KR200221083Y1 - Apparatus for adjusting height of microscope - Google Patents

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KR200221083Y1 KR2020000032375U KR20000032375U KR200221083Y1 KR 200221083 Y1 KR200221083 Y1 KR 200221083Y1 KR 2020000032375 U KR2020000032375 U KR 2020000032375U KR 20000032375 U KR20000032375 U KR 20000032375U KR 200221083 Y1 KR200221083 Y1 KR 200221083Y1
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vertical
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vertical shaft
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박종운
양대석
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아남반도체주식회사
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Abstract

본 고안은 마이크로스코프의 높이조절장치에 관한 것으로, 높이조절장치는 평면에 수직높이 방향으로 수직샤프트(11a)가 고정 조립되는 제1베이스플레이트(11)와, 제1베이스플레이트(11)에 조립된 수직샤프트(11a)에 삽입되어 수직방향으로 이동되도록 조립되는 제2베이스플레이트(12)와, 제2베이스플레이트(12)의 일면에 조립됨과 아울러 정면에 조립된 아이피스 모듈(15)과 물체(도시 않음) 사이의 초점거리가 조절되도록 아이피스 모듈(15)을 수직방향으로 이동시키는 제1승강장치(13)와, 제2베이스플레이트(12)의 일면에 조립된 제1승강장치(13)의 측면에 조립됨과 아울러 제1베이스플레이트(11)에 조립된 수직샤프트(11a)에 조립되어 제2베이스플레이트(12)와 제1승강장치(13)의 수직 높이를 조절하는 제2승강장치(14)로 구성하여, 마이크로스코프를 작업자의 신체 조건에 따라 높이를 조절할 수 있도록 함에 있다.The present invention relates to a height adjusting device of the microscope, the height adjusting device is assembled to the first base plate 11 and the first base plate 11 is fixed to the vertical shaft (11a) fixed in the vertical height direction to the plane The second base plate 12 inserted into the vertical shaft 11a and assembled to move in the vertical direction, the eyepiece module 15 and the object assembled to one surface of the second base plate 12 and assembled to the front ( (Not shown) of the first lifting device 13 for moving the eyepiece module 15 in the vertical direction so that the focal length is adjusted, and the first lifting device 13 assembled to one surface of the second base plate 12. The second lifting device 14 is assembled to the side and is assembled to the vertical shaft 11a assembled to the first base plate 11 to adjust the vertical height of the second base plate 12 and the first lifting device 13. The scope of the operator's body The height can be adjusted according to the conditions.

Description

마이크로스코프의 높이조절장치{Apparatus for adjusting height of microscope}Apparatus for adjusting height of microscope

본 고안은 마이크로스코프의 높이조절장치에 관한 것으로, 특히 반도체웨이퍼나 기타 물체의 외관을 확대시켜 볼 수 있는 마이크로스코프에서 작업자의 신체적 조건에 따라 높이를 조절할 수 있는 마이크로스코프의 높이조절장치에 관한 것이다.The present invention relates to a height adjustment device of the microscope, and more particularly to a height adjustment device of the microscope that can adjust the height according to the physical conditions of the operator in the microscope that can enlarge the appearance of the semiconductor wafer or other objects. .

