(102b)을 캐패시터 배선, 즉 캐패시터의 하부 전극으로 사용할 수 있다.The lower reflector 102b is formed in a plurality of circles or polygons as shown in FIGS. 5A and 5B. The lower reflector 102b may be formed in a ring shape surrounding the periphery of the transmission window, and as shown in FIG. 5C, one ring and a plurality of circles are mixed or one ring and a plurality of polygons are mixed. It can be formed in the form. When the lower reflector 102b is formed in a ring shape, the width of the lower reflector 102b may be thicker in an area having sufficient space (a vertical portion in FIG. 5C) and a thinner width in an area where the space is narrow (horizontal portion in FIG. 5C). It may be. In addition, when the lower reflector 102b is formed in a ring shape, the lower reflector 102b may be used as a capacitor interconnect, that is, a lower electrode of the capacitor, without forming a separate capacitor interconnection in the pixel portion.

상기 게이트 배선, 하부 반사판(102b) 및 기판(100) 상에는 무기물, 예컨대 실리콘 질화물로 이루어진 게이트 절연막(104)이 형성된다. 상기 게이트 전극(102a)에 대응되는 게이트 절연막(104) 상에는 비정질실리콘과 같은 제1 반도체막으로 이루어진 액티브층(106) 및 n+로 도핑된 비정질실리콘과 같은 제2 반도체막으로 이루어진 오믹 콘택층(108)이 순차적으로 적층된다.A gate insulating layer 104 made of an inorganic material, for example, silicon nitride, is formed on the gate wiring, the lower reflector 102b and the substrate 100. On the gate insulating film 104 corresponding to the gate electrode 102a, an ohmic contact layer including an active layer 106 made of a first semiconductor film such as amorphous silicon and a second semiconductor film made of n + doped amorphous silicon ( 108 are sequentially stacked.

상기 오믹 콘택층(108) 및 게이트 절연막(104) 상에는 크롬(Cr) 등의 제2 금속막으로 이루어진 데이터 배선이 형성된다. 상기 데이터 배선은 상기 액티브층(106)의 제1 영역과 중첩되는 제1 전극(소오스 전극 또는 드레인 전극)(110a) 및 상기 제1 영역과 대향되는 제2 영역과 중첩되는 제2 전극(드레인 전극 또는 소오스 전극)(110b) 및 상기 제2 전극(110b)에 연결되고 상기 게이트 라인과 교차하는 제2 방향(즉, 종방향)으로 신장되는 데이터 라인(도시하지 않음)을 포함한다. 이하, 상기 제1 전극(110a)을 소오스 전극이라 하고, 상기 제2 전극(110b)을 드레인 전극이라 한다.On the ohmic contact layer 108 and the gate insulating layer 104, a data line made of a second metal film such as chromium (Cr) is formed. The data line may include a first electrode (source electrode or drain electrode) 110a overlapping the first region of the active layer 106 and a second electrode overlapping the second region opposite to the first region (drain electrode). Or a data line (not shown) connected to the source electrode 110b and the second electrode 110b and extending in a second direction (that is, a longitudinal direction) crossing the gate line. Hereinafter, the first electrode 110a is called a source electrode, and the second electrode 110b is called a drain electrode.

상기 소오스/드레인 전극(110a, 110b) 및 게이트 절연막(104) 상에는 층간 절연막과 보호막의 역할을 하는 제1 절연막(112)이 형성된다. 상기 제1절연막(112)은 감광성 유기물로 이루어지며, 그 표면의 일부에 반사 효율을 증가시키기 위한 요철부가 형성된다. 바람직하게는, 상기 요철부는 약 5∼15°의 주 경사도를 갖도록 형성한다. 상기 제1 절연막(112)을 관통하여 상기 드레인 전극(110b)을 노출시키는 제1 콘택홀(114)이 형성된다.A first insulating layer 112 serving as an interlayer insulating layer and a protective layer is formed on the source / drain electrodes 110a and 110b and the gate insulating layer 104. The first insulating layer 112 is formed of a photosensitive organic material, and a concave-convex portion for increasing reflection efficiency is formed on a portion of the surface thereof. Preferably, the uneven portion is formed to have a major inclination of about 5 to 15 degrees. A first contact hole 114 is formed through the first insulating layer 112 to expose the drain electrode 110b.

