KR200223304Y1 - 가스 스크러버 장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 화학 공정 등에 사용된 후 배출되는 폐가스를 청정 공기로 정화시키기 위한 가스 스크러버 장치를 제공한다. 이 가스 스크러버 장치는, 화학공정에서 발생하는 폐가스를 도입하여 열에 의해 산화시키고 산화가스 중의 미립자를 일차적으로 여과하는 폐가스 연소기와, 폐가스 연소기의 하류측에 배치되어 그것으로부터 배출되는 산화가스를 냉각시키는 냉각기 유닛과, 냉각기 유닛의 하류측에 배치되어 그것으로부터 배출되는 산화가스 중의 미립자를 이차적으로 여과하는 냉간 필터유닛를 포함한다. 본 고안에 의하면, 산화가스를 냉각기로 배출하기 전에 열간 필터유닛을 이용하여 산화가스 중의 미립자를 일차적으로 제거하게 되므로, 산화가스의 냉각과정 중 또는 냉각 후 가스배출도관의 내면에 미립자가 고착되어 도관을 막거나 부식시키는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 폐가스 연소기의 버너와 냉각기 유닛의 구조를 개선함으로써 폐가스의 연소효율과 냉각효율을 크게 향상시킬 수 있다. 그리고, 물을 사용하지 않고 산화가스를 정화하므로 폐수의 발생을 억제할 수 있을 뿐만 아니라 장치의 수명연장과 신뢰성 향상을 도모할 수 있다.

Description

가스 스크러버 장치{GAS SCRUBBER APPARATUS}

본 고안은 화학 공정 등에 사용된 후 배출되는 폐가스를 청정 공기로 정화시키기 위한 가스 스크러버 장치에 관한 것이다.

화학 공정이나 반도체 제조 등에서 배출되는 폐가스는 유독성, 폭발성 및 부식성이 강하기 때문에 인체에 유해할 뿐만 아니라, 그대로 대기 중으로 방출될 경우에는 환경 오염을 유발시키게 된다. 따라서, 폐가스는 유해성분의 함량을 허용 농도 이하로 낮추는 정화처리과정을 거쳐서 대기 중으로 배출시켜야 한다.

이와 같은 폐가스의 정화처리에는 연소 방식, 웨트 방식, 흡착 방식, 냉각 방식, 촉매 방식 등 다양한 형태의 가스 스크러버가 사용되고 있다. 종래에는 안전성, 경제성 및 효율성을 고려하여 연소 방식과 웨트 방식 또는 흡착 방식을 병용한 가스 스크러버가 보편적으로 사용되고 있다.

연소 방식, 웨트 방식 및 흡착 방식을 병용한 종래의 가스 스크러버를 살펴보면, 연소유닛의 히터 엘리먼트에 의하여 폐가스를 직접 산화시키고, 웨트 챔버를 통과하는 산화가스에 살수기로 물을 분사시켜 산화가스 중의 미립자를 제거한다.

그러나, 상기한 바와 같은 종래기술의 가스 스크러버에 있어서는, 웨트 챔버에서 물을 분사하여 미립자를 제거할 때 많은 양의 물이 필요하고, 결과적으로 폐수의 발생량이 증가하게 된다. 폐수는 별도의 폐수 처리 설비에 의해 정화시켜야 하는 문제가 남게 되므로, 가스 스크러버의 운전 및 유지 비용이 상승되어 비효율적이고 비경제적인 문제가 있다.

또한, 미립자는 산화가스가 통과하는 덕트나 드레인 라인에 점진적으로 부착되거나 필터 엘리먼트를 폐색시켜서 산화가스의 흐름을 방해하게 되므로, 가스 스크러버의 점검 및 보수를 빈번히 행하여야 한다고 하는 문제점이 있다. 특히, 폐가스의 연소시 발생하는 미립자는 웨트 챔버를 통과하면서 산화가스 속에 함유되는 습기에 의하여 덕트 등의 내벽에 쉽게 고착되어 그것을 부식시키게 되고 가스 스크러버의 수명을 단축시키는 작용을 하게 된다.