작업자의 눈으로 확인할 수 없는 반도체소자의 제조공정에서 반도체웨이퍼의 표면 상태나 미세한 물체를 보기 위해 마이크로스코프가 사용된다. 마이크로스코프는 베이스플레이트(base plate), 승강장치 및 아이피스 모듈(eye piece module)로 구성된다. 이러한 구성을 갖는 마이크로스코프의 구성을 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.Microscopes are used to view the surface state of semiconductor wafers or fine objects in the manufacturing process of semiconductor devices that cannot be seen by the operator's eyes. The microscope consists of a base plate, a hoist and an eye piece module. A configuration of a microscope having such a configuration will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래의 마이크로스코프의 사시도이다. 도시된 바와 같이, 마이크로스코프는 제2베이스플레이트(12), 제1승강장치(13) 및 아이피스 모듈(15)로 구성된다. 제2베이스플레이트(12)의 평면에는 확대될 물체가 안착되는 작업위치(12a)가 형성되며, 일면에는 제1승강장치(13)가 조립된다. 제1승강장치(13)의 정면의 수직방향으로 가이드홈(13a)이 형성되며, 이 가이드홈(13a)을 따라 작업위치(12a)에 안착된 물체의 초점을 조절하기 위해 아이피스 모듈(15)이 수직방향으로 이동되도록 조립된다.1 is a perspective view of a conventional microscope. As shown, the microscope consists of a second base plate 12, a first lifting device 13 and an eyepiece module 15. A work position 12a is formed on the plane of the second base plate 12 on which an object to be enlarged is seated, and a first elevating device 13 is assembled on one surface thereof. A guide groove 13a is formed in the vertical direction of the front of the first elevating device 13, and the eyepiece module 15 adjusts the focus of an object seated at the work position 12a along the guide groove 13a. It is assembled to move in the vertical direction.

아이피스 모듈(15)이 수직방향으로 이동시 이동간격을 조절하기 위해 조절부재(15a)가 사용된다. 조절부재(15a)를 작업자가 소정방향으로 회전시키면 아이피스 모듈(15)이 수직방향으로 상승하게 되며, 소정방향의 반대방향으로 회전시키면 아이피스 모듈(15)은 하강된다. 조절부재(15a)의 조절에 의해 수직방향으로 이동되는 아이피스 모듈(15)은 제1승강장치(13)의 정면에 형성된 가이드홈(13a)을 따라 이동된다. 승강장치(13)를 이용한 아이피스 모듈(15)의 이동구조는 일반적인 구성이 사용됨으로 상세한 설명은 생략한다.The adjusting member 15a is used to adjust the movement interval when the eyepiece module 15 moves in the vertical direction. When the operator rotates the adjustment member 15a in a predetermined direction, the eyepiece module 15 is raised in the vertical direction, and when the operator rotates in the opposite direction of the predetermined direction, the eyepiece module 15 is lowered. The eyepiece module 15 which is vertically moved by the adjustment of the adjusting member 15a is moved along the guide groove 13a formed at the front of the first elevating device 13. The movement structure of the eyepiece module 15 using the elevating device 13 is a general configuration is used, so a detailed description thereof will be omitted.

제1승강장치(13)의 가이드홈(13a)을 따라 작업위치(12a)에 놓인 물체의 초점거리가 조절되도록 수직방향으로 이동되는 아이피스 모듈(15)의 상단에는 아이피스 렌즈(eye piece lens)(15b)가 조립된다. 아이피스 렌즈(15b)를 통해 작업자는 제2베이스플레이트(12)의 작업위치(12a)에 위치한 물체를 확대하여 보게 된다. 아이피스 렌즈(15b)를 통해 물체를 확대하여 볼 경우에 마이스크로스코프의 설치 높이에 작업자가 맞추어야 된다.An eye piece lens (eye piece lens) is disposed on an upper end of the eyepiece module 15 which is vertically moved to adjust a focal length of an object placed at the work position 12a along the guide groove 13a of the first elevating device 13. 15b) is assembled. Through the eyepiece lens 15b, the operator magnifies an object located at the working position 12a of the second base plate 12. When the object is magnified and viewed through the eyepiece lens 15b, the operator should be adjusted to the installation height of the microscope.

종래의 마이크로스코프와 같이 고정 설치되는 경우에 마이크로스코프의 설치 높이에 작업자의 신체적 조건을 맞춤으로써 장시간 작업시 쉽게 피로해져 생산성이 저하되는 문제점이 있다.In the case of fixed installation as in the conventional microscope, there is a problem that productivity is reduced due to easy fatigue during a long time work by adjusting the physical condition of the operator to the installation height of the microscope.