상기 제1 절연막(112) 상에는 상기 제1 콘택홀(114)을 통해 드레인 전극(110b)과 연결되고 투과창 및 화소 전극으로 제공되는 투명 전극(116)이 형성된다. 상기 투명 전극(116) 상에는 제2 절연막(118)을 개재하여 반사판 및 화소 전극으로 제공되는 반사 전극(122)이 형성된다. 상기 반사 전극(122)은 드레인 전극(110b) 위로 제2 절연막(118)에 형성된 제2 콘택홀(120)을 통해 상기 드레인 전극(110b)과 연결된다. 상기 투명 전극(116) 및 반사 전극(122)으로 이루어진 화소 전극은 박막 트랜지스터의 드레인 영역으로부터 화상 신호를 받아 상부 기판(즉, 컬러필터 기판)의 전극(도시하지 않음)과 함께 전기장을 생성하는 역할을 한다. 이때, 상기 투명 전극(116) 위에 반사 전극(122)이 남아있는 영역은 반사창(R)이 되고, 투명 전극(116)만 남아있는 영역은 투과창(T)이 된다.The transparent electrode 116 is formed on the first insulating layer 112 to be connected to the drain electrode 110b through the first contact hole 114 and serve as a transmission window and a pixel electrode. On the transparent electrode 116, a reflective electrode 122 provided as a reflective plate and a pixel electrode is formed through the second insulating layer 118. The reflective electrode 122 is connected to the drain electrode 110b through the second contact hole 120 formed in the second insulating layer 118 over the drain electrode 110b. The pixel electrode formed of the transparent electrode 116 and the reflective electrode 122 receives an image signal from the drain region of the thin film transistor and generates an electric field together with an electrode (not shown) of the upper substrate (ie, the color filter substrate). Do it. In this case, an area where the reflective electrode 122 remains on the transparent electrode 116 becomes a reflection window R, and an area where only the transparent electrode 116 remains is a transmission window T.

상술한 본 발명의 제1 실시예에 의하면, 투과 모드시 액정 패널의 후면에 부착된 백라이트(도시하지 않음)로부터 발생된 빛이 상기 액정 패널로 입사될 때, 투과창(T) 외부의 반사 전극(즉, 반사창)으로 입사된 빛은 상기 반사 전극(122)으로부터 반사된 후 반사창(R)의 하부에 위치한 하부 반사판(102b)에 의해 다시 반사되어 투과창(T)을 통과하게 된다. 따라서, 종래의 반사-투과형 액정표시장치에 비해 동일한 면적의 투과창(T)을 통과하는 빛의 효율이 증가되므로, 투과 모드시 표시특성을 향상시킬 수 있다.According to the first embodiment of the present invention described above, when light generated from a backlight (not shown) attached to the rear surface of the liquid crystal panel is incident on the liquid crystal panel in the transmissive mode, the reflective electrode outside the transmission window (T) The light incident on the reflective window 122 is reflected from the reflective electrode 122 and then reflected by the lower reflector 102b positioned below the reflective window R to pass through the transmission window T. Therefore, since the efficiency of light passing through the transmission window T having the same area is increased as compared with the conventional reflection-transmissive liquid crystal display device, it is possible to improve display characteristics in the transmission mode.

도 3a 내지 도 3f는 도 2에 도시한 반사-투과형 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다.3A to 3F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the reflection-transmissive liquid crystal display shown in FIG. 2.

