KR200221084Y1

KR200221084Y1 - 웨이퍼표면검사장치의 램프제어장치

Info

Publication number: KR200221084Y1
Application number: KR2020000032377U
Authority: KR
Inventors: 김용운
Original assignee: 아남반도체주식회사
Priority date: 2000-11-20
Filing date: 2000-11-20
Publication date: 2001-04-16

Abstract

본 고안은 웨이퍼표면검사장치의 램프제어장치에 관한 것으로, SMIF장치(10)의 지지부재(14)의 일측단에 조립되어 SMIF 플레이트(12)가 수직 하강하여 지지부재(14)에 안착되는 힘에 의해 스위치신호를 발생하여 출력하는 스위치(61)와, 스위치(61)로부터 출력되는 스위치신호가 수신되면 램프온신호를 발생하여 출력하는 제어기(62)와, 제어기(62)로부터 출력되는 램프온신호를 수신받아 웨이퍼표면검사장치(30)에 구비된 램프(35)를 온시키기 위한 램프구동신호를 발생하여 출력하는 램프드라이버(63)로 구성하여, 램프의 수명을 연장시켜 웨이퍼표면검사장치의 가동률을 향상시킬 수 있도록 함에 있다.

Description

웨이퍼표면검사장치의 램프제어장치{Lamp control device of scope for examining surface of semiconductor wafer}

본 고안은 웨이퍼표면검사장치의 램프제어장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼이송시스템에 의해 자동으로 이송되는 반도체웨이퍼의 표면을 검사하기 위한 웨이퍼표면검사장치의 램프를 자동으로 온/오프 제어하기 위한 램프제어장치에 관한 것이다.

반도체웨이퍼를 이용하여 반도체소자를 제조시 각 단위공정별로 공정 진행전이나 진행 후에 반도체웨이퍼의 표면을 검사하게 된다. 반도체웨이퍼의 표면을 검사하기 위해 웨이퍼표면검사장치가 사용되며, 웨이퍼표면검사장치로 반도체웨이퍼를 이송시키기 위해 웨이퍼이송시스템이 구비된다. 웨이퍼이송시스템이 구비된 웨이퍼표면검사장치의 구성을 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래의 웨이퍼표면검사장치로 반도체웨이퍼를 이송시키기 위 한 웨이퍼이송시스템의 구성을 나타낸 사시도이다. 도시된 바와 같이 웨이퍼이송시스템은 크게 SMIF(standard mechanical interface)장치(10), 웨이퍼사전정렬기(prealigner;20), 웨이퍼이송아암(40) 및 웨이퍼교체아암(50)으로 구성된다.

SMIF장치(10)는 파드(11), SMIF 플레이트(12) 및 지지부재(14)로 구성된다. SMIF 플레이트(12)에 반도체웨이퍼(W)가 장착된 카세트(13)가 로딩되면 파드(11)로 밀봉하게 된다. 이 후 SMIF 플레이트(12)가 화살표 A방향으로 하강하여 지지부재(14)에 안착된다. 지지부재(14)에 카세트(13)가 안착되면 카세트(13)의 내측에 장착된 반도체웨이퍼(W)를 웨이퍼이송아암(40)에 의해 웨이퍼사전정렬기(20)로 이송된다.

웨이퍼사전정렬기(20)는 고정 설치되는 지지블럭(21)과 지지블럭(21)의 평면에 고정조립되는 정렬스테이지(22)로 구성된다. 웨이퍼사전정렬기(20)는 반도체웨이퍼(W)를 웨이퍼표면검사장치(30)로 이송시 사전에 반도체웨이퍼(W)를 정렬시키기 위해 사용된다.

반도체웨이퍼(W)를 사전에 정렬시키기 위해 카세트(13)에서 웨이퍼사전정렬기(20)로 이송시키는 웨이퍼이송아암(40)은 제1지지블럭(41), 제1회전축(42) 및 이송아암(43)으로 구성된다.

제1지지블럭(41)은 고정설치되며 제1회전축(42)은 일단이 제1지지블럭(41)에 화살표 B방향으로 회전되도록 설치되고 타단은 이송아암(43)이 조립된다. 이송아암(43)은 제1지지블럭(41) 위에 조립된 제1회전축(42)의 회전에 의해 카세트(13)로 이동한 후 카세트(13)에 장착된 반도체웨이퍼(W)를 인출하여 웨이퍼사전정렬기(20)로 반도체웨이퍼(W)를 이송한다.

