KR20020092558A - Preparation of organic and inorganic layers-structured electronic device having improved thermal stability - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A method for fabricating an element having an inorganic layer and an organic layer is provided to improve thermal stability by performing a thermal process for the organic layer having the lowest thermal stability. CONSTITUTION: A substrate including ITO(Indium Tin Oxide) is cleaned. A PEDT-PSS layer of 15 weight percent is coated on an upper surface of the substrate including ITO(Indium Tin Oxide) by using a spin coating method. The PEDT-PSS layer is dried under temperature of 200 degrees centigrade during 10 minutes. An NPB layer is formed on the substrate including the PEDT-PSS layer under normal temperature by using a vapor deposition method. The deposited NPB layer has thickness of 500 angstrom. A thermal process for the NPB layer is performed under the temperature of 110 degrees centigrade during 30 minutes. A BCzVBi layer and an Al/LiF layer are deposited sequentially thereon.

Description

열적 안정성이 우수한, 무기층 및 유기층을 가진 소자의 제조방법{PREPARATION OF ORGANIC AND INORGANIC LAYERS-STRUCTURED ELECTRONIC DEVICE HAVING IMPROVED THERMAL STABILITY}A method for manufacturing an element having an inorganic layer and an organic layer having excellent thermal stability {PREPARATION OF ORGANIC AND INORGANIC LAYERS-STRUCTURED ELECTRONIC DEVICE HAVING IMPROVED THERMAL STABILITY}

본 발명은 적어도 하나의 무기물층 및 적어도 하나의 유기물층으로 구성된 소자 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 가장 낮은 열적 안정성을 갖는 유기물층을 열처리함으로써 제조된, 열적 안정성이 우수한 소자 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a device composed of at least one inorganic material layer and at least one organic material layer and a method for manufacturing the same, and more particularly, a device having excellent thermal stability and a method of manufacturing the same, which is manufactured by heat-treating the organic material layer having the lowest thermal stability It is about.

무기물층 및 유기물층을 갖는 소자에 있어서, 유기물층이 낮은 열안정성을 가져 소자 작동시 발생하는 주울열(joule heating) 및 외부적 가열로부터 소자 작동의 실패(failure)가 유도된다는 문제점이 있다. 즉, 주울열 또는 외부적 가열로부터 소자의 온도가 상기 유기물의 유리전이온도 이상으로 상승하는 경우에, 이들 유기물층의 유동성이 유발되고, 이로 인해 상부에 증착된 유기물층 또는 금속층이 압축응력(compressive stress)을 받게 되어 표면이 휘거나 쪼개지는 현상이 발생하는 것이다.In a device having an inorganic layer and an organic layer, there is a problem in that the organic layer has low thermal stability, leading to failure of device operation due to joule heat and external heating generated during operation of the device. That is, when the temperature of the device rises above the glass transition temperature of the organic material from Joule heat or external heating, the fluidity of these organic material layers is induced, and thus, the organic material layer or the metal layer deposited thereon is subjected to compressive stress. The surface bends or splits to occur.

예를 들어 유기발광소자에 있어서, 정공수송층에 사용되는 유기물로서는 N,N'-디페닐-N,N'-비스(3-메틸페닐)-1,1'-디페닐-4,4'-디아민(TPD), α-나프틸페닐비페닐 디아민(NPB) 등이 있으며, 이들은 모두 유리전이온도가 100℃ 이하이다. 따라서 소자의 온도가 100℃ 이상이 되면 상술한 바와 같은 소자의 성능 열화가 유발된다. 이러한 현상을 방지하기 위하여, 정공수송층으로 사용되는 유기물로서 유리전이온도가 높은 물질들이 개발되고 있다. 그러나 다층 구조를 가진 소자 전체의 에너지 균형을 맞추는 등 소자에 적합하면서도 유리전이온도가 높은 물질을 개발하는 것이 용이하지 않다.For example, in the organic light emitting device, the organic substance used in the hole transport layer is N, N'-diphenyl-N, N'-bis (3-methylphenyl) -1,1'-diphenyl-4,4'-diamine (TPD), α-naphthylphenylbiphenyl diamine (NPB), and the like, all of which have a glass transition temperature of 100 ° C. or lower. Therefore, when the temperature of the device is 100 ° C. or more, performance degradation of the device as described above is caused. In order to prevent this phenomenon, materials with high glass transition temperature have been developed as organic materials used as the hole transport layer. However, it is not easy to develop a material with high glass transition temperature that is suitable for the device, such as to balance the energy of the entire device having a multilayer structure.

한편 정공수송층은 가열될 경우에 결정화가 일어나는데, 소자 작동시에 발생하는 이러한 결정화는 소자에 전류 누설 등을 유발하므로 가능한한 억제되어야 한다. 그런데, 미리 결정화된 정공수송층이 소자에 사용될 경우, 정공의 이동성(mobility)이 증가되고 발광층과의 상호 확산이 감소되어 소자의 성능이 향상될 수 있다. 그러나, 이러한 결정화된 정공수송층의 형성을, 종래의 증착법에서와 같은 기판의 온도를 상기 결정화 온도 이상으로 상승시킨 상태에서 정공수송물질을 증착시킴으로써 수행하게 되면 정공수송물질이 유동화되어 디웨팅(dewetting)됨으로써 오히려 정공수송층의 표면이 열악해져 결국 소자의 성능이 저하될 수 있다.On the other hand, when the hole transport layer is heated, crystallization occurs. Such crystallization, which occurs during device operation, causes current leakage in the device and should be suppressed as much as possible. However, when a predetermined hole transport layer is used in the device, the mobility of the holes may be increased and the interdiffusion with the light emitting layer may be reduced, thereby improving the performance of the device. However, when the crystallized hole transport layer is formed by depositing the hole transport material while raising the temperature of the substrate as in the conventional deposition method above the crystallization temperature, the hole transport material is fluidized to dewetting. As a result, the surface of the hole transport layer may be deteriorated, resulting in deterioration of device performance.

이에 본 발명자들은 적어도 1층의 무기물층 및 적어도 1층의 유기물층을 갖는 소자의 제조방법에 있어서, 열적 안정성이 가장 낮은 유기물층을 박막으로 형성한 후 상기 유기물층의 승화점 이하의 온도로 열처리함으로써 소자의 내부 및 외부로부터의 열로 인해 발생하는 주름, 쪼개짐 등의 소자의 열화 현상을 방지할 수 있고, 또한 상기 유기물이 정공수송물질인 경우에 이의 결정화가 유도되어 소자의 성능이 향상됨을 발견하고 본 발명을 완성하기에 이른 것이다.Therefore, in the method of manufacturing a device having at least one inorganic material layer and at least one organic material layer, the present inventors have formed the organic material layer having the lowest thermal stability into a thin film, and then heat-treated at a temperature below the sublimation point of the organic material layer. Deterioration of the device, such as wrinkles, splitting, etc. caused by heat from the inside and outside can be prevented, and when the organic material is a hole transport material, crystallization thereof is induced to improve the performance of the device. It is finished.

본 발명의 목적은 열적 성질이 가장 낮은, 즉 유리전이온도가 가장 낮은 유기물층을 적정한 조건으로 열처리함으로써, 열적 안정성이 우수한, 적어도 하나의 무기물층 및 적어도 하나의 유기물층을 갖는 소자를 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to provide a device having at least one inorganic material layer and at least one organic material layer having excellent thermal stability by heat-treating an organic material layer having the lowest thermal property, that is, having the lowest glass transition temperature, under appropriate conditions.

도 1은 본 발명의 실시예에서 제조된 유기발광소자의 구조를 나타내는 모식도이고,1 is a schematic diagram showing the structure of an organic light emitting device manufactured in an embodiment of the present invention,

도 2a 및 2b는 각각 본 발명에 따라 정공수송층(NPB층)을 110℃에서 30분간 열처리하여 제조된 소자(실시예 1) 및 열처리하지 않은 소자(비교실시예 1)의 소자구동 후의 Al 음극 표면에 대한 광학현미경 사진이고,2A and 2B illustrate Al cathode surfaces after device driving of a device (Example 1) and an unheated device (Comparative Example 1) prepared by heat-treating the hole transport layer (NPB layer) at 110 ° C. for 30 minutes according to the present invention, respectively. Optical micrograph for,

도 3a 및 3b는 각각 정공수송층(NPB층)의 증착 후 110℃에서 30분간 열처리하여 제조된 소자(실시예 1) 및 열처리하지 않은 소자(비교실시예 1)의 160℃에서 가열된 후의 Al 음극 표면의 광학현미경 사진이고,3A and 3B illustrate an Al cathode after heating at 160 ° C. of a device (Example 1) and an unheated device (Comparative Example 1), which were manufactured by heat treatment at 110 ° C. for 30 minutes after deposition of a hole transport layer (NPB layer), respectively. Optical micrograph of the surface,

도 4a 및 4b는 각각 정공수송층(NPB층)의 증착 후 180℃(실시예 2) 및 130℃(실시예 4)에서 30분간 열처리하여 제조된 시편의 NPB층 표면의 광학현미경 사진이고,4A and 4B are optical micrographs of the surface of the NPB layer of the specimen prepared by heat treatment at 180 ° C. (Example 2) and 130 ° C. (Example 4) after deposition of the hole transport layer (NPB layer), respectively, for 30 minutes;

도 5a, 5b 및 5c는 각각 정공수송층(NPB층)의 증착 후 다양한 온도에서 30분간 열처리하여 제조된 소자(실시예 1, 2 및 4) 및 열처리하지 않은 소자(비교실시예 1)의 전압에 따른 전류 특성, 전류에 따른 발광 특성 및 전류에 따른 전기 효율 특성의 변화 그래프이고,5A, 5B, and 5C show voltages of devices (Examples 1, 2, and 4) and non-heat-treated devices (Comparative Example 1) prepared by heat treatment at various temperatures for 30 minutes after deposition of the hole transport layer (NPB layer), respectively. Is a graph of the current characteristics, the light emission characteristics according to the current and the electrical efficiency characteristics according to the current,

도 6a 및 6b는 각각 정공수송층(NPB층)의 증착 후 130℃(실시예 3-5) 및 190℃(실시예 6-8)에서 다양한 시간으로 열처리하여 제조된 소자의 전류에 따른 발광 특성을 나타내는 그래프이다.6A and 6B illustrate light emission characteristics of devices manufactured by heat treatment at 130 ° C. (Example 3-5) and 190 ° C. (Example 6-8) for various times after deposition of the hole transport layer (NPB layer), respectively. It is a graph.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에서는 적어도 하나의 무기물층 및 적어도 하나의 유기물층을 갖는 유기발광소자의 제조방법에 있어서, 열적 성질이 가장 낮은 유기물층을 박막 형성 후 후공정 박막 형성 전에 승화점 이하의 온도로 진공 또는 비활성 분위기하에 열처리하는 단계를 특징적으로 포함하는, 소자의 제조방법을 제공한다.In order to achieve the above object, in the present invention, in the method of manufacturing an organic light emitting device having at least one inorganic layer and at least one organic material layer, the organic material layer having the lowest thermal property after the thin film is formed at a sublimation point or less before the post-process thin film formation. Provided is a method of manufacturing a device, characterized in that the step of heat treatment in a vacuum or inert atmosphere at a temperature.

또한, 본 발명에서는 본 발명의 방법에 의해 제조된, 열안정성이 우수한 소자를 제공한다.The present invention also provides a device excellent in thermal stability produced by the method of the present invention.

이하 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명에 따르면, 적어도 하나의 무기물층 및 적어도 하나의 유기물층을 갖는 소자에 있어서, 상기 유기물층 중에서 열적 성질이 가장 낮은 층의 박막을 상온에서 형성시킨 후 열처리하는 것을 특징으로 한다. 박막 형성 후에 열처리를 하게 되면, 이 박막은 인접하는 층과의 열팽창계수의 차이로 인하여 인장응력(tensile stress)을 받게 되는데, 이러한 인장응력은 소자 구동시 발생하는 주울열과 외부로부터의 열로 인하여 발생하는 압축응력을 보정해줌으로써, 압축응력으로 인해 발생하는 이웃한 유기물층 또는 금속층이 휘거나 쪼개지는 현상을 방지할 수 있게 한다.According to the present invention, in the device having at least one inorganic layer and at least one organic material layer, a thin film of a layer having the lowest thermal property among the organic material layers is formed at room temperature and then heat-treated. When the heat treatment is performed after the formation of the thin film, the thin film is subjected to tensile stress due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the adjacent layers. The tensile stress is generated by Joule heat generated from driving the device and heat from the outside. By compensating for the compressive stress, it is possible to prevent the neighboring organic material layer or the metal layer from bending or splitting due to the compressive stress.

본 발명의 방법에서, 박막의 형성은 상온에서 수행되는 모든 방법, 예를 들면 증발 증착, 스핀 코팅, 스퍼터링 등에 의해 수행될 수 있으며, 상기 열처리는 상기 유기물층이 승화되지 않는 온도 범위내에서 진공이나 비활성 분위기하에 수행된다. 표면 개질 또는 전기적 특성에 있어서 상기 열처리 공정은 온도 및 시간 의존성이 거의 없으나, 상기 온도 범위내에서 보통 5분 내지 120분동안 수행할 수 있다.In the method of the present invention, the formation of the thin film may be performed by any method performed at room temperature, for example, evaporation deposition, spin coating, sputtering, and the like, and the heat treatment may be performed in a vacuum or inert state within a temperature range in which the organic layer is not sublimated. Carried out under atmosphere. In the surface modification or electrical properties, the heat treatment process has little temperature and time dependence, but may be performed for 5 minutes to 120 minutes within the temperature range.

또한, 본 발명에 따르면, 상기와 같이 열처리되는 층이 유기발광소자의 정공수송층인 경우에 추가의 효과를 제공할 수 있다. 즉, 소자를 제조함에 있어서 정공수송층을 박막 형성 후 후공정의 박막 형성 전에 열처리(pre-annealing)하게 되면 정공수송층의 결정화를 유도할 수 있다. 이와 같이 기판의 온도를 상승시키지 않고 상온에서 박막층을 먼저 형성한 후 열처리하여 결정화시키게 되면, 정공수송물질의 유동화로 인한 응집이 발생하지 않게 되어 소자 성능의 열화를 방지할 수 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to provide additional effects when the heat treated layer as described above is a hole transport layer of the organic light emitting device. That is, in manufacturing the device, if the hole transport layer is pre-annealed after the thin film is formed before the thin film is formed in the post process, crystallization of the hole transport layer may be induced. As such, when the thin film layer is first formed at room temperature without raising the temperature of the substrate and then crystallized by heat treatment, aggregation of the hole transport material may not occur, thereby preventing deterioration of device performance.

본 발명의 특징적인 열처리 공정은, 유기층 성분의 종류와는 상관없이 적어도 하나의 무기물층 및 적어도 하나의 유기물층을 가진 모든 소자, 예를 들면 유기 트랜지스터, LCD 백라이트 유니트 또는 반사판, 유기발광소자 등에 적용할 수 있다.The characteristic heat treatment process of the present invention is applicable to all devices having at least one inorganic layer and at least one organic material layer, regardless of the type of organic layer component, for example, an organic transistor, an LCD backlight unit or a reflector, an organic light emitting device, or the like. Can be.

본 발명의 방법의 구체예를 들면, 정공주입층으로서의 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)-폴리(4-스티렌 설포네이트)[PEDT-PSS], 정공수송층으로서의 α-나프틸페닐비페닐 디아민(NPB) 및 발광층으로서의 4,4'-비스(2-(9-에틸카바졸릴)-에텐-1-일)-비페닐[BCzVBi]를 유기층으로 포함하는 유기발광소자의 경우에, 유기물층 중에서 NPB가 유리전이온도가 100℃ 이하로서 가장 낮은 물질이므로 상기 소자의 제조 단계에서 NPB를 열처리하게 된다.Specific examples of the method of the present invention include poly (3,4-ethylenedioxythiophene) -poly (4-styrene sulfonate) [PEDT-PSS] as the hole injection layer, and α-naphthylphenylbiphenyl as the hole transport layer. In the case of an organic light emitting element comprising diamine (NPB) and 4,4'-bis (2- (9-ethylcarbazolyl) -ethen-1-yl) -biphenyl [BCzVBi] as an organic layer, in an organic layer Since NPB is the lowest material having a glass transition temperature of 100 ° C. or lower, the NPB is heat-treated at the manufacturing stage of the device.

본 발명의 방법에 의해 제조된 소자는, 음극 표면 부위의 주름이나 쪼개짐이 방지되며, 소자 구동시 발생하는 주울열 또는 외부 가열로 인한 압축응력을 극복할 수 있으므로, 열적 안정성 및 성능이 향상될 수 있다.The device manufactured by the method of the present invention can prevent wrinkles or splitting of the surface of the cathode and can overcome the compressive stress due to Joule heat or external heating generated when the device is driven, thereby improving thermal stability and performance. have.

본 발명은 하기의 실시예에 의하여 보다 더 잘 이해될 수 있으며, 하기의 실시예는 본 발명의 예시 목적을 위한 것이며 첨부된 특허청구범위에 의하여 한정되는 보호범위를 제한하고자 하는 것은 아니다.The invention can be better understood by the following examples, which are intended for the purpose of illustration of the invention and are not intended to limit the scope of protection defined by the appended claims.

실시예Example

실시예 1Example 1

ITO (Indium-tin-oxide) (양극층, 두께: 1000Å)를 포함하는 유리기판을 통상의 방법으로 세척한 후, 상기 ITO 위에 농도 15중량%의 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)-폴리(4-스티렌 설포네이트)(PEDT-PSS)(정공주입층)를 7000 rpm으로 스핀 코팅(spin coating)하여 막을 형성하였다. 상기 PEDT-PSS 층을 건조시키기 위하여 200℃에서 10분간 열처리하였다. 열처리된 시편에 α-나프틸페닐비페닐 디아민(NPB)층(정공수송층)을 상온에서 증발 증착에 의해 500Å의 두께로 형성시킨 후, 110℃에서 30분간 열처리(annealing)하였다. 이어서 4,4'-비스(2-(9-에틸카바졸릴)-에텐-1-일)-비페닐 (BCzVBi)(발광층) 및 LiF(에너지 장벽층)/Al(음극층)을 순차적으로 진공증착시켜 각각 두께 500Å의 발광층 및 두께 7Å / 1000Å의 에너지 장벽층/음극 전극층을 형성하여 유기발광소자를 제작하였다. 상기와 같이 제작된 소자의 구조는 도 1과 같다.After washing the glass substrate containing ITO (Indium-tin-oxide) (anode layer, thickness: 1000 GPa) by a conventional method, a poly (3,4-ethylenedioxythiophene) having a concentration of 15% by weight on the ITO- Poly (4-styrene sulfonate) (PEDT-PSS) (hole injection layer) was spin coated at 7000 rpm to form a film. The PEDT-PSS layer was heat-treated at 200 ° C. for 10 minutes to dry. An α-naphthylphenylbiphenyl diamine (NPB) layer (hole transport layer) was formed on the heat-treated specimen at a thickness of 500 kPa by evaporation at room temperature, followed by annealing at 110 ° C. for 30 minutes. 4,4'-bis (2- (9-ethylcarbazolyl) -ethen-1-yl) -biphenyl (BCzVBi) (light emitting layer) and LiF (energy barrier layer) / Al (cathode layer) were sequentially vacuumed The organic light emitting device was fabricated by forming a light emitting layer having a thickness of 500 mV and an energy barrier layer / cathode electrode layer having a thickness of 7 mV / 1000 mV respectively. The structure of the device manufactured as described above is as shown in FIG.

실시예 2-8 및 비교실시예 1Example 2-8 and Comparative Example 1

증착된 NPB 층을 하기 표 1에 기재된 온도 및 시간으로 열처리한 것(비교실시예 1은 열처리하지 않음)을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법을 수행하여 유기발광소자를 제작하였다.An organic light-emitting device was manufactured in the same manner as in Example 1, except that the deposited NPB layer was heat-treated at the temperature and time shown in Table 1 below (Comparative Example 1 was not heat-treated).

구 분division 열처리온도(℃)Heat treatment temperature (℃) 열처리시간(분)Heat treatment time (minutes) 실시예Example 22 180180 3030 33 130130 1010 44 3030 55 6060 66 190190 1010 77 3030 88 6060 비교실시예 1Comparative Example 1 열처리하지 않음(unannealed)Unannealed

표면 특성 평가Surface property evaluation

실시예 및 비교실시예에서 제조된 소자의 구동후의 음전극 표면 및 NPB층(정공수송층)에 대한 광학현미경 관찰 사진을 도 2 내지 4에 나타내었다.Optical microscopic observation photographs of the negative electrode surface and the NPB layer (hole transport layer) after driving the devices manufactured in Examples and Comparative Examples are shown in FIGS. 2 to 4.

도 2로부터, NPB층의 증착 후 110℃에서 30분간 열처리하여 제조된 소자(실시예 1)는 15V에서 40초간 주울열이 발생한 후, 음극인 Al 전극 표면상에 주름이나 쪼개짐이 발생하지 않았으나(도 2a), 열처리하지 않은 소자(비교예 1)의 Al 전극 표면은 가느다란 주름이 발생하였음(도 2b)을 알 수 있다.From FIG. 2, the device manufactured by heat treatment at 110 ° C. for 30 minutes after deposition of the NPB layer (Example 1) did not generate wrinkles or cracks on the surface of the Al electrode as the cathode after Joule heat was generated at 15 V for 40 seconds ( Fig. 2a), it can be seen that the surface of the Al electrode of the non-heat treatment element (Comparative Example 1) had a thin wrinkle (Fig. 2b).

도 3으로부터, 열처리하여 제조된 소자(실시예 1)가 160℃에서 가열된 후의 표면은 고르고 깨끗하지만(도 3a), 열처리하지 않은 소자(비교실시예 1)의 경우에는 주름이 발생하였음(도 3b)을 알 수 있다.From FIG. 3, the surface after the heat-treated device (Example 1) was heated at 160 ° C. was uniform and clean (FIG. 3A), but in the case of the unheated device (Comparative Example 1), wrinkles occurred (FIG. 3b) can be seen.

도 4에 도시된, NPB층의 증착 후 180℃(실시예 2)(도 4a) 및 130℃(실시예 4)(도 4b)에서 30분간 열처리하여 제조된 시편의 NPB 표면의 광학현미경 사진으로부터, 180℃ 및 130℃에서 열처리된 NPB층 표면은 모두 결정화가 일어났음을 알 수 있다.From the optical micrograph of the NPB surface of the specimen prepared by heat treatment for 30 minutes at 180 ° C. (Example 2) (FIG. 4 a) and 130 ° C. (Example 4) (FIG. 4 b) after deposition of the NPB layer shown in FIG. 4. It can be seen that the surface of the NPB layer heat treated at 180 ° C. and 130 ° C. all crystallized.

도 2 및 도 3은 본 발명에 따라 열처리된 소자의 열안정성을, 도 4는 정공수송층의 열처리에 따른 결정화 발생을 보여준다.2 and 3 show the thermal stability of the device heat-treated according to the present invention, Figure 4 shows the crystallization caused by the heat treatment of the hole transport layer.

소자의 전기적 특성 평가Evaluation of Electrical Characteristics of Devices

유기물층 열처리 조건에 따른, 실시예 및 비교실시예에서 제조된 소자의 전기적 특성, 즉 전압-전류 특성, 전류-발광 특성, 전류-전기효율 특성을 나타내는 그래프를 도 5 및 도 6에 나타내었다.5 and 6 show graphs showing electrical characteristics, that is, voltage-current characteristics, current-emitting characteristics, and current-electricity efficiency characteristics of devices manufactured in Examples and Comparative Examples according to the organic material layer heat treatment conditions.

도 5a, 5b 및 5c로부터, 유기물층이 열처리되지 않은 소자(비교예 1)가 110℃, 130℃ 및 180℃에서 각각 열처리된 소자(실시예 1, 2 및 4)에 비해 정격전압에 따른 전류 특성, 전류에 따른 발광 특성 및 전류에 따른 전기효율 특성이 낮고, 동일한 열처리 시간에 대해서는 열처리 온도가 높을수록 소자의 전기적 특성이 증가함을 알 수 있다. 또한, 130℃의 동일 열처리 온도에서 열처리 시간(10분, 30분, 60분)을 다양하게 변화시켰을 경우에, 시간에 따른 발광 및 전기 효율의 차이가 거의 없었으며(도 6a), 190℃의 열처리 온도에서도 처리시간에 따른 전기적 특성의 차이가 없었다(도 6b). 또한 도 6a 및 도 6b로부터, 열처리 온도(130℃ 및 190℃)에 따른 발광 특성의 차이도 거의 없음을 알 수 있다.5A, 5B, and 5C, the current characteristics according to the rated voltage of the device (Comparative Example 1), in which the organic material layer was not heat-treated, were compared with the devices (Examples 1, 2, and 4) heat-treated at 110 ° C, 130 ° C, and 180 ° C, respectively. It can be seen that the light emission characteristics according to the current and the electrical efficiency characteristics according to the current are low, and for the same heat treatment time, the electrical characteristics of the device increase as the heat treatment temperature increases. In addition, when the heat treatment time (10 minutes, 30 minutes, 60 minutes) was variously changed at the same heat treatment temperature of 130 ℃, there was almost no difference in the light emission and electrical efficiency with time (Fig. 6a), There was no difference in electrical characteristics with treatment time even at the heat treatment temperature (FIG. 6B). 6A and 6B, it can be seen that there is almost no difference in the light emission characteristics according to the heat treatment temperatures (130 ° C. and 190 ° C.).

따라서, 소자 제조공정에서 유기물층이 열처리되지 않는 것보다는 열처리되는 것이 소자의 전기적 특성의 효율이 우수함을 알 수 있다.Therefore, it can be seen that the heat treatment of the organic material layer is superior to the efficiency of the electrical characteristics of the device rather than the heat treatment in the device manufacturing process.

본 발명에 따른, 적어도 하나의 무기물층 및 적어도 하나의 유기물층을 갖는소자는, 열적 성질이 가장 낮은 유기물층을 열처리함으로써 제작되어 음극 표면의 주름이나 쪼개짐의 발생이 억제되며, 특히 상기 유기물층이 정공수송층인 경우에는 박막 형성후의 열처리로 인해 상기 유기물의 결정화가 유도되어 소자의 열적 안정성 및 성능이 크게 향상될 수 있다.According to the present invention, the device having at least one inorganic material layer and at least one organic material layer is manufactured by heat-treating the organic material layer having the lowest thermal property to suppress the occurrence of wrinkles or cracks on the surface of the cathode, and in particular, the organic material layer is a hole transport layer. In this case, crystallization of the organic material may be induced by heat treatment after the thin film is formed, thereby greatly improving thermal stability and performance of the device.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications or changes of the present invention can be easily carried out by those skilled in the art, and all such modifications or changes can be seen to be included in the scope of the present invention.

Claims (5)

적어도 하나의 무기물층 및 적어도 하나의 유기물층으로 구성된 소자의 제조방법에 있어서, 열적 성질이 가장 낮은 유기물층을 박막 형성 후 후공정의 박막 형성 전에 승화점 이하의 온도에서 진공 또는 비활성 분위기하에 열처리(annealing)하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 소자의 제조방법.In the method for manufacturing a device composed of at least one inorganic layer and at least one organic layer, annealing the organic material layer having the lowest thermal properties in a vacuum or inert atmosphere at a temperature below the sublimation point after the thin film is formed before the thin film is formed in the post-process Method for manufacturing a device, characterized in that it comprises a step. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 소자가 유기발광소자인 것을 특징으로 하는 방법.The device is an organic light emitting device. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 열처리되는 유기물층이 정공수송층인 것을 특징으로 하는 방법.The organic material layer to be heat-treated is characterized in that the hole transport layer. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 열처리 단계에서 유기물층의 결정화가 일어난 것을 특징으로 하는 방법.Crystallization of the organic material layer in the heat treatment step characterized in that the. 제1항 내지 제4항중 어느 한 항의 방법에 의해 제조된 소자.A device manufactured by the method of claim 1.
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