KR200213357Y1 - Mask Storage Case - Google Patents
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Abstract
본 고안은 마스크 보관 케이스에 관한 것으로써, 마스크 보관 케이스의 상부 및 하부 케이스의 소정 부분에 마스크의 모서리 하면과 측면을 지지고정하기 위한 고정수단을 가진 지지블록을 다수개 형성하여 마스크의 수납 보관시 마스크의 모서리 하면과 측면이 고정수단에 의해 지지고정되어 안정적인 마스크의 수납 보관시 마스크의 손상과 이물질 발생을 감소시킨 마스크 보관 케이스에 관한 것이다.The present invention relates to a mask storage case, a plurality of support blocks having a fixing means for fixing the bottom and side edges of the mask on the upper and lower cases of the mask storage case to form a plurality of support when storing the mask The lower and side edges of the mask are fixed by the fixing means, and thus the mask storage case reduces damage to the mask and generation of foreign substances during storage of the stable mask.
Description
본 고안은 마스크 보관 케이스에 관한 것으로써, 특히, 마스크의 모서리 후면과 측면을 고정수단이 형성된 하나 이상의 지지블록으로 지지하여 마스크의 수납 보관시, 마스크가 지지블록에 안착될 때 발생되는 마스크의 손상과 이물질의 발생을 줄인 마스크 보관 케이스에 관한 것이다.The present invention relates to a mask storage case, and in particular, damage to the mask generated when the mask is seated on the support block when storing the mask by supporting the rear and side of the mask with at least one support block having a fixing means is formed And a mask storage case that reduces the occurrence of foreign substances.
일반적으로 미세화된 IC회로의 제조를 위하여 복잡한 형상의 회로 패턴을 사진을 현상하는 방법과 같은 방법으로 반도체 기판의 표면에 전사하는데, 이 때 회로 패턴이 형성되어 있는 것이 마스크이다.In general, in order to manufacture a miniaturized IC circuit, a complex circuit pattern is transferred to a surface of a semiconductor substrate in the same manner as a method for developing a photograph, wherein a circuit pattern is formed at this time.
이러한 마스크는 반도체 회로가 복잡해짐에 따라 더욱더 미세해지고 고 정밀성과 고 밀집성이 요구된다.Such masks are becoming finer as semiconductor circuits become more complex and require high precision and high density.
따라서 마스크의 손상이나 이물질의 부착은 미세한 패턴 형성에 절대적인 악영향을 미치게 되기 때문에 보관 및 운반 취급에 매우 주의를 요한다.Therefore, the damage of the mask or the adhesion of foreign matters have an absolute adverse effect on the formation of fine patterns, and therefore, great care is required for storage and transportation handling.
그러므로, 마스크를 안정적으로 보관 및 운반을 하기 위해 마스크 보관 케이스를 사용하여 마스크를 수납보관하고 있다.Therefore, in order to stably store and transport a mask, a mask storage case is used for storing and storing a mask.
이러한 마스크 보관 케이스에 대해 실용신안출원 제 98-15070호 '레티클 보관 케이스'에서 그 선행기술이 알려져 있다.Such a mask storage case is known from Utility Model Application No. 98-15070 'Reticle Storage Case'.
