JP2584806Y2 - Frame insertion jig - Google Patents
Frame insertion jigInfo
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- JP2584806Y2 JP2584806Y2 JP1992077187U JP7718792U JP2584806Y2 JP 2584806 Y2 JP2584806 Y2 JP 2584806Y2 JP 1992077187 U JP1992077187 U JP 1992077187U JP 7718792 U JP7718792 U JP 7718792U JP 2584806 Y2 JP2584806 Y2 JP 2584806Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- cassette
- guide
- plate
- storage groove
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- Expired - Lifetime
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- Die Bonding (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本考案は、特に半導体ウェーハを
載置固定したフレームをカセット内に挿入する際に使用
するフレーム挿入補助治具に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a frame insertion jig used for inserting a frame on which a semiconductor wafer is mounted and fixed into a cassette.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体ウェーハの洗浄、ダイシング、ダ
イボンダー工程等において、通常半導体ウェーハはフレ
ームに載置固定された状態で取り扱われ、この場合フレ
ームは箱状のカセットに一定の間隔をあけて複数枚並べ
て収納され且つ工程時に出し入れされる。前記カセット
は両側壁の内面に収納溝が一定の間隔をあけて対設さ
れ、この収納溝にフレームの両端部を挿入し収納するよ
うになっている。2. Description of the Related Art In semiconductor wafer cleaning, dicing, die bonder processes, etc., semiconductor wafers are usually handled while being mounted and fixed on a frame. In this case, a plurality of frames are placed in a box-shaped cassette at a predetermined interval. They are stored side by side and put in and out during the process. In the cassette, storage grooves are provided on the inner surfaces of both side walls at regular intervals, and both ends of the frame are inserted and stored in the storage grooves.
【０００３】[0003]
【考案が解決しようとする課題】前記フレームを人手に
よってカセットに収納する場合、収納溝の間隔が狭い時
には目視による挿入作業が厄介であり、目が疲れて作業
能率が低下したり、或は左右の収納溝を間違えて段違い
に挿入する等の不都合が生じる。そこで、本考案は、こ
のような従来の不都合を解消するためになされ、カセッ
トにフレームを手作業で挿入する場合において、カセッ
トの収納溝の間隔が狭くてもフレームの挿入作業を簡単
に能率良くでき、しかも段違いの挿入を未然に防止でき
るようにしたフレーム挿入補助治具を提供することを課
題としたものである。When the frame is manually stored in the cassette, when the space between the storage grooves is narrow, the visual insertion work is troublesome, the eyes become tired, and the working efficiency is reduced, or the left and right sides are reduced. Inconveniences such as incorrectly inserting the storage groove and stepwise insertion occur. Therefore, the present invention has been made to solve such a conventional inconvenience, and when a frame is manually inserted into a cassette, the insertion operation of the frame can be easily and efficiently performed even if the interval between the storage grooves of the cassette is small. It is an object of the present invention to provide a frame insertion assisting jig which can be formed and can prevent stepped insertion beforehand.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】この課題を技術的に解決
するための手段として、本考案は、フレームをカセット
内に挿入する際に使用するフレーム挿入補助治具であっ
て、複数のガイドプレートを階段状に配設したフレーム
ガイド部を有し、各ガイドプレートは上面が前記カセッ
ト内の両側面に一定の間隔をあけて対設された収納溝の
下面と同一平面内に位置するように一対の側板を介して
固定され、各ガイドプレート上に載せた前記フレーム
を、各ガイドプレートに対応する前記収納溝までそれぞ
れスライドさせて案内するように構成したフレーム挿入
補助治具を要旨とする。又、このフレーム挿入補助治具
において、前記カセットの後端面と、フレームガイド部
の後端面とがほぼ密接状態位置決めされることを要旨と
する。Means for Solving the Problems As a means for technically solving this problem, the present invention relates to a frame insertion auxiliary jig used for inserting a frame into a cassette, comprising a plurality of guide plates. Having a frame guide portion arranged in a step-like manner, and each guide plate has an upper surface located in the same plane as a lower surface of a storage groove provided opposite to both side surfaces in the cassette at a fixed interval. The gist of the present invention is a frame insertion assisting jig that is fixed via a pair of side plates and configured to slide and guide the frame placed on each guide plate to the storage groove corresponding to each guide plate. In the frame insertion assisting jig, the rear end face of the cassette and the rear end face of the frame guide portion are positioned substantially in close contact.
