KR200292100Y1 - 웨이퍼플랫존정렬패드 - Google Patents

Abstract

본 고안은 표면에 다수개의 미끄럼 방지용 접촉패드가 설치되며, 상기 접촉패드 위에 웨이퍼를 안착시키어 회전하면서 웨이퍼의 플랫존을 정렬하는 웨이퍼 플렛존 정렬패드에 관한 것으로, 상기 접촉패드는 접착테이프로 부착되어 있어서 마모시 교체가 가능하며, 또한 상기 접촉패드의 표면에 # 형상의 홈이 형성된 것을 특징으로 한다.

Description

웨이퍼 플랫존 정렬패드{WAFER FLAT ZONE ALIGN}

본 고안은 웨이퍼 플랫존 정렬패드에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 플랫존 정렬패드(wafer flat zone align)시, 웨이퍼가 안착되는 부위의 마모 및 결함으로 발생되는 웨이퍼 손상 방지에 적당한 웨이퍼 플랫존 정렬패드에 관한 것이다.

도 1은 종래의 플랫존 정렬패드를 도시한 도면으로, 도 1a는 종래의 웨이퍼 플랫존 정렬패드의 평면도이고, 도 1b는 종래의 웨이퍼 플랫존 정렬패드이 단면도로 이하 첨부된 도면을 참조하여 설명하겠다.

종래의 웨이퍼 플랫존 정렬패드(align pad)는 도 1A 내지 도 1B와 같이, 표면에 다수의 홀(12)이 형성되며, 각각의 홀(12)에는 고무재질로 형성된 다수의 접촉패드(11)가 삽입된다.

이때, 홀(12)은 미끄럼방지용 패드로, 웨이퍼 안착 시 웨이퍼가 미끄러지지 않도록 지지해 준다.

또한, 정렬패드(10)는 그 하부가 회전축과 연결설치되며, 회전축을 구동시키는 구동원인 모터의 작동으로 회전된다.

종래의 웨이퍼 플랫존 정렬패드를 이용하여 웨이퍼 플랫존 정렬과정에 대해 살펴보면, 우선 정렬패드(10) 상에 다수의 홀(12)에 각각 접촉패드(11)를 삽입시킨다.

이어서 정렬패드(10) 상에 웨이퍼(W)를 안착시키는 데, 웨이퍼(W)는 접촉패드(11)에 접촉되면서 안착되는 데, 접촉패드(11)는 웨이퍼(W)를 지지하여 정렬패드(10)상에서 웨이퍼가 이탈되지 않도록 한다.

이때 6인치(inch) 웨이퍼의 플랫존 정렬시 사용되는 웨이퍼 플랫존 정렬패드(10)는 보통 3인치 내외이며, 정렬패드 상에 삽입되는 접촉패드(11)는 그 지름이 5mm 내외이다.

이어서, 웨이퍼가 안착되면 정렬패드(10)는 회전되며, 이때 회전되는 웨이퍼(W)는 정렬패드 상의 일정부위(광센서가 설치된 부위)에 플랫존이 위치하게 되면 광센서에서 플랫존 위치에 광을 쏘며 수광부에서 광이 검출되면 웨이퍼 플랫존 정렬된 것으로 간주된다.

그러나, 종래의 웨이퍼 플랫존 정렬패드 상에 형성된 접촉패드는 고무재질로쉽게 마모되기 쉽다. 그러므로, 여러 차례의 웨이퍼 플랫존 작업 진행 시, 접촉패드의 마모로 인하여 웨이퍼가 정렬패드 상에서 이탈되어 웨이퍼가 손상되는 경우가 종종 발생된다.

따라서, 본 고안은 상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 고안의 목적은 웨이퍼가 접촉되는 접촉패드를 접착테이프로 부착할 수 있는 웨이퍼 플랫존 정렬패드를 제공하는데 있다.

도 1a 내지 도 1b는 종래의 웨이퍼 플랫존 정렬패드의 평면도 및 단면도

도 2a 내지 도 2b는 본 고안의 웨이퍼 플랫존 정렬패드의 평면도 및 단면도

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10, 100 : 웨이퍼 플랫존 정렬패드 11, 111 : 접촉패드

12 : 홀 113 : 접착테이프

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 웨이퍼 플랫존 정렬패드는,

표면에 다수개의 미끄럼 방지용 접촉패드가 설치되며, 상기 접촉패드 위에 웨이퍼를 안착시키어 회전하면서 웨이퍼의 플랫존을 정렬하는 웨이퍼 플랫존 정렬패드에 있어서, 상기 접촉패드는 접착테이프로 부착되어 있어서 마모시 교체가 가능하며, 또한 상기 접촉패드의 표면에 # 형상의 홈이 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 접촉패드는 실리콘 재질로 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 접촉패드는 직경을 5~10mm로 형성한 것을 특징으로 한다.

