KR200252980Y1 - 레이저 미세패턴 수정기기의 자동초점 장치 - Google Patents

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Abstract

본 고안은 LCD, PDP소자의 미세패턴을 수정하는 레이저 수정기기의 자동초점 (Auto Focus)에 관한 분야로서 종래의 시스템은 패턴(Pattern) 검사시 작업대상물 및 평판작업대의 평탄도의 불균일에 대해 대응력이 떨어지고 제품의 품질저하를 초래하였으나 본 고안에 의한 장치는 XYZ(가로·세로·상하)로보트의 상하구동축에 레이저 변위센서 및 검사용 카메라를 탑재하여 작업대상과 카메라간의 정확한 거리를 측정하여 실시간으로 초점을 조정함으로서 레이저 수정기기의 결함에 대한 검출능력을 향상시키고 공정의 신뢰성을 확보하여 제품의 품질향상에 크게 기여한다고 할 수 있겠다.

Description

레이저 미세패턴 수정기기의 자동초점 장치{AUTO FOCUSING UNIT IN LASER PATTERN REPAIR MACHINE}
본 고안은 LCD, PDP소자의 미세 패턴(Pattern)의 단락(Open)/개방(Short) 결함을 수정(Repair)하는 기기의 자동초점(Auto Focus)에 관한 분야로서 종래의 시스템은 패턴(Pattern) 검사시 작업대상물 및 평판작업대의 평탄도 불균일에 대해 대응력이 떨어져 카메라 초점(Focus)의 오차가 발생하고, 결함에 대한 분별력이 떨어져 제품의 품질저하를 초래하였음.
본 고안은 위에서 언급한 문제점을 개선하고자 안출된 것으로 도2 에서 보는 바와 같이 비젼(Vision) 검사시 초점 조정을 위해 XYZ(가로·세로·상하)로보트를 사용하고, 레이저 변위센서(④)를 통하여 작업대상과 카메라간의 거리를 측정하며(⑫), 측정된 거리와 기준거리간의 편차를 계산하여 편차값만큼 상하(Z)구동축을 이동하여 카메라의 초점을 조정한다. 또한 로보트가 가로·세로축을 이동시 실시간으로 초점거리를 계산하여 조정할 수 있도록 소프트웨어를 구성한다.
도1은 본 고안에 따른 장치의 정면도
도2는 본 고안에 따른 장치의 부분상세도
본 고안은 레이저(Laser) 미세패턴(Pattern) 수정기기의 비젼(Vision)검사시 카메라의 자동초점을 위한 장치로서 비젼(Vision)검사를 위한 검사용카메라(②)와 육안검사를 위한 재검사카메라(Review Camera ⑪) 그리고 카메라의 초점조정을 위해 상하(Z)구동축(①)과 작업대상(⑨)과의 거리측정을 위한 레이저 변위센서(④)로 구성한 것을 그 특징으로 한다. 이하 본 고안의 세부구조를 살펴보면 도1은 본 고안에 따른 레이저(Laser) 미세패턴(Pattern) 수정기기를 도시한 것으로, 상하구동축은(①) 엘엠과 볼스크류(Ball Screw)로 구성되며 그 전면부에 검사용카메라(②)와 재검사카메라(Review Camera ⑪), 검사용 조명(반사⑤, 동축③), 레이저변위센서 (④)로 구성한다. 또한, 가로구동축(⑦)과 세로구동축(⑧)은 엘엠과 볼스크류 (Ball Screw) 형태로 구성되고, 가로구동축 상부에 상하구동축(①)과 레이저 수정장치(Repair Unit ⑥)가 탑재되어 있다. 이상의 구성으로 본 고안의 바람직한 실시의 예를 설명하면, 비젼(Vision)검사시 먼저 XYZ로보트를 검사위치로 이동하고 카메라초점을 조정하기 위해 레이저변위센서(④)로 작업대상(⑨) 까지의 거리를 측정하며 측정된 거리값(⑫)과 실제 기준거리값과의 차이를 계산하여 그 편차만큼 상하구동축(①)을 이동하여 검사용카메라와 작업대상(⑨)과의 초점을 조정할 수 있으며 가로·세로축을 이동시마다 실시간(Real Time)으로 초점거리를 계산하여 초점을 조정할 수 있다.
상기와 같은 본 자동초점(Auto Focus)장치는 PDP소자의 패턴검사에만 적용되는 것이 아니고 유사한 모든 비젼검사 장치에 적용할 수 있으며, 기존의 패턴 수정기기에 자동초점(Auto Focus)장치를 추가 구성한 시스템은 패턴 검사시 결함검출의 오차를 최소화하여 결함의 검출 능력을 향상시킬 수 있을 뿐 아니라 공정의 신뢰성을 확보하여 생산성과 품질향상에 큰 효과를 볼 수 있다.

Claims (1)

  1. LCD, PDP 소자의 레이저 미세패턴 수정기기의 미세패턴 검사를 위해 검사대상물의 불균일한 평탄도에도 대응할 수 있도록 상하구동축에 검사카메라와 레이저변위센서를 탑재하여 자동초점을 이룰 수 있는 장치를 구성하는 것을 특징으로 하는 레이저 미세패턴 수정기기
KR2020010022499U 2001-07-25 2001-07-25 레이저 미세패턴 수정기기의 자동초점 장치 KR200252980Y1 (ko)

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