KR200208032Y1

KR200208032Y1 - Micro superfinishing with linear motion guide

Info

Publication number: KR200208032Y1
Application number: KR2020000019255U
Authority: KR
Inventors: 김창효
Original assignee: 주식회사마이크로앤슈퍼피니싱
Priority date: 2000-07-05
Filing date: 2000-07-05
Publication date: 2000-12-15

Abstract

본 고안은 리니어 모션 가이드(LM guide)가 설치된 초정밀 연마기 (Micro superfinishing) 에 관한 것으로, 초정밀 연마기의 요동헤드의 아래부분에 리니어 모션가이드가 고정되게 설치되어, 리니어 모션가이드가 요동헤드를 지지하도록 하여 요동헤드를 오랜시간동안 사용함으로 인하여 요동헤드가 기울어지는 것을 방지할 수 있는 리니어모션 가이드가 설치된 초정밀 연마기 (Micro Superfinishing) 에 관한 것이다.The present invention relates to a micro superfinishing machine in which a linear motion guide (LM guide) is installed. The linear motion guide is fixed to the lower portion of the rocking head of the ultra-precision polisher so that the linear motion guide supports the rocking head. The present invention relates to a micro superfinishing machine equipped with a linear motion guide that can prevent the swing head from tilting due to long use of the swing head.

본 고안에 따른 초정밀 연마기는, 초정밀 연마기 몸체; 상기 몸체의 일측면에 설치되고 공급축 및 수납축; 상기 공급축을 구동시키는 공급축 구동모터; 상기 공급축과 상기 수납축에 끼워져서 설치되고, 연마필름이 장착되는 공급스풀 및 수납스풀; 상기 공급스풀 및 수납스풀의 전방에 설치되고, 상기 공급스풀 및 상기 수납스풀이 상기 구동모터에 의해 구동되는 경우, 좌우 운동을 하는 요동헤드; 상기 요동헤드가 좌우 운동을 할 수 있도록 구동시키는 요동헤드 구동모터; 및 상기 요동헤드 밑에 설치되고 상기 요동헤드를 지지하는 상기 초정밀 연마기 몸체에 고정되게 설치된 요동헤드 지지부; 및 요동헤드의 맨 외측에 상기 요동헤드 지지부에 고정되게 설치되는 고정가이드판 (55)를 포함하고,Ultra-precision polishing machine according to the present invention, the ultra-precision polishing machine body; A supply shaft and a receiving shaft installed on one side of the body; A supply shaft drive motor for driving the supply shaft; A supply spool and a storage spool fitted to the supply shaft and the receiving shaft and mounted with an abrasive film; A swinging head which is installed in front of the supply spool and the storage spool, and which moves left and right when the supply spool and the storage spool are driven by the driving motor; A rocking head drive motor for driving the rocking head to perform left and right motion; And a rocking head support unit installed under the rocking head and fixed to the ultra-precision grinder body supporting the rocking head. And a fixed guide plate 55 fixedly installed at the rocking head supporter on the outermost side of the rocking head,

상기 요동헤드는, 상기 초정밀 연마기 몸체쪽에 위치하는 제 1 요동헤드 측면 가이드판 (45); 상기 제 1 요동헤드 측면 가이드판 (45) 의 반대쪽에 위치하는 제 2 요동헤드 측면 가이드판 (50); 상기 제 1 요동헤드 측면 가이드판 (45) 및 상기 제 2 요동헤드 측면 가이드판 (50) 의 사이에 설치되는 복수개의 안내로울러들 (73), 상기 안내로울러 (73) 의 전방 중간에 압반 고정대 (75) 에 의해 지지되도록 설치된 압반 (70); 상기 압반 (70) 을 지지하는 압반고정대 (75) 와 연결되고, 상기 요동헤드의 압반 (70) 이 설치된 위치의 반대편에 고정되는 실린더 (60); 및 상기 요동헤드를 상기 몸체에 매달리게 지지하는 요동헤드 지지봉 (80) 을 포함하고,The swinging head may include: a first swinging head side guide plate 45 positioned toward the ultra-precision grinder body; A second swing head side guide plate (50) positioned opposite the first swing head side guide plate (45); A plurality of guide rollers 73 installed between the first swing head side guide plate 45 and the second swing head side guide plate 50, a platen holder in the middle of the front of the guide roller 73; A platen 70 installed to be supported by 75; A cylinder 60 connected to the platen holder 75 for supporting the platen 70 and fixed to an opposite side to a position where the platen 70 of the swinging head is installed; And a rocking head support rod 80 for supporting the rocking head to be suspended from the body.