【０００５】[0005]
【作 用】フレーム挿入補助治具のガイドプレートの上
にフレームを載せ、そのままフレームを押してスライド
させればカセットの適正な収納溝内に挿入することがで
きる。ガイドプレートが階段状になっているため、フレ
ームを順に載せる作業がし易くなる。[Operation] The frame is placed on the guide plate of the frame insertion assisting jig, and the frame is pushed and slid, and the cassette can be inserted into an appropriate storage groove of the cassette. Since the guide plate has a step shape, the work of placing the frames in order becomes easier.
【０００６】[0006]
【実施例】以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて
詳説する。図１において、１はフレーム挿入補助治具の
基板であり、その上面にフレームガイド部Ａとカセット
載置部Ｂとが形成されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a substrate of a frame insertion assisting jig, on which a frame guide portion A and a cassette mounting portion B are formed.
【０００７】前記フレームガイド部Ａは、一対の傾斜側
板２と、この傾斜側板２に両側部が支持されて階段状に
取り付けた複数のガイドプレート３とから構成され、各
ガイドプレート３の前端縁の中央部には切欠き３ａがそ
れぞれ設けられ、これらの切欠き３ａは下位のもの程漸
次深く形成され、奥端部はほぼ垂直に揃えてある。The frame guide portion A is composed of a pair of inclined side plates 2 and a plurality of guide plates 3 supported on both sides by the inclined side plates 2 and attached in a stepwise manner. Are formed at the center of the lower part, respectively, and the notches 3a are formed progressively deeper as the lower part is formed, and the rear ends are aligned substantially vertically.
【０００８】前記カセット載置部Ｂは、フレームガイド
部Ａの後方に位置して設けられ、基板１の上面に一対の
鉤型保持片４が取り付けられ、この保持片４と前記傾斜
側板２の後端縁との間にカセットＣを落とし込んで保持
し、又カセットＣを上方に持ち上げてカセット載置部Ｂ
から外せるようにしてある。The cassette mounting portion B is provided behind the frame guide portion A, and a pair of hook-shaped holding pieces 4 are attached to the upper surface of the substrate 1. The cassette C is dropped and held between the rear end and the cassette C.
It can be removed from.
【０００９】前記カセットＣは、一対の側板５と、この
側板の上下に差し渡して固定した上板６及び下板７とか
ら構成され、側板５の内面側には収納溝８が複数段対設
され、この収納溝８の間隔ｔ1 に合わせて前記ガイドプ
レート３の間隔ｔ2 を設定してある。つまり、このカセ
ットＣをカセット載置部Ｂ上にセットすると、図２に示
すように収納溝８の下面８ａとガイドプレート３の上面
３ｂとがそれぞれ同一平面内に位置するようにしてあ
る。又、前記上板６の前端縁の中央部には切欠き６ａが
形成されている。The cassette C comprises a pair of side plates 5, an upper plate 6 and a lower plate 7 which are fixed to the upper and lower sides of the side plates, and a plurality of storage grooves 8 are provided on the inner side of the side plates 5. The interval t 2 between the guide plates 3 is set in accordance with the interval t 1 between the storage grooves 8. That is, when the cassette C is set on the cassette mounting portion B, the lower surface 8a of the storage groove 8 and the upper surface 3b of the guide plate 3 are located on the same plane as shown in FIG. A notch 6a is formed at the center of the front edge of the upper plate 6.
【００１０】本考案に係るフレーム挿入補助治具は上記
のように構成され、空のカセットＣをカセット載置部Ｂ
に落とし込んでセットすると共に、ガイドプレート３の
上にフレームＤを１枚ずつ載せてスライドさせれば、カ
セットＣ内の適正な収納溝に容易に収納することができ
る。The frame insertion assisting jig according to the present invention is configured as described above, and the empty cassette C is inserted into the cassette mounting portion B.
When the frames D are placed one by one on the guide plate 3 and slid, the cassettes D can be easily stored in appropriate storage grooves in the cassette C.
【００１１】先ず、空のカセットＣをカセット載置部Ｂ
に落とし込むと、カセットＣの側板５がフレームガイド
部Ａの傾斜側板２とカセット載置部Ｂの保持片４との間
に嵌り込んで位置決めと固定とが同時に行われ、この時
図２のようにカセットの前端面と、フレームガイド部の
後端面とがほぼ密接状態に位置し、かつ前記のようにカ
セットの収納溝８の下面８ａとガイドプレート３の上面
３ｂとがそれぞれ同一平面内に位置することになる。First, the empty cassette C is placed in the cassette mounting portion B.
