KR20030007964A - 레이져 증폭기를 위한 물 게터 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

기체는 투과시키지만 고체 입자들은 보유할 수 있고 용접을 요하지 않는 컨테이너 내에 분말인 물 게터 재료(18)를 포함하는 물 게터 장치(10)가 설명된다. 상기 장치의 제조를 위한 방법 역시 설명된다.

Description

레이져 증폭기를 위한 물 게터 장치 및 그 제조 방법 {WATER GETTER DEVICES FOR LASER AMPLIFIERS AND PROCESS FOR THE MANUFACTURE THEREOF}

레이져 증폭기는 광학적 도파관 원격 통신 분야에서 사용된다. 알려진 바와 같이, 상기 응용에서 신호는 유리 파이버를 따라 이동하는 광 펄스이다. 상기 파이버를 따라 이동할 때, 상기 광학적 신호가 약화되므로 신호 증폭이 약 50 내지 100 km 사이의 거리, 또는 상기 선의 모든 분기점에서 요구된다.

이런 목적으로 소위 광학적 증폭기라는 장치가 사용되는데, 여기서 상기 신호는 그 초기 강도로 회복된다. 일반적으로 광학적 증폭기는 전자적 구성 요소들과 광학적 신호의 증폭을 위한 능동 소자인, 예를 들면, 고전력 갈륨 비화물(gallium arsenide, GaAs) 레이져와 같은, 레이져 장치를 포함한다. 상기 레이져 장치는 그 동작을 보증하기 위해 장치 자체의 주위의 기체 환경을 제어하려는 목적으로 컨테이너 내에 위치된다. 특히 상기 레이져 장치는 상기 장치의 전자 설비 내에 단락을 야기하거나 그 재료의 부식을 야기할 수 있는 습기에 노출되는 것을 피할 필요가 있다.

물은 상기 제조 공정의 잉여물로서 상기 컨테이너 내에 존재할 수 있다; 그렇지 않다면 그것은 상기 증폭기의 벽들에 의해 유출되는 수소와 산소 간의 반응의 결과로서 그 동작 동안 상기 증폭기 내에서 생성될 수 있다; 또는 그것은 소량의 유기 화합물(상기 증폭기를 생성하는데 이용되는 알콜 또는 풀)과 산소 간의 반응에 의해서도 생성될 수 있다. 미국 특허 제 5,392,305 호에 따르면, 산소는 상기 증폭기의 수명에 해로운 효과를 미치는 것으로 알려진 소량의 유기 화합물을 제거하기 위해, 일반적으로 적어도 100 ppm 정도의 양으로 상기 장치의 대기(일반적으로, 질소 또는 희가스)를 채울 목적으로 부가된다.

레이져 증폭기에서 물 게터 재료를 사용하는 것은 예를 들면, 다양한 기체의 흡수를 위한 시스템을 개시하는 미국 특허 제 5,696,785 호에서 설명되는데, 상기 기체는 순수한 또는 합성의 제올라이트를 포함하는 물과, 다공성 실리카, 활성화된 탄소, 알루미나 및 일정량의 제올라이트(zeolite) 중에서 선택된 화합물과, 상기 언급된 성분들을 결합하는 기능을 갖는 유기 용제를 포함한다. 상기 혼합물은 적절한 열 처리에 의해 1 밀리미터 이하의 두께를 갖는 판을 형성하도록 압축되는데, 이는 상기 증폭기 컨테이너의 내부 표면 중 하나에 고정된다. 그러나, 이 특허에서 설명되는 상기 흡수 시스템은 다소 복잡하고, 상기 레이져 컨테이너의 내부에 고정되는 방법을 특정하고 있지 않다. 더욱이, 이러한 해결책으로는 상기 게터 재료의 분말들이나 파편들이 상기 레이져 증폭기 컨테이너 내에서 자유 운동이 가능하게 되는 위험이 있다; 상기 입자들은 상기 증폭기의 다양한 성분들과 화학적으로 반응할 수 있거나 기계적으로 손상을 가할 수 있거나 상기 장치 내의 광학적 경로내에 또한 삽입될 수 있으므로, 어떠한 경우에도 그 작용에 손상을 가할 수 있다.