상기 요동헤드지지부는, 연마필름이 지나갈 수 있도록 외측으로 갈수록 두께가 얇아지는 모양을 갖는 복수개의 기저대들 (20); 상기 기저대들 (20) 에 의해 지지되도록 설치된 리니어 모션 기저판 (25); 상기 리니어 모션 기저판 (25) 위에 고정되게 설치되는 레일 (35); 상기 레일을 따라 움직일 수 있는 복수개의 리니어 모션블록들 (30); 및 상기 리니어 모션 블록들 (30) 이 고정되게 설치된 슬라이드판 (40) 을 포함하고, 상기 슬라이드판 (40) 은 상기 요동헤드에 고정되게 설치되고, 상기 슬라이판 (40) 에 고정된 상기 요동헤드가 상기 레일 (35) 을 따라 요동운동을 하는 것을 특징으로 한다.The swinging head support portion includes: a plurality of bases 20 having a shape in which the thickness becomes thinner toward the outside so that the abrasive film can pass therethrough; A linear motion base plate 25 installed to be supported by the base bands 20; A rail 35 fixedly mounted on the linear motion base plate 25; A plurality of linear motion blocks (30) moveable along the rail; And a slide plate 40 to which the linear motion blocks 30 are fixed, wherein the slide plate 40 is fixed to the swing head and is fixed to the slide plate 40. Is characterized in that the rocking motion along the rail (35).

Description

Micro Superfinishing with Linear Motion Guide with Linear Motion Guide

초정밀 연마기는 일반적으로 연마필름 기재의 연마재를 연속적으로 이송시킴으로써 가공하고자 하는 롤 전면에 걸쳐 예상할 수 있는 균일한 표면을 얻도록 하는 장치이다. 일반적으로 작업자가 롤과 같은 품목을 가공할 때 초정밀 연마기를 선반에 설치한 후 사용하게 된다.Ultra-precision polishing machines are generally devices that continuously transfer abrasive material based on an abrasive film to obtain a predictable uniform surface over the entire surface of the roll to be processed. In general, when a worker processes an item such as a roll, an ultra-precision grinder is installed on a lathe and used.

도 1 은 종래의 초정밀 연마기의 외관사시도이다. 도 1 에 도시된 바와 같이, 종래의 초정밀 연마기는 초정밀 연마기 본체 (1), 초정밀 연마기의 한 측면에 설치된 연마용 필름이 설치되어 공급되고 수납되는, 공급축 및 수납축 (2, 3) 에 결합되도록 구성된 공급스풀 (spool) 및 수납스풀 (4, 5), 공급스플로부터의 연마용 필름을 지지되게 하는 상부로울러 (6) 및 하부로울러 (7), 연마 가공하고자 하는 가공물이 가공되게 하는 요동헤드 (8) 로 구성되어 있고, 이들 구성요소들중에서 특히 요동헤드 (8) 는 연마용 필름을 가공물에 대해 눌러주는 역할을 하는 압반 (9), 압반 (9) 을 고정시키는 압반 고정대 (9'), 안내로울러들 (도시되지 않음), 외측 가이드 및 내측 가이드 (10, 11) 로 구성되어 있다. 요동헤드 (8) 는 초정밀 연마기 본체 (1) 의 측면에 고정된 요동헤드 지지축들 (12) 에 의해 매달려 있는 구조로 되어 있다. 연마필름이 요동헤드 (8) 의 밑으로 끼워져야 하므로 요동헤드 (8) 지면에서 약간 떠있는 구성을 갖는다.1 is an external perspective view of a conventional ultra-precision polishing machine. As shown in Fig. 1, the conventional ultra-precision polishing machine is coupled to the supply shaft and the receiving shaft (2, 3) to which the ultra-precision polishing machine body 1, the polishing film installed on one side of the ultra-precision polishing machine, is installed and supplied and received. Feed spools and receiving spools 4 and 5, upper rollers 6 and lower rollers 7 for holding the polishing film from the supply sprockets, and rocking heads for processing the workpiece to be polished. (8), of which the rocking head (8), in particular, the platen (9 '), which serves to press the abrasive film against the workpiece, the platen holder (9') for fixing the platen (9). , Guide rollers (not shown), outer guide and inner guide 10, 11. The swinging head 8 has a structure suspended by the swinging head support shafts 12 fixed to the side of the ultra-precision grinder body 1. Since the abrasive film has to be fitted under the swinging head 8, the swinging head 8 has a configuration slightly floating on the ground.

