KR200244981Y1

KR200244981Y1 - apparatus for picking up a semiconductor chip

Info

Publication number: KR200244981Y1
Application number: KR2020010015099U
Authority: KR
Inventors: 이희원
Original assignee: 한국씨엔씨공업 (주)
Priority date: 2001-05-23
Filing date: 2001-05-23
Publication date: 2001-10-29

Abstract

본 고안은 반도체 칩 픽업장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor chip pickup device.

본 고안의 픽업장치는 제 2로드(21)를 통하여 패드(24)에 부압을 제공하기 위한 부압용 포트(25)가 제 1로드(17)를 보유한 실린더 상에 구비되어 있어, 픽업장치의 크기나 중량이 감소되어 제조비용이 감소되었고, 협소한 공간에서의 픽업작업을 가능하게 한다.The pickup device of the present invention is provided with a negative pressure port 25 for providing a negative pressure to the pad 24 through the second rod 21 on a cylinder having the first rod 17, thereby reducing the size of the pickup device. However, due to the reduced weight, the manufacturing cost is reduced, allowing for pick-up in a narrow space.

Description

Apparatus for picking up a semiconductor chip}

본 고안은 반도체 칩 등의 워크를 부압에 의해 흡인하고, 실린더의 구동력에 픽업하는 픽업장치에 관한 것이다.The present invention relates to a pick-up apparatus for sucking a workpiece such as a semiconductor chip under negative pressure and picking up a driving force of a cylinder.

종래의 픽업장치는, 실린더의 로드의 선단에 워크에 맞닿는 패드를 구비하고, 로드를 소정의 스트로크로 돌출시키는 것에 의해 패드를 워크에 맞닿음시키고, 로드와 패드의 중공부를 통하여 부압을 공급하는 것에 의해 워크를 흡인하고, 로드를 소정의 스트로크로 인입하는 것에 의해 워크를 픽업하도록 되어 있다. 그리고, 이와 같은 픽업장치는, 로드의 스트로크 엔드에서 패드의 워크에 대한 충돌을 완화하는 완충 기구를 갖추고 있다.The conventional pick-up apparatus is provided with a pad which is in contact with the work at the tip of the rod of the cylinder. It picks up a workpiece | work by attracting a workpiece | work and drawing a rod in a predetermined stroke. Such a pickup device is provided with a shock absorbing mechanism for alleviating the collision of the pad with the workpiece at the stroke end of the rod.

예를 들면, 종래의 픽업장치는 제 1로드를 보유한 실린더와, 패드를 선단에 갖추고 상기 제 1로드와 평행하게 이동하는 제 2로드와, 상기 제 1로드의 구동력을 상기 제 2로드에 전달하는 전달 수단과, 상기 제 2로드의 상기 워크에 대한 충돌을완화하는 완충 수단을 갖추고, 상기 패드에 부압을 공급하는 공급 수단을 갖추고 있다.For example, a conventional pick-up apparatus includes a cylinder having a first rod, a second rod having a pad at its tip, and moving in parallel with the first rod, and transmitting a driving force of the first rod to the second rod. And a transmission means and a cushioning means for alleviating the collision of the second rod against the work, and a supplying means for supplying negative pressure to the pad.

하지만, 상기한 종래의 픽업장치는 상기 제 1로드를 왕복이동시키기 위한 로드측 포트 및 실린더 헤드측 포트, 그리고 상기 제 2로드를 통하여 상기 패드에 부압을 제공하기 위한 부압용 포트를 상기 제 1로드를 보유한 실린더 외측에 구비하고 있어, 픽업장치 본체의 크기나 중량이 커져서 제조비용이 증대되고, 협소한 공간에서의 픽업작업에 제한을 받게되어 있다.However, the conventional pickup apparatus includes a rod side port and a cylinder head side port for reciprocating the first rod, and a negative pressure port for providing a negative pressure to the pad through the second rod. Is provided on the outer side of the cylinder, the size and weight of the pickup apparatus main body is increased, the manufacturing cost is increased, and the pick-up operation in a narrow space is limited.

본 고안은 상기된 문제점을 해소하고자 안출된 것으로서, 제 2로드를 통하여 상기 패드에 부압을 제공하기 위한 부압용 포트를 상기 제 1로드를 보유한 실린더 상에 구비하고 있는 픽업장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a pickup device having a negative pressure port for providing a negative pressure to the pad through a second rod on a cylinder having the first rod. do.