본 고안의 목적은 물체를 소정의 배율로 확대하여 검사하거나 관찰하기 위해 사용되는 마이크로스코프에서 작업위치가 형성된 제2베이스플레이트와 아이피스 모듈의 수직높이 조절시 동시에 조절할 수 있는 마이크로스코프의 수직높이 조절장치를 제공함에 있다.An object of the present invention is to adjust the vertical height of the microscope and the height of the second base plate and the eyepiece module in which the working position is formed in the microscope used to inspect or observe the object at a predetermined magnification. In providing.

본 고안의 다른 목적은 마이크로스코프의 수직높이를 조절할 수 있도록 함으로써 작업자의 신체 조건에 따라 높이를 조절할 수 있게 되어 보다 편리하게 물체를 관찰할 수 있도록 함에 있다.Another object of the present invention is to be able to adjust the vertical height of the microscope to be able to adjust the height according to the physical condition of the operator to more convenient to observe the object.

도 1은 종래의 마이크로스코프의 사시도,1 is a perspective view of a conventional microscope,

도 2는 본 고안에 의한 높이조절장치가 적용된 마이크로스코프의 사시도,2 is a perspective view of a microscope to which the height adjustment device according to the present invention is applied,

도 3은 도 2에 도시된 승강장치의 사시도,3 is a perspective view of the lifting apparatus shown in FIG. 2;

도 4는 도 3에 도시된 승강장치의 A-A'선 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of the elevator apparatus shown in FIG. 3.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명><Description of Signs for Main Parts of Drawings>

11: 제1베이스플레이트 11a: 수직샤프트11: first base plate 11a: vertical shaft

12: 제2베이스플레이트 12a: 작업위치12: second base plate 12a: working position

13: 제1승강장치 13a: 가이드홈13: lifting device 13a: guide groove

14: 제2승강장치 14a: 스톱퍼14: second lifting device 14a: stopper

14b: 나사산 14c: 프레임14b: thread 14c: frame

15: 아이피스 모듈15: Eyepiece Module

본 고안의 마이크로스코프의 높이조절장치는 평면에 수직높이 방향으로 수직샤프트가 고정 조립되는 제1베이스플레이트; 제1베이스플레이트에 조립된 수직샤프트에 삽입되어 수직방향으로 이동되도록 조립되는 제2베이스플레이트; 제2베이스플레이트의 일면에 조립됨과 아울러 정면에 조립된 아이피스 모듈과 물체 사이의 초점거리가 조절되도록 아이피스 모듈을 수직방향으로 이동시키는 제1승강장치; 및 제2베이스플레이트의 일면에 조립된 제1승강장치의 측면에 조립됨과 아울러 제1베이스플레이트에 조립된 수직샤프트에 조립되어 제2베이스플레이트와 제1승강장치의 수직 높이를 조절하는 제2승강장치로 구성됨을 특징으로 한다.The height adjusting device of the microscope of the present invention is the first base plate is fixed vertical assembly in the vertical height direction on the plane; A second base plate inserted into the vertical shaft assembled to the first base plate and assembled to move in the vertical direction; A first lifting device which is assembled to one surface of the second base plate and moves the eyepiece module in a vertical direction so that a focal length between the eyepiece module and the object assembled on the front surface is adjusted; And a second elevating device which is assembled to a side of the first elevating device assembled to one surface of the second base plate and is assembled to a vertical shaft assembled to the first base plate to adjust the vertical height of the second base plate and the first elevating device. It is characterized by.

제1베이스플레이트에 조립되는 수직샤프트는 복수개가 구비되며, 제2승강장치는 수직샤프트가 복수개가 구비되면 각각의 수직샤프트에 조립됨과 아울러 제1승강장치의 양측면에 각각 조립되도록 복수개가 구비됨을 특징으로 한다.The plurality of vertical shafts are assembled to the first base plate, the second lifting device is characterized in that the plurality of vertical shafts are provided with a plurality so as to be assembled to each of the vertical shafts and to be assembled on both sides of the first lifting device, respectively. .

제2승강장치는 수직샤프트가 조립되도록 일단면과 타단면을 관통시켜 형성된 제1관통구가 구비됨과 아울러 일측면에 제2관통구가 형성된 프레임과, 프레임에 형성된 제1관통구의 일단면과 타측면에 각각 조립되어 수직샤프트를 밀착시키는 오링과, 프레임의 일측면에 형성된 제2관통구의 내측으로 조립됨과 아울러 수직샤프트에 가이드되어 제2베이스플레이트와 제1승강장치의 수직높이 조절 후 수직샤프트에 고정시키는 스톱퍼로 구성됨을 특징으로 한다.The second elevating device is provided with a first through hole formed by penetrating one end face and the other end face so that the vertical shaft is assembled, and a frame having a second through hole formed on one side thereof, and one end face and the other side face of the first through hole formed on the frame. O-rings, which are assembled on the vertical shafts, to be in close contact with the vertical shaft, and are assembled to the inside of the second through hole formed on one side of the frame. It is characterized by consisting of a stopper.

프레임의 일측면에 형성된 제2관통구는 내측으로 나사산이 형성되며, 스톱퍼는 프레임의 제2관통구의 내측으로 형성된 나사산에 대응되도록 외주면에 나사산이 형성됨을 특징으로 한다.The second through hole formed on one side of the frame is formed with a screw thread inward, the stopper is characterized in that the thread is formed on the outer circumferential surface to correspond to the screw thread formed inside of the second through hole of the frame.

본 고안의 구성 및 작용을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the configuration and operation of the subject innovation in more detail as follows.

도 2는 본 고안에 의한 높이조절장치가 적용된 마이크로스코프의 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 승강장치의 사시도이다. 도시된 바와 같이, 높이조절장치는 평면에 수직높이 방향으로 수직샤프트(11a)가 고정 조립되는 제1베이스플레이트(11)와, 제1베이스플레이트(11)에 조립된 수직샤프트(11a)에 삽입되어 수직방향으로 이동되도록 조립되는 제2베이스플레이트(12)와, 제2베이스플레이트(12)의 일면에 조립됨과 아울러 정면에 조립된 아이피스 모듈(15)과 물체(도시 않음) 사이의 초점거리가 조절되도록 아이피스 모듈(15)을 수직방향으로 이동시키는 제1승강장치(13)와, 제2베이스플레이트(12)의 일면에 조립된 제1승강장치(13)의 측면에 조립됨과 아울러 제1베이스플레이트(11)에 조립된 수직샤프트(11a)에 조립되어 제2베이스플레이트(12)와 제1승강장치(13)의 수직 높이를 조절하는 제2승강장치(14)로 구성된다.2 is a perspective view of a microscope to which the height adjusting device according to the present invention is applied, and FIG. 3 is a perspective view of the lifting device shown in FIG. 2. As shown in the drawing, the height adjusting device is inserted into the first base plate 11 to which the vertical shaft 11a is fixedly assembled in the vertical height direction on the plane, and to the vertical shaft 11a assembled to the first base plate 11. And the focal length between the eyepiece module 15 and the object (not shown) assembled to the second base plate 12 and assembled on one surface of the second base plate 12 and assembled on the front side, The first base and the first base is assembled to the side of the first elevating device 13, which is assembled on one surface of the second base plate 12, and the first base to move the eyepiece module 15 in the vertical direction to be adjusted It is composed of a second elevating device 14 is assembled to the vertical shaft (11a) assembled to the plate 11 to adjust the vertical height of the second base plate 12 and the first elevating device (13).

본 고안의 구성 및 작용을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the configuration and operation of the subject innovation in more detail as follows.

본 고안의 높이조절장치가 구비된 마이크로스코프는 제1베이스플레이트(11), 제2베이스플레이트(12), 제1승강장치(13), 제2승강장치(14) 및 아이피스 모듈(15)로 구성된다. 제2베이스플레이트(12)의 평면에는 확대될 물체가 안착되는 작업위치(12a)가 형성되며, 일면에는 제1승강장치(13)가 조립된다. 제1승강장치(13)의 정면의 수직방향으로 가이드홈(13a)이 형성되며, 이 가이드홈(13a)을 따라 작업위치(12a)에 안착된 물체의 초점을 조절하기 위해 아이피스 모듈(15)이 수직방향으로 이동되도록 조립된다.Microscope equipped with a height adjustment device of the present invention is the first base plate 11, the second base plate 12, the first lifting device 13, the second lifting device 14 and the eyepiece module 15 It is composed. A work position 12a is formed on the plane of the second base plate 12 on which an object to be enlarged is seated, and a first elevating device 13 is assembled on one surface thereof. A guide groove 13a is formed in the vertical direction of the front of the first elevating device 13, and the eyepiece module 15 adjusts the focus of an object seated at the work position 12a along the guide groove 13a. It is assembled to move in the vertical direction.

아이피스 모듈(15)이 수직방향으로 이동시 이동간격을 조절하기 위해 조절부재(15a)가 사용된다. 조절부재(15a)를 작업자가 소정방향으로 회전시키면 아이피스 모듈(15)이 수직방향으로 상승하게 되며, 소정방향의 반대방향으로 회전시키면 아이피스 모듈(15)은 하강된다. 조절부재(15a)의 조절에 의해 수직방향으로 이동되는 아이피스 모듈(15)은 제1승강장치(13)의 정면에 형성된 가이드홈(13a)을 따라 이동된다.The adjusting member 15a is used to adjust the movement interval when the eyepiece module 15 moves in the vertical direction. When the operator rotates the adjustment member 15a in a predetermined direction, the eyepiece module 15 is raised in the vertical direction, and when the operator rotates in the opposite direction of the predetermined direction, the eyepiece module 15 is lowered. The eyepiece module 15 which is vertically moved by the adjustment of the adjusting member 15a is moved along the guide groove 13a formed at the front of the first elevating device 13.

제1승강장치(13)의 가이드홈(13a)을 따라 작업위치(12a)에 놓인 물체의 초점거리가 조절되도록 수직방향으로 이동되는 아이피스 모듈(15)의 상단에는 아이피스 렌즈(15b)가 조립된다. 아이피스 렌즈(15b)를 통해 작업자는 제2베이스플레이트(12)에 위치한 물체를 확대하여 보게 된다. 아이피스 렌즈(15b)를 통해 제2베이스플레이트(12)에 위치한 물체를 확대하여 볼 경우에 작업자의 신체 조건에 따라 제2베이스플레이트(12)와 아이피스 모듈(15)의 수직 높이를 조절하기 위해 높이조절장치가 사용된다.The eyepiece lens 15b is assembled at the upper end of the eyepiece module 15 which is vertically moved so that the focal length of the object placed at the work position 12a along the guide groove 13a of the first elevating device 13 is adjusted. . Through the eyepiece lens 15b, the operator enlarges and views an object located on the second base plate 12. When the object positioned on the second base plate 12 is enlarged through the eyepiece lens 15b, the height is adjusted to adjust the vertical height of the second base plate 12 and the eyepiece module 15 according to the physical condition of the operator. An adjusting device is used.

높이조절장치는 제1베이스플레이트(11), 수직샤프트(11a) 및 제2승강장치(14)로 구성된다. 제1베이스플레이트(11)는 지면에 설치됨과 아울러 평면에 수직높이 방향으로 수직샤프트(11a)가 고정 조립된다. 제1베이스플레이트(11)에 조립된 수직샤프트(11a)에는 제2베이스플레이트(12)가 삽입되어 수직방향으로 이동되도록 조립된다. 수직샤프트(11a)에 조립된 제2베이스플레이트(12)의 일면에 제1승강장치(13)가 조립되고, 제1승강장치(13)의 측면에 제2승강장치(14)가 조립된다.The height adjusting device includes a first base plate 11, a vertical shaft 11a and a second lifting device 14. The first base plate 11 is installed on the ground and the vertical shaft 11a is fixedly assembled in the vertical height direction to the plane. The second base plate 12 is inserted into the vertical shaft 11a assembled to the first base plate 11 so as to move in the vertical direction. The first elevating device 13 is assembled to one surface of the second base plate 12 assembled to the vertical shaft 11a, and the second elevating device 14 is assembled to the side of the first elevating device 13.

제2승강장치(14)는 제1베이스플레이트(11)에 조립된 수직샤프트(11a)에 조립되어 제2베이스플레이트(12)와 제1승강장치(13)의 수직높이 조절시 사용된다. 제2베이스플레이트(12)와 제1승강장치(13)의 수직높이를 조절하기 위해 먼저 작업자가 제2승강장치(14)를 이용하여 아이피스 모듈(15)이 조립되는 제1승강장치(13)와 제2베이스플레이트(12)를 제1베이스플레이트(11)로부터 위로 올리거나 내리게 된다. 제2승강장치(14)를 위로 올리거나 내리게 되면 제2승강장치(14)는 수직샤프트(11a)에 의해 가이드되어 수직높이 방향으로 이동된다.The second elevating device 14 is assembled to the vertical shaft 11a assembled to the first base plate 11 and used to adjust the vertical height of the second base plate 12 and the first elevating device 13. In order to adjust the vertical height of the second base plate 12 and the first elevating device 13, the first elevating device 13 in which the eyepiece module 15 is assembled by the operator using the second elevating device 14. And the second base plate 12 is raised or lowered from the first base plate 11. When the second elevating device 14 is raised or lowered, the second elevating device 14 is guided by the vertical shaft 11a and moved in the vertical height direction.

수직샤프트(11a)에 의해 가이드되어 수직높이 방향으로 이동시킨 후 제2승강장치(14)를 스톱퍼(14a)로 고정시키게 된다. 스톱퍼(14a)로 고정되는 제2승강장치(14)는 프레임(14c), 오링(14f) 및 스톱퍼(14a)로 구성된다. 프레임(14c), 오링(14f) 및 스톱퍼(14a)로 구성되는 제2승강장치(14)는 제1승강장치(13)의 양측면에 조립되기 위해 복수개로 구성할 수 있다. 제2승강장치(14)가 복수개로 구비되는 경우에 제1베이스플레이트(11)에 조립되는 수직샤프트(11a)는 복수개가 구비된다.Guided by the vertical shaft (11a) to move in the vertical height direction is to fix the second lifting device 14 with a stopper (14a). The second lifting device 14 fixed by the stopper 14a is composed of a frame 14c, an O-ring 14f, and a stopper 14a. The second lifting device 14 composed of the frame 14c, the O-ring 14f, and the stopper 14a may be configured in plural to be assembled to both sides of the first lifting device 13. When the plurality of second lifting devices 14 are provided, a plurality of vertical shafts 11a assembled to the first base plate 11 are provided.

복수개로 구성할 수 있는 제2승강장치(14)의 프레임(14c)은 제1승강장치(13)의 측면에 고정 조립된다. 프레임(14c)은 수직샤프트(11a)가 조립되도록 일단면과 타단면을 관통시켜 형성된 제1관통구(14d)가 형성되고, 일측면에 제2관통구(14e)가 형성된다. 프레임(14c)에 형성된 제1관통구(14d)의 일단면과 타측면에 각각 오링(14f)이 조립되어 수직샤프트(11a)가 삽입 장착시 수직샤프트(11a)를 밀착시키게 된다.The frame 14c of the second lifting device 14 that can be configured in plural numbers is fixedly assembled to the side of the first lifting device 13. The frame 14c has a first through hole 14d formed through the one end face and the other end face so that the vertical shaft 11a is assembled, and a second through hole 14e is formed on one side. The o-ring 14f is assembled to one end surface and the other side surface of the first through hole 14d formed in the frame 14c, thereby bringing the vertical shaft 11a into close contact with the vertical shaft 11a.

수직샤프트(11a)를 프레임(11c)에 밀착시켜 조립함으로써 프레임(11c)의 수직방향으로 이동시 자중에 의해 쉽게 내려가지 않도록 한다. 프레임(11c)의 수직이동이 완료되면 프레임(11c)을 수직샤프트(11a)에 고정시키기 위해 스톱퍼(14a)가 사용된다. 스톱퍼(14a)는 프레임(14c)의 일측면에 형성된 제2관통구(14e)의 내측으로 조립되어 수직샤프트(11a)를 기준으로 제2베이스플레이트(12)와 제1승강장치(13)의 수직높이 조절시 수직샤프트(11a)에 고정시킨다.By assembling the vertical shaft 11a in close contact with the frame 11c, the vertical shaft 11a is not easily lowered by its own weight when moving in the vertical direction of the frame 11c. When the vertical movement of the frame 11c is completed, the stopper 14a is used to fix the frame 11c to the vertical shaft 11a. The stopper 14a is assembled to the inside of the second through hole 14e formed on one side of the frame 14c, so that the stopper 14a of the second base plate 12 and the first elevating device 13 are based on the vertical shaft 11a. When adjusting the vertical height, it is fixed to the vertical shaft (11a).

프레임(14c)의 일측면에 형성된 제2관통구(14e)의 내측은 나사산(14g)이 형성되며, 스톱퍼(14a)의 외주면도 제2관통구(14e)의 내측에 형성된 나사산(14g)과 대응되도록 도 4에서와 같이 나사산(14b)이 형성된다. 제2관통구(14e)의 내측면과 스톱퍼(14a)의 외주면에 각각 나사산(14g)과 나사산(14b)을 형성함으로써 수직샤프트(11a)의 외주면에 프레임(14c)을 고정시 단단하게 고정시킬 수 있게 된다.The inside of the second through hole 14e formed on one side of the frame 14c has a thread 14g formed therein, and the outer circumferential surface of the stopper 14a also has the screw 14g formed inside the second through hole 14e. Thread 14b is formed as shown in FIG. 4. The thread 14g and the thread 14b are formed on the inner surface of the second through hole 14e and the outer circumferential surface of the stopper 14a, respectively, to securely fix the frame 14c to the outer circumferential surface of the vertical shaft 11a. It becomes possible.

이상과 같이 제2승강장치를 이용하여 마이크로스코프의 수직높이를 작업자의 신체조건에 따라 조절할 수 있도록 함으로써 보다 편리하게 마이크로스코프를 사용할 수 있게 된다.As described above, the height of the microscope can be adjusted according to the physical condition of the operator using the second elevating device, so that the microscope can be used more conveniently.

이상에서 설명한 바와 같이 높이조절장치를 이용하여 마이크로스코프의 제2베이스플레이트와 아이피스 모듈의 수직높이를 동시에 조절할 수 있게 됨으로써 마이크로스코프를 작업자의 신체 조건에 따라 높이를 조절할 수 있는 효과를 제공한다.As described above, it is possible to simultaneously adjust the vertical height of the second base plate and the eyepiece module of the microscope by using the height adjusting device, thereby providing an effect of adjusting the height according to the physical condition of the operator.

Claims (6)

마이크로스코프의 수직 높이를 조절하는 장치에 있어서,In the device for adjusting the vertical height of the microscope, 평면에 수직높이 방향으로 수직샤프트가 고정 조립되는 제1베이스플레이트;A first base plate on which a vertical shaft is fixedly assembled in a direction perpendicular to the plane; 상기 제1베이스플레이트에 조립된 수직샤프트에 삽입되어 수직방향으로 이동되도록 조립되는 제2베이스플레이트;A second base plate inserted into the vertical shaft assembled to the first base plate and assembled to move in a vertical direction; 상기 제2베이스플레이트의 일면에 조립됨과 아울러 정면에 조립된 아이피스 모듈과 물체 사이의 초점거리가 조절되도록 아이피스 모듈을 수직방향으로 이동시키는 제1승강장치; 및A first elevating device which is assembled to one surface of the second base plate and moves the eyepiece module in a vertical direction to adjust a focal length between an eyepiece module and an object assembled on a front surface thereof; And 상기 제2베이스플레이트의 일면에 조립된 상기 제1승강장치의 측면에 조립됨과 아울러 상기 제1베이스플레이트에 조립된 수직샤프트에 조립되어 상기 제2베이스플레이트와 상기 제1승강장치의 수직 높이를 조절하는 제2승강장치로 구성됨을 특징으로 하는 마이크로스코프의 높이조절장치.A second assembly assembled to a side of the first elevating device assembled to one surface of the second base plate and assembled to a vertical shaft assembled to the first base plate to adjust a vertical height of the second base plate and the first elevating device. Height adjustment device of the microscope, characterized in that consisting of two lifting devices. 제 1 항에 있어서, 상기 제1베이스플레이트에 조립되는 수직샤프트는 복수개가 구비됨을 특징으로 하는 마이크로스코프의 높이조절장치.The height adjusting apparatus of claim 1, wherein a plurality of vertical shafts are assembled to the first base plate. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제2승강장치는 상기 수직샤프트가 복수개가 구비되면 각각의 수직샤프트에 조립됨과 아울러 상기 제1승강장치의 양측면에 각각 조립되도록 복수개가 구비됨을 특징으로 하는 마이크로스코프의 높이조절장치.According to claim 1 or claim 2, wherein the second lifting device is provided with a plurality of vertical shafts are provided with a plurality so as to be assembled to each of the vertical shafts and to be assembled on both sides of the first lifting device, respectively. Height adjuster. 제 1 항에 있어서, 상기 제2승강장치는 상기 수직샤프트가 조립되도록 일단면과 타단면을 관통시켜 형성된 제1관통구가 구비됨과 아울러 일측면에 제2관통구가 형성된 프레임;According to claim 1, The second lifting device is provided with a first through hole formed by passing through one end surface and the other end surface so that the vertical shaft is assembled, and a frame formed with a second through hole on one side; 상기 프레임에 형성된 제1관통구의 일단면과 타측면에 각각 조립되어 수직샤프트를 밀착시키는 오링; 및An o-ring assembled to one end surface and the other side surface of the first through hole formed in the frame to closely contact the vertical shaft; And 상기 프레임의 일측면에 형성된 제2관통구의 내측으로 조립됨과 아울러 상기 수직샤프트에 가이드되어 상기 제2베이스플레이트와 상기 제1승강장치의 수직높이 조절 후 수직샤프트에 고정시키는 스톱퍼로 구성됨을 특징으로 하는 마이크로스코프의 높이조절장치.Micro-assembled into the inside of the second through-hole formed on one side of the frame and guided to the vertical shaft, characterized in that it consists of a stopper fixed to the vertical shaft after adjusting the vertical height of the second base plate and the first lifting device Scope height adjustment device. 제 4 항에 있어서, 상기 프레임의 일측면에 형성된 제2관통구는 내측으로 나사산이 형성됨을 특징으로 하는 마이크로스코프의 높이조절장치.The apparatus of claim 4, wherein the second through hole formed on one side of the frame has a screw thread formed therein. 제 4 항에 있어서, 상기 스톱퍼는 상기 프레임의 제2관통구의 내측으로 형성된 나사산에 대응되도록 외주면에 나사산이 형성됨을 특징으로 하는 마이크로스코프의 높이조절장치.5. The height adjusting device of the microscope according to claim 4, wherein the stopper has a thread formed on an outer circumferential surface of the stopper so as to correspond to a thread formed inside the second through hole of the frame.
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