2, the side plate 5 of the cassette C fits between the inclined side plate 2 of the frame guide portion A and the holding piece 4 of the cassette mounting portion B to perform positioning and fixing at the same time. At this time, as shown in FIG. The front end face of the cassette and the rear end face of the frame guide portion are located substantially in close contact with each other, and the lower surface 8a of the storage groove 8 of the cassette and the upper surface 3b of the guide plate 3 are located in the same plane as described above. Will do.
【００１２】次に、階段状のガイドプレート３の上に図
３に示す半導体ウェーハＷをテープＴを介して載置した
フレームＤを１枚ずつ載せてカセットＣ側にそれぞれス
ライドさせると、各フレームＤの両端部が収納溝８迄ガ
イドされると共にそれぞれ収納溝８内に挿入されて、フ
レームＤをカセットＣ内に収納することができる。Next, the frames D each having the semiconductor wafer W shown in FIG. 3 mounted thereon via the tape T on the stepped guide plate 3 are laid one by one and slid to the cassette C side. Both ends of D are guided to the storage groove 8 and inserted into the respective storage grooves 8 so that the frame D can be stored in the cassette C.
【００１３】この際、フレームＤを一番下のガイドプレ
ート３から上に向かってつまり下から順に載せていけば
作業がし易いと共に、目視し易くなるから載せ忘れを未
然に防止することができる。更にフレームＤを全部載せ
てから前記切欠き３ａを利用して全フレームＤを一気に
スライドさせることも可能であり、作業能率の向上が図
れる。At this time, if the frame D is placed upward from the lowermost guide plate 3, that is, sequentially from the bottom, the work is easy and the visual recognition becomes easy, so that forgetting to place the frame D can be prevented. . Furthermore, it is also possible to slide the entire frame D at a stretch by using the notch 3a after the entire frame D is mounted, thereby improving work efficiency.
【００１４】但し、切欠き３ａの再奥端まで押し込んで
もフレームＤはカセットＣ内に完全に入り込まないの
で、最終的には１枚ずつ押し込むことになる。最も、各
切欠きをガイドプレート３の後縁まで抜けるスリット状
に形成しておけば全フレームを一気にカセットＣ内に収
納することが可能となる。又、カセットＣの上板６に設
けた切欠き６ａは、フレームＤをカセットＣから取り出
す際に、上方の収納溝８に収納されたフレームを手指を
入れて掴み易くなるため便利である。However, even if the frame D is pushed all the way to the rear end of the notch 3a, the frame D does not completely enter the cassette C, so that the frame D is finally pushed one by one. First, if each notch is formed in a slit shape that passes through to the rear edge of the guide plate 3, the entire frame can be stored in the cassette C at a stretch. The notch 6a provided in the upper plate 6 of the cassette C is convenient because when the frame D is taken out of the cassette C, the frame housed in the upper housing groove 8 can be easily grasped with fingers.
【００１５】尚、カセットＣとフレーム挿入補助治具と
は予めセット品にしても良いし、既存のカセットに合わ
せてフレーム挿入補助治具を形成するようにしても良
い。又、ガイドプレート３は階段状に構成されている
が、此れに限らず必要に応じて棚状に構成しても良い。
更に、切欠き３ａを形成しなくても良い。The cassette C and the frame insertion auxiliary jig may be set in advance, or the frame insertion auxiliary jig may be formed in accordance with an existing cassette. Further, the guide plate 3 is configured in a stepped shape, but is not limited thereto, and may be configured in a shelf shape as needed.
Further, the notch 3a need not be formed.
【００１６】[0016]
【発明の効果】以上説明したように、本考案によれば、
カセットの収納溝にフレームを挿入して収納する場合
に、フレームガイド部の各ガイドプレートの上面がカセ
ットの収納溝の下面と同一平面内に位置するように固定
されているので、ガイドプレート上に載せたフレームを
そのままスライドさせればカセットの収納溝までガイド
されて容易に挿入することができ、カセットの収納溝の
間隔が狭くてもフレームの挿入作業を簡単にしかも能率
良くでき、段違いの挿入を未然に防止できる等の優れた
効果を奏する。又、ガイドプレートは階段状に形成され
ているので、フレームを載せ易いと共に目視し易く、載
せ忘れを未然に防止することができる。更に、カセット
の前端面と、フレームガイド部の後端面とがほぼ密接状
態に位置するので、フレームの挿入に際し脱落すること
なくスムーズにかつ確実にカセット内に収納できる等の
効果も奏する。As described above, according to the present invention,
When the frame is inserted into the storage groove of the cassette and stored, the upper surface of each guide plate of the frame guide portion is fixed so that it is located in the same plane as the lower surface of the storage groove of the cassette. If the loaded frame is slid as it is, it can be guided and inserted easily into the cassette storage groove, and even if the space between the cassette storage grooves is narrow, the frame insertion work can be done easily and efficiently, and the step insertion And an excellent effect such as being able to be prevented beforehand. In addition, since the guide plate is formed in a stepped shape, the frame can be easily placed and visually checked, so that forgetting to place the frame can be prevented. Further, since the front end face of the cassette and the rear end face of the frame guide portion are located substantially in close contact with each other, there is an effect that the cassette can be smoothly and securely stored in the cassette without falling off when the frame is inserted.