가공물을 초정밀하게 연마하고자 하는 경우, 연마하고자 하는 가공물을 연마필름이 놓여진 (도시되지 않음) 압반 (9) 에 근접시킴으로써 연마한다. 공급스풀 (4) 에 공급된 연마용 필름이 수납스풀 (5) 에 고속으로 감기는 동안, 종래의 초정밀 연마기의 요동헤드 (8) 는 좌우로 요동하는 운동을 하게 된다. 따라서 오랜시간동안 연마공정을 하면 초정밀 연마기의 몸체에 매달려 있는 요동헤드 (8) 가, 밑으로 기울어지는 문제점이 발생한다.When the workpiece is to be polished with high precision, the workpiece to be polished is polished by bringing it closer to the platen 9 on which the abrasive film is placed (not shown). While the polishing film supplied to the supply spool 4 is wound around the storage spool 5 at high speed, the swinging head 8 of the conventional ultra-precision polishing machine is oscillated from side to side. Therefore, when the grinding process is performed for a long time, the swinging head 8 hanging on the body of the ultra-precision polishing machine, has a problem of inclining downward.

이는 상술한 바와 같이, 연마필름이 압반 (9) 을 지나도록 끼워져야 하기 때문에 요동헤드 (8) 가 지면에서 약간 떠 있어야 하고, 이 요동헤드 (8) 는 초정밀 연마기의 몸체 (1) 에 고정되어 부착된 요동헤드 지지축 (내부는 도시되지 않음) (12) 에 의해 매달린채로 지지되고 이 지지축을 따라 요동운동을 함으로, 요동헤드 (8) 가 오랜시간동안 요동운동을 하면 요동헤드 지지축이 기울어지는 문제점이 발생하고, 이로 인해 연마공정의 연마 정밀도에 있어서 오차가 발생하는 문제점이 있었다.This is because, as described above, the rocking head 8 has to be slightly lifted from the ground because the abrasive film has to be fitted past the platen 9, which rocking head 8 is fixed to the body 1 of the ultra-precision polishing machine. Supported by the attached swing head support shaft (inside not shown) (12) and swinging along this support shaft, the swing head support shaft tilts when the swing head 8 oscillates for a long time. There is a problem of losing, and there is a problem that an error occurs in the polishing precision of the polishing process.