웨이퍼사전정렬기(20)로 이송된 반도체웨이퍼(W)는 웨이퍼교체아암(50)에 의해 웨이퍼표면검사장치(30)로 이송된다. 웨이퍼교체아암(50)은 제2지지블럭(51), 제2회전축(52) 및 교체아암(53)으로 구성된다. 제2지지블럭(51)은 고정 설치되며, 고정설치된 제2지지블럭(51)에 제2회전축(52)의 일단이 회전되도록 조립된다. 제2회전축(52)의 타단에는 제2회전축(52)의 회전에 의해 회전되도록 교체아암(53)이 조립된다. 교체아암(53)의 양단에 웨이퍼그립부(53a)가 각각 구비되어 웨이퍼사전정렬기(20)에 이송된 반도체웨이퍼(W)와 웨이퍼표면검사장치(30)로 이송된 반도체웨이퍼(W)를 동시에 집어 교체하게 된다.

웨이퍼교체아암(50)에 의해 이송된 반도체웨이퍼(W)를 검사하는 웨이퍼검사장치(30)는 제3지지블럭(31), 대안렌즈(32), 대물렌즈(33), 작업위치(34) 및 램프(35)로 구성된다. 제3지지블럭(31)의 평면에는 작업위치(34)가 설정되며, 작업위치(34)로 반도체웨이퍼(W)가 이송되면 대안렌즈(32) 및 대물렌즈(33)를 통해 반도체웨이퍼(W)를 검사하게 된다. 반도체웨이퍼(W)를 검사하는 동안 반도체웨이퍼(W)의 표면으로 소정의 밝기를 갖는 빛을 램프(35)에서 발생하여 조사하게 된다.

반도체웨이퍼(W)의 표면을 검사하기 위해 사용되는 종래의 웨이퍼표면검사장치(30)에 구비되는 램프(35)는 항상 온(on) 상태를 유지한다. 즉, SMIF장치(10)에 장착된 카세트(13)에 반도체웨이퍼(W)가 로딩되지 않아 웨이퍼검사장치(30)로 반도체웨이퍼(W)가 장시간 이송되지 않더라도 최초 가동한 상태에서 램프(35)는 항상 온 상태를 유지하게 된다. 이와 같이 램프(35)가 항상 온 상태를 유지하게 되면 램프(35)의 수명이 짧아져 자주 교체하게 되어 램프(35)의 교체로 인해 웨이퍼표면검사장치(30)의 가동을 중지해야 되는 문제점이 있다.

본 고안의 목적은 웨이퍼이송시스템에서 SMIF장치에 카세트가 로딩되었는지 여부를 감지하여 웨이퍼표면검사장치에 구비된 램프의 온/오프를 제어하기 위한 램프제어장치를 제공함에 있다.

본 고안의 다른 목적은 반도체웨이퍼가 웨이퍼표면검사장치로 이송되지 않는 경우에 램프를 오프시킴으로써 램프의 수명을 연장시켜 웨이퍼표면검사장치의 가동률을 개선시킴에 있다.

도 1은 종래의 웨이퍼표면검사장치로 반도체웨이퍼를 이송시키기 위한 웨이퍼이송시스템의 구성을 나타낸 사시도,

도 2는 본 고안에 의한 웨이퍼표면검사장치로 반도체웨이퍼를 이송시키기 위한 웨이퍼이송시스템의 구성을 나타낸 사시도,

도 3은 도 2에 도시된 SMIF 장치의 확대 사시도,

도 4는 도 2에 도시된 램프제어장치의 블럭도이다.

＜도면의 주요부분에 대한 부호설명>

10: SMIF 장치 11: 파드

12: SMIF 플레이트 13: 카세트

14: 지지부재 20: 웨이퍼사전정렬기

30: 웨이퍼표면검사장치 40: 웨이퍼이송아암

50: 웨이퍼교체아암

본 고안의 웨이퍼표면검사장치의 램프제어장치는 SMIF장치, 웨이퍼사전정렬기, 웨이퍼이송아암 및 웨이퍼교체아암으로 구성된 웨이퍼이송시스템을 구비한 웨이퍼표면검사장치에 있어서, SMIF장치의 지지부재의 일측단에 조립되어 SMIF 플레이트가 수직 하강하여 지지부재에 안착되는 힘에 의해 스위치신호를 발생하여 출력하는 스위치; 스위치로부터 출력되는 스위치신호가 수신되면 램프온신호를 발생하여 출력하는 제어기; 및 제어기로부터 출력되는 램프온신호를 수신받아 웨이퍼표면검사장치에 구비된 램프를 온시키기 위한 램프구동신호를 발생하여 출력하는 램프드라이버로 구성됨을 특징으로 한다.

