KR200205415Y1 - Dummy Wafer Cassette - Google Patents
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Abstract
본 고안은 수납보관된 웨이퍼의 이탈이 방지되는 더미웨이퍼 카세트로서, 종래에는 더미웨이퍼 카세트내에 수납보관된 웨이퍼가 외부의 충격 또는 이송과정의 불안정에 의해 더미웨이퍼 카세트에서 이탈되는 문제점이 있었던 바, 본 고안인 더미웨이퍼 카세트는, 상부 및 하부 랙 고정판과, 상기 상부 및 하부 랙 고정판 사이에 위치되며 웨이퍼를 지지하는 다수의 웨이퍼 지지대가 상호 대응되게 설치된 좌측 및 우측 랙으로 이루어져 이송된 웨이퍼 모서리의 소정 부분이 상기 좌측 및 우측 랙의 대응되는 상기 웨이퍼 지지대에 의해 거치되어 상기 웨이퍼가 수납되는 더미웨이퍼 카세트에 있어서, 상기 좌측 및 우측 랙의 지지대에 웨이퍼 안착부를 더 구비하여 상기 이송된 웨이퍼 모서리의 소정 부분이 상기 웨이퍼 안착부에 거치되어 상기 웨이퍼가 수납되도록 한다.The present invention is a dummy wafer cassette that prevents the wafer from being stored away from the wafer. In the past, the wafers stored in the dummy wafer cassette were separated from the dummy wafer cassette due to external impact or instability of the transfer process. The dummy wafer cassette of the present invention has a predetermined portion of a wafer edge, which is composed of upper and lower rack fixing plates and left and right racks disposed between the upper and lower rack fixing plates and a plurality of wafer supports supporting wafers are installed to correspond to each other. In the dummy wafer cassette which is mounted by the corresponding wafer supports of the left and right racks to accommodate the wafers, a wafer seating portion is further provided on the supports of the left and right racks to provide a predetermined portion of the transferred wafer edge. The wafer is mounted on the wafer seating portion To be stored.
따라서, 웨이퍼의 파손을 방지하고, 반도체 장비의 장비 가동효율이 증대된다.Therefore, damage to the wafer is prevented, and the equipment operating efficiency of the semiconductor equipment is increased.
Description
본 고안은 수납보관된 웨이퍼 이탈방지가 가능한 더미웨이퍼 카세트에 대한 것으로, 특히, 수납보관된 웨이퍼가 외부 충격이나 이송과정의 불안정에 의해 이탈되지 않도록 하여 웨이퍼의 파손이 방지되는 더미웨이퍼 카세트이다.The present invention relates to a dummy wafer cassette capable of preventing the detachment of the stored wafer, and more particularly, a dummy wafer cassette which prevents wafer breakage by preventing the stored wafer from being separated by an external impact or instability of the transfer process.
일반적으로 웨이퍼는 박막의 증착 또는 식각이 진행되는 공정쳄버내로 18장,20장등 여러장의 단위로 한번에 일괄적으로 공급시켜 공정을 진행시키는 배치(batch)타입을 사용하여 웨이퍼 상에 공정을 진행시킨다.In general, a wafer is processed on a wafer by using a batch type in which a batch is supplied in a unit of several sheets such as 18 sheets or 20 sheets at a time into a process chamber where thin film deposition or etching is performed.
이러한 연속적인 배치(batch)타입인 공정쳄버내로 웨이퍼를 이송시킬 때 사용되는 웨이퍼 카세트는 대략 25장 단위로 웨이퍼를 이송시키게 되어 웨이퍼 카세트에 장착된 웨이퍼의 개수와 공정쳄버내에서 배치(batch)처리되는 웨이퍼 개수가 서로 일치되지 않을 때가 있다.The wafer cassette used to transfer the wafer into the continuous batch type process chamber transfers the wafer in units of approximately 25 sheets, so that the number of wafers mounted in the wafer cassette and the batch processing in the process chamber are processed. There are times when the number of wafers that do not coincide with each other.