상기와 같이, 초정밀하게 연마가공하는데 있어서 요동헤드 (8) 의 기울어짐으로 인하여 연마오차가 발생하면 초정밀하게 연마할 수 없어서, 가공물이 최적으로 연마되지 못하여 불량품이 발생하였다.As described above, when polishing error occurs due to the inclination of the swinging head 8 in the ultra-precise polishing, the polishing cannot be performed with high precision, and the workpiece is not optimally polished, resulting in defective products.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 요동헤드 아래에 리니어모션가이드를 설치하여 초정밀 연마가공시에 요동헤드를 견고하게 지지할 수 있도록 하여, 오랜시간 초정밀 연마기가 사용되더라고 요동헤드가 기울어짐을 방지하여 가공물에 오차가 발생하는 것을 방지할 수 있는 리니어모션 가이드가 요동헤드를 지지하도록 설치된 초정밀 연마기를 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above problems, by installing a linear motion guide under the swinging head so that the swinging head can be firmly supported during ultra-precision grinding, even if the swinging head is used for a long time It is to provide an ultra-precision polishing machine installed to support the swinging head is a linear motion guide that can prevent the tilting to prevent the occurrence of errors in the workpiece.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 고안에 따른 리니어 모션가이드가 설치된 초정밀 연마기는, 초정밀 연마기 몸체; 상기 몸체의 일측면에 설치되고 공급축 및 수납축; 상기 공급축을 구동시키는 공급축 구동모터; 상기 공급축과 상기 수납축에 끼워져서 설치되고, 연마필름이 장착되는 공급스풀 및 수납스풀; 상기 공급스풀 및 수납스풀의 전방에 설치되고, 상기 공급스풀 및 상기 수납스풀이 상기 구동모터에 의해 구동되는 경우, 좌우 운동을 하는 요동헤드; 상기 요동헤드가 좌우 운동을 할 수 있도록 구동시키는 요동헤드 구동모터; 및 상기 요동헤드 밑에 설치되고 상기 요동헤드를 지지하는 상기 초정밀 연마기 몸체에 고정되게 설치된 요동헤드 지지부; 및 요동헤드의 맨 외측에 상기 요동헤드 지지부에 고정되게 설치되는 고정가이드판 (55)를 포함하고,In order to achieve the above object, the ultra-precision polishing machine equipped with a linear motion guide according to the present invention, the ultra-precision polishing machine body; A supply shaft and a receiving shaft installed on one side of the body; A supply shaft drive motor for driving the supply shaft; A supply spool and a storage spool fitted to the supply shaft and the receiving shaft and mounted with an abrasive film; A swinging head which is installed in front of the supply spool and the storage spool, and which moves left and right when the supply spool and the storage spool are driven by the driving motor; A rocking head drive motor for driving the rocking head to perform left and right motion; And a rocking head support unit installed under the rocking head and fixed to the ultra-precision grinder body supporting the rocking head. And a fixed guide plate 55 fixedly installed at the rocking head supporter on the outermost side of the rocking head,

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여, 본 고안의 특징, 장점 등을 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail the features, advantages and the like of the present invention.

도 1 은 종래의 초정밀 연마기의 외관사시도이다.1 is an external perspective view of a conventional ultra-precision polishing machine.

도 2 는 본 고안에 따른 리니어모션 가이드가 요동헤드에 설치되는 것을 도시한 초정밀 연마기 요동헤드 일부분의 분해사시도이다.Figure 2 is an exploded perspective view of a portion of the ultra-precision polishing machine rocking head showing that the linear motion guide according to the present invention is installed in the rocking head.

도 3 은 도 2 의 리니어 모션가이드가 설치된 요동헤드의 나머지 부분들의 결합형태를 도시한 분해사시도이다.FIG. 3 is an exploded perspective view illustrating a coupling form of the remaining parts of the swinging head in which the linear motion guide of FIG. 2 is installed.

도 4 는 도 3 의 요동헤드가 초정밀 연마기의 몸체에 부착되어 지지되는 모습을 도시한 사시도이다.4 is a perspective view showing a state in which the swinging head of FIG. 3 is attached to and supported by the body of the ultra-precision polishing machine.

도 2 는 본 고안에 따른 리니어모션 가이드가 설치된 초정밀 연마기 요동헤드의 분해사시도이다. 도 2 에 도시한 바와 같이, 본 고안에 따른 요동헤드는 맨 아래에 두개의 기저대 (20) 가 놓여지고, 이들 두 개의 기저대 (20) 는 연마필름이 통과할 수 있도록 각각 끝단부분이 얇게 구성되어 있다. 이들 두 개의 기저대들 (20) 위에 리니어 모션 가이드가 고정되게 놓여지는 리니어 모션 가이드 기저판 (25) 이 설치되고, 그 위에 레일 (35) 과 리니어 모션 블록 (30) 으로 구성된 리니어 모션 가이드가 설치된다. 이 리니어 모션 가이드에서 리니어 모션 블록 (30) 은 레일 (35) 위에서 마찰이 거의 없이 운동할 수 있다.Figure 2 is an exploded perspective view of the ultra-precision polishing machine rocking head is installed linear motion guide according to the present invention. As shown in FIG. 2, the swinging head according to the present invention has two base posts 20 placed at the bottom thereof, and these two base posts 20 have thin ends at each end to allow the abrasive film to pass therethrough. Consists of. On these two bases 20, a linear motion guide base plate 25 on which a linear motion guide is fixedly placed is installed, and on it a linear motion guide consisting of a rail 35 and a linear motion block 30 is installed. In this linear motion guide, the linear motion block 30 can move on the rail 35 with little friction.

