KR200280368Y1 - Installing structure of frequency element of supersonic waves washer - Google Patents

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KR200280368Y1 KR2020020011083U KR20020011083U KR200280368Y1 KR 200280368 Y1 KR200280368 Y1 KR 200280368Y1 KR 2020020011083 U KR2020020011083 U KR 2020020011083U KR 20020011083 U KR20020011083 U KR 20020011083U KR 200280368 Y1 KR200280368 Y1 KR 200280368Y1
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Abstract

본 고안은 초음파 세척기의 진동소자 설치 구조에 관한 것으로, 종래 단일 주파수에 의한 것이 아니라 복합주파수를 발생 가능한 구조로 진동소자를 설치하여 그 세정 효과를 더욱 높히도록 한 것으로, 그 주요 구성은 진동판(1)에 각각 다른 주파수를 갖는 제1,2 진동소자(3,4)를 순차 하나 걸러 하나씩 고정 설치한 것을 특징으로 하며, 상기한 제 1,2 진동소자(3,4)는 진동판(1)에 가로,세로로 순차 나란히 형성한 것을 특징으로 하며, 상기한 제 1,2 진동소자(3,4)는, 가로로 제 1 및 제 2 진동소자(3,4)를 번갈아 나란히 형성하고, 그 아래로는 상기한 앞선 열의 제 1 및 제 2 진동소자(3,4) 사이에 제1,2진동소자(3,4)를 가로로 연속하여 형성한 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a vibration device installation structure of the ultrasonic cleaner, it is not by the conventional single frequency to install a vibration device in a structure capable of generating a complex frequency to further increase the cleaning effect, the main configuration of the vibration plate (1 The first and second vibrating elements (3,4) having a different frequency in each of the (1), characterized in that one by one fixed to install one by one, the first and second vibrating elements (3,4) is a diaphragm (1) The first and second vibration elements 3 and 4 alternately form the first and second vibration elements 3 and 4 side by side alternately, and below the first and second vibration elements 3 and 4. The furnace is characterized in that the first and second vibration elements 3 and 4 are continuously formed horizontally between the first and second vibration elements 3 and 4 in the foregoing row.

Description

초음파 세척기의 진동소자 설치 구조{INSTALLING STRUCTURE OF FREQUENCY ELEMENT OF SUPERSONIC WAVES WASHER}INSTALLING STRUCTURE OF FREQUENCY ELEMENT OF SUPERSONIC WAVES WASHER}

본 고안은 반도체 및 일반 산업 분야에서 널리 사용하는 초음파 세척기에 관한 것으로, 특히 초음파 세척기의 진동소자 설치 구조에 관한 것이다The present invention relates to an ultrasonic cleaner widely used in the semiconductor and general industrial fields, and more particularly to a vibration device installation structure of the ultrasonic cleaner.

초음파 진동소자는 단일 주파수를 구성하고 있으며, 초음파 세척기, 플라스틱 접착기, 어군탐지기, 의료장비 등에 많이 사용되어 오고 있다.Ultrasonic vibrating element constitutes a single frequency, and has been widely used in ultrasonic cleaners, plastic adhesives, fish detectors, and medical equipment.

특히 초음파 세척기는 28,40,50,70,100KHz의 진동소자가 사용되고 있으며, 그 진동소자의 형태는 원형 및 블록형으로 나온 것이 있으며 상기한 바와 같이 단일 주파수로 기계적 공진을 일으킨다.In particular, the ultrasonic cleaner uses a vibration element of 28, 40, 50, 70, 100 KHz, and the vibration element has a circular and block shape, which causes mechanical resonance at a single frequency as described above.

종래의 단일 주파수 방식은 세정조 내에서 초음파가 불균일하게 되고 수심변동에 따라 전체적으로 출력이 민감하게 변하는 단점이 있다.The conventional single frequency method has a disadvantage in that ultrasonic waves are non-uniform in the cleaning tank and the output changes sensitively as the water depth fluctuates.

본 고안은 이러한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 본 고안의 목적은, 기존 진동소자의 단일형 주파수 대신 주파수가 상이한 2 개의 진동소자를 병렬로 설치하여 종진동, 횡진동을 포함한 복합진동을 일으키도록 하여 다양한 초음파를 동시주파수로 만들어 낼 수 있도록 하여 출력이 균일하고 세정 효과를 더욱 크게 발휘할 수 있게 한 것이다The present invention was devised to solve such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a complex vibration including longitudinal vibration and lateral vibration by installing two vibration elements having different frequencies in parallel instead of a single frequency of an existing vibration element. It is able to produce various ultrasonic waves at the same frequency, so that the output is uniform and the cleaning effect can be more exerted.