따라서, 서로 개수가 맞지 않는 웨이퍼 개수에 의해 연속적인 배치(batch)처리가 이루어지지 않으므로 부족한 웨이퍼 개수를 더미웨이퍼 카세트를 사용하여 보충시켜주고 있다.Therefore, the continuous batch processing is not performed by the number of wafers that do not match the number of each other, so that the insufficient wafer number is supplemented by using the dummy wafer cassette.
제 1 도는 종래의 더미웨이퍼 카세트에 대한 사시도이고, 제 2 도는 제 1 도의 Ⅱ-Ⅱ방향의 단면도로써, 이를 참조하여 종래의 더미웨이퍼 카세트를 설명하면 다음과 같다.FIG. 1 is a perspective view of a conventional dummy wafer cassette, and FIG. 2 is a cross sectional view taken along the line II-II of FIG. 1, and the conventional dummy wafer cassette will be described with reference to the following.
종래의 더미웨이퍼 카세트는 상부 및 하부 랙 고정판(1),(2)이 있다.Conventional dummy wafer cassettes have upper and lower rack fixing plates (1) and (2).
상부 및 하부 랙 고정판(1),(2)은 좌측 및 우측랙(3),(3')에 의해 고정되어 웨이퍼(미도시)가 이동되어 위치될수 있도록 일정한 내부공간을 형성하게 된다. 그리고, 좌측 및 우측랙(3),(3')에는 상호 대응되는 위치에 웨이퍼 지지부(4),(4')가 다수개 설치되어 웨이퍼 지지부(4)와 웨이퍼 지지부(4)사이에 웨이퍼가 이송되는 통로인 'V'자형의 슬롯을 다수개 형성한다.The upper and lower rack fixing plates 1 and 2 are fixed by the left and right racks 3 and 3 'to form a constant internal space so that the wafer (not shown) can be moved and positioned. In addition, a plurality of wafer supports 4 and 4 'are installed at the left and right racks 3 and 3' at positions corresponding to each other, so that the wafer is interposed between the wafer support 4 and the wafer support 4. A plurality of 'V' shaped slots, which are conveyed passages, are formed.
따라서, 웨이퍼는 이송암(미도시)에 의해 더미웨이퍼 카세트내로 이동되어 수납될 때 웨이퍼는 양측의 웨이퍼 지지부(4),(4')사이의 'V'자형 슬롯 사이로 끼워져 웨이퍼의 못서리 소정부분이 양측의 웨이퍼 지지부(4),(4')에 거치된 상태에서 수납보관된다.Therefore, when the wafer is moved and stored in the dummy wafer cassette by the transfer arm (not shown), the wafer is sandwiched between the 'V' shaped slots between the wafer support portions 4 and 4 'on both sides, so that a predetermined portion of the wafer nail nail is formed. It is stored in a state where it is mounted on the wafer support portions 4, 4 'on both sides.
그러나, 종래의 이러한 더미웨이퍼 카세트는 웨이퍼가 수납보관될 때 웨이퍼 지지부사이의 'V'자형의 슬롯에 삽입되어 웨이퍼 지지부 위에 웨이퍼가 거치된 상태이다.However, such a conventional dummy wafer cassette is inserted into a 'V' shaped slot between the wafer supports when the wafer is stored, and the wafer is mounted on the wafer support.
따라서, 외부의 충격이 더미웨이퍼 카세트에 전달되거나, 더미웨이퍼 카세트의 이송과정에서 이송불안정에 의해 웨이퍼 지지대 위에 거치된 웨이퍼가 더미웨이퍼 카세트 외부로 빠져나와 웨이퍼의 파손 및 반도체 장비의 가동 중단을 초래하게 된다.Therefore, an external impact is transmitted to the dummy wafer cassette or the wafer mounted on the wafer support by the instability of the transfer of the dummy wafer cassette is ejected to the outside of the dummy wafer cassette to cause breakage of the wafer and operation of the semiconductor equipment. do.
이에, 본 고안은 종래의 더미웨이퍼 카세트가 안고 있는 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 웨이퍼 지지부 위에 거치된 웨이퍼가 빠져나오지 않는 더미웨이퍼 카세트를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a dummy wafer cassette in which a wafer mounted on a wafer support portion does not come out to solve the conventional problem of the conventional dummy wafer cassette.