그런 다음, 리니어 모션 가이드 위에는 리니어 모션 블록이 고정되게 설치되는 슬라이드판 (40) 이 놓여지고, 이 슬라이드 판 (40) 은 제 1 측면 가이드판 (50) 과 제 2 측면 가이드판 (45) 에 의해 사이에 고정되도록 설치되고, 요동헤드의 뒤쪽에 실린더 (60) 와 실린더 고정판 (65) 이 설치되고, 이 실린더 (60) 는 실린터 고정판 (65) 에 고정된다. 맨 외측의 고정 가이드판 (55) 은 리니어 모션가이드 기저판 (25) 에 고정되도록 설치된다. 슬라이드판 (40) 의 좌우 길이는 요동운동을 할 수 있도록, 리니어 모션가이드 기저판 (25) 보다 약간 길이가 짧다.Then, a slide plate 40 on which the linear motion block is fixed is placed on the linear motion guide, and the slide plate 40 is formed by the first side guide plate 50 and the second side guide plate 45. A cylinder 60 and a cylinder fixing plate 65 are provided behind the swinging head, and the cylinder 60 is fixed to the cylinder fixing plate 65. The outermost fixed guide plate 55 is provided to be fixed to the linear motion guide base plate 25. The left and right lengths of the slide plate 40 are slightly shorter than the linear motion guide base plate 25 so as to allow rocking motion.

이상과 같이, 본 고안에 따른 슬라이드 판 (40) 과 고정되어 있는 요동헤드가 리니어 모션가이드의 레일 (35) 위에서 좌우로 요동운동을 하는 경우, 두개의 기저대들 (20), 리니어 모션가이드 기저판 (25), 요동헤드의 맨 외측에 고정되게 설치되는 고정가이드판 (55) 은 고정되어 움직이지 않는다.As described above, when the swinging head fixed to the slide plate 40 according to the present invention is to swing left and right on the rail 35 of the linear motion guide, the two bases 20, the linear motion guide base plate ( 25), the fixed guide plate 55 fixedly installed at the outermost side of the swinging head is fixed and does not move.

도 3 은 도 2 의 리니어 모션가이드가 설치된 요동헤드의 나머지 부분들의 결합형태를 도시한 분해사시도이다. 도 3 을 참조하면, 기저대 (20), 리니어 모션 가이드 기저판 (25), 리니어 모션가이드의 리니어 모션 블록 및 레일 (30, 35), 슬라이딩판 (40)들이 결합된 모습이 도시되어 있다. 기저대 (20), 리니어 모션 가이드 기저판 (25) 및 레일은 고정되어서 움직이지 않고, 요동헤드와 결합되어 있는 슬라이딩 판 (40) 이 레일을 따라 좌우로 요동하는 구성을 갖는다.FIG. 3 is an exploded perspective view illustrating a coupling form of the remaining parts of the swinging head in which the linear motion guide of FIG. 2 is installed. Referring to FIG. 3, the base stage 20, the linear motion guide base plate 25, the linear motion guide linear motion block and rails 30 and 35, and the sliding plate 40 are illustrated. The base stand 20, the linear motion guide base plate 25, and the rail are fixed and do not move, but have a configuration in which the sliding plate 40 coupled with the swinging head swings left and right along the rail.