실용신안출원 제 98-15070 호의 '레티클 보관 케이스'는 4각형 형상을 가진 레티클의 수납보관을 위하여 상부 및 하부 케이스로 구성된 레티클 보관 케이스로써, 상기 하부 또는 상부 케이스에 레티클의 모서리 하면을 지지하기 위한 제 1 면과, 레티클의 모서리 측면을 지지하기 위한 제 2 면 및 제 3 면을 가진 블록으로 형성된 레티클 안착부를 통해 레티클을 수납 보관하되, 상기 제 1 면에 교체 가능한 탄성돌기를 형성하여 탄성돌기에 의해 레티클의 모서리 하면을 지지하여 레티클의 손상을 방지하고, 탄성돌기의 마모 또는 손상시 탄성돌기만을 교환하여 지속적으로 레티클 보관 케이스를 사용할 수 있도록한 레티클 보관 케이스에 대한 것이다.Utility model application No. 98-15070 'reticle storage case' is a reticle storage case consisting of the upper and lower cases for the storage of the reticle having a quadrilateral shape, for supporting the bottom surface of the reticle on the lower or upper case The reticle is stored and stored through a reticle seating portion formed of a block having a first side, and a second side and a third side for supporting the edge side of the reticle, wherein a replaceable elastic protrusion is formed on the first side to form an elastic protrusion. By supporting the lower surface of the corner of the reticle to prevent damage to the reticle, and when the elastic protrusions wear or damage only the reticle storage case that can be used continuously by using the reticle storage case.
그러나, 이러한 종래의 기술은 레티클을 보관케이스내에 수납시킬 때, 레티클의 모서리 하면은 레티클 안착부의 제 1 면에 형성된 탄성돌기에 의해 지지고정되지만, 레티클 모서리 측면은 레티클 안착부의 제 2 및 제 3 면과 접촉되어 지지고정됨으로써 레티클의 수납 보관시 제 2 및 제 3 면의 접촉에 의해 레티클 모서리 측면이 손상된다.However, this conventional technique, when storing the reticle in the storage case, the bottom surface of the reticle is supported by the elastic projection formed on the first side of the reticle seating portion, while the reticle edge side is the second and third side of the reticle seating portion The reticle edge side is damaged by the contact of the second and third surfaces during the storage and storage of the reticle by being in contact with the support.
또한, 탄성돌기의 형태가 ″ㅗ″인 경우에 돌출된 끝단의 면이 평면으로 되어 있어 레티클의 보관시 레티클의 하면과의 접촉면적이 크고, 레티클 표면이 끝단에 의해 표면 손상이 발생되는 문제점이 있다.In addition, when the shape of the elastic protrusion is ″ ㅗ ″, the protruding end face is flat, so that when the reticle is stored, the contact area with the lower surface of the reticle is large, and the surface of the reticle is damaged by the end. have.
그리고, 레티클 안착부를 블록의 형태로 형성하기 위해 사출성형에 의해 상부 및 하부 케이스와 레티클 안착부를 일체형으로 사출하는 과정에서 블록의 부피가 크기 때문에 사출후 블록의 수축량이 커지게 되어 레티클 보관 케이스의 표면에 함곡부가 형성됨에 따라 레티클 안착부의 기계적인 강도가 저하되는 문제점이 있다.In addition, in order to form the reticle seat in the form of a block, the block size is large in the process of integrally injecting the upper and lower cases and the reticle seat by injection molding, so that the shrinkage of the block is increased after injection, thereby increasing the surface of the reticle storage case. As the bent portion is formed in the mechanical strength of the reticle seating portion is deteriorated.
따라서, 본 고안은 이러한 종래의 레티클 보관 케이스의 문제점을 해결하기 위한 것이다.Accordingly, the present invention is to solve the problem of this conventional reticle storage case.
본 고안의 목적은 마스크의 수납 보관시 마스크가 손상되는 것을 방지하고, 이물질이 발생되는 것을 최소화시킬 수 있는 마스크 보관 케이스를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a mask storage case that can prevent the mask from being damaged when the storage of the mask is stored, and to minimize the generation of foreign substances.