유럽 특허 출원 EP-A-720260 호는 레이져 증폭기 내의 기체 흡수를 위한 다른 시스템을 개시하고 있다. 이 경우에 상기 게터 재료는 상기 언급된 미국 특허 제 5,696,785 호에 따른 펠릿(pellet) 또는 정제의 형태로 또는 흩어진 분말의 형태로 적절한 하우징 내에 담기도록 제공되고, 상기 기체는 투과시키지만 고체 입자들은 보유할 수 있는 표면을 통해서만 상기 증폭기 내의 기체 대기와 접촉한다. 상기 구성은 상기 게터 재료의 파편들이나 분말들이 상기 컨테이너 내에서 자유 운동하는 것을 막는다. 상기 기체 투과성 표면(예를 들면, 작은 구멍이 있는 금속판)은 용접에 의해 상기 게터 장치 하우징의 다른 벽들에 또는 상기 레이져 장치 컨테이너의 벽에 직접적으로 고정된다; 예를 들면, 저항 용접, 또는 작은 크기에 대한 레이져 용접과 같은 용접은 서로 다른 방법으로 수행될 수 있다. 이러한 시스템이 입자를 손실하지 않도록 하기 위해, 상기 용접은 연속적 용접("연속적 균열" 용접)일 것이 요구된다. 그러나, 수 밀리미터 또는 수십 밀리미터의 길이로 일체의 불연속점을 갖지 않고 용접하는 것은 거의 불가능하다: 이런 불연속점들은 상기 출원 EP-A-720260 호에서 설명된 바와 같은 상기 물 게터 장치에 대한 임계점들인데, 이는 그것이 위에서 언급한 불편한 점을 갖는 증폭기의 내부 공간에 도달할 수 있게 되는 게터 재료 분말을 위한 통로를 형성할 수 있기 때문이다. 더욱이, 상기 "연속적 균열" 용접으로 떨어질 수 있을 정도로 거의 연결되지 않은 거친 부분(burr)이 항상 제공되기 때문에, 상기 거친 부분은 상기 게터 재료의 분말들로 인한 이미 논의된 바와 동일한 문제점을 야기한다.

본 발명은 레이져 증폭기를 위한 물 게터 장치 및 그 제조 방법에 관한 발명이다.

본 발명은 하기의 첨부된 도면을 참조하여 아래에서 설명될 것이다:

도 1은 본 발명의 가능한 장치 단면도를 도시하고;

도 2는 본 발명의 상기 장치 내에서 사용되는 L-형 프로파일을 갖는 환형의 금속 부재를 도시하며;

도 3 내지 도 5는 레이져 증폭기의 내부에 본 발명의 상기 물 게터 장치를 고정시키는 가능한 방법들을 도시하고;

도 6 내지 도 8은 본 발명의 상기 장치를 획득하는 다양한 중간 단계들 또는 생성물들을 도시한다.

본 발명의 목적은 종래 기술의 결점들을 갖지 않는 레이져 증폭기를 위한 물 게터 장치를 제공하고, 또한 그 제조를 위한 방법을 제공하는 것이다.

이런 목적과 다른 목적들이 본 발명에 따라 달성되는데, 본 발명은 그 제 1 태양에서 다음의 구성 요소로 형성되는 물 게터 장치에 관한 발명이다:

- 폐쇄된 바닥을 갖고, 위쪽으로 개방되어 있으며, 상부 에지에 기계적 보유 부재를 갖는 원통형의 금속 컨테이너;

- 상기 컨테이너 내에 삽입되고 그것보다 더 낮은 높이를 갖는 L-형 프로파일과, 상기 컨테이너의 내부 직경보다 조금 작은 외부 직경을 갖는 원통형 표면과, 상기 컨테이너의 내부에 면하는 평면을 갖는 환형 금속 부재;

- 상기 컨테이너의 바닥과 상기 L-형 부재의 원통형 벽으로 공간을 형성하는, L-형 프로파일을 갖는 상기 금속 부재의 평면과 상기 컨테이너의 기계적 보유 요소 사이에 고정되는, 기체는 투과시키지만 고체 입자들은 보유할 수 있는 금속 요소; 및

- 상기 공간 내의 물 게터 재료.