도 2 의 요동헤드의 맨 외측에 설치되는 고정가이드 판 (55) 은 리니어 모션 가이드 기저판 (25) 에 고정되고, 요동헤드를 초정밀 연마기의 몸체에 지지되게끔 하는 샤프트 (80) 의 끝에 물려서 나사로 고정되는 구성을 갖는다.The fixed guide plate 55 installed on the outermost side of the swinging head of FIG. 2 is fixed to the linear motion guide base plate 25 and screwed to the end of the shaft 80 to allow the swinging head to be supported by the body of the ultra-precision grinder. Has a configuration.

도 2 에서 결합된 요동헤드의 실린더 (60) 의 앞쪽에 실린더판 (72) 이 설치되고, 이 실린더판 (72) 의 양측에는 압반 (70) 이 고정되도록 압반고정대 (75) 가 설치되어 압반 (70) 이 압반고정대 (75) 의 홈에 끼워진다.The cylinder plate 72 is provided in front of the cylinder 60 of the swinging head joined in FIG. 2, and the platen fixing plate 75 is provided on both sides of the cylinder plate 72 so that the platen 70 is fixed. 70) is fitted into the groove of the platen holder 75.

도 4 는 도 3 의 요동헤드가 초정밀 연마기의 몸체에 부착되어 지지되는 모습을 도시한 사시도이다. 도 4 에 도시한 바와 같이, 요동헤드는 초정밀 연마기의 몸체에 고정되는데, 이 때 요동헤드를 고정시키는 샤프트 (80) 의 모양중, 특히 초정밀 연마기의 몸체에 고정되는 부분의 모양이 요동헤드의 하중을 더 많이 지지하기 위하여 지지하는 부분의 표면적이 넓게 되어 있다.4 is a perspective view showing a state in which the swinging head of FIG. 3 is attached to and supported by the body of the ultra-precision polishing machine. As shown in Fig. 4, the swinging head is fixed to the body of the ultra-precision grinder, in which the shape of the shaft 80 which fixes the swinging head, in particular the shape of the part fixed to the body of the ultra-precision grinding machine, is the load of the swinging head. In order to support more, the surface area of the supporting part is wider.

도 4 를 참조하면, 본 고안에 따른 리니어 모션가이드가 설치된 초정밀 연마기는 종래의 초정밀 연마기와 같이, 연마기 본체, 연마기 본체의 정면에 설치된 요동헤드, 공급스풀, 수납수풀, 상하 로울러를 포함하고 있고, 그 외에 연마필름의 텐션제어장치 (90) 를 더 포함하는 구성으로 되어 있다.Referring to FIG. 4, the ultra-precision grinder having the linear motion guide according to the present invention includes a polishing machine main body, a swinging head installed at the front of the polishing machine main body, a supply spool, a storage pool, and a vertical roller, like a conventional ultra precision polishing machine. In addition, the structure further includes a tension control device 90 for the abrasive film.

상기와 같은 구성을 가지는 본 고안에 따른 초정밀 연마기는, 공급스풀 및 수납수풀은 이들을 구동시키는 구동모터 (도시되지 않음) 에 의해 구동되고, 연마필름이 공급스풀과 수납스풀에 구비된다. 여기서 압반은 연마필름을 가공물에 대해 눌러주는 역할을 하는 것으로, 연마하고자 하는 가공물을 연마필름이 놓여진 (도시되지 않음) 압반에 근접시킴으로써 연마한다. 한편 연마필름은 예를 들어, 두께가 균일하며 큰 장력에 견딜수 있는 폴리에스터 필름을 주로 사용한다.The ultra-precision polishing machine according to the present invention having the configuration as described above, the supply spool and the receiving pool is driven by a drive motor (not shown) for driving them, the abrasive film is provided in the supply spool and the receiving spool. Here, the platen serves to press the abrasive film against the workpiece, and the workpiece to be polished is polished by bringing the workpiece closer to the platen on which the abrasive film is placed (not shown). Meanwhile, the abrasive film mainly uses a polyester film having a uniform thickness and capable of withstanding a large tension.

또한, 요동헤드는 별도로 초정밀 연마기의 몸체내부에 설치된 요동헤드가 좌우로 요동운동을 하도록 구동시키는 구동모터 (도시되지 않음) 에 의해 좌우 요동운동을 한다.In addition, the swinging head is left and right oscillating movement by a drive motor (not shown) to separately drive the rocking head installed in the body of the ultra-precision polishing machine to swing left and right.