도 1a 는 본 고안에 따른 진동소자의 설치를 보여 주는 평면 상태도Figure 1a is a plan view showing the installation of the vibration device according to the present invention

도 1b 는 도 1a 의 다른 실시예FIG. 1B is another embodiment of FIG. 1A

도 2 는 진동소자의 설치 상태를 보여 주는 측면 구성도Figure 2 is a side configuration diagram showing the installation state of the vibrating element

도 3 은 본 고안에 따른 초음파 세척기의 다른 적용 예시도3 is another application example of the ultrasonic cleaner according to the present invention

상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안의 주요 구성은, 진동판(1)에 각각 다른 주파수를 갖는 제1,2 진동소자(3,4)를 순차 하나 걸러 하나씩 고정 설치한 것을 특징으로 하며, 상기한 제 1,2 진동소자(3,4)는 진동판(1)에 가로,세로로 순차 나란히 형성한 것을 특징으로 하며, 상기한 제 1,2 진동소자(3,4)는, 가로로 제 1 및 제 2 진동소자(3,4)를 번갈아 나란히 형성하고, 그 아래로는 상기한 앞선 열의 제 1 및 제 2 진동소자(3,4) 사이에 제1,2진동소자(3,4)를 가로로 연속하여 형성한 것을 특징으로 한다.The main constitution of the present invention for achieving the above object is characterized in that the first and second vibrating elements (3,4) having a different frequency to each of the diaphragm (1) in order one by one fixed installation, The first and second vibrating elements 3 and 4 are formed on the diaphragm 1 side by side in a horizontal and vertical order, and the first and second vibrating elements 3 and 4 are arranged in the horizontal direction. Alternately forming second vibrating elements 3,4, and below the first and second vibrating elements 3,4 between the first and second vibrating elements 3,4 in the preceding row. It characterized in that formed continuously.

상기한 특징 외의 다른 특징 및 구성에 대하여 이하, 첨부 도면과 함께 상술한다.Other features and configurations other than those described above will be described below in conjunction with the accompanying drawings.

먼저 본 고안에서 사용되는 진동소자는 바람직하기로는 BLT 진동소자(bolt clamped langevin type transducer) 즉, 볼트 조임 란즈방형 진동자를 사용한다.First, the vibrating element used in the present invention preferably uses a BLT vibrating element (bolt clamped langevin type transducer), that is, a bolt tightening lance square vibrator.

이는 고출력용으로 개발된 것으로 압전 세라믹을 채택 사용하고 있다It is developed for high power and uses piezoelectric ceramic.

고출력용 압전 세라믹은 고감도로 대진폭 특성이 우수하고 파워로드 및 부하에 대한 변화가 적은 특성이 있다. 이러한 특징을 살린 BLT 진동소자는 온도, 압력, 파워 및 부하 변동에 대하여 안정된 초음파를 발생시킨다.High-power piezoelectric ceramics have high sensitivity, high amplitude characteristics, and low power load and load variations. BLT vibration device utilizing this feature generates stable ultrasonic wave against temperature, pressure, power and load fluctuation.

본 고안에서 사용되는 BLT 진동소자에는 이하에서 설명하는 바와 같이 볼트에 의하여 고정하거나 또는 소정의 홈을 만들어 볼트 없이 접착 고정하여 진동소자의 강도를 최대로 높일 수도 있다As described below, the BLT vibration device used in the present invention may be fixed by bolts or by making a predetermined groove to be adhesively fixed without bolts to increase the strength of the vibration device to the maximum.

도 1a 및 1b 는 본 고안에 따라 진동소자를 진동판(1)에 설치한 평면 상태도 이고, 도 2 는 도 1a 의 평면 설치 상태에 대하여 측면에서 본 도면이다.1A and 1B are planar state diagrams in which the vibrating element is installed on the diaphragm 1 according to the present invention, and FIG. 2 is a side view of the planar installation state of FIG. 1A.

도시한 바와 같이, 진동판(1)에 제 1진동소자(3) 및 제 2 진동소자(4)를 하나 건너서 나란히 설치한다.As shown, the first vibrating element 3 and the second vibrating element 4 are provided side by side across the diaphragm 1.