따라서, 상기 목적을 달성하기 위해, 본 고안은 반도체 제조용 마스크를 보관하기 위한 상부 및 하부 케이스로 이루어진 마스크 보관 케이스에 있어서, 상기 상부 및 하부 케이스는 마스크의 모서리 하면을 지지고정하기 위한 제 1 면과, 상기 제 1 면에 의해 모서리 하면이 고정된 마스크의 모서리 일측면을 지지고정하기 위한 제 2 면을 가진 지지블록을 다수개 형성하되, 상기 지지블록의 제 1 면과 제 2 면에 각각 고정수단을 구비하여 상기 고정수단이 형성된 하나 이상의 지지블록에 의해 마스크의 모서리 하면과 양측면이 각각 고정되도록 한다.Accordingly, in order to achieve the above object, the present invention is a mask storage case consisting of the upper and lower cases for storing the mask for semiconductor manufacturing, wherein the upper and lower cases and the first surface for holding and fixing the lower surface of the edge of the mask; Forming a plurality of support blocks having a second surface for supporting the one side of the corner of the mask is fixed to the lower surface corner by the first surface, each fixing means on the first surface and the second surface of the support block It is provided with the fixing means is formed by one or more support blocks so that the bottom and both sides of the edge of the mask, respectively.
상기 지지블록의 제 1 면에 형성된 고정수단은 상기 지지블록의 제 1 면에 형성된 홈에 삽입시켜 제 1 면에서 돌출되도록 ″ㅗ″ 형태인 탄성돌기로 하고, 또한 상기 지지블록의 제 2 면에 형성된 고정수단은 상기 지지블록의 제 2 면에 형성된 홈에 삽입시켜 제 2 면에서 돌출되도록 하는 탄성돌편으로 하면 된다.The fixing means formed on the first surface of the support block is an elastic protrusion having a ″ ㅗ ″ shape to be inserted into a groove formed in the first surface of the support block so as to protrude from the first surface, and also to the second surface of the support block. The fixing means may be inserted into a groove formed in the second surface of the support block to be an elastic stone piece to protrude from the second surface.
제 1 도는 본 고안의 마스크 보관 케이스에 대한 사시도이고,1 is a perspective view of the mask storage case of the present invention,
제 2 도는 본 고안인 마스크 보관 케이스의 하부 케이스에 대한 평면도이고,2 is a plan view of the lower case of the mask storage case of the present invention,
제 3 도는 본 고안인 마스크 보관 케이스의 지지블록에 대한 사시도이고,3 is a perspective view of a support block of the mask storage case of the present invention,
제 4 도는 제 3 도의 Ⅳ-Ⅳ 방향의 단면도이다.4 is a cross-sectional view in the IV-IV direction of FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 간략한 부호설명 ** Brief description of the main parts of the drawings *
10 : 상부 마스크 케이스 11 : 하부 마스크 케이스10: upper mask case 11: lower mask case
12 : 지지블록 14 : 탄성돌기12: support block 14: elastic projection
15 : 탄성돌편15: elastic stone piece
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention with reference to the accompanying drawings as follows.
제 1, 2 도는 본 고안인 마스크 보관 케이스에 대한 사시도 및 하부 케이스의 평면도로써, 마스크 보관 케이스는 상부 및 하부 보관 케이스(10,11)로 이루어진다.1 and 2 are a perspective view of the mask storage case of the present invention and a plan view of the lower case, the mask storage case is composed of the upper and lower storage cases (10, 11).
상기 상부 및 하부 보관 케이스(10,11)에는 다수개의 지지블록(12,13)이 상부 및 하부 보관 케이스(10,11)와 일체형으로 형성되는데, 상기 지지블록(12,13)은 상부 및 하부 보관케이스이 결합될 때 서로 맞대응되도록 각각 동일한 위치에 형성하면 된다.The upper and lower storage cases 10 and 11 have a plurality of support blocks 12 and 13 integrally formed with the upper and lower storage cases 10 and 11, and the support blocks 12 and 13 are upper and lower portions. When the storage case is combined, they are formed in the same position so as to correspond to each other.
이때, 마스크의 모서리 부분은 서로 다른 지지블록(12,13)에 의해 하면과 양측면이 고정되도록 한다.At this time, the edge portion of the mask is to be fixed to the lower surface and both sides by different support blocks (12, 13).