도 4 를 참조하면, 연마필름의 텐션제어장치가 도시되어 있다. 텐션제어장치는 스프링 (85) 및 텐션제어부분 (90) 으로 구성되어 있고, 연마필름이 설치되어 있지 않은 경우에는 텐션제어부분 (90) 은 스프링 (85) 에 의해 당기어진 상태로 되어 있다. 그러나, 연마필름이 감기어져서 연마 공정중에는 덴션제어부분 (90) 의 스프링에 의해 연결된 부분의 반대쪽 부분이 아래를 향한다. 연마공정중 또는 연마공정이 끝난 후 스프링 (85) 및 텐션제어부분 (90) 으로 구성된 텐션제어장치는 연마필름이 느슨하게 되지 않게 하여 연마공정에 있어서 가공물의 불량품이 생산되지 않도록 한다.4, there is shown a tension control device for an abrasive film. The tension control device is composed of a spring 85 and a tension control part 90. When the abrasive film is not provided, the tension control part 90 is pulled by the spring 85. As shown in FIG. However, during the polishing process, the abrasive film is wound so that the opposite side of the portion connected by the spring of the tension control portion 90 faces downward. The tension control device composed of the spring 85 and the tension control portion 90 during the polishing process or after the polishing process is finished prevents the abrasive film from loosening so that defective products of the workpiece are not produced in the polishing process.

상기와 같은 텐션제어방법이외에도, 변형된 형태의 텐션제어 방법은In addition to the above-described tension control method, the modified tension control method

1) 구동모터에 의한 연마필름의 자동 텐션제어방법1) Automatic Tension Control Method of Abrasive Film by Driving Motor

실린더 (60, 도 3에 도시됨) 로부터 실린더 (60) 가 전진한다는 신호를 받기 0.1 내지 0.5 초전에 구동모터가 작동하여 공급스풀 (도 1 참조)이 역방향으로 회전하여 연마필름을 팽팽하도록 유지시키고, 실린더 (60) 가 완전히 후진신호를 받은후 실린더 (60) 에 의해 센서가 감지하고, 0.1 내지 0.5초후 구동모터가 정지하도록 하는 제어프로그램을 초정밀 연마기에 별도록 설치한다. 실린더 (60) 가 완전히 후진신호를 받은후 실린더 (60) 에 의해 센서가 감지하고, 0.1 내지 0.5초후 구동모터가 정지하도록 하는 것은 완전하게 연마필름의 텐션을 유지하기 위함이다.0.1 to 0.5 seconds before the signal from the cylinder 60 (shown in FIG. 3) is advanced, the drive motor is operated so that the supply spool (see FIG. 1) rotates in reverse to keep the abrasive film taut. After the cylinder 60 has completely received the reverse signal, a sensor is detected by the cylinder 60, and a control program for setting the drive motor to stop after 0.1 to 0.5 seconds is separately installed in the ultra precision polishing machine. After the cylinder 60 has completely received the reverse signal, the sensor detects by the cylinder 60 and stops the driving motor after 0.1 to 0.5 seconds to completely maintain the tension of the abrasive film.

2) 에어 실린더에 의한 연마필름의 자동 텐션제어방법2) Automatic tension control method of abrasive film by air cylinder

접촉 롤러 (contact roller) 전진 실린더에 의해 텐션을 제어하는 방법으로, 솔레노이드 밸브에 의해 공급된 에어가 방향을 결정하는 방법이다.Contact roller A method of controlling the tension by a forward cylinder, in which the air supplied by the solenoid valve determines the direction.

도 4 를 다시 참조하면, 본 고안에 따른 초정밀 연마기를 작업대위에 설치하는데 있어서, 초정밀 연마기 작업대 설치부 (100)에 자석을 설치하여, 초정밀 연마기가 작업대에 견고하게 고정될 수 있도록 한다.Referring back to Figure 4, in installing the ultra-precision polishing machine according to the present invention on the work table, by installing a magnet in the ultra-precision polishing machine workbench mounting portion 100, so that the ultra-precision polishing machine can be firmly fixed to the work table.