도 1은 본 고안에 따른 픽업장치의 횡단면도,1 is a cross-sectional view of a pickup device according to the present invention,

도 2는 도 1의 좌측면도.2 is a left side view of FIG. 1;

본 고안은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 하우징의 좌단면에 배치되어 있는 픽업용 로드측 포트, 실린더 헤드측 포트, 부압용 포트, 구동용 로드; 상기 하우징 상부에 형성되어 있는 실린더 관의 내부에 배치되어 있고, 서로 연통하는 중공부와 관통구멍을 각각 가지고 있고 서로 일체인 픽업용 중공 로드 및 피스톤; 부압원에 접속된 관통구멍이 형성된 헤드부 및 상기 헤드부에 일체로 연결되고 상기 중공부에 일부가 삽입되는 부압용 관을 구비하고 있고, 그리고 상기 실린더 관 내에 고정 배치되어 있는 플러그; 상기 피스톤과 상기 플러그의 헤드부 사이에 압력공기를 공급 또는 배출시키기 위해 헤드측 픽업용 포트와 연통하는 제 1통로; 상기 피스톤 내에 배치되어 상기 플러그의 부압용 관과 상기 피스톤의 관통구멍 사이의 공간을 밀봉하는 Y자형 패킹; 실린더 관 내부의 로드 측에 대하여 압력공기를 공급 또는 배출하는 로드측 픽업용 포트와 연통하는 제 2통로; 상기 하우징의 하부의 공간 내에 2개의 부싱에 의해 좌우 방향으로 미끄럼 이동가능하게 지지되어 있는 구동용 로드; 상기 픽업용 로드의 선단 부근과 상기 구동용 로드의 선단부근을 끼워맞춤식으로 결합하고 있는 스토퍼 받이부; 상기 픽업용 로드와 상기 구동용 로드를 미끄럼 이동가능하게 장착하고 있고, 상기 픽업용 로드 측 선단에 패드를 부착하고 있는 브래킷; 그리고 상기 하우징과 상기 스토퍼 받이부 사이에 배치되어 있는 댐퍼 및 상기 스토퍼 받이부와 상기 브래킷 사이에 배치되어 있는 스프링을 포함하는 것으로 되어 있다.The present invention to achieve the above object, the rod side port for pickup, the cylinder head side port, the negative pressure port, the driving rod is disposed on the left end surface of the housing; A hollow rod and a piston for pickup disposed in the cylinder tube formed on the housing and having a hollow portion and a through hole communicating with each other and integral with each other; A plug having a head portion having a through hole connected to the negative pressure source, and a negative pressure tube integrally connected to the head portion and partially inserted into the hollow portion, and fixedly disposed in the cylinder tube; A first passage communicating with a head-side pickup port for supplying or discharging pressure air between the piston and the head portion of the plug; A Y-shaped packing disposed in the piston to seal a space between the negative pressure pipe of the plug and the through hole of the piston; A second passage communicating with a rod-side pickup port for supplying or discharging pressure air to the rod side in the cylinder tube; A driving rod which is slidably supported in the left and right directions by two bushings in a space below the housing; A stopper receiving portion for fittingly engaging the vicinity of the tip of the pick-up rod with the tip of the drive rod; A bracket for slidingly mounting said pick-up rod and said drive rod, said pad being attached to a tip of said pick-up rod side; And a damper disposed between the housing and the stopper receiver, and a spring disposed between the stopper receiver and the bracket.

본 고안은 도 1 및 도 2에 도시한 실시예에 근거하여 상세히 설명된다.The present invention is described in detail based on the embodiment shown in Figs.