한편, 연소 방식과 냉각 방식을 병용한 가스 스크러버 장치에 있어서는, 연소유닛의 히터 엘리먼트에서 발생하는 열로 폐가스를 직접 산화시키고, 냉각유닛의 작동에 의하여 산화가스를 냉각시킨 다음, 집진장치를 이용하여 미립자를 제거하고 있다. 그러나, 이와 같이 산화가스의 냉각 후 집진을 행하게 되면, 미립자가 응결되어 가스배출도관에 들러붙고, 이로 인해 도관이 막혀서 산화가스의 흐름을 방해하게 된다. 특히, 산화가스 중의 미립자는 강산성이기 때문에 가스배출도관을 부식시켜서 결국은 산화가스 누출사고를 일으키게 된다고 하는 문제점이 있다.

본 고안은 상기한 바와 같은 종래기술의 여러 가지 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 열에 의해 산화된 폐가스 중의 미립자를 냉각과정을 거치기 전에 미리 제거함으로써 가스배출도관이 미립자에 의해 막히거나 부식되는 것을 효과적으로 방지할 수 있는 가스 스크러버 장치를 제공하는데 있다.

본 고안의 다른 목적은 폐가스의 연소효율, 냉각효율 및 집진효율을 크게 향상시킬 수 있는 가스 스크러버 장치를 제공하는데 있다.

본 고안의 또 다른 목적은 물의 사용을 배제하여 폐수가 발생되지 않도록 하고, 수분으로 인한 장치의 부식을 억제 할 수 있는 가스 스크러버 장치를 제공하는데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 고안의 장치는, 화학공정에서 발생하는 폐가스를 도입하여 열에 의해 산화시키고 산화가스 중의 미립자를 일차적으로 여과하는 폐가스 연소기와, 폐가스 연소기의 하류측에 배치되어 그것으로부터 배출되는 산화가스를 냉각시키는 냉각기 유닛과, 냉각기 유닛의 하류측에 배치되어 그것으로부터 배출되는 산화가스 중의 미립자를 이차적으로 여과하는 냉간 필터유닛를 포함한다. 그리고 상기 폐가스 연소기는, 폐가스 도입구, 연소실 및 폐가스 배출구를 가지는 연소기 하우징과, 연소기 하우징의 중앙에서 아래를 향해 설치되고, 폐가스 도입구와 연소실을 연통시키는 연소통로를 가지며, 이 연소통로를 통과하는 폐가스에 열을 가하는 중공원통형의 버너와, 연소기 하우징의 연소실과 폐가스 배출구와의 사이에 설치되어 연소된 폐가스 중의 미립자를 여과하는 열간 필터유닛과, 연소기 하우징의 연소실 아래에 배설되어 연소실로부터 낙하하는 미립자를 수집하기 위한 집진유닛으로 구성된다.

도 1은 본 고안에 따른 가스 스크러버 장치의 전체 구성을 개략적으로 나타낸 도면,

도 2는 도 1의 가스 스크러버 장치에 사용되는 폐가스 연소기의 구성을 나타낸 사시도,

도 3은 폐가스 연소기의 하우징, 버너, 열간 필터유닛 및 제1 집진유닛을 보여주는 일부절결사시도,

도 4는 도 3에 나타낸 폐가스 연소기의 정단면도,

도 5는 도 3에 나타낸 폐가스 연소기의 측단면도,

도 6은 폐가스 연소기에 설치되는 버너의 구성을 나타낸 확대단면도,

도 7은 폐가스 연소기에 설치되는 열간 필터유닛의 구성을 보여주는 일부확대단면도,

도 8은 본 고안에 따른 냉각기 유닛의 구성을 나타낸 단면도이다.