도 3a를 참조하면, 유리, 석영 또는 사파이어와 같은 절연 물질로 이루어진 투명 기판(100) 상에 알루미늄(Al), 크롬(Cr) 또는 몰리브덴 텅스텐(MoW) 등의 제1 금속막을 증착한 후, 제1 마스크를 이용한 사진식각 공정으로 상기 제1 금속막을 패터닝하여 제1 방향(즉, 횡방향)으로 신장되는 게이트 라인(도시하지 않음) 및 상기 게이트 라인의 일부분인 게이트 전극(102a)을 포함하는 게이트 배선을 형성한다. 이와 동시에, 화소부의 반사창에 대응되는 기판 영역에 적어도 하나의 하부 반사판(102b)을 형성한다. 상기 하부 반사판(102b)은 도 5a 내지 도 5c에 도시한 바와 같이 다수개의 원형 또는 다각형으로 형성하거나, 투과창의 주변을 둘러싸는 링 형태로 형성한다. 또한, 상기 하부 반사판(102b)은 하나의 링과 다수개의 원형이 혼합된 형태 또는 하나의 링과 다수개의 다각형이 혼합된 형태로 형성할 수도 있다. 상기 하부 반사판(102b)을 링 형태로 형성할 경우, 캐패시터 배선을 별도로 형성하지 않고 상기 하부 반사판(102b)을 캐패시터 배선으로 이용할 수 있다.Referring to FIG. 3A, after depositing a first metal film such as aluminum (Al), chromium (Cr), or molybdenum tungsten (MoW) on a transparent substrate 100 made of an insulating material such as glass, quartz, or sapphire, A gate including a gate line (not shown) extending in a first direction (that is, a transverse direction) by patterning the first metal layer by a photolithography process using a mask and a gate electrode 102a which is a part of the gate line. Form the wiring. At the same time, at least one lower reflector 102b is formed in the substrate region corresponding to the reflective window of the pixel portion. The lower reflector 102b is formed in a plurality of circles or polygons as shown in FIGS. 5A to 5C, or in a ring shape surrounding the periphery of the transmission window. In addition, the lower reflector 102b may be formed in a form in which one ring and a plurality of circles are mixed or in a form in which one ring and a plurality of polygons are mixed. When the lower reflector 102b is formed in a ring shape, the lower reflector 102b may be used as a capacitor line without separately forming capacitor lines.

도 3b를 참조하면, 상기 게이트 배선, 하부 반사판(102b) 및 기판(100) 상에 실리콘 질화물과 같은 무기 절연막으로 이루어진 게이트 절연막(104)을 화학 기상 증착(chemical vapor deposition; CVD) 공정에 의해 약 4500Å의 두께로 형성한다.Referring to FIG. 3B, a gate insulating film 104 made of an inorganic insulating film such as silicon nitride on the gate wiring, the lower reflecting plate 102b and the substrate 100 is subjected to chemical vapor deposition (CVD). It is formed to a thickness of 4500Å.

상기 게이트 절연막(104) 상에 비정질실리콘으로 이루어진 제1 반도체막을CVD 공정으로 증착한 후, 그 위에 n+로 도핑된 비정질실리콘으로 이루어진 제2 반도체막을 CVD 공정으로 증착한다. 이어서, 제2 마스크를 이용한 사진식각 공정으로 상기 제2 반도체막 및 제1 반도체막을 패터닝하여 상기 게이트 전극(102a) 위의 게이트 절연막(104) 상에 액티브층(106) 및 오믹 콘택층(108)을 형성한다.After depositing a first semiconductor film made of amorphous silicon on the gate insulating film 104 by a CVD process, a second semiconductor film made of amorphous silicon doped with n + is deposited thereon by a CVD process. Subsequently, the second semiconductor layer and the first semiconductor layer are patterned by a photolithography process using a second mask to form an active layer 106 and an ohmic contact layer 108 on the gate insulating layer 104 on the gate electrode 102a. To form.