즉, 두 개의 지지블록(12,13)에 의해 마스크의 모서리 부분이 각각 지지고정되도록 형성한다.That is, the edge portions of the mask are formed to be supported by the two support blocks 12 and 13, respectively.
제 3 도는 본 고안인 마스크 보관 케이스에서 지지블록에 대한 사시도로써, 상기 지지블록(12)은 마스크의 모서리 하면을 지지하기 위한 제 1 면(a)과, 상기 제 1 면(a)에 의해 모서리 하면이 지지된 마스크의 모서리 일측면을 지지하기 위한 제 2 면(b)을 가진 블록의 형태로 형성된다.3 is a perspective view of a support block in a mask storage case according to the present invention, wherein the support block 12 has a first surface (a) for supporting a lower surface of a corner of the mask and an edge by the first surface (a). The bottom surface is formed in the form of a block having a second surface (b) for supporting one side of the corner of the supported mask.
또한 상기 지지블록(12)에는 고정수단이 형성되어 있는데, 마스크의 모서리 하면을 지지하기 위한 고정수단은 제 1 면에 형성된 홈에 삽입가능한 탄성돌기(14)로 이루어진다.In addition, the support block 12 is formed with a fixing means, the fixing means for supporting the bottom surface of the mask is formed of an elastic protrusion 14 that can be inserted into the groove formed on the first surface.
제 3 도의 Ⅳ-Ⅳ방향의 단면도인 제 4 도를 참조하면, 상기 탄성돌기(14)는 상기 지지블록(12)의 제 1 면(a)에서 일정 간격 돌출되게 형성하면 되는데, 그 돌출된 형태는 ″ㅗ″이고, 돌출된 끝단은 둥근 반구형 형태이다.Referring to FIG. 4, which is a cross-sectional view in the IV-IV direction of FIG. 3, the elastic protrusion 14 may be formed to protrude at a predetermined interval from the first surface a of the support block 12. Is ″ ㅗ ″ and the protruding ends are round hemispherical in shape.
그리고, 마스크의 일 측면을 지지하기 위한 고정수단은 제 2 면(b)에 형성된 홈에 삽입가능한 탄성돌편(15)으로 이루어진다.Then, the fixing means for supporting one side of the mask is made of an elastic stone piece 15 that can be inserted into the groove formed in the second surface (b).
또한, 상기 탄성돌편(15)은 상기 지지블록(12)의 제 2 면(b)에 삽입되면 제 2 면(b)에서 일정간격 돌출되게 하고, 돌출된 면이 라운딩처리되어 있다.In addition, when the elastic stone piece 15 is inserted into the second surface b of the support block 12, the elastic protrusion pieces 15 protrude at a predetermined interval from the second surface b, and the protruding surface is rounded.
상기 탄성돌기(14)와 상기 탄성돌편(15)은 홈에 삽입된 형태로 마모 또는 손상시 교환이 가능하고, 그 재질은 탄성을 가진 실리콘 고무등의 탄성재질로 형성함이 바람직하다.The elastic protrusions 14 and the elastic protrusions 15 may be exchanged when worn or damaged in a form inserted into a groove, and the material may be formed of an elastic material such as silicone rubber having elasticity.
이러한 구성으로 이루어진 본 고안인 마스크 보관 케이스에 의한 마스크의 수납보관은 다음과 같다.Storage of the mask by the mask storage case of the present invention made in such a configuration is as follows.
마스크를 마스크 보관 케이스 내로 수납보관하고자, 먼저, 상부 케이스(10)를 개방시킨후 마스크의 모서리 부분을 지지블록(12,13) 위에 안착시킨다.In order to store the mask into the mask storage case, first, the upper case 10 is opened, and then the edges of the mask are seated on the support blocks 12 and 13.