도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명의 상기 장치(10)는 그 내부에 환형의 채널형 부재(13)가 L-형 프로파일을 구비하는 주요 컨테이너(11)로 형성된다; 상기 컨테이너(11)는 그 상부 에지에서, 상기 언급된 보유 요소를 형성하고 부재(13)의 표면(15)과 함께 작용하여 제 위치를 유지하고 요소(16)를 단단하게 고정하는 부분(12)을 갖는다. 요소(16)는 외부로부터 부재(11, 13, 및 16)의 내부 벽에 의해 형성되는 상기 장치의 내부 공간(17)으로 기체가 통과하도록 함으로써, 동시에 물 게터 재료(18)의 입자들이 상기 내부 공간을 떠나 상기 증폭기의 내부 공간으로 향하지 못하게 하는 기능을 갖는다. 도 1은 상기 공간 자체를 더 양호하게 표시하기 위해 재료(18)로 공간(17)을 부분적으로 채운 것을 도시하지만, 대개의 본 발명의 장치에서는 공간(17)은 전체적으로 채워진다.

명확하게는 상기 장치(10)는 그것이 목적하여 설계되는 특정한 레이져 증폭기에 따라 다른 전체 크기를 가질 수 있다. 전형적인 크기는 예를 들면 4 내지 8 mm의 직경과 1.5 내지 3 mm의 높이이다.

가능한 다른 실시예에서, 본 발명의 장치는 바닥 상에 많은 상승부들을 구비하는데, 이는 상기 레이져 증폭기의 내부 벽에 상기 장치를 고정시키기 위한 역할을 한다; 도 3의 장치(10')에 도시되는, 이러한 대안적인 실시예는 상기 상승부들을 제외하면 상기 장치(10)와 거의 유사하므로 상세한 설명은 생략하겠다. 장치(10')의 바닥 상의 상기 상승부들은 일반적으로 3개인데, 이것은 알려진 바와 같이, 이러한 구조가 고정을 위한 최선의 역학적 안정성을 갖게 되기 때문이다; 바람직하게는 상기 상승부들은 상기 컨테이너 바닥 상에서 서로에 대해 각 거리 120°로 위치된다.

컨테이너(11)는 일반적으로 금속판을 절단하여 깊게 잡아 당김으로써 획득된다. 대개는 주형성, 기계적 고형성 및 내식성의 특징들을 갖는 강철판이 사용된다; 바람직하게는 강철 AISI 304가 사용된다. 상기 판의 두께, 즉 컨테이너(11)의 벽의 두께는 대개는 약 0.1 내지 0.3 mm이다.

L-형 프로파일을 갖는 상기 환형 부재(13)는 컨테이너(11)에서와 같은 재료로 획득된다. 상기 부재는 원통형 표면(14)과 평면 고리형 표면(15)을 갖는다. 이러한 부재는 일반적으로 부재(13)를 컨테이너(11) 내로 도입하는 것을 용이하게 하는 한편, 상기 컨테이너의 자유 운동의 가능성을 최소로 감소시키도록 상기 컨테이너의 내부 직경보다 수백 밀리미터 정도 작은 외부 직경을 갖도록 제조된다. 이러한 부재의 높이는 일반적으로 약 0.5 내지 1 mm이다. 표면(15)의 폭은 상기 요소(16)에 안정한 지지를 제공할 필요성과 상기 물 게터 재료(18)를 향하는 기체 통로 표면을 최소한으로 감소시킬 필요성을 절충하여 결정된다; 상기 폭은 대개는 약 1 mm이다.

요소(16)는 기체는 양호하게 투과시키지만 고체 입자들은 보유할 수 있는 어떠한 금속 요소도 될 수 있다. 예를 들면, 그것은 미세 구멍을 갖는 금속판일 수 있지만, 바람직하게는 소결된 금속 분말의 디스크인데, 이것은 대개는 여과 분야에서 주로, 다양한 응용을 위해 상업적으로 유용하다. 본 발명의 목적을 위해 약 0.5 내지 1 ㎛의 구멍 크기를 갖는, AISI 316L과 같은, 소결된 강철의 격막(septum)의 사용이 바람직하다; 작은 구멍 크기를 갖는 격막은 기체 전도성 및 흡수 속도의 감소를 야기하고 또한 보다 많은 비용을 요하는 반면, 큰 구멍 크기를 갖는 격막은 고체 재료 입자들이 통과할 수 있도록 한다. 요소(16)는 부재의 직경과 거의 동일한 직경을 갖고 대개는 약 0.5 mm 정도인, 십분의 수 밀리미터의 두께를 갖는다.

장치(10)의 내부 공간(17)은 물 게터 재료로 채워진다. 본 출원인의 명의인 유럽 특허 출원 EP-A-960647 호에서 설명되는 단계에 따라 제조되는 순수한 또는 합성의 제올라이트, 또는 붕소 산화물을 사용하는 것이 바람직하다.

본 발명의 물 게터 장치가 레이져 증폭기의 내부 벽에 고정될 수 있는 가능한 몇 가지 방법들이 도 3 내지 도 5에서 도시된다. 유리하게는 본 발명의 장치가 고정되는 상기 벽은 대개는 코바르(Kovar)(코발트, 철 및 니켈의 합금)로 제조되는, 상기 증폭기를 닫는 덮개 부재이지만, 다른 배치도 물론 가능하다.

도 3은 본 발명에 따른 장치(10')의 특정한 유형을 도시하는데, 여기서 상기 컨테이너(11')는 바닥 상에 상승부들(30, 30' 및 30'')을 구비한다. 상기 장치(10')는 상기 상승부들에서 형성되는 용접점들에 의해 상기 벽(31)에 고정된다.

도 4는 금속 부재(40)에 의해 제 위치에 유지되고 적절한 형태로 되며 용접점들(42. 42'. 42'' 및 42''')로 상기 벽(41)에 고정되는 본 발명의 장치(10)를 도시한다; 부재(40)는 그 주요 표면 내의 일반적으로 원형인 개구부(43)를 도시하는데, 이것은 장치(10)의 직경보다 작은 직경을 갖지만, 컨테이너(11)의 상기 부분(12)을 부분적으로 제거하고 부재(16)를 완전히 제거함으로써, 상기 물 게터 재료를 향하는 기체의 전도성의 감소가 야기되지 않는다.

보유 부재의 다른 가능한 실시예는 도 5에 단면으로 도시된다. 이 경우에 장치(10)는 L-형 프로파일을 갖는 환형 부재(50)에 의해 제 위치에 유지된다; 상기 부재(50)는 부분 절단도로 도시된다. 부재(50)의 상기 원통형 벽(51)의 기부는 상기 레이져 증폭기의 벽(53)에 납땜 또는 용접점들(52, 52',...)에 의해 고정되고, 부재(50)의 상기 평면(54)은 장치(10)를 고정한다. 이전의 도면의 부재(40)에 유사하게, 부재(50) 역시 장치(10)의 상기 요소(16)의 표면을 막지 않는 직경을 갖는 상부 개구부를 구비한다.

용접점들로 상기 벽에 고정되는 금속 와이어의 "골조(cage)"와 같은, 부재(40 또는 50)와 유사한 보유 부재들의 다른 실시예는 당업자에게 자명할 것이다.

제 2 태양에서, 본 발명은 상기 설명된 바와 같은 물 게터 장치를 제조하는 방법에 관한 발명이다.

이 방법은 다음과 같은 단계들을 포함한다:

- 환형 부재에 L-형 프로파일을 제공하고, 그것을 그 평면이 아래를 향하도록, 폐쇄된 바닥을 갖는 적절한 지오메트리의 주형 내로 삽입하는 단계;

- 물 게터 재료 또는 그 전구 물질의 분말을 L-형 프로파일을 갖는 상기 부재에 의해 형성되는 공동 내로 도입하고, 상기 분말을 압착하여, 상기 L-형 부재와 일체를 이루는 압착된 분말로 형성되는 펠릿을 획득하는 단계;

- 상기 펠릿을 뒤집고 상기 펠릿을 폐쇄된 바닥이 상기 펠릿의 직경보다 조금 더 큰 직경을 갖는 원통형 컨테이너 내로 도입하는 단계;

- 상기 펠릿의 직경과 실질적으로 동일한 직경을 갖고, 기체는 투과시키지만 고체 입자들은 보유할 수 있는 금속 요소를 상기 원통형 컨테이너 내로 삽입하여, 그것을 상기 펠릿 위로 놓는 단계; 및

- 기체 투과성 금속 요소 위로 상기 컨테이너 또는 그 일부의 상부 에지를 구부리는 단계.