도 1은 실시예의 종단면도, 도 2는 좌측면도이다. 대략 각이진 통형의 하우징(11)은 도 2에 도시된 바와 같은 좌단면(12a)을 갖고 있다. 상기 좌단면(12a)에는 픽업용 로드측 포트(19), 실린더 헤드측 포트(20), 부압용 포트(25), 구동용 로드(21)가 배치되어 있다. 상기 하우징(11) 상부에는 실린더가 구성되어 있고, 실린더 관(15)의 내부에 피스톤(16)이 미끄럼 이동가능하게 배치되고, 이 피스톤(16)에는 소정의 스트로크를 갖는 픽업용 중공 로드(17)가 일체로 형성되어 있다. 그리고, 상기 피스톤(16)에는 상기 중공 로드(17)의 중공부(17a)와 연통하는 관통구멍(16a)이 형성되어 있다.1 is a longitudinal cross-sectional view of an embodiment, and FIG. 2 is a left side view. The substantially angled cylindrical housing 11 has a left end face 12a as shown in FIG. On the left end surface 12a, a rod side port 19 for pickup, a cylinder head side port 20, a negative pressure port 25, and a driving rod 21 are arranged. A cylinder is formed above the housing 11, and a piston 16 is slidably disposed inside the cylinder tube 15, and the piston 16 has a predetermined hollow rod 17 having a predetermined stroke. ) Is integrally formed. The piston 16 is formed with a through hole 16a in communication with the hollow portion 17a of the hollow rod 17.

그리고, 좌단면(12a)에는, 실린더 관(15) 내부의 픽업용 로드(17) 측에 대하여 압력공기를 공급 또는 배출하는 로드측 픽업용 포트(19)와, 실린더 관(15)의 내부의 피스톤(16) 측에 대하여 압력공기를 공급 또는 배출하는 헤드측 픽업용 포트(20)가 마련되고, 이러한 픽업용 포트(19, 20)는 도시되지 않은 압력공급원에 접속되어 있다.The left end surface 12a includes a rod-side pickup port 19 for supplying or discharging pressure air to the pickup rod 17 side of the cylinder tube 15 and the inside of the cylinder tube 15. A head side pickup port 20 for supplying or discharging pressure air to the piston 16 side is provided, and these pickup ports 19 and 20 are connected to a pressure supply source (not shown).

또한, 상기 실린더 관(15) 내에는 상기 로드(17)의 중공부(17a) 및 상기 피스톤(16)의 관통구멍(16a)에 일부가 삽입되어 있는 플러그(40)가 고정 배치되어 있으며, 이 플러그(40)는 헤드부(40a) 그리고 상기 헤드부(40a)에 일체로 연결된 부압용 관(40b)을 구비하고 있다. 상기 헤드부(40a)는 도시되지 않은 부압원과 접속되어 있는 관통구멍(40c)을 가지고 있고, 상기 실린더 관(15)의 외단을 밀봉하고 있다. 상기 부압용 관(40b)은 상기 관통구멍(40c)과 연통하고 있으며, 부압원을 상기 로드(17)의 중공부(17a)에 부가시킨다.In the cylinder tube 15, a plug 40 having a portion inserted into the hollow portion 17a of the rod 17 and the through hole 16a of the piston 16 is fixedly disposed. The plug 40 has a head portion 40a and a negative pressure tube 40b integrally connected to the head portion 40a. The head portion 40a has a through hole 40c connected to a negative pressure source (not shown), and seals the outer end of the cylinder tube 15. The negative pressure pipe 40b communicates with the through hole 40c and adds a negative pressure source to the hollow portion 17a of the rod 17.

도 1에 도시된 바와 같이, 상기 피스톤(16)과 상기 플러그(40)의 헤드부(40a) 사이에 압력공기를 공급 또는 배출시키기 위해 헤드측 픽업용 포트(20)와 연통하는 제 1통로(50)가 형성되어 있고, 그리고 상기 피스톤(16) 내에는 상기 플러그(40)의 부압용 관(40b)과 상기 피스톤(16)의 관통구멍(16a) 사이의 공간을 밀봉하는 Y자형 패킹(60)이 마련되어 있다.As shown in FIG. 1, a first passage communicating with the head side pickup port 20 for supplying or discharging pressure air between the piston 16 and the head portion 40a of the plug 40 ( 50 is formed, and Y-shaped packing 60 sealing the space between the negative pressure pipe 40b of the plug 40 and the through hole 16a of the piston 16 in the piston 16. ) Is provided.

또한, 실린더 관(15) 내부의 로드(17) 측에 대하여 압력공기를 공급 또는 배출하는 로드측 픽업용 포트(19)는 제 2통로(51)와 연통하여 상기 로드(17)의 실린더 관(15) 내부에 압력공기를 공급 또는 배출시킨다.In addition, the rod-side pickup port 19 for supplying or discharging the pressure air to the rod 17 side of the cylinder tube 15 communicates with the second passage 51 so as to communicate with the cylinder tube of the rod 17 ( 15) Supply or exhaust pressure air inside.