따라서, 상기 목적을 달성하고자, 본 고안인 더미웨이퍼 카세트는 상부 및 하부 랙 고정판과, 상기 상부 및 하부 랙 고정판 사이에 위치되며 웨이퍼를 지지하는 다수의 웨이퍼 지지대가 상호 대응되게 설치된 좌측 및 우측 랙으로 이루어져 이송된 웨이퍼 모서리의 소정 부분이 상기 좌측 및 우측 랙의 대응되는 상기 웨이퍼 지지대에 의해 거치되어 상기 웨이퍼가 수납되는 더미웨이퍼 카세트에 있어서, 상기 좌측 및 우측 랙의 지지대에 웨이퍼 안착부를 더 구비하여 상기 이송된 웨이퍼 모서리의 거치되는 소정 부분이 상기 웨이퍼 안착부에 안착되어 상기 웨이퍼가 수납되도록 하고, 상기 웨이퍼 안착부는 상기 이송된 웨이퍼 모서리의 소정부분과 동일한 형태로 함몰되어진 형태로 한다.Therefore, in order to achieve the above object, the dummy wafer cassette of the present invention is a left and right rack, which is disposed between the upper and lower rack fixing plates and the plurality of wafer supports positioned between the upper and lower rack fixing plates to support the wafers. In the dummy wafer cassette in which a predetermined portion of the wafer edge is transferred by the corresponding wafer support of the left and right racks to accommodate the wafer, further comprising a wafer seating portion in the support of the left and right racks; A predetermined portion of the transferred wafer edge is mounted on the wafer seating portion so that the wafer is accommodated, and the wafer seating portion is recessed in the same shape as the predetermined portion of the transferred wafer edge.
제 1 도는 종래의 더미웨이퍼에 대한 사시도이고,1 is a perspective view of a conventional dummy wafer,
제 2 도는 제 1 도의 Ⅱ-Ⅱ방향의 단면도이고,2 is a cross-sectional view in the II-II direction of FIG.
제 3 도는 본 고안인 더미웨이퍼에 대한 사시도이고,3 is a perspective view of a dummy wafer of the present invention,
제 4 도는 제 3 도의 Ⅳ-Ⅳ방향의 단면도이고,4 is a cross-sectional view in the IV-IV direction of FIG.
제 5 도는 제 3 도의 Ⅴ-Ⅴ방향의 단면도이다.5 is a cross-sectional view taken along the line VV of FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 간략한 부호설명 ** Brief description of the main parts of the drawings *
1,101 : 상부 랙 고정판 2,102 : 하부 랙 고정판1,101: upper rack fixing plate 2,102: lower rack fixing plate
3,103 : 랙 4,104 : 웨이퍼 지지부3,103: Rack 4,104: Wafer Support
105 : 웨이퍼 안착부105: wafer seating portion
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안인 더미웨이퍼 카세트를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a dummy wafer cassette of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
제 3 도는 본 고안인 더미웨이퍼 카세트에 대한 사시도이고, 제 4,5 도는 제 3 도의 Ⅳ-Ⅳ방향 및 Ⅴ-Ⅴ방향의 단면도이다.3 is a perspective view of a dummy wafer cassette according to the present invention, and FIGS. 4 and 5 are cross-sectional views in a IV-IV direction and a V-V direction of FIG.
본 고안인 더미웨이퍼 카세트는 상부 및 하부 랙 고정판(101),(102)이 있다. 상부 및 하부 랙 고정판(101),(102)은 좌측 및 우측랙(103),(103')에 의해 서로 체결 고정되어 웨이퍼(미도시)가 일방향으로 이송되어 위치될 수 있는 웨이퍼 수납공간을 형성하게 된다.The dummy wafer cassette of the present invention has upper and lower rack fixing plates 101 and 102. The upper and lower rack fixing plates 101 and 102 are fastened and fixed to each other by the left and right racks 103 and 103 'to form a wafer storage space in which wafers (not shown) may be transferred and positioned in one direction. Done.