♣ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣

10: 폐가스 연소기 21: 연소기 하우징

21: 연소실 30: 배출실

37: 폐가스 배출구 40: 마운팅 플레이트

50: 버너 51: 연소통로

54: 히터 엘리먼트 60: 폐가스 도입구

65: 보조 로드 히터 70: 세라믹 필터

72: 배출통로 76: 펄스제트 노즐

80: 제1 집진유닛 85: 포집상자

90: 냉각기 유닛 91: 냉각실

93: 냉각통로 101: 질소 공급관

102: 흐름 안내 배플 110: 냉간 필터유닛

112: 여과실 113: 필터 엘리먼트

118: 펄스제트 노즐 120: 제2 집진유닛

124: 포집상자 130: 블로워

이하, 본 고안에 따른 가스 스크러버 장치의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거하여 상세하게 설명한다.

먼저, 도 1과 도 2를 참조하면, 본 고안의 가스 스크러버 장치는 화학 공정이나 반도체 제조 등에서 발생되는 SiH₄, NH₃, PH₃, H₂등을 함유하는 폐가스를 연소시켜 산화가스를 발생하는 폐가스 연소기(10)을 구비한다. 이 폐가스 연소기 (10)의 프레임(11)은 다수의 바퀴(12)에 의해 이동이 가능하게 구성되어 있고, 프레임(11)의 전면에는 도어(13)가 장착되어 있다.

도 1과 도 3 내지 도 5를 함께 참조하면, 프레임(10)의 상부에는 수직한 연소기 하우징(20)이 설치된다. 연소기 하우징(20)의 연소실(21)은 원통형의 아웃터 케이스(22)와, 아웃터 케이스(22)의 내측에 냉각통로(23)를 형성하도록 떨어져 설치되는 인너 케이스(24)로 구성되어 있다. 아웃터 케이스(22)와 인너 케이스(24) 사이의 냉각통로(23)에는 냉각수를 공급하여 단열 효과를 얻을 수 있다. 본 실시예에 있어서 아웃터 케이스(22)와 인너 케이스(24) 사이에는 단열재를 배치할 수도 있다.

또한, 연소실(21)의 상측에 연소된 폐가스, 즉 산화가스를 폐가스 연소기 (10)의 외측으로 배출하는 배출실(30)이 구성된다. 배출실(30)은 전면에 개방부 (31)를 갖는 원호형의 아웃터 케이스(32)와, 아웃터 케이스(32)의 내측에 냉각통로 (33)를 형성하도록 떨어져 설치되는 인너 케이스(34)와, 인너 케이스(34)의 내측에 떨어져 설치되고 내측에 개방부(31)와 연통하는 설치공간(35)을 갖는 센터 케이스 (36)로 구성되어 있다. 폐가스 연소기(10)의 배출실(30)에 폐가스 배출구(37)가 연결되어 있으며, 연소실(21)과 배출실(30) 사이에는 마운팅 플레이트(40)가 설치되어 있다. 마운팅 플레이트(40)의 중앙에 중앙구멍(41)이 형성되어 있고, 중앙구멍 (41)의 주위에는 연소실(21)과 배출실(30)을 연통시킬 수 있도록 복수의 관통구멍 (42)이 형성되어 있다.

도 1과 도 3 내지 도 6을 참조하면, 폐가스 연소기(10)의 연소실(21)에는 폐가스를 연소시키는 중공원통형의 버너(50)가 설치된다. 버너(50)는 마운팅 플레이트(40)의 중앙구멍(41)을 관통하여 연소실(21)의 중앙에 수직하게 장착되고 연소실 (21)과 연통하는 연소통로(51)를 갖는 원통형 인너 연소관(52)과, 인너 연소관(52)의 외측에 떨어져 장착되는 아웃터 연소관(53)과, 인너 연소관(52)과 아웃터 연소관(53) 사이에 장착되는 히터 엘리먼트(54)로 구성되어 있다. 버너(50)의 상측은 배출실(30)의 설치공간(35)으로 노출되며, 배출실(30)의 설치공간(35)에 노출되어 있는 버너(50)의 외측에는 냉각통로(55)를 형성할 수 있도록 아웃터 케이스(56)가 장착된다. 버너(50)의 외면에는 히터 엘리먼트(54)의 작동에 필요한 전원을 공급하는 플러그 소켓(57)과 온도를 감지하는 온도 센서(58)가 장착되어 있다.