스위치는 마이크로 스위치가 사용되며, 지지부재의 내측으로 조립되는 하우징과, 하우징에 조립되어 SMIF 플레이트가 하강되어 지지부재에 안착되면 하우징의 내측으로 삽입되는 접점버튼으로 구성됨을 특징으로 한다.

이하, 본 고안을 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 고안에 의한 웨이퍼표면검사장치로 반도체웨이퍼를 이송시키기 위한 웨이퍼이송시스템의 구성을 나타낸 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 SMIF 장치의 확대 사시도이고, 도 4는 도 2에 도시된 램프제어장치의 블럭도이다. 도시된 바와 같이, SMIF장치(10)의 지지부재(14)의 일측단에 조립되어 SMIF 플레이트(12)가 수직 하강하여 지지부재(14)에 안착되는 힘에 의해 스위치신호를 발생하여 출력하는 스위치(61)와, 스위치(61)로부터 출력되는 스위치신호가 수신되면 램프온신호를 발생하여 출력하는 제어기(62)와, 제어기(62)로부터 출력되는 램프온신호를 수신받아 웨이퍼표면검사장치(30)에 구비된 램프(35)를 온시키기 위한 램프구동신호를 발생하여 출력하는 램프드라이버(63)로 구성된다.

본 고안의 구성 및 작용을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

램프제어장치는 스위치(61), 제어기(62) 및 램프드라이버(63)로 구성된다. 스위치(61)는 SMIF장치(10)의 지지부재(14)의 일측단에 조립되어 SMIF 플레이트(12)가 수직 하강하여 지지부재(14)에 안착되는 힘에 의해 스위치신호를 발생하여 출력하게 된다. 지지부재(14)에 조립되는 스위치(61)는 마이크로 스위치가 사용되며 하우징(61a)과 접점버튼(61b)으로 구성된다.

하우징(61a)은 도 3에서와 같이 지지부재(14)의 내측으로 조립되며, 접점버튼(61b)은 SMIF 플레이트(12)가 하강되어 지지부재(14)에 안착되면 하우징(61a)의 내측으로 삽입되도록 하우징(61a)에 조립된다. 하우징(61a)의 내측에 조립되는 접점버튼(61b)은 두께(t)로 돌출된 상태에서 SMIF 플레이트(12)가 하강되어 지지부재(14)에 안착되면 접점버튼(61b)의 돌출된 두께(t)는 하우징(61a)의 내측으로 삽입된다. 접점버튼(61b)이 하우징(61a)의 내측으로 삽입되면 스위치신호를 발생하게 된다.

스위치(61)에서 스위치신호가 발생되면 이를 제어기(62)에서 수신받는다. 제어기(62)는 스위치신호가 수신되면 SMIF 플레이트(12)에 반도체웨이퍼(W)가 장착된 상태로 판단하여 램프온신호를 발생하여 출력하게 된다. 제어기(62)로부터 램프온신호가 출력되면 이를 램프드라이버(63)에서 수신받아 웨이퍼표면검사장치(30)에 구비된 램프(35)를 온시키기 위한 램프구동신호를 발생하여 출력하고, 램프온신호를 수신받은 램프(35)가 온 상태를 유지하게 된다. 이 상태에서 웨이퍼이송시스템은 반도체웨이퍼(W)를 웨이퍼표면검사장치(30)로 이송하게 된다.

웨이퍼표면검사장치(30)로 반도체웨이퍼(W)를 이송하기 위해 먼저, SMIF 장치(10)의 SMIF 플레이트(12)에 반도체웨이퍼(W)가 장착된 카세트(13)가 로딩된 후 파드(11)로 밀봉하게 된다. 이 후 SMIF 플레이트(12)가 화살표 A방향으로 하강하여 지지부재(14)에 안착된다. 지지부재(14)에 카세트(13)가 안착되면 카세트(13)의 내측에 장착된 반도체웨이퍼(W)를 웨이퍼이송아암(40)에 의해 웨이퍼사전정렬기(20)로 이송된다.