도 3c를 참조하면, 상기 오믹 콘택층(108) 및 게이트 절연막(104) 상에 크롬(Cr)과 같은 제2 금속막을 증착한 후, 제3 마스크를 이용한 사진식각 공정으로 상기 제2 금속막을 패터닝한다. 그러면, 상기 액티브층(106)의 양쪽 가장자리에 각각 중첩되는 소오스 전극(110a) 및 드레인 전극(110b)과, 상기 드레인 전극(110b)에 연결되고 상기 게이트 라인과 교차하는 제2 방향(즉, 종방향)으로 신장되는 데이터 라인(도시하지 않음)을 포함하는 데이터 배선이 형성된다. 계속해서, 상기 제3 마스크를 이용하여 노출된 오믹 콘택층(108)을 식각 공정으로 제거함으로써, 채널 영역이 될 액티브층(106)만 남긴다.Referring to FIG. 3C, after depositing a second metal film such as chromium (Cr) on the ohmic contact layer 108 and the gate insulating layer 104, the second metal film is patterned by a photolithography process using a third mask. do. Then, a source electrode 110a and a drain electrode 110b overlapping both edges of the active layer 106, and a second direction connected to the drain electrode 110b and intersecting with the gate line (that is, the longitudinal direction). Data line including a data line (not shown) extending in the direction). Subsequently, the ohmic contact layer 108 exposed using the third mask is removed by an etching process, thereby leaving only the active layer 106 to be a channel region.

도 3d를 참조하면, 상기 데이터 배선 및 게이트 절연막(104) 상에 감광성 유기물을 도포하여 제1 절연막(112)을 형성한다. 상기 제1 절연막(112)은 층간 절연막과 보호막의 역할을 한다. 이어서, 제4 마스크를 이용하여 상기 제1 절연막(112)을 노광 및 현상함으로써 상기 드레인 전극(110b)의 일부분을 노출시키는 제1 콘택홀(114)을 형성한다. 이와 동시에, 화소부의 반사판을 산란 구조로 만들기 위해 상기 제1 절연막(112)의 표면에 요철부를 형성한다. 상기 요철부는 액정을 투과하는 빛을 산란시켜 시야각을 개선시키는 역할을 한다. 바람직하게는, 상기 요철부는 5°∼15°의 경사 각도를 갖도록 형성된다.Referring to FIG. 3D, a photosensitive organic material is coated on the data line and the gate insulating layer 104 to form a first insulating layer 112. The first insulating layer 112 serves as an interlayer insulating layer and a protective layer. Subsequently, the first insulating layer 112 is exposed and developed using a fourth mask to form a first contact hole 114 exposing a portion of the drain electrode 110b. At the same time, an uneven portion is formed on the surface of the first insulating layer 112 to make the reflecting plate of the pixel portion into a scattering structure. The uneven portion serves to improve the viewing angle by scattering light passing through the liquid crystal. Preferably, the uneven portion is formed to have an inclination angle of 5 ° to 15 °.

도 3e를 참조하면, 상기 제1 콘택홀(114) 및 제1 절연막(112) 상에 투과창 및 화소 전극으로 제공되는 ITO(indium-tin-oxide)나 IZO(indium-zinc-oxide)와 같은 투명 도전막을 증착한다. 이어서, 제5 마스크를 이용한 사진식각 공정으로 상기 투명 도전막을 패터닝하여 상기 제1 콘택홀(114)을 통해 상기 드레인 전극(110b)과 연결되는 투명 전극(116)을 형성한다.Referring to FIG. 3E, an indium-tin-oxide (ITO) or an indium-zinc-oxide (IZO) provided on the first contact hole 114 and the first insulating layer 112 as a transmission window and a pixel electrode. A transparent conductive film is deposited. Subsequently, the transparent conductive layer is patterned by a photolithography process using a fifth mask to form a transparent electrode 116 connected to the drain electrode 110b through the first contact hole 114.

도 3f를 참조하면, 상기 투명 전극(116) 및 제1 절연막(112) 상에 실리콘 질화물과 같은 무기막을 증착하여 제2 절연막(118)을 형성한다. 이어서, 제6 마스크를 이용한 사진식각 공정으로 상기 제2 절연막(118)을 식각하여 상기 드레인 전극(1100b)의 일부분을 노출시키는 제2 콘택홀(120)을 형성한다.Referring to FIG. 3F, an inorganic layer such as silicon nitride is deposited on the transparent electrode 116 and the first insulating layer 112 to form a second insulating layer 118. Subsequently, the second insulating layer 118 is etched by a photolithography process using a sixth mask to form a second contact hole 120 exposing a portion of the drain electrode 1100b.