또한, 버너(50)의 상측에 폐가스를 공급할 수 있도록 연소통로(51)와 연통하는 복수의 폐가스 도입구(60)가 연결되어 있다. 버너(50)의 상측에 연결되어 있는 폐가스 도입구(60)의 외측에는 인너 케이스(61)가 장착되고, 인너 케이스(61)의 외측에 냉각통로(62)를 형성할 수 있도록 아웃터 케이스(63)가 장착되어 있다. 버너 (50)의 상측에 폐가스의 연소에 필요한 공기를 연소통로(51)에 공급하는 공기공급관(64)이 연결되어 있으며, 버너(50)의 중앙에는 폐가스에 열을 가함과 동시에 폐가스가 버너(50)의 내면을 따라 흐르도록 유도하여 폐가스의 연소를 촉진하는 보조 로드 히터(65)가 설치되어 있다. 이 보조 로드 히터(65)는 연소통로(51)의 중앙에 수직하게 장착되는 가늘고 긴 센터 로드(66)와, 이 센터 로드(66)에 길이방향을 따라 배치되어 있는 복수개의 배플 디스크(67)로 구성되어 있다.

도 1, 도 3 내지 도 5 및 도 7을 참조하면, 마운팅 플레이트(40)의 구멍(42)에는 연소실(21)로부터 배출실(30)로 도입되는 산화가스 중의 미립자를 흡착에 의하여 제거하는 열간 필터유닛, 즉 복수개의 기둥형 세라믹 필터(70)가 버너(50)에 대하여 평행한 관계로 아래를 향하여 연장되도록 설치되어 있다.

도 5와 도 7에 보이는 바와 같이, 세라믹 필터(70)의 하단은 버너(50)보다 길게 연장되어 있고 상단은 마운팅 플레이트(40)의 구멍(42)을 통하여 배출실(30)에 위치되어 있다. 그리고, 세라믹 필터(70)의 중앙에는 하단이 막혀지고 상단에 출구(71)를 갖는 배출통로(72)가 형성되어 있다. 마운팅 플레이트(40)의 관통구멍 (42)을 통하여 배출실(30)에 위치되어 있는 세라믹 필터(70)의 상단은 홀더(73)에 의하여 고정되어 있으며 외측에는 홀더(73)를 고정적으로 받쳐주는 슬리브(74)에 의하여 둘러싸여져 있다. 홀더(73)와 슬리브(74)는 세라믹 필터(70)의 배출통로 (72)를 통과하는 산화가스가 출구(71)를 제외한 부분으로 배출되는 것을 차단한다. 세라믹 필터(70)의 상측에 출구(71)를 통한 산화가스의 배출을 유도하는 유도관 (75)이 장착되어 있다. 도 3 내지 도 5에 보이는 바와 같이, 배출실(30)의 상면에는 세라믹 필터(70)의 배출통로(72)에 공기를 주기적으로 역류, 즉 분사하여 세라믹 필터(70)에 고착되어 있는 이물질을 강제로 탈락시키는 필터 크리너로 복수의 펄스제트 노즐(76)이 세라믹 필터(70)의 배출통로(72)와 정렬되도록 장착되어 있다.

도 1과 도 3 내지 도 5를 다시 참조하면, 본 고안의 가스 스크러버 장치는 연소실(21)의 하측에 설치되어 아래로 떨어지는 미립자를 모으는 제1 집진유닛(80)을 구비한다. 제1 집진유닛(80)은 연소실(21)의 내측에 인너 케이스(24)와 근접하도록 설치되는 원통형의 집진관(81)과, 집진관(81)의 하단에 연결되고 미립자의 배출이 원활하도록 단면적이 점진적으로 좁아지는 호퍼(82)와, 호퍼(82)의 출구(83)를 열고 닫을 수 있도록 장착되는 게이트 밸브(Gate Valve: 84)와, 게이트 밸브 (84)를 통하여 배출되는 미립자를 포집하는 포집상자(85)로 구성되어 있다. 포집상자(85)는 게이트 밸브(84)에 의하여 호퍼(82)의 출구(83)를 닫은 상태에서 프레임 (11)의 도어(13)를 열고 폐가스 연소기(10)의 외측으로 꺼낼 수 있다.