상기 방법은 도 6 내지 도 8에서 도시된다. 상기 방법의 제 1 단계(도 6의 단면도)에서 상기 L-형 부재(13)는 아래로 향하는 평면을 갖는 주형(60) 내에 삽입되고 그로써 획득되는 구멍은 상기 분말인 물 게터 재료(18)로 정점까지 채워진다. 그 다음에 분말(18)이 적절한 펀치에 의해 압축되고 부재(13)로 단일체를 형성하며, 이로써 그것이 획득된 방향에 대하여 뒤집어진 도 7에 도시되는 펠릿(70)을 제공한다. 펠릿(70)의 기계적인 안정성을 보증하기 위해, 상기 분말(18)은 상기 분말의 점착과 그것의 상기 부재(13)에의 접착을 용이하게 하는 첨가제와 혼합될 수 있다. 재료(18)가 제올라이트인 경우에, 이것은 바람직하게는 점토 등과 같은 무기 화합물인, 소량의 접착물을 더하여 습한 형태로 사용된다. 붕소 산화물이 사용되는 경우에, 이것은 이미 압착성 및 접착 특징을 가지므로, 이것은 펠릿(70)을 제조하기에 적절하고 부가적인 성분을 더할 필요가 없다. 칼슘 산화물과 같은 다른 재료들이 사용될 때, 카올린(kaolin) 등과 같은 무기 접착제에 의하는 것이 필요하다. 재료(18)의 전구 물질로 상기 펠릿을 형성하여, 상기 장치(10)가 준비될 때에 수행될 후속 처리로 물을 흡수하기 위한 활성 재료를 획득하는 것이 또한 가능하다. 예를 들면, 붕소 산화물이 사용되는 경우에, 펠릿(70)은 인용된 유럽 특허 출원 EP-A-960647 호에 따라 상기 완결된 장치 내에서 열적으로 분해되어 상기 산화물을 획득할 수 있는 붕산으로 제조될 수 있다.

도 8은 장치(10)의 제조 방법 중 후속의 중간 단계를 단면으로 도시하는데, 상기 장치는 상기 펠릿(70)을 폐쇄된 바닥(80)을 갖는 원통형 컨테이너 내로 삽입하고 이어서 상기 기체는 투과시키지만 고체 입자들은 유지할 수 있는 요소(16)를 상기 펠릿(70)에 의해 지지되는 상기 컨테이너 내로 삽입하는 단계 이후에 획득된다. 도면에서 도시되는 바와 같이, 상기 펠릿(70)은 그 제조 방향에 대해 뒤집어진 컨테이너(80) 내에 삽입된다. 컨테이너(80)의 높이는 펠릿(70)과 요소(16)의 전체 높이보다 높고, 이로써 컨테이너(80)의 상부 부분(81)이 요소(16)의 상부 표면에 대해 돌출한다. 최종 단계에서 상기 부분(81)이 요소(16) 위로 구부려져서 상기 보유 부재(12)를 형성함으로써, 도 1의 장치(10)를 획득한다. 부분(81)을 구부리기 위해 3 - 4개의 형상 펀치들(shaped punches)의 집합이 일반적으로 사용되고, 그 각각은 90°의 각을 획득할 때까지 부분적인 굽힘을 부분(81)에 제공한다.

본 발명의 장치 및 방법은 이전에 공지된 것에 대해 많은 장점들을 갖는다.상기 장치(10)가 구성됨으로써 공간(17)이 기계적인 작동 단계들로부터 획득되는 부재들로 완전히 밀봉되므로 결과적으로 상기 언급된 바와 같은, 분말들의 완전한 보유를 보증하지 않는 연속적인 선을 따르는 용접을 요하지 않고 용접 거친 부분들로부터 금속 파편들이 발생하지 않도록 할 수 있다. 부재(13)의 존재는 요소(16) 위에서 부분(81)을 구부리는 동안 가해지는 압력을 견디는 숄더(shoulder)를 형성한다: 이것은 전체 구조의 기계적인 변형(작은 치수의 허용 오차가 일반적으로 요구되는 전자 장치에의 응용에 항상 바람직하지는 않은)을 회피하고, 또한 요소(16)에의 압력이 상기 분말에 직접적으로 전달되어 상기 구부리는 단계 동안 상기 컨테이너 밖으로의 상기 분말 자체의 누출을 야기하는 것도 회피한다. 본 발명의 방법은 쉽게 자동화될 수 있는 단지 몇몇의 간단한 단계들만을 요함으로써 작은 크기의 부품들에 대하여 요구되는 매우 높은 정밀도의 복잡한 용접 단계들에 의존하는 것을 피할 수 있는, 상기 장치에 의해 나타나는 장점들을 반영한다. 더욱이, 상기 컨테이너 내로 상기 펠릿(70)을 도입하는 이전의 단계에서(그리고 다른 챔버 내에서) 상기 펠릿(70)을 조립할 때, 상기 컨테이너는 그렇지 않다면 그 외부 벽에 접착되어 상기 증폭기 내로 퍼질 수 있는 흩어진 분말들이 존재하는 대기에 결코 노출되지 않는다.