웨이퍼사전정렬기(20)는 반도체웨이퍼(W)를 웨이퍼표면검사장치(30)로 이송시 사전에 반도체웨이퍼(W)를 정렬시키기 위해 사용된다. 카세트(13)에서 반도체웨이퍼(W)를 웨이퍼사전정렬기(20)로 이송시키는 이송아암(43)은 제1지지블럭(41) 위에 조립된 제1회전축(42)이 화살표 B방향으로 회전되어 카세트(13)로 이동한 후 카세트(13)에 장착된 반도체웨이퍼(W)를 인출하여 웨이퍼사전정렬기(20)로 반도체웨이퍼(W)를 이송한다.

웨이퍼사전정렬기(20)로 이송된 반도체웨이퍼(W)는 웨이퍼교체아암(50)에 의해 웨이퍼표면검사장치(30)로 이송된다. 웨이퍼교체아암(50)은 제2지지블럭(51)에 조립된 제2회전축(52)의 회전에 의해 교체아암(53)의 양단에 각각 구비된 웨이퍼그립부(53a)를 화살표 C방향으로 회전시켜 웨이퍼사전정렬기(20)에 이송된 반도체웨이퍼와 웨이퍼표면검사장치(30)로 이송된 반도체웨이퍼(W)를 동시에 집어 교체하게 된다. 웨이퍼교체아암(50)에 의해 이송된 반도체웨이퍼(W)를 검사하는 웨이퍼검사장치(30)의 작업위치(34)는 제3지지블럭(31)의 평면에 설정된다.

작업위치(34)로 반도체웨이퍼(W)가 이송되면 대안렌즈(32) 및 대물렌즈(33)를 통해 반도체웨이퍼(W)를 검사하게 된다. 반도체웨이퍼(W)를 검사하는 동안 램프(35)는 램프드라이버(63)로부터 수신되는 램프온구동신호를 수신받아 온 상태가 된다. 램프(35)가 온이되면 작업위치(34)로 이송된 반도체웨이퍼(W)의 표면으로 소정의 밝기를 갖는 빛을 조사하여 반도체웨이퍼(W)를 검사하게 된다.

전술한 과정과 반대로 SMIF 플레이트(12)가 파드(11)가 설치된 위치로 수직 상승되면 스위치(61)는 두께(t) 만큼 돌출되어 스위치신호를 발생하지 않게 된다. 스위치(61)에서 스위치신호가 발생되어 출력되지 않으면 제어기(62)는 램프온신호의 출력을 중단하게 된다. 제어기(62)에서 램프온신호를 출력하지 않게 되면 램프드라이버(63)가 비활성화되어 램프(35)를 오프시키게 된다.

이상과 같이 SMIF 플레이트가 수직 하강하여 지지부재에 안착되는 여부에 따라 웨이퍼표면검사장치에 구비된 램프를 온/오프시킴으로써 램프의 수명을 연장시켜 웨이퍼표면검사장치의 가동률을 향상시킬 수 있게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안은 SMIF 플레이트가 수직 하강하여 지지부재에 안착되는 여부에 따라 웨이퍼표면검사장치에 구비된 램프를 온/오프시킴으로써 램프의 수명을 연장시켜 웨이퍼표면검사장치의 가동률을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.

Claims

SMIF장치, 웨이퍼사전정렬기, 웨이퍼이송아암 및 웨이퍼교체아암으로 구성된 웨이퍼이송시스템을 구비한 웨이퍼표면검사장치에 있어서,

상기 SMIF장치의 지지부재의 일측단에 조립되어 SMIF 플레이트가 수직 하강하여 지지부재에 안착되는 힘에 의해 스위치신호를 발생하여 출력하는 스위치;

상기 스위치로부터 출력되는 스위치신호가 수신되면 램프온신호를 발생하여 출력하는 제어기; 및

상기 제어기로부터 출력되는 램프온신호를 수신받아 상기 웨이퍼표면검사장치에 구비된 램프를 온시키기 위한 램프구동신호를 발생하여 출력하는 램프드라이버로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼표면검사장치의 램프제어장치.
제 1 항에 있어서, 상기 스위치는 마이크로 스위치가 사용됨을 특징으로 하는 웨이퍼표면검사장치의 램프제어장치.
제 1 항과 제 2 항에 있어서, 상기 스위치는 상기 지지부재의 내측으로 조립되는 하우징; 및

상기 하우징에 조립되어 상기 SMIF 플레이트가 하강되어 지지부재에 안착되면 하우징의 내측으로 삽입되는 접점버튼으로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼표면검사장치의 램프제어장치.