도 1과 도 8을 참조하면, 본 고안의 가스 스크러버 장치는 폐가스 연소기 (10)의 배출실(30)과 연결되어 산화가스를 냉각시키는 냉각기 유닛(90)을 구비한다. 냉각기 유닛(90)의 냉각실(91)은 원통형 아웃터 케이스(92)와, 아웃터 케이스 (92)의 내측에 냉각통로(93)를 형성하도록 떨어져 설치되는 인너 케이스(94)로 구성되어 있다. 냉각기 유닛(90)의 양측단에 냉각실(91)과 연통하는 산화가스 도입구 (95)와 산화가스 배출구(96), 그리고 냉각통로(93)와 연통하는 냉각수 도입구(97)와 냉각수 배출구(98)이 각각 연결되어 있다. 냉각기 유닛(90)의 산화가스 도입구 (95)는 연결관(99)에 의하여 배출실(98)의 산화가스 배출구(96)와 연통되며, 연결관(99)에는 산화가스의 흐름을 제어하는 밸브기구(100)와 배관부속품이 장착된다.

또한, 냉각기 유닛(90)의 일측에 냉각실(91)에 산화가스의 흐름 방향으로 질소(N₂)를 공급하는 질소가스 공급관(101)이 연결되어 있다. 냉각기 유닛(90)의 냉각실(91)에는 산화가스가 냉각실(91)의 내면을 따라 흐르도록 유도하여 산화가스의 냉각을 촉진하는 흐름 안내 배플(102)이 설치되어 있다. 이 흐름 안내 배플(102)은 냉각실(91)의 중앙에 수직하게 장착되는 가늘고 긴 센터 로드(103)와, 이 센터 로드(103)에 길이방향을 따라 배치되어 있는 복수개의 배플 디스크(104)로 구성되어 있다.

다시 도 1을 보면, 본 고안의 가스 스크러버 장치는 냉각기 유닛(90)과 연결되어 냉각된 산화가스를 최종적으로 여과하는 냉간 필터유닛(110)을 구비한다. 냉간 필터유닛(110)은 산화가스 중의 미립자를 흡착에 의하여 제거할 수 있도록 수직한 원통형의 케이스(111)의 여과실(112)에 설치되는 하나 이상의 필터 엘리먼트 (113)로 구성된다.

케이스(111)의 산화가스 도입구(114)는 연결관(115)에 의하여 냉각기 유닛 (90)의 산화가스 배출구(96)와 연통되며, 연결관(115)에는 산화가스의 흐름을 제어하는 밸브기구(116)와 배관부속품이 장착된다. 케이스(111)의 상측에 필터 엘리먼트(113)를 거치면서 정화된 청정 공기를 배출하는 배출관(117)과 여과실(112)에 공기를 주기적으로 분사하여 필터 엘리먼트(113)에 고착되어 있는 이물질을 강제로 탈락시키는 필터 크리너로 펄스제트 노즐(118)이 각각 장착되어 있다.

또한, 케이스(111)의 하단에는 필터 엘리먼트(113)에 의하여 여과된 미립자를 집진하는 제2 집진유닛(120)이 설치된다. 제2 집진유닛(120)은 케이스(111)의 하단에 연결되며 미립자의 원활한 배출을 위하여 단면적이 점진적으로 좁아지는 호퍼(121)와, 호퍼(121)의 출구(122)를 열고 닫을 수 있도록 장착되는 게이트 밸브 (123)와, 게이트 밸브(116)를 통하여 배출되는 미립자를 포집하는 포집상자(124)로 구성되어 있다. 그리고, 냉간 필터유닛(110)의 배출관(117)은 여과실(112)로부터 청정 공기를 강제로 배출하는 블로워(130)와 연결되어 있다.

다음으로 상술한 구성을 갖는 본 고안에 따른 가스 스크러버 장치의 작동을 설명한다.