상기와 같이, 본 고안에 따른 리니어 모션가이드가 설치된 초정밀 연마기를 통하여, 종래의 초정밀 연마기의 요동헤드가 오랜시간의 작업으로 인하여 기울어지는 것을 방지할 수 있으며, 이로 인하여 연마오차가 발생하는 것을 방지하는 현저한 효과가 있다.As described above, through the ultra-precision polishing machine equipped with a linear motion guide according to the present invention, it is possible to prevent the swinging head of the conventional ultra-precision polishing machine from inclining due to a long time operation, thereby preventing the polishing error occurs There is a significant effect.

그 밖에도, 자동적으로 연마필름의 텐션을 조절하는 장치를 통하여 연마필름의 텐션이 항상 일정하도록 유지하여 텐션이 일정하지 않은 상태에서의 연마공정으로 인한 오차의 발생을 방지할 수 있는 현저한 효과가 있다.In addition, there is a remarkable effect that the tension of the polishing film is constantly maintained through the device that automatically adjusts the tension of the polishing film to prevent the occurrence of errors due to the polishing process in a state where the tension is not constant.

본 고안의 바람직한 실시례가 특정 용어들을 사용하여 기술되어 왔지만, 그러한 기술은 오로지 설명을 하기 위한 것이며, 다음의 청구범위의 기술적 사상 및 범위로부터 이탈되지 않고서 여러 가지 변경 및 변화가 가해질 수 있는 것으로 이해되어져야 한다.While preferred embodiments of the present invention have been described using specific terms, such descriptions are for illustrative purposes only, and it is understood that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the following claims. Should be done.

Claims

Ultra precision grinding machine body;

A supply shaft and a receiving shaft installed on one side of the body;

A supply shaft drive motor for driving the supply shaft;

A supply spool and a storage spool fitted to the supply shaft and the receiving shaft and mounted with an abrasive film;

A swinging head which is installed in front of the supply spool and the storage spool, and which moves left and right when the supply spool and the storage spool are driven by the driving motor;

A rocking head drive motor for driving the rocking head to perform left and right motion; And

A rocking head support unit installed under the rocking head and fixed to the ultra-precision grinder body supporting the rocking head; And

A fixed guide plate 55 fixed to the rocking head support part on the outermost side of the rocking head,

The swinging head is

A first swing head side guide plate 45 positioned toward the ultra-precision grinder body;

A second swing head side guide plate (50) positioned opposite the first swing head side guide plate (45);

A plurality of guide rollers 73 installed between the first swing head side guide plate 45 and the second swing head side guide plate 50,

A platen 70 installed to be supported by the platen holder 75 in the middle of the front of the guide roller 73;

A cylinder 60 connected to the platen holder 75 for supporting the platen 70 and fixed to an opposite side to a position where the platen 70 of the swinging head is installed; And

A rocking head support rod (80) for supporting the rocking head to be suspended from the body;

The rocking head support portion,

A plurality of bases 20 having a shape in which the thickness becomes thinner toward the outside so that the abrasive film can pass;

A linear motion base plate 25 installed to be supported by the base bands 20;

A rail 35 fixedly mounted on the linear motion base plate 25;

A plurality of linear motion blocks (30) moveable along the rail; And

The slide plate 40 is fixed to the linear motion blocks 30, the slide plate 40 is fixed to the swing head, the swing head fixed to the slide plate 40 Ultra-precision grinding machine is installed with a linear motion guide, characterized in that the oscillating motion along the rail (35).

The ultra-precision grinder with linear motion guide according to claim 1, wherein the rocking head support rod has an area that is coupled to the body of the ultra-precision grinder having a larger area than the diameter of the support rod.

According to claim 1, wherein the tension control device of the abrasive film is installed on the body of the ultra-precision polishing machine, the tension control device is composed of a tension control portion and a spring, characterized in that the spring is connected to one end of the tension control portion Precision grinder with linear motion guide.

The ultra-precision grinder with linear motion guide according to claim 1, wherein a workbench mounting part is further installed below the ultra-precision grinding machine body, and the work bench mounting part includes a magnet part.