KR20030008292A - 블레이드 수평 감지기를 구비한 로드락 챔버부 - Google Patents

Abstract

블레이드 수평 감지기를 구비한 로드락 챔버부를 제공한다. 이 장치는 웨이퍼를 이송하는 블레이드가 기울어지는지를 모니터링하는 블레이드 수평 감지기를 포함한다. 이에 따라, 로드락 챔버 내에서 블레이드가 기울어짐으로서 발생하는 웨이퍼 긁힘 현상을 예방할 수 있다.

Description

블레이드 수평 감지기를 구비한 로드락 챔버부{Load-Lock Chamber Assembly With Blade Leveling Sensor}

본 발명은 반도체 제조 장비에 관한 것으로서, 특히 블레이드 수평 감지기를 구비한 로드락 챔버부에 관한 것이다.

반도체 장치를 제조하는 장비 중, 대기압보다 낮은 기압 상태에서 웨이퍼를 처리하는 대부분의 장비는 공정이 실시되는 메인 챔버부 및 외부의 대기압과 메인 챔버의 기압을 완충시키는 로드락 챔버를 구비한다.

도 1은 종래기술에 따른 로드락 챔버부를 나타내는 장치도이다.

도 1을 참조하면, 로드락 챔버부는 웨이퍼 카세트(30)가 로딩되는 로드락 챔버(10), 상기 로드락 챔버(10)에 로딩된 웨이퍼 카세트(30)에서 웨이퍼(40)를 이송하는 블레이드(20), 상기 웨이퍼 카세트(30)의 높이를 조절하는 카세트 승강기(50)를 구비한다.

상기 블레이드(20)는 상기 로드락 챔버(10)의 정면에 배치된 웨이퍼 이송 출구(60)를 통해, 상기 웨이퍼(40)를 이송한다. 상기 웨이퍼 이송 출구(60)는 고정된 높이에 배치되기 때문에, 상기 웨이퍼 카세트(30)에 상기 웨이퍼(40)를 담거나 빼내기 위해서는 상기 웨이퍼 카세트(30)의 높이를 조절해야 한다. 이러한 웨이퍼 카세트(30)의 높이 조절은 상기 카세트 승강기(50)를 통해 이루어진다.

그런데 상기 블레이드(20)는 상기 웨이퍼(40)가 얹혀진 상태에서 반복적으로 작업하는 기계 장치라는 점에서, 상기 블레이드(20)에는 기계적 노후 현상이 발생한다. 그러한 기계적 노후 현상의 유형에는 블레이드(20)의 기울어짐 현상이 있다. 특히, 상기 블레이드(20)의 기울어짐은 상기 웨이퍼(40)를 이송하기 위하여, 상기 블레이드(20)의 상부에 웨이퍼(40)가 얹혀질 때 더욱 심해진다. 상기 웨이퍼(40)는 좁은 간격을 유지하면서 웨이퍼 카세트(30)에 담겨진다. 따라서, 상기 블레이드(20)의 기울어짐은 도시된 바와 같이, 상기 블레이드(20) 또는 블레이드에 얹혀진 웨이퍼(40)가 상기 블레이드 하부의 웨이퍼를 긁는 현상을 초래한다.

이러한 블레이드(20)의 기울어짐에 따른 문제를 예방하기 위해, 정기적인 장비 점검 및 보수를 실시한다. 하지만, 상기 블레이드에 대한 장비 점검 및 보수에 의해 상기한 문제점을 완전히 예방하지는 못한다. 왜냐하면, 장비 점검 및 보수는 두 점검 시점 사이에 발생하는 문제들을 최소화하기 위한 과정일 뿐, 상기한 웨이퍼 긁힘의 문제점을 원천적으로 차단하는 방법은 아니기 때문이다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 블레이드의 기울어짐에 의해 웨이퍼가 긁히는 현상을 예방할 수 있는 로드락 챔버부를 제공하는 데 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 로드락 챔버를 나타내는 장치도이다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드락 챔버를 나타내는 정면도이다.

도 3는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드락 챔버부를 나타내는 장치도이다.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 로드락 챔버의 웨이퍼 이송출구에 블레이드의 수평상태를 모니터링할 수 있는 장치를 구비한 로드락 챔버부를 제공한다. 이 로드락 챔버부는 웨이퍼 이송 출구를 구비한 로드락 챔버, 상기 웨이퍼 이송 출구를 통해 웨이퍼를 이송하는 블레이드, 상기 웨이퍼 이송 출구의 양측벽에 구비된 블레이드 수평 감지기 및 상기 블레이드 수평 감지기에 연결된 제어부를 포함한다.

상기 블레이드 수평 감지기는 수평하게 배치된 송광부 및 수광부를 구비한 광학 장치로서, 상기 송광부는 레이저 빔을 사용하는 것이 바람직하다. 또한 상기 블레이드 수평 감지기는 송광부 및 수광부로 이루어진 광학 장치를 복수개 구비할 수도 있다. 이때, 상기 송광부 및 상기 수광부의 각 쌍은 수평하게 배치되는 것이 바람직하다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드락 챔버를 나타내는 장치정면도이다.

도 2를 참조하면, 로드락 챔버(100)의 일측면에, 블레이드(200)가 웨이퍼를 로딩하거나 언로딩하는 통로가 되는 웨이퍼 이송 출구(300)가 배치된다. 상기 웨이퍼 이송 출구(300)의 양측벽에는 블레이드 수평감지기(400)를 구성하는 송광부(410) 및 수광부(420)가 배치된다. 상기 송광부(410)는 상기 블레이드(200)의 기울어짐을 모니터링하기 위한 광을 송출하는 장치이고, 상기 수광부(420)는 상기 송광부(410)에서 송출된 광을 수신하는 장치로서, 상기 송광부(410) 및 상기 수광부(420)는 쌍으로 배치되는 것이 바람직하다.

상기 수평감지기(400)는 상기 블레이드(200)가 기울어지는 현상을 모니터링하기 위한 장치이다. 따라서, 상기 수평감지기(400)를 구성하는 상기 송광부(410) 및 상기 수광부(420)는 수평하게 배치하는 것이 바람직하다. 또한 상기 블레이드(200)의 기울어짐을 정밀하게 판단하기 위해, 상기 송광부(410)는 직진성이 강한 레이저 빔을 사용하는 것이 바람직하다.

상기 수평감지기(400)를 구성하는 상기 송광부(410) 및 상기 수광부(420)의 쌍은 한 직선을 결정한다. 그런데, 평면은 두 직선에 의해 결정되므로, 상기 블레이드(200)가 웨이퍼에 평행한 평면을 갖기 위해서는, 상기 수평감지기(400)를 두개로 구성하는 것이 바람직하다. 이 경우에도 각 수평감지기(400)를 구성하는 송광부(410) 및 수광부(420)는 각 쌍끼리 수평하게 배치되는 것이 바람직하다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드락 챔버를 나타내는 장치도이다.

도 3을 참조하면, 로드락 챔버부는 로드락 챔버(100), 블레이드(200)를 포함한 웨이퍼 이송 장치, 카세트 승강기(700) 및 제어부(800)로 구성된다.

상기 로드락 챔버(100)은 도 2에서 설명한 바와 같이, 일측벽에 블레이드 수평감지기(400)가 배치된 웨이퍼 이송 출구(300)를 갖는다. 상기 로드락 챔버(100)의 내부에는 웨이퍼(600)가 담긴 웨이퍼 카세트(500)가 로딩된다. 더 자세하게는 상기 웨이퍼 카세트(500)는 상기 로드락 챔버(100)의 하부면을 관통하는 상기 카세트 승강기(700) 상에 로딩된다. 상기 카세트 승강기(700)는 상기 웨이퍼 카세트(600)를 수직 방향으로 이동시키는 기능을 갖는 기계장치로서, 상기 제어부(800)에 의해 그 운동이 통제된다.

상기 블레이드(200)를 포함한 웨이퍼 이송 장치는 상기 로드락 챔버(100) 내에 로딩된 웨이퍼 카세트(500)에 웨이퍼(600)를 담거나 꺼내는 역할을 하는 기계 장치이다. 이를 위해, 상기 블레이드(200)는 상기 웨이퍼 카세트(500)에 담긴 웨이퍼들(600) 사이의 간격보다 얇은 두께를 갖는 금속판으로 만들어지며, 바람직하게는 상기 웨이퍼(600)를 고정하기 위한 진공흡착 장치가 구비된다. 상기 웨이퍼 이송장치는 상기 제어부(800)의 통제에 따라 상기 웨이퍼(600)를 수평 이동시키는 역할을 한다.

상기 제어부(800)는 상기 블레이드(200)를 포함한 웨이퍼 이송 장치 및 상기 카세트 승강기(700)의 동작을 통제하는 역할을 한다. 또한 상기 제어부(800)는 상기 블레이드 수평감지기(400)와 연결된다.

상기 웨이퍼(600)를 상기 로드락 챔버(100)에서 언로딩하는 방법은 상기 카세트 승강기(700)를 통해 상기 웨이퍼 카세트(500)의 높이를 조정하는 단계를 포함한다. 이후, 상기 블레이드(200)를 언로딩하려는 웨이퍼와 그 아래의 웨이퍼 사이로 집어넣는다. 이어서, 상기 언로딩하려는 웨이퍼가 상기 블레이드(200)에 얹혀질 때까지 상기 카세트 승강기(700)를 하강시킨다. 상기 블레이드(200)에 부착된 진공 흡착장치를 통해 상기 블레이드에 얹혀진 웨이퍼를 고정한 후, 상기 웨이퍼 이송 출구(300)를 통해 언로딩한다. 상기 웨이퍼(600)를 상기 로드락 챔버(100)로 로딩하는 방법은 상기 언로딩 방법의 역순으로 실시한다.

상기 과정에서 또다른 웨이퍼가 긁히는 현상없이 웨이퍼를 언로딩하기 위해서, 상기 블레이드(200)는 상기 웨이퍼(600)들과 평행한 상태를 유지해야 한다. 하지만, 상기 블레이드(200)가 기울어지는 현상이 발생할 경우, 상기 블레이드 수평감지기(400)에 연결된 상기 제어부(800)는 상기 블레이드(200) 또는 상기 카세트 승강기(700)의 운동을 중지시킨다. 이에 따라, 종래 기술에서와 같은 상기 블레이드(200)의 기울어짐에 따른 웨이퍼 긁힘의 문제를 해결할 수 있다.

본 발명에 따르면, 로드락 챔버에 블레이드의 기울어짐을 모니터링할 수 있는 장치를 배치한다. 이를 통해, 블레이드가 기울어짐으로서 발생하는 웨이퍼 긁힘 사고를 예방할 수 있다.

Claims (5)

1. 웨이퍼 이송 출구가 구비된 로드락 챔버;

   상기 웨이퍼 이송 출구를 통해 웨이퍼를 이송하는 블레이드;

   상기 웨이퍼 이송 출구의 양측벽에 구비된 블레이드 수평감지기; 및

   상기 블레이드 수평감지기에 연결된 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버부.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 블레이드 수평 감지기는 송광부 및 수광부를 구비한 광학 장치인 것을 특징으로 하는 로드락 챔버부.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 블레이드 수평 감지기는 송광부 및 수광부로 이루어진 광학 장치를 복수개 구비한 것을 특징으로 하는 로드락 챔버부.
4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

   상기 송광부는 레이저 빔을 사용하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버부.
5. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

   상기 송광부 및 상기 수광부는 수평하게 배치되는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버부.