도 1a 의 경우는 소자들을 가로,세로 라인을 맞추어 설치하고, 도 1b 의 경우는 하나의 열 사이사이에 끼워 설치하는 식으로 설치한다.In the case of FIG. 1A, elements are installed in line with each other horizontally and vertically, and in FIG. 1B, the elements are sandwiched between one column.

그러면 동일한 진동판(1)의 면적 상이라면 앞선 도 1a 의 예보다 더 조밀하게 많이 설치할 수 있다.Then, if it is on the area of the same diaphragm 1 can be installed more denser than the example of FIG.

도 1 a 와 같은 배열은 출력분포가 넓게 출력된다. 즉, 적은 갯수로 넓게 출력되게 설치할 수 있고, 도 1b 와 같은 분포는 더욱 조밀하게 진동소자를 배열할 수 있어서 출력이 강한 장점이 있다In the arrangement as shown in FIG. 1A, the output distribution is widely output. That is, it can be installed to be output in a small number widely, the distribution as shown in Figure 1b has the advantage that the output is strong because the vibration elements can be arranged more densely

이 진동소자의 배열 갯수는 용량에 따라, 다시말해 용량이 몇 W 이냐에 따라 갯수를 다르게 배열할 수 있다.The number of arrays of the vibration elements can be arranged differently depending on the capacity, that is, how many W the capacity is.

진동소자의 고정은 진동판(1)에 볼트(2)를 삽입 고정한 후, 제1 진동소자(3)와 제 2 진동소자(4)를 순차적으로 나사식으로 돌려서 결합시킨다.The fixing of the vibrating element inserts and fixes the bolt 2 to the diaphragm 1, and then sequentially couples the first vibrating element 3 and the second vibrating element 4 by screwing them.

또는 소정의 홈을 만들어 볼트 없이 진동소자를 접착 고정하여 진동소자의 강도를 최대로 높일 수도 있다Alternatively, a predetermined groove may be made to adhesively fix the vibrating element without a bolt to increase the strength of the vibrating element to the maximum.

제 1 진동소자(3)는 강한 것, 예들들어, 28 KHz 사용하고 다른 제 2 진동소자(4)는 약한 것, 예들들어, 40KHz 와 같이 두가지를 사용한다.The first vibrating element 3 uses a strong one, for example 28 KHz and the other second vibrating element 4 uses a weak one, for example 40 KHz.

28KHz 는 출력이 강한 장점이 있고, 40KHz 는 균일한 세척이 가능한 장점이 있다28KHz has a strong output and 40KHz has the advantage of uniform washing.

여기서, 세정할 대상 물체, 즉 세정물은 주로 고체인 바, 고체의 경우는 강성이 있으므로 소밀파(종파) 이외에 편파(횡파)도 발생하며 이들의 경계면, 예들들어 세정물의 측면에 충돌할 때마다 종파에서 횡파로 이행하므로 그에 따라 종진동과 횡진동이 동시에 발생한다.Here, the object to be cleaned, i.e., the cleaning material is mainly solid, and since the solid is rigid, polarization (lateral wave) is generated in addition to the small wave (long wave). Transition from transverse to transverse waves causes longitudinal and transverse vibrations to occur simultaneously.

상기한 구성에 의하면, 제 1,2 진동소자(3,4)에 전원 공급하면 각기 다른 주파수의 초음파가 발생하여 각각 다른 진동수의 기계적인 진동을 일으켜서 그에 따라 진동부에 여러가지 주파수 공진을 일으켜 종파 및 횡파의 진동 파형이 일정한 강한 초음파를 발생시켜 이를 세정조에 전달하여 세정 대상물에 대하여 양호한 세정 효과를 낸다.According to the above configuration, when power is supplied to the first and second vibrating elements 3 and 4, ultrasonic waves of different frequencies are generated to generate mechanical vibrations of different frequencies, thereby causing various frequency resonances in the vibrating unit to produce longitudinal waves and A strong ultrasonic wave having a constant vibration waveform of the shear wave is generated and transmitted to the cleaning tank, thereby producing a good cleaning effect on the cleaning object.

도 3 은 본 고안에 따른 또 다른 실시예를 보여준다.3 shows another embodiment according to the present invention.

본 실시예에서는 세정조(10) 내에 또 하나의 제 2 세정조(11)가 구성되었다.In the present embodiment, another second cleaning tank 11 is formed in the cleaning tank 10.