이어서, 도시하지는 않았으나, 상기 제2 콘택홀(120) 및 제2 절연막(118) 상에 반사판 및 화소 전극으로 제공되는 알루미늄(Al)이나 은(Ag)과 같은 반사 도전막을 증착한 후, 제7 마스크를 이용한 사진식각 공정으로 상기 반사 도전막을 패터닝한다. 그러면, 도 2에 도시한 바와 같이 상기 제2 콘택홀(120)을 통해 상기 드레인 전극(110b)과 연결되는 반사 전극(122)이 형성된다. 이때, 상기 반사 전극(122)이 제거되어 그 하부의 투명 전극(116)이 노출된 영역은 투과창(T)이 되며, 상기 투과창(T)을 제외한 나머지 영역은 반사창(R)으로 제공된다.Subsequently, although not shown, a reflective conductive film such as aluminum (Al) or silver (Ag), which is provided as a reflector and a pixel electrode, is deposited on the second contact hole 120 and the second insulating film 118, and then the seventh contact hole 120 is deposited. The reflective conductive film is patterned by a photolithography process using a mask. Then, as illustrated in FIG. 2, the reflective electrode 122 connected to the drain electrode 110b is formed through the second contact hole 120. In this case, the reflective electrode 122 is removed to expose the transparent electrode 116 below the transparent window T, and the remaining area except the transparent window T is provided as the reflective window (R). do.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 의한 반사-투과형 액정표시장치의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of a reflection-transmissive liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 투명 기판(200) 상에 알루미늄(Al), 크롬(Cr) 또는 몰리브덴 텅스텐(MoW) 등의 제1 금속막으로 이루어진 게이트 배선이 형성된다. 상기 게이트 배선은 제1 방향(즉, 횡방향)으로 신장되는 게이트 라인(도시하지 않음) 및 상기 게이트 라인의 일부분인 박막 트랜지스터의 게이트 전극(202)을 포함한다.Referring to FIG. 4, a gate wiring made of a first metal film such as aluminum (Al), chromium (Cr), or molybdenum tungsten (MoW) is formed on the transparent substrate 200. The gate line includes a gate line (not shown) extending in a first direction (ie, a transverse direction) and a gate electrode 202 of a thin film transistor that is part of the gate line.

상기 게이트 배선 및 기판(200) 상에는 무기물, 예컨대 실리콘 질화물로 이루어진 게이트 절연막(204)이 형성된다. 상기 게이트 전극(202)에 대응되는 게이트 절연막(204) 상에는 비정질실리콘과 같은 제1 반도체막으로 이루어진 액티브층(206) 및 n+로 도핑된 비정질실리콘과 같은 제2 반도체막으로 이루어진 오믹 콘택층(208)이 순차적으로 적층된다.A gate insulating layer 204 made of an inorganic material, for example, silicon nitride, is formed on the gate line and the substrate 200. On the gate insulating layer 204 corresponding to the gate electrode 202, an ohmic contact layer made of an active layer 206 made of a first semiconductor film such as amorphous silicon and a second semiconductor film made of n + doped amorphous silicon ( 208 are stacked sequentially.

상기 오믹 콘택층(208) 및 게이트 절연막(204) 상에는 크롬(Cr) 등의 제2 금속막으로 이루어진 데이터 배선이 형성된다. 상기 데이터 배선은 상기 액티브층(206)의 제1 영역과 중첩되는 제1 전극, 예컨대 소오스 전극(210a) 및 상기 제1 영역과 대향되는 제2 영역과 중첩되는 제2 전극, 예컨대 드레인 전극(210b)에 연결되고 상기 게이트 라인과 교차하는 제2 방향(즉, 종방향)으로 신장되는 데이터 라인(도시하지 않음)을 포함한다. 또한, 상기 게이트 절연막(204) 상에 상기 데이터 배선과 동일한 층으로 이루어진 적어도 하나의 하부 반사판(210c)이 형성된다. 상기 하부 반사판(210c)은 도 5a 및 도 5b에 도시한 바와 같이, 다수개의 원형 또는 다각형으로 형성한다. 상기 하부 반사판(210c)은 투과창의 주변을 둘러싸는 링 형태로 형성할 수도 있고, 도 5c에 도시한 바와 같이 하나의 링과 다수개의 원형이 혼합된 형태 또는 하나의 링과 다수개의 다각형이 혼합된 형태로 형성할 수있다.On the ohmic contact layer 208 and the gate insulating layer 204, a data line made of a second metal film such as chromium (Cr) is formed. The data line may include a first electrode overlapping a first area of the active layer 206, for example, a source electrode 210a and a second electrode overlapping a second area opposite to the first area, for example, a drain electrode 210b. ) And a data line (not shown) extending in a second direction (ie, a longitudinal direction) intersecting the gate line. In addition, at least one lower reflector 210c formed of the same layer as the data line is formed on the gate insulating layer 204. The lower reflector 210c is formed in a plurality of circles or polygons, as shown in FIGS. 5A and 5B. The lower reflector 210c may be formed in a ring shape surrounding the periphery of the transmission window, and as shown in FIG. 5C, one ring and a plurality of circles are mixed or one ring and a plurality of polygons are mixed. Can form in the form.