이때, 마스크의 모서리 부분은 서로 다른 두 개의 지지블록(12,13)에 의해 지지고정되는데, 마스크의 모서리 하면은 지지블록(12,13)의 제 1 면(a)에 형성된 탄성돌기(14)에 의해 지지된다.At this time, the edge portion of the mask is fixed by two different support blocks (12, 13), the bottom surface of the mask is an elastic protrusion 14 formed on the first surface (a) of the support blocks (12, 13) Is supported by.
상기 탄성돌기(14)는 실리콘 고무 등의 탄성재질로 형성되어 있고, 돌출된 끝단이 둥근 반구형 형태로 되어 있어 마스크의 하면을 지지할 때 마스크의 하면의 표면에 표면 손상이 발생되지 않는다.The elastic protrusion 14 is formed of an elastic material such as silicone rubber, and the protruding end has a round hemispherical shape so that surface damage does not occur on the surface of the lower surface of the mask when supporting the lower surface of the mask.
따라서, 마스크의 손상이 방지될 뿐만 아니라, 표면 손상에 의한 이물질의 발생이 감소되고, 끝단이 둥근 반구형 형태의 탄성돌기(14)와 마스크의 하면의 접촉부분이 줄어들게 되어 이물질 부착이 감소된다.Therefore, not only the damage of the mask is prevented, but the occurrence of foreign matters due to the surface damage is reduced, and the contact portion between the hemispherical elastic protrusions 14 having rounded ends and the lower surface of the mask is reduced, thereby reducing foreign matter adhesion.
지지블록(12,13)의 제 1 면(a)에 의해 하면이 지지된 마스크의 모서리 측면은 지지블록(12,13)의 제 2 면(b)에 형성된 탄성편(15)에 의해 지지되는데, 상기 탄성편(15) 또한 실리콘 고무 등의 탄성재질로 되어 있고, 마스크의 측면과 접촉시 측면의 손상을 방지하게 된다.The edge side surface of the mask supported by the lower surface by the first surface a of the support blocks 12 and 13 is supported by the elastic piece 15 formed on the second surface b of the support blocks 12 and 13. In addition, the elastic piece 15 is also made of an elastic material, such as silicone rubber, to prevent damage to the side when in contact with the side of the mask.
또한, 탄성편(15)은 지지블록(12,13)의 제 2 면(b)에서 돌출되고, 돌출된 면이 라운딩처리된 상태로써, 마스크의 손상을 방지할 뿐만 아니라 지지블록의 제 2 면과 마스크의 측면과의 접촉부위는 줄어들게 되어 접촉에 의한 이물질의 부착이 감소된다.In addition, the elastic piece 15 protrudes from the second surface (b) of the support blocks 12 and 13, and the protruding surface is rounded, thereby preventing damage to the mask as well as the second surface of the support block. The contact area with the side of the mask is reduced to reduce the adhesion of foreign matter by the contact.
따라서, 마스크는 서로 다른 두 개의 지지블록(12,13)의 제 1 면(a)에 형성된 탄성돌기(14)에 의해 하면이 안정적으로 지지되고, 서로 다른 두 개의 지지블록(12,13)의 제 2 면(b)에 형성된 탄성돌편(15)에 의해 모서리 양측면이 안정적으로 지지된다.Accordingly, the mask is stably supported by the elastic protrusions 14 formed on the first surface (a) of the two different support blocks 12 and 13, and the two support blocks 12 and 13 of the mask are different from each other. Both sides of the edge are stably supported by the elastic stone pieces 15 formed on the second surface b.
마스크가 하부 케이스(11)에 형성된 다수개의 지지블록(12,13)에 의해 모서리 하면과 측면이 지지고정된 상태에서 상부 케이스(10)를 덮게 되면, 하부 케이스(11)에 형성된 지지블록(12,13)과 동일한 대응위치에 형성된 상부 케이스(10)의 지지블록(12,13)이 마스크의 전면과 측면을 지지고정하게 되어 마스크는 마스크 보관케이스내에 안정적으로 수납 보관된다.When the mask covers the upper case 10 in a state where the lower surface and the side of the edge are fixed by the plurality of support blocks 12 and 13 formed on the lower case 11, the support block 12 formed on the lower case 11 The support blocks 12 and 13 of the upper case 10 formed at the same positions as and 13 are fixed to the front and side surfaces of the mask, so that the mask is stably stored and stored in the mask storage case.