이와 같이 구성시키는 이유는, 황산 등과 같은 용제를 사용하여 세정물을 세정 작업하여야 하는 경우, 세정조(10)에 직접 황산 등을 투입하면 세정조(10)의 손상이 오므로, 세정조(10)에는 물등과 같은 전달유체를 넣고, 황산에 강한 재질의 제2세정조(11)를 별도로 만들어서 이 제2세정조(11) 내에 황산 등을 담그어서 세정이 이루어지게 하기 위한 것이다. 제2세정조(11)는 테프론 등의 플라스틱으로 만들면 바람직하다The reason for this configuration is that when sulfuric acid or the like is directly washed into the cleaning tank 10 when the cleaning product is to be cleaned using a solvent such as sulfuric acid, the cleaning tank 10 is damaged. ), A transfer fluid such as water, etc. is added, and a second washing tank 11 made of a material resistant to sulfuric acid is separately prepared so that sulfuric acid or the like is immersed in the second washing tank 11 so as to be cleaned. The second cleaning bath 11 is preferably made of plastic such as Teflon.

본 고안에서는 각기 다른 두 주파수를 동시 사용함으로 인하여 그 출력이 강해지므로 간접 세정 즉, 물이나 유기용제가 들어가는 세정조(10) 안에 다른 제2세정조(11)들 넣어서 녹제거 등의 세정 작업을 할 수 있다In the present invention, since the output becomes stronger by using two different frequencies at the same time, indirect cleaning, that is, cleaning operations such as rust removal by putting other second cleaning tanks 11 into the cleaning tank 10 containing water or organic solvent. can do

이상과 같은 본 고안에 의하면 이중 주파수의 발생으로 세정 효과를 매우 크게 높일 수 있는 장점이 있다According to the present invention as described above there is an advantage that can greatly increase the cleaning effect by the generation of a double frequency.

또한 본 고안에 의하면 세정조 내에서 초음파가 균일하게 되고 수심변동에 큰 변화 없이 전체적으로 출력이 골고루 이루어지는 장점이 있다In addition, according to the present invention, there is an advantage that the ultrasonic waves are uniform in the cleaning tank and the output is uniformly distributed without significant change in the water depth fluctuation.

또한 본 고안에 의하면 강한 주파수에 의하여, 이중으로 세정조를 만들어도 세정이 가능한 장점이 있어서, 원세정조의 손상 없이 강한 산성물질 등으로 녹제거 작업 등을 용이하게 할 수 있다In addition, according to the present invention, there is an advantage that the washing can be performed even by making a double washing tank by a strong frequency, and thus, rust removal work can be easily performed with a strong acidic substance without damaging the raw washing tank.

또한 본 고안에 의하면 종진동, 횡진동을 포함한 복합진동을 발생시킬 수 있어서 다양한 초음파를 동시주파수로 만들어 낼 수 있도록 하여 출력이 균일하고 세정 효과를 더욱 크게 발휘할 수 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to generate multiple vibrations including longitudinal vibration and lateral vibration, so that various ultrasonic waves can be generated at the same frequency so that the output is uniform and the cleaning effect can be more exerted.

Claims (3)

진동판(1)에 각각 다른 주파수를 갖는 제1,2 진동소자(3,4)를 순차 하나 걸러 하나씩 고정 설치한 것을 특징으로 하는 초음파 세척기의 진동소자 설치 구조Vibration element mounting structure of the ultrasonic cleaner, characterized in that fixed to the diaphragm 1, the first and second vibrating elements (3, 4) each having a different frequency one by one 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기한 제 1,2 진동소자(3,4)는 진동판(1)에 가로,세로로 순차 나란히 형성한 것을 특징으로 하는 초음파 세척기의 진동소자 설치 구조The first and second vibrating elements 3 and 4 are installed on the diaphragm 1 side by side in the horizontal and vertical order to install the vibrating element of the ultrasonic cleaner. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기한 제 1,2 진동소자(3,4)는, 가로로 제 1 및 제 2 진동소자(3,4)를 번갈아 나란히 형성하고, 그 아래로는 상기한 앞선 열의 제 1 및 제 2 진동소자(3,4) 사이에 제1,2진동소자(3,4)를 가로로 연속하여 형성한 것을 특징으로 하는 초음파 세척기의 진동소자 설치 구조The first and second vibrating elements 3 and 4 described above alternately form the first and second vibrating elements 3 and 4 side by side, and below the first and second vibrating elements in the foregoing row. Vibration element mounting structure of the ultrasonic cleaner, characterized in that the first and second vibrating elements (3,4) formed horizontally continuous between (3,4)
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