상기 소오스/드레인 전극(210a, 210b), 하부 반사판(210c) 및 게이트 절연막(204) 상에는 층간 절연막과 보호막의 역할을 하는 제1 절연막(212)이 형성된다. 상기 제1 절연막(212)은 감광성 유기물로 이루어지며, 그 표면의 일부에 반사 효율을 증가시키기 위한 요철부가 형성된다. 바람직하게는, 상기 요철부는 약 5∼15°의 주 경사도를 갖도록 형성한다. 상기 제1 절연막(212)을 관통하여 상기 드레인 전극(210b)을 노출시키는 제1 콘택홀(214)이 형성된다.A first insulating layer 212 serving as an interlayer insulating layer and a protective layer is formed on the source / drain electrodes 210a and 210b, the lower reflector 210c, and the gate insulating layer 204. The first insulating layer 212 is formed of a photosensitive organic material, and a concave-convex portion for increasing reflection efficiency is formed on a portion of the surface thereof. Preferably, the uneven portion is formed to have a major inclination of about 5 to 15 degrees. A first contact hole 214 is formed through the first insulating layer 212 to expose the drain electrode 210b.

상기 제1 절연막(212) 상에는 상기 제1 콘택홀(214)을 통해 드레인 전극(210b)과 연결되고 투과창 및 화소 전극으로 제공되는 투명 전극(216)이 형성된다. 상기 투명 전극(216) 상에는 제2 절연막(218)을 개재하여 반사판 및 화소 전극으로 제공되는 반사 전극(222)이 형성된다. 상기 반사 전극(222)은 드레인 전극(210b) 위로 제2 절연막(218)에 형성된 제2 콘택홀(220)을 통해 상기 드레인 전극(210b)과 연결된다. 이때, 상기 반사 전극(222)이 제거되어 그 하부의 투명 전극(116)이 노출되는 영역은 투과창(T)이 되고, 상기 투과창(T)을 제외한 나머지 영역은 반사창(R)이 된다.The transparent electrode 216 is formed on the first insulating layer 212 to be connected to the drain electrode 210b through the first contact hole 214 and serve as a transmission window and a pixel electrode. On the transparent electrode 216, a reflective electrode 222 provided as a reflective plate and a pixel electrode is formed through the second insulating layer 218. The reflective electrode 222 is connected to the drain electrode 210b through the second contact hole 220 formed in the second insulating layer 218 on the drain electrode 210b. In this case, the reflective electrode 222 is removed to expose the transparent electrode 116 below the transparent window (T), the remaining area other than the transparent window (T) becomes the reflective window (R). .