상기 하우징(11)의 하부의 공간(12b)에는, 구동용 로드(21)가, 2개의부싱(22)에 의해 좌우 방향으로 미끄럼 이동가능하게 지지되어 있다. 그리고 상기 구동용 로드(21)는 상기 픽업용 로드(17)와 평행하게 배치되고, 상기 2개의 부싱(22) 사이에서 마그넷(70)을 둘레에 장착하고 있다. 이 마그넷(70)의 위치는 상기 하우징(11)의 하면에 형성되어 있는 홈(80)에 장착되어 있는 센서(90)에 의해 감지된다. 상기 홈(80)의 측부에는 상기 센서(90)가 상기 마그넷(70)을 감지할 수 있도록 관통구멍(81)이 형성되어 있다. 따라서, 상기 구동용 로드(21)의 상한 위치 또는 하한 위치는 상기 센서(90)에 의해 검출될 수 있다.The driving rod 21 is supported by the two bushings 22 so as to be slidable in the horizontal direction in the space 12b below the housing 11. The driving rod 21 is arranged in parallel with the pickup rod 17 and has a magnet 70 mounted therebetween between the two bushings 22. The position of the magnet 70 is sensed by the sensor 90 mounted in the groove 80 formed on the lower surface of the housing 11. The through hole 81 is formed at the side of the groove 80 so that the sensor 90 can detect the magnet 70. Therefore, the upper limit position or the lower limit position of the driving rod 21 may be detected by the sensor 90.

도 1에 도시한 바와 같이, 픽업용 로드(17)의 대략 선단에는 상기 픽업용 로드(17)를 끼워맞춤식으로 결합하고 있는 스토퍼 받이부(26)가 마련되어 있다. 이 스토퍼 받이부(26)는 또한 상기 구동용 로드(21)를 끼워맞춤식으로 결합하고 있어, 상기 픽업용 로드(17)와 상기 구동용 로드(21)가 함께 상기 피스톤(16)에 의한 왕복운동을 행한다. 또한, 상기 픽업용 로드(17)의 선단은 선단에 패드(24)를 체결하고 있는 브래킷(92)에 미끄럼이동 가능하게 장착되어 있으며, 이 브래킷(92)은 상기 구동용 로드(21)의 선단을 미끄럼이동 가능하게 장착하고 있다.As shown in FIG. 1, the stopper receiving part 26 which fits the said pick-up rod 17 by fitting is provided in the substantially front end of the pick-up rod 17. As shown in FIG. The stopper receiving portion 26 also fits the driving rod 21 in a fitting manner, such that the pickup rod 17 and the driving rod 21 are reciprocated by the piston 16 together. Is done. In addition, the tip of the pick-up rod 17 is slidably mounted to the bracket 92 which fastens the pad 24 to the tip, and the bracket 92 is the tip of the driving rod 21. It is mounted so that sliding is possible.

한편, 상기 하우징(11)과 상기 스토퍼 받이부(26) 사이에는 댐퍼(91)가 배치되어 있고, 상기 스토퍼 받이부(26)와 상기 브래킷(92) 사이에는 스프링(28)이 배치되어 있다.On the other hand, a damper 91 is disposed between the housing 11 and the stopper receiver 26, and a spring 28 is disposed between the stopper receiver 26 and the bracket 92.

워크를 픽업하기 전에는, 압력공기를 압력공기원에서 로드측 픽업용 포트(19)를 통하여 실린더 관(15) 내의 로드(17) 측에 공급하여, 픽업용 로드(17)를 인입한다. 이것에 의해, 스토퍼 받이부(26)가 구동용 로드(21)를 방향(A)으로인입한다.Before picking up the workpiece, the pressure air is supplied from the pressure air source to the rod 17 side of the cylinder tube 15 through the rod side pickup port 19, and the pickup rod 17 is drawn in. As a result, the stopper receiving portion 26 pulls the driving rod 21 in the direction A. FIG.

다음에, 워크를 픽업할 때에는, 압력공기를 압력공기원에서 헤드측 픽업용 포트(20)를 통해 실린더 관(15)의 내의 피스톤 헤드(16a) 측에 공급하고, 픽업용 로드(17)를 돌출시킨다. 이것에 의해, 스토퍼 받이부(26)가 구동용 로드(21)를 돌출시키고, 패드(24)가 워크에 맞닿음한다. 이 때에, 스토퍼 받이부(26)는 픽업용 로드(17)의 회전방지를 행한다.Next, when picking up the workpiece, the pressure air is supplied from the pressure air source to the piston head 16a side of the cylinder tube 15 through the head side pick-up port 20, and the pick-up rod 17 is supplied. Extrude Thereby, the stopper receiving part 26 protrudes the drive rod 21, and the pad 24 abuts on a workpiece | work. At this time, the stopper receiving portion 26 prevents the rotation of the pickup rod 17.