【図１】 本考案の一実施例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.
【図２】 ガイドプレートとカセットの収納溝の位置関
係を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a positional relationship between a guide plate and a storage groove of a cassette.
【図３】 半導体ウェーハを載置したフレームの平面図
である。FIG. 3 is a plan view of a frame on which a semiconductor wafer is mounted.
１…基板 ２…傾斜側板 ３…ガイドプレート
３ａ…切欠き ３ｂ…上面 ４…保持片 ５…側
板 ６…上板 ６ａ…切欠き ７…下板 ８…収納溝 ８ａ…下面 Ａ…フレームガイド部 Ｂ…カセット載置部 Ｃ…
カセット Ｄ…フレーム Ｔ…テープ Ｗ…半導
体ウェーハDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate 2 ... Inclined side plate 3 ... Guide plate
3a ... notch 3b ... upper surface 4 ... holding piece 5 ... side plate 6 ... upper plate 6a ... notch 7 ... lower plate 8 ... storage groove 8a ... lower surface A ... frame guide portion B ... cassette mounting portion C ...
Cassette D: Frame T: Tape W: Semiconductor wafer
フロントページの続き (72)考案者 徳丸 毅 東京都品川区東品川３丁目25番21号 株 式会社ディスコエンジニアリングサービ ス内 (56)参考文献 特開 昭62−131534（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−67644（ＪＰ，Ｕ)Continuing from the front page (72) Inventor Takeshi Tokumaru 3-25-21 Higashishinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Disco Engineering Service Co., Ltd. (56) References JP-A-62-131534 (JP, A) 2-67644 (JP, U)
Claims (2)
するフレーム挿入補助治具であって、複数のガイドプレ
ートを階段状に配設したフレームガイド部を有し、各ガ
イドプレートは上面が前記カセット内の両側面に一定の
間隔をあけて対設された収納溝の下面と同一平面内に位
置するように一対の側板を介して固定され、各ガイドプ
レート上に載せた前記フレームを、各ガイドプレートに
対応する前記収納溝までそれぞれスライドさせて案内す
るように構成したフレーム挿入補助治具。A frame insertion assisting jig used for inserting a frame into a cassette, comprising a plurality of guide presses.
It has a frame guide section in which
The top of the id plate is fixed on both sides in the cassette.
It is located in the same plane as the lower surface of the storage groove
Fixed via a pair of side plates so that
The frame placed on the plate is placed on each guide plate.
A frame insertion assisting jig configured to be slid and guided to the corresponding storage groove .
部の後端面とがほぼ密接状態に位置決めされる請求項１
記載のフレーム挿入補助治具。2. A front end face of the cassette and a frame guide.
The rear end surface of the portion is positioned substantially closely.
The described frame insertion auxiliary jig.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992077187U JP2584806Y2 (en) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | Frame insertion jig |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992077187U JP2584806Y2 (en) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | Frame insertion jig |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0634251U JPH0634251U (en) | 1994-05-06 |
| JP2584806Y2 true JP2584806Y2 (en) | 1998-11-11 |
Family
ID=13626819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992077187U Expired - Lifetime JP2584806Y2 (en) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | Frame insertion jig |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2584806Y2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017038013A (en) * | 2015-08-12 | 2017-02-16 | 株式会社ディスコ | Housing cassette |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62131534A (en) * | 1985-12-03 | 1987-06-13 | Nec Corp | Jig for semiconductor wafer handling |
| JPH0648850Y2 (en) * | 1988-11-09 | 1994-12-12 | 関西日本電気株式会社 | Carrier pitch converter |
-
1992
- 1992-10-13 JP JP1992077187U patent/JP2584806Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0634251U (en) | 1994-05-06 |
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