상술한 본 발명의 제2 실시예에 의하면, 소오스/드레인 전극(210a, 210b)을 포함하는 데이터 배선을 형성할 때 적어도 하나의 하부 반사판(210c)을 동시에 형성한다. 따라서, 투과 모드시 반사창(R)으로 입사된 백라이트광이 상기 하부 반사판(210c)에 의해 반사되어 투과창(T)을 통과하게 되므로, 동일한 면적의 투과창(T)을 통과하는 빛의 효율을 증가시켜 표시 특성을 향상시킬 수 있다.According to the second exemplary embodiment of the present invention, at least one lower reflector 210c is simultaneously formed when the data line including the source / drain electrodes 210a and 210b is formed. Therefore, in the transmission mode, the backlight light incident on the reflection window R is reflected by the lower reflection plate 210c to pass through the transmission window T, so that the efficiency of light passing through the transmission window T having the same area is increased. It is possible to improve display characteristics by increasing.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 투과창 외부의 반사 전극, 즉 반사창의 하부 영역에 게이트 전극 또는 소오스/드레인 전극과 동일한 층으로 이루어진 적어도 하나의 하부 반사판을 형성한다. 그러면, 상기 반사창으로 입사되는 백라이트 광이 상기 하부 반사판을 통해 투과창으로 반사되기 때문에, 동일한 면적의 투과창을 통과하는 빛의 효율을 증가시켜 투과 모드시 표시 특성을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, at least one lower reflector formed of the same layer as the gate electrode or the source / drain electrode is formed on the reflective electrode outside the transmission window, that is, the lower region of the reflective window. Then, since the backlight light incident on the reflective window is reflected to the transmission window through the lower reflector, the efficiency of light passing through the transmission window having the same area may be increased to improve display characteristics in the transmission mode.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, although described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and modified within the scope of the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. It will be appreciated that it can be changed.

Claims (15)