(실시예)

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 일실시예에 대해 상세히 설명하기로 한다.

도 2a 내지 도 2b는 본 고안의 웨이퍼 플랫존 정렬패드를 도시한 도면으로 도 2a는 본 고안의 웨이퍼 플랫존 정렬패드의 평면도이고, 도 2b는 본 고안의 웨이퍼 플랫존 정렬패드의 단면도이다.

본 고안의 웨이퍼 플랫존 정렬패드는 도 2A 내지 도 2B를 참조하면, 원판형상으로 표면에는 다수의 접촉패드(111)가 접착테이프(113)에 의해 고정되며, 접촉패드가 형성된 면에는 웨이퍼(W')가 안착된다.

그리고, 정렬패드, 웨이퍼가 안착된 면의 반대면인, 배면은 회전축과 연결설치되고 회전축은 구동축을 통하여 연결되며 회전축을 회전시키는 구동원이 모터와 연결된다.

따라서, 모터의 구동으로 회전축이 회전하게 되고, 회전축과 연결설치된 정렬패드(100)가 회전된다.

그리고, 접촉패드 상에는 수직방향과 수평방향으로 다수의 직선이 교차하는 형상인 #의 홈이 형성되어 있어, 웨이퍼 안착 시, # 형상의 홈이 스크래치로 작용하여 웨이퍼와의 접촉력을 향상시키어 정렬패드 상에서 보다 안정적으로 고정시키어 준다.

본 고안의 웨이퍼 플랫존 정렬패드(100)를 이용하여 웨이퍼 플랫존 정렬을 살펴보면 우선 접착테이프(113)를 이용하여 다수의 접촉패드를 정렬패드 상의 여러부위에 부착시킨다.

이어서, 정렬패드 상에 웨이퍼(W')를 안착시키는 데, 이때 웨이퍼는 정렬패드(100)상의 접촉패드(111)와 접촉된다.

이때, 6인치(inch) 웨이퍼의 플랫존 정렬시 사용되는 웨이퍼 플랫존 정렬패드(100)는 보통 3인치 내외이며, 정렬패드 상에 삽입되는 접촉패드(111)는 그 지름이 5~10mm 내외이다.

그리고, 웨이퍼(W')가 안착되면 정렬패드(100)는 회전되며, 이때 정렬패드상에 형성된 접촉패드(111)가 웨이퍼(W')를 지지하여 정렬패드 상에서 웨이퍼가 이탈되지 않도록 한다.

이때, 회전되는 웨이퍼는 정렬패드(100) 상의 광센서가 위치된 일정부위에 플랫존이 위치하게 되면 광센서에서 웨이퍼플랫존 위치에 광을 쏘며, 이때 수광부에서 광이 검출되면 웨이퍼 플랫존이 정렬된 것으로 간주된다.

그리고, 수차례에 웨이퍼 플랫존 정렬작업 진행시, 정렬패드 상에 접촉패드가 마모되었을 때에는 정렬패드에서 마모된 접촉패드만을 새것으로 교체한다.

이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 정렬패드 일부위의 미끄럼방지용 접촉패드가 마모됨에 따라 정렬패드 전체를 교체해야 하는 종래의 정렬패드와는 달리, 본 고안의 웨이퍼 플랫존 정렬패드는 접촉패드를 부착식으로 하여 마모된 부위만을 교체 가능하도록 함으로써, 비용을 절감하는 효과가 있다.

기타, 본 고안은 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.

Claims (3)

1. 표면에 다수개의 미끄럼 방지용 접촉패드가 설치되며 상기 접촉패드위에 웨이퍼를 안착시켜 회전하면서 상기 웨이퍼의 플랫존을 정렬하는 웨이퍼 플랫존 정렬패드에 있어서,

   상기 접촉패드는 접착테이프로 부착되어 있어서 마모시 교체가 가능하며, 또한 상기 접촉패드의 표면에 # 형상의 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫존 정렬패드.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 접촉패드는 실리콘 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫존 정렬패드.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 접촉패드는 직경을 5~10mm로 형성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫존 정렬패드.