그리고, 좌측 및 우측랙(103),(103')에는 상호 대응되는 위치에 다수개의 웨이퍼 지지부(104),(104')가 형성되고, 웨이퍼 지지부(104)와 웨이퍼 지지부(104)사이에는 'V'자형의 슬롯이 다수개 형성된다.In addition, a plurality of wafer supports 104 and 104 'are formed at positions corresponding to the left and right racks 103 and 103', and between the wafer support 104 and the wafer support 104 is formed. A plurality of V 'shaped slots are formed.
또한, 이송된 웨이퍼(미도시)모서리 소정부분이 거치되도록 웨이퍼 지지부(104)의 소정 부분에 웨이퍼 안착부(105),(105')가 위치된다.In addition, the wafer seating portions 105 and 105 'are positioned at predetermined portions of the wafer support 104 so that predetermined portions of the transferred wafer edges are mounted.
웨이퍼 안착부(105),(105')는 이송된 웨이퍼의 모서리 소정부분을 거치시키도록 거치되는 웨이퍼 모서리 소정부분의 저면 및 측면과 동일한 형태로 함몰되어지도록 한다.The wafer seating portions 105 and 105 'are recessed in the same shape as the bottom and side surfaces of the wafer edge predetermined portion which are mounted to mount the predetermined portion of the edge of the transferred wafer.
따라서, 함몰되어진 웨이퍼 안착부(105),(105')는 일종의 걸림턱 역할을 하게 되어 이송되어진 웨이퍼가 웨이퍼 안착부(105),(105')에 거치되면 외부로 빠져 나가는 것이 방지된다.Accordingly, the recessed wafer seating portion 105, 105 'serves as a kind of locking jaw so that the transferred wafer is prevented from escaping to the outside when mounted on the wafer seating portion 105, 105'.
이러한 구조로 된 더미웨이퍼 카세트는 웨이퍼가 이송암에 의해 더미웨이퍼 카세트내로 이동되어 수납될 때, 먼저, 웨이퍼는 웨이퍼 지지부(104)와 웨이퍼 지지부(104) 사이의 'V'자형 슬롯과 웨이퍼 지지부(104')와 웨이퍼 지지부(104')사이의 'V'자형 슬롯에 각각 끼워지고, 일정거리 이송암(미도시)에 의해 'V'자형의 슬롯을 따라 이동되어 웨이퍼 모서리 소정부분이 웨이퍼 안착부(105),(105')에 안착되게 된다.In the dummy wafer cassette having such a structure, when the wafer is moved into and stored in the dummy wafer cassette by the transfer arm, first, the wafer is formed with a 'V'-shaped slot between the wafer support 104 and the wafer support 104 and the wafer support ( 104 ') and' V'-shaped slots between the wafer support 104 'and each, and are moved along the' V'-shaped slot by a constant distance transfer arm (not shown) so that a predetermined portion of the wafer edge is placed on the wafer seat. It will be seated at 105, 105 '.
그러므로, 이송된 웨이퍼는 거치되는 웨이퍼 모서리 소정부분과 동일한 형태로 함몰되어진 웨이퍼 안착부(105),(105')에 안착되기 때문에 외부의 충격이나 이송과정의 이송불안정이 발생되더라도 웨이퍼 안착부(105),(105')가 웨이퍼를 지지하게 되어 웨이퍼가 미끄러져 이탈되지 않는다.Therefore, since the transferred wafer is seated on the wafer seating portions 105 and 105 'recessed in the same shape as the predetermined portion of the wafer edge to be mounted, the wafer seating portion 105 is formed even if an external shock or transfer instability occurs during the transfer process. ), 105 ′ supports the wafer so that the wafer does not slip off.
상기에서 상술한 바와같이, 본 고안인 더미웨이퍼 카세트는 수납된 웨이퍼가 더미웨이퍼 카세트 외부로 미끄러져 이탈되지 않아 웨이퍼의 파손이 방지되고, 이탈된 웨이퍼를 원위치시키기 위해 반도체 장비의 가동 중단이 되지않아 반도체 장비의 가동효율이 증대되는데 그 잇점이 있다.As described above, in the dummy wafer cassette of the present invention, the wafers accommodated are not slipped out of the dummy wafer cassette to prevent breakage of the wafer, and the operation of the semiconductor equipment is not stopped to return the wafers to be removed. This has the advantage of increasing the operation efficiency of semiconductor equipment.
Claims (2)
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