먼저, 도 1, 도 4 내지 도 6을 참조하면, 화학 공정이나 반도체 제조 등에서 발생되는 폐가스가 도입구(60)를 통하여 버너(50)의 연소통로(51)에 도입되면, 히터 엘리먼트(54) 및 센터 로드 히터(65)에 의하여 폐가스가 가열되어 산화가스로 된다. 이때, 폐가스는 버너(50)의 연소통로(51)를 따라 하강하면서 센터 로드 히터 (65)의 디스크(67)에 충돌하여 방사상 외측으로 확산되고, 이에 따라 폐가스의 연소효율이 향상되게 된다. 그리고, 폐가스의 연소에 의하여 생성되는 미립자는 버너 (50)의 연소통로(51)로부터 낙하하여 호퍼(81)의 출구(82)와 게이트 밸브(84)를 통하여 포집상자(85)에 포집된다.

또한, 버너(50)의 연소통로(51)로부터 연소실(21)에 배출되는 산화가스는 상승 기류를 형성하면서 버너(50)의 주위에서 재차 가열된다. 따라서, 폐가스의 불완전 연소가 방지된다. 산화가스는 연소실(21)로부터 세라믹 필터(70)의 배출통로 (72)를 거쳐 배출실(30)로 배출되며, 세라믹 필터(70)는 산화가스 중의 미립자를 흡착에 의하여 제거한다. 즉, 산화가스 중의 미립자는 세라믹 필터(70)에 의하여 연소실(21)을 빠져나가지 못하고 연소실(21)에 그대로 잔류되거나 세라믹 필터(70)에 흡착된다. 그리고, 연소실(21)에 잔류하는 미립자는 낙하되어 포집상자(85)에 포집된다.

도 7에 나타내는 바와 같이, 폐가스 연소기(10)의 펄스제트 노즐(76)은 압축공기를 주기적으로 분사하고, 펄스제트 노즐(76)로부터 분사되는 기류는 유도관 (75)에 의하여 세라믹 필터(70)의 출구(71)를 통하여 배출통로(72)에 유도된다. 이 펄스제트 노즐(76)의 기류에 의하여 세라믹 필터(70)에 고착되어 있던 이물질은 강제로 탈락되고, 탈락된 이물질은 낙하되어 포집상자(85)에 포집된다. 따라서, 세라믹 필터(70)가 이물질에 의하여 막히는 것이 방지되어 지속적인 필터 기능이 수행됨은 물론이고, 집진효율을 향상시킬 수 있다.

도 1과 도 8을 참조하면, 배출실(30)의 산화가스는 폐가스 배출구(37), 연결관(99)과 냉각기 유닛(90)의 산화가스 도입구(95)를 통하여 냉각실(91)에 도입되고, 냉각실(91)에 도입된 산화가스는 산화가스 도입구(95)로부터 산화가스 배출구 (96)를 향하여 하강 기류를 형성한다. 냉각기 유닛(90)의 냉각실(91)을 흐르는 산화가스는 냉각수 도입구(97)와 냉각수 배출구(98)를 통하여 냉각통로(93)에 흐르는 냉각수에 의하여 냉각된다. 그리고, 냉각기 유닛(90)의 냉각실(91)을 흐르는 산화가스는 흐름 안내 배플(102)의 디스크(104)에 충돌하여 방사상으로 확산되고, 이에 따라 산화가스의 냉각효율이 크게 향상된다. 또한, 냉각기 유닛(90)의 냉각실(91)에는 공급관(101)을 통해서 초저온의 질소가스가 공급되어 산화가스의 냉각효율을 극대화하게 된다.

냉각기 유닛(90)에 의하여 냉각된 산화가스는 냉각기 유닛(90)의 산화가스 배출구(96), 연결관(99), 냉간 필터유닛(110)의 산화가스 도입구(114)를 통하여 여과실(112)에 도입된다. 냉간 필터유닛(110)의 여과실(112)에 도입된 산화가스는 블로워(130)의 작동에 의하여 필터 엘리먼트(113)를 통과하게 된다. 필터 엘리먼트 (113)는 산화가스의 냉각에 의하여 생성된 미립자를 흡착에 의하여 최종적으로 제거한다. 이 필터 엘리먼트(113)에 의하여 정화된 청정 공기는 배출도관(117)을 거쳐 대기 중으로 배출된다.