Claims (16)

1. 레이져 증폭기를 위한 물 게터 장치(10, 10')로서,

   폐쇄된 바닥을 갖고, 위쪽으로 개방되어 있으며, 상부 에지에 기계적 보유 부재를 갖는 원통형의 금속 컨테이너(11, 11');

   상기 컨테이너 내에 삽입되고 그것보다 더 낮은 높이를 갖는 L-형 프로파일과, 상기 컨테이너의 내부 직경보다 조금 작은 외부 직경을 갖는 원통형 표면(14)과, 상기 컨테이너의 내부에 면하는 평면(15)을 갖는 환형 금속 부재(13);

   상기 컨테이너 바닥과 상기 L-형 부재의 원통형 벽으로 공간(17)을 형성하는, L-형 프로파일을 갖는 상기 금속 부재의 평면과 상기 컨테이너의 기계적 보유 요소 사이에 고정되는, 기체는 투과시키지만 고체 입자들은 보유할 수 있는 금속 요소(16); 및

   상기 공간 내에 물 게터 재료(18)를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 컨테이너(11')가 그 바닥에 많은 상승부들(30, 30', 30'')을 갖는 것을 특징으로 하는 장치(10').
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 컨테이너 바닥 상의 상승부들이 3개이고 서로 120°의 각 거리로 위치되는 것을 특징으로 하는 장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 컨테이너가 금속판으로부터의 절단 및 펀칭으로써 제조되는 것을 특징으로 하는 장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   L-형 프로파일을 갖는 상기 환형 부재가 금속판으로부터의 절단 및 펀칭으로써 획득되는 것을 특징으로 하는 장치.
6. 제 1 항에 있어서,

   기체를 투과시키는 상기 금속 요소가 소결된 강철의 다공성 격막인 것을 특징으로 하는 장치.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 다공성 격막이 약 0.5 내지 약 1 ㎛의 크기의 구멍들을 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 물 게터 재료가 순수한 또는 합성의 제올라이트인 것을 특징으로 하는장치.
9. 제 1 항에 있어서,

   상기 물 게터 재료가 붕소 산화물인 것을 특징으로 하는 장치.
10. 레이져 증폭기를 위한 물 게터 장치를 제조하는 방법으로서,

    환형 금속 부재(13)에 L-형 프로파일을 제공하고, 그것을 그 평면(15)이 아래를 향하도록, 폐쇄된 바닥을 갖는 적절한 지오메트리의 주형(60) 내로 삽입하는 단계;

    물 게터 재료(18) 또는 그 전구 물질의 분말을 L-형 프로파일을 갖는 상기 부재에 의해 형성되는 구멍 내로 도입하고, 상기 분말을 압착하여, 상기 L-형 부재와 일체를 이루는 압착된 분말로 형성되는 펠릿(70)을 획득하는 단계;

    상기 펠릿을 뒤집고 상기 펠릿을 폐쇄된 바닥을 갖고 상기 펠릿의 직경보다 조금 더 큰 직경을 갖는 원통형 컨테이너(80) 내로 도입하는 단계;

    상기 펠릿의 직경과 실질적으로 동일한 직경을 갖고, 기체는 투과시키지만 고체 입자들은 보유할 수 있는 금속 요소(16)를 상기 원통형 컨테이너 내로 삽입하여, 그것을 상기 펠릿 위로 놓는 단계; 및

    상기 기체 투과성 금속 요소 위로 상기 컨테이너 또는 그 일부의 상부 에지(81)를 구부리는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
11. 제 10 항에 있어서,

    상기 펠릿이 분말인 붕소 산화물로부터 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
12. 제 10 항에 있어서,

    상기 펠릿이 상기 분말의 점착과 그것의 상기 L-형 부재(13)에의 접착을 강화하는 첨가제와 혼합된 상기 물 게터 재료의 분말로부터 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
13. 제 12 항에 있어서,

    상기 물 게터 재료가 제올라이트이고 상기 첨가제가 물인 것을 특징으로 하는 방법.
14. 제 13 항에 있어서,

    점토가 제올라이트와 물의 혼합물에 부가되는 것을 특징으로 하는 방법.
15. 제 10 항에 있어서,

    상기 펠릿이 분말인 붕산으로 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
16. 제 15 항에 있어서,

    상기 붕산이 상기 최종 장치(10) 내에서 붕소 산화물로 열적으로 분해되는것을 특징으로 하는 방법.