기판 상에 형성된 게이트 전극;A gate electrode formed on the substrate; 상기 게이트 전극 및 기판 상에 형성된 게이트 절연막;A gate insulating film formed on the gate electrode and the substrate; 상기 게이트 전극 위의 게이트 절연막 상에 형성된 액티브층;An active layer formed on the gate insulating film on the gate electrode; 상기 게이트 절연막 상에 형성되고 상기 액티브층의 양쪽 가장자리와 각각 중첩되는 제1 전극 및 제2 전극;First and second electrodes formed on the gate insulating layer and overlapping both edges of the active layer, respectively; 상기 제1 및 제2 전극과 상기 게이트 절연막 상에 형성되고, 상기 제2 전극을 노출시키는 콘택홀을 갖는 절연막;An insulating film formed on the first and second electrodes and the gate insulating film and having a contact hole exposing the second electrode; 상기 절연막 상에 형성되고 상기 콘택홀을 통해 상기 제2 전극과 연결되는 투명 전극;A transparent electrode formed on the insulating layer and connected to the second electrode through the contact hole; 상기 투명 전극 상에 형성되고, 상기 투명 전극을 노출시키는 투과창을 갖는 반사 전극을 구비하며,A reflective electrode formed on the transparent electrode and having a transmission window exposing the transparent electrode, 상기 투과창 외부의 반사 전극의 하부 영역에 적어도 하나의 하부 반사판이 형성된 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치.At least one lower reflector is formed in the lower region of the reflective electrode outside the transmission window. 제1항에 있어서, 상기 하부 반사판은 다수개의 원형 또는 다각형으로 형성된 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치.The reflective-transmissive liquid crystal display device according to claim 1, wherein the lower reflector is formed of a plurality of circular or polygonal shapes. 제1항에 있어서, 상기 하부 반사판은 상기 투과창의 주변을 둘러싸는링(ring) 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치.The liquid crystal display of claim 1, wherein the lower reflector is formed in a ring shape surrounding the periphery of the transmission window. 제3항에 있어서, 상기 하부 반사판은 캐패시터 배선으로 사용되는 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치.The reflective-transmissive liquid crystal display device according to claim 3, wherein the lower reflector is used as a capacitor wiring. 제1항에 있어서, 상기 하부 반사판은 하나의 링과 다수개의 원형이 합쳐진 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치.The reflective-transmissive liquid crystal display device according to claim 1, wherein the lower reflector is formed in a shape in which one ring and a plurality of circles are combined. 제1항에 있어서, 상기 하부 반사판은 하나의 링과 다수개의 다각형이 합쳐진 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치.The reflection-transmissive liquid crystal display device according to claim 1, wherein the lower reflector is formed in a shape in which one ring and a plurality of polygons are combined. 제1항에 있어서, 상기 하부 반사판은 상기 게이트 전극과 동일한 층으로 형성된 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치.The reflection-transmissive liquid crystal display of claim 1, wherein the lower reflector is formed of the same layer as the gate electrode. 제1항에 있어서, 상기 하부 반사판은 상기 제1 및 제2 전극과 동일한 층으로 형성된 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치.The liquid crystal display of claim 1, wherein the lower reflector is formed of the same layer as the first and second electrodes. 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계;Forming a gate electrode on the substrate; 상기 결과물의 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계;Forming a gate insulating film on the entire surface of the resultant product; 상기 게이트 전극 위의 게이트 절연막 상에 액티브 패턴을 형성하는 단계;Forming an active pattern on a gate insulating film on the gate electrode; 상기 게이트 절연막 상에 상기 액티브 패턴의 양쪽 가장자리와 각각 중첩되는 제1 전극 및 제2 전극을 형성하는 단계;Forming first and second electrodes overlapping both edges of the active pattern on the gate insulating layer; 상기 결과물의 전면에 제1 절연막을 형성하는 단계;Forming a first insulating film on the entire surface of the resultant product; 상기 제1 절연막을 식각하여 상기 제2 전극을 노출시키는 제1 콘택홀을 형성하는 단계;Etching the first insulating layer to form a first contact hole exposing the second electrode; 상기 제1 절연막 상에 상기 제1 콘택홀을 통해 상기 제2 전극과 연결되는 투명 전극을 형성하는 단계;Forming a transparent electrode on the first insulating layer, the transparent electrode being connected to the second electrode through the first contact hole; 상기 결과물의 전면에 제2 절연막을 형성하는 단계;Forming a second insulating film on the entire surface of the resultant product; 상기 제2 절연막을 식각하여 상기 제2 전극을 노출시키는 제2 콘택홀을 형성하는 단계; 및Etching the second insulating layer to form a second contact hole exposing the second electrode; And 상기 제2 절연막 상에 상기 제2 콘택홀을 통해 상기 제2 전극과 연결되며 상기 투명 전극을 노출시키는 투과창을 갖는 반사 전극을 형성하는 단계를 구비하며,Forming a reflective electrode on the second insulating layer, the reflective electrode having a transmission window connected to the second electrode through the second contact hole and exposing the transparent electrode; 상기 제1 절연막을 형성하는 단계 전에, 상기 투과창 외부의 반사 전극의 하부 영역에 적어도 하나의 하부 반사판을 형성하는 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치의 제조방법.And forming at least one lower reflector in a lower region of the reflective electrode outside the transmission window, before forming the first insulating layer. 제9항에 있어서, 상기 하부 반사판은 다수개의 원형 또는 다각형으로 형성하는 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치의 제조방법.10. The method of claim 9, wherein the lower reflector is formed of a plurality of circular or polygonal shapes. 제9항에 있어서, 상기 하부 반사판은 상기 투과창의 주변을 둘러싸는 링 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치의 제조방법.10. The method of claim 9, wherein the lower reflector is formed in a ring shape surrounding the periphery of the transmission window. 제9항에 있어서, 상기 하부 반사판은 하나의 링과 다수개의 원형이 합쳐진 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치의 제조방법.10. The method of claim 9, wherein the lower reflector is formed in a shape in which one ring and a plurality of circles are combined. 제9항에 있어서, 상기 하부 반사판은 하나의 링과 다수개의 다각형이 합쳐진 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치의 제조방법.The method of claim 9, wherein the lower reflector is formed in a shape in which one ring and a plurality of polygons are combined. 제9항에 있어서, 상기 게이트 전극을 형성하는 단계에서 상기 하부 반사판을 동시에 형성하는 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치의 제조방법.The method of manufacturing a reflection-transmissive liquid crystal display device according to claim 9, wherein the lower reflector is simultaneously formed in the forming of the gate electrode. 제9항에 있어서, 상기 제1 및 제2 전극을 형성하는 단계에서 상기 하부 반사판을 동시에 형성하는 것을 특징으로 하는 반사-투과형 액정표시장치의 제조방법.10. The method of claim 9, wherein the lower reflector is formed simultaneously in the forming of the first and second electrodes.
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