또한, 냉간 필터유닛(110)의 필터 엘리먼트(113)에 의하여 걸러진 미립자는 호퍼(121)의 출구(122)와 게이트 밸브(123)를 통하여 낙하되어 포집상자(124)에 포집된다. 냉간 필터유닛(110)의 펄스제트 노즐(118)은 폐가스 연소기(10)의 펄스제트 노즐(76)과 마찬가지의 동작으로 압축공기를 주기적으로 분사하여 필터 엘리먼트(113)에 고착되어 있는 이물질을 강제로 탈락시키고, 탈락된 이물질은 낙하되어 포집상자(124)에 포집된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 따른 가스 스크러버 장치에 의하면, 산화가스를 냉각시키기 전에 그 속에 혼입된 미립자를 열간 상태에서 미리 제거하게 되므로 가스배출도관이 미립자에 의해 막히거나 부식되는 것을 미연에 방지할 수 있다. 또한, 폐가스 연소기와 냉각기 유닛의 구조를 개선함으로써 연소효율과 냉각효율을 크게 향상시킬 수 있고, 물을 사용하지 않고도 폐가스를 열간 필터유닛과 냉간 필터유닛 만으로 효과적으로 정화할 수 있다.

Claims (8)

1. 화학공정에서 발생하는 폐가스를 도입하여 열에 의해 산화시키고 산화가스 중의 미립자를 일차적으로 여과하는 폐가스 연소기와;

   상기 폐가스 연소기의 하류측에 배치되어 그것으로부터 배출되는 산화가스를 냉각시키는 냉각기 유닛과;

   상기 냉각기 유닛의 하류측에 배치되어 그것으로부터 배출되는 산화가스 중의 미립자를 이차적으로 여과하는 냉간 필터유닛를 포함하며;

   상기 폐가스 연소기는, 폐가스 도입구, 연소실 및 폐가스 배출구를 가지는 연소기 하우징과; 상기 연소기 하우징의 중앙에서 아래를 향해 설치되고, 상기 폐가스 도입구와 상기 연소실을 연통시키는 연소통로를 가지며, 이 연소통로를 통과하는 폐가스에 열을 가하는 중공원통형의 버너와; 상기 연소기 하우징의 연소실과 폐가스 배출구와의 사이에 설치되어 연소된 폐가스 중의 미립자를 여과하는 열간 필터유닛과; 상기 연소기 하우징의 연소실 아래에 배설되어 연소실로부터 낙하하는 미립자를 수집하기 위한 집진유닛으로 구성되는 가스 스크러버 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 버너는, 폐가스에 열을 가함과 아울러 폐가스를 방사상으로 확산시키도록 버너의 중앙에 설치되는 보조 로드 히터를 구비하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버 장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 보조 로드 히터는 버너에 대하여 동축으로 설치되는 기다란 센터로드와, 이 센터로드의 길이를 따라 배치된 복수개의 배플 디스크로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 열간 필터유닛은 상기 연소기 하우징의 연소실 내에서 상기 버너에 대하여 평행한 관계로 아래를 향해 연장되어 있는 복수개의 기둥형 세라믹 필터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버 장치.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 각각의 세라믹 필터를 통해 압축공기를 분사하여 세라믹 필터에 고착된 이물질을 제거하기 위한 필터 크리너를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버 장치.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 냉각기 유닛은, 산화가스 도입구, 냉각통로 및 산화가스 배출구를 가지며 냉각수가 순환하도록 구성된 중공원통형의 냉각기 케이스를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버 장치.
7. 제 6 항에 있어서, 산화가스가 냉각 자켓의 내주면을 따라 흐르도록 유도하여 산화가스의 냉각을 촉진하는 흐름 안내 배플을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버 장치.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 흐름 안내 배플은, 냉각기 케이스에 대하여 동축으로 설치되는 기다란 센터 로드와, 이 센터 로드의 길이를 따라 배치된 복수개의 배플 디스크로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버 장치.