또, 패드(24)가 워크에 맞닿음하였을 때, 상기 댐퍼(91)와 상기 스프링(28)은 패드(24)의 워크에 대한 출돌을 흡수한다.In addition, when the pad 24 is in contact with the work, the damper 91 and the spring 28 absorb the protrusion of the pad 24 against the work.

이와 같은 상태에서, 부압원에서 부압을 부압용 포트(25)를 통해 픽업용 로드(17)의 중공부(17a)에 공급한다면, 부압이 중공부(17a)를 통해 워크에 더해지고, 패드(24)가 워크를 흡인한다. 이 때에, 상술한 바와 같이 압력공기를 실린더 관(15) 내의 로드(17) 측에 공급한다면, 픽업용 로드(17)가 스토퍼 받이부(26)를 통해 구동용 로드(21)를 방향(A)으로 입입하고, 워크를 픽업한다.In this state, if the negative pressure is supplied from the negative pressure source to the hollow portion 17a of the pick-up rod 17 through the negative pressure port 25, the negative pressure is added to the work through the hollow portion 17a, and the pad ( 24) sucks the workpiece. At this time, if pressure air is supplied to the rod 17 side in the cylinder tube 15 as described above, the pickup rod 17 is directed to the driving rod 21 via the stopper receiving portion 26 (A). ) And pick up the workpiece.

상기한 바와 같이 구성된 본 고안의 픽업장치는 제 2로드를 통하여 상기 패드에 부압을 제공하기 위한 부압용 포트가 상기 제 1로드를 보유한 실린더 상에 구비되어 있어, 픽업장치의 크기나 중량이 감소되어 제조비용이 감소되었고, 협소한 공간에서의 픽업작업을 가능하게 할 수 있었다.The pickup device of the present invention configured as described above has a negative pressure port for providing negative pressure to the pad through a second rod on a cylinder holding the first rod, thereby reducing the size and weight of the pickup device. Manufacturing costs were reduced and it was possible to pick up in tight spaces.

Claims

A rod side port 19 for pickup, a cylinder head side port 20, a negative pressure port 25, and a driving rod 21 disposed on the left end surface 12a of the housing 11;

The hollow rod 17 for pickup, which is disposed inside the cylinder tube 15 formed on the housing 11, has a hollow portion 17a and a through hole 16a which communicate with each other, and is integral with each other. And piston 16;

A head portion 40a having a through hole 40c connected to the negative pressure source, and a negative pressure tube 40b integrally connected to the head portion 40a and partially inserted into the hollow portion 17a. A plug 40 fixedly disposed in the cylinder tube 15;

A first passage (50) communicating with the head side pickup port (20) to supply or discharge pressure air between the piston (16) and the head portion (40a) of the plug (40);

A Y-shaped packing (60) disposed in the piston (16) to seal a space between the negative pressure pipe (40b) of the plug (40) and the through hole (16a) of the piston (16);

A second passage 51 communicating with a rod-side pickup port 19 which supplies or discharges pressure air to the rod 17 side of the cylinder tube 15;

A driving rod 21 which is slidably supported in the lateral direction by two bushings 22 in a space 12b below the housing 11;

A stopper receiving part 26 fittingly engaging the vicinity of the tip of the pick-up rod 17 and the tip of the drive rod 21;

A bracket 92 for slidingly mounting the pick-up rod 17 and the drive rod 21 and attaching a pad 24 to a tip of the pick-up rod 17 side; And

And a damper 91 disposed between the housing 11 and the stopper receiving portion 26 and a spring 28 disposed between the stopper receiving portion 26 and the bracket 92. A semiconductor chip pickup device.

2. The drive rod (21) according to claim 1, wherein the driving rod (21) has a magnet (70) mounted around the two bushings (22);

The semiconductor chip pickup device, characterized in that the sensor (90) is attached to the groove (80) formed on the lower surface of the housing (11) in order to detect the upper or lower limit position of the magnet (70).