또한, 지지블록(12,13)은 서로 연결되지 않고 일정 간격 분리된 상태로 상부 및 하부 케이스(10,11)에 일체형으로 형성됨으로 사출성형시 블록의 부피를 줄일수 있다.In addition, since the support blocks 12 and 13 are integrally formed in the upper and lower cases 10 and 11 in a state in which the support blocks 12 and 13 are separated from each other by a predetermined interval, the volume of the block may be reduced during injection molding.
따라서, 사출성형후 지지블록(12,13)의 수축에 의한 함곡부 등의 기계적인 강도를 저하시키는 요인이 발생되지 않아 지지블록(12,13)은 일정강도 이상의 강도를 유지하게 되어 마스크의 수납보관시 지지블록(12,13)의 파손이 감소되고, 두 개의 지지블록(12,13)에 의해 마스크를 지지고정하게 됨으로써 마스크를 지지고정하는 힘을 분리시킬수 있게 된다.Therefore, the factor of lowering the mechanical strength, such as the dent, due to the contraction of the support blocks 12 and 13 after injection molding does not occur, so that the support blocks 12 and 13 maintain the strength of a certain strength or more to accommodate the mask. The breakage of the support blocks 12 and 13 during storage is reduced, and the mask is supported by the two support blocks 12 and 13 so that the force holding the mask can be separated.
본 고안인 마스크 케이스는 탄성재질로 이루어지고, 마모 및 파손시 교체가 가능한 탄성돌기와 탄성돌편이 형성된 지지블록에 의해 마스크의 모서리 하면과 측면을 지지고정함으로써 마스크의 수납 보관시 마스크의 표면이 손상되지 않도록 하여 마스크의 수납보관의 안정성을 증대시키고, 마스크와 지지블록과의 접촉면적이 최소화되어 접촉에 의한 이물질의 부착을 감소시키는데 그 효과가 있다.The mask case made of the present invention is made of an elastic material, and the surface of the mask is not damaged when the mask is stored and stored by fixing the lower and side edges of the mask by a support block formed with an elastic protrusion and an elastic protrusion which are replaceable when worn and damaged. It is effective in increasing the stability of the storage of the mask and minimizing the contact area between the mask and the support block, thereby reducing the adhesion of foreign matter by the contact.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019980023837U KR200213357Y1 (en) | 1998-12-02 | 1998-12-02 | Mask Storage Case |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019980023837U KR200213357Y1 (en) | 1998-12-02 | 1998-12-02 | Mask Storage Case |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000011406U KR20000011406U (en) | 2000-07-05 |
| KR200213357Y1 true KR200213357Y1 (en) | 2001-04-02 |
Family
ID=69509707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019980023837U KR200213357Y1 (en) | 1998-12-02 | 1998-12-02 | Mask Storage Case |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200213357Y1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220109263A (en) * | 2021-01-28 | 2022-08-04 | 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 | Reticle pod with quick-release support mechanism |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102655758B1 (en) * | 2023-07-14 | 2024-04-12 | 이동욱 | Probe card carrier |
-
1998
- 1998-12-02 KR KR2019980023837U patent/KR200213357Y1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220109263A (en) * | 2021-01-28 | 2022-08-04 | 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 | Reticle pod with quick-release support mechanism |
| KR102537773B1 (en) * | 2021-01-28 | 2023-05-30 | 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 | Reticle pod with quick-release support mechanism |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20000011406U (en) | 2000-07-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| N231 | Notification of change of applicant | ||
| REGI | Registration of establishment | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20081114 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |