KR20020077645A - 여러 제어 인터페이스용 휴대용 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 플라즈마 발생기용 통신 인터페이스 시스템 및 방법에 관한 것이다. 통신 인터페이스 시스템은 제 1 프로토콜에 따라서 정보를 통신하기 위한 표준 POD 인터페이스를 갖는 전력 전달 시스템 부재를 포함한다. 휴대용 장치는 정보 통신을 위해 표준 POD 인터페이스와 제 2 통신 인터페이스 사이에 연결되어 있다. 제 2 통신 인터페이스는 제 2 프로토콜에 따르는 형태로 정보를 통신한다. 휴대용 장치는 표준 POD 인터페이스와 제 2 통신 인터페이스로부터 착탈가능하다. 제 1 통신 링크는 표준 POD 인터페이스를 휴대용 장치에 연결한다. 제 2 통신 링크는 휴대용 장치를 제 2 통신 인터페이스에 연결한다.
Description
본 발명은 전력 발생기에 관한 것으로, 특히, 전력 발생 장치용 통신 인터페이스에 관한 것이다.
플라즈마를 사용을 통한 플라즈마 증착과 플라즈마 스퍼터링과 같은 재료 가공이 수년간 공지되어 왔다. 일반적으로 이러한 가공은 플라즈마 챔버에 연결되어 있는 RF 또는 고전압 DC 전력 신호가 제공되는 발생기를 사용한다. 통상적으로 종래 발생기는 내부 및 외부 조립체 사이의 신호 전송을 위한 주문형(custom) 데이터 통신 시스템을 포함한다. 도 1을 참조하면, 주문형 데이터 통신 시스템을 구비한 종래 발생기(10a)가 도시되어 있다. 일반적으로 데이터 통신 시스템은 발생기와 주문자 사이의 통신을 위한 주문형 인터페이스(12)와 시스템 조립체 사이의 내부 통신을 위한 아날로그/디지털 신호의 혼합을 사용한다.
도 2를 참조하면, 발생기(10b)와 주문자 사이의 통신을 위한 또 다른 통신 링크 구성은 주문형 인터페이스(14)와 개별 멀티프로덕트 인터페이스(16)를 갖는 발생기(10b)내의 멀티프로덕트 구성을 포함한다. 주문형 인터페이스(14)는 주문자와 발생기(10b) 사이의 통신을 지원하는 반면에, 멀티프로덕트 인터페이스(16)는 발생기(10b)와 여러가지 다른 프로덕트 사이의 통신을 지원한다. 통상적으로 멀티프로덕트 구성은 주문형(14) 및 멀티프로덕트(16) 인터페이스를 통하는 통신 흐름을 조정하기 위한 제어 시스템(17)을 포함한다.
도 3을 참조하면, 발생기(10c)용 제 3 종래 통신 링크 구성이 도시되어 있다. 통신 링크는 주문형 인터페이스(20)를 통하는 개량된 통신 제어가 제공되도록 주문형 멀티프로세서 제어 시스템(18)내에 코프로세서를 포함한다. 코프로세서는 발생기로부터 주문형 인터페이스(20)를 통하는 정보 흐름을 조정한다.
각각의 이러한 구성들은 인터페이스 업그레이드 및 수리의 곤란성, 제한된 주문자의 인터페이스 선택성, 그리고 다른 인터페이스 표준을 지원하기 위해 발생기의 주문 버전을 생성하고 유지하는 높은 비용을 포함하는 여러 결점을 공유한다.
본 발명은 플라즈마 챔버에 무선 주파수 또는 고전압 DC 전력 신호를 제공하는 발생기에 있어서, 발생기 내부 및 외부 조립체 사이의 신호를 전송하는 주문형 데이터 통신 시스템에 관한 것으로, 종래 발생기와 주문자 사이의 통신을 담당하는 주문형 인터페이스의 업그레이드 및 수리를 용이하게 하고, 주문자의 인터페이스 선택폭을 넓히며, 다른 인터페이스 표준을 지원하기 위한 발생기의 주문 버전 생성 및 비용을 효율적으로 관리하는 인터페이스 장치를 제공하기 위한 것이다.
도 1은 제 1 종래 발생기 통신 링크 구성의 블록도이다.
도 2는 제 2 종래 발생기 통신 링크 구성의 블록도이다.
도 3는 제 3 종래 발생기 통신 링크 구성의 블록도이다.
도 4는 본 발명의 설명에 따른 휴대용 장치 통신 링크의 제 1 실시예의 블록도이다.
도 5는 본 발명의 설명에 따른 휴대용 장치 통신 링크의 제 2 실시예의 블록도이다.
도 6는 본 발명의 설명에 따른 휴대용 장치 통신 링크의 제 3 실시예의 블록도이다.
본 발명에는 플라즈마 발생기용 통신 인터페이스 시스템 및 방법이 제공된다. 통신 인터페이스 시스템은 제 1 프로토콜에 따라 정보를 통신하기 위한 표준 POD 인터페이스를 구비하는 발생기 조립체를 포함한다. 표준 POD 인터페이스와 제 2 통신 인터페이스 사이에 휴대용 장치가 이들 사이에서 정보를 통신하기 위해 연결되어 있다. 제 2 통신 인터페이스는 제 2 프로토콜에 따른 형식으로 정보를 통신한다. 휴대용 장치는 표준 POD 인터페이스와 제 2 통신 인터페이스로부터 착탈가능하다. 제 1 통신 링크는 표준 POD 인터페이스를 휴대용 장치에 연결한다. 제 2 통신 링크는 휴대용 장치를 제 2 통신 인터페이스에 연결한다.
본 발명의 추가의 응용 분야가 하기에 제공된 상세한 설명으로부터 분명하게 나타난다. 상세한 설명과 본 발명의 바람직한 실시예로 나타나는 특정 실시예는 오로지 예시적일 뿐이며 본 발명의 범위를 제한하지 않는다.
본 발명은 상세한 설명과 첨부된 도면으로부터 더욱 완전하게 이해될 수 있다.
바람직한 실시예의 다음 설명은 본래 단순한 예시일 뿐이며 본 발명, 발명의 응용, 또는 이용을 제한하지 않는다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 원리에 따라서 통신 인터페이스 시스템(32)에 삽입된 발생기(30)의 바람직한 실시예를 도시한 블록도이다. 비록, 통신 인터페이스 시스템은 발생기와 함께 바람직하게 사용되지만, 본 발명의 범위는 발생기에 추가하여, 정합 회로망, V/I 프로브, 출력 센서, 그리고 전력 증폭기와 같은 다른 전력 전달 시스템 부재의 인터페이싱을 포함한다. 통신 인터페이스 시스템(32)은 한 쌍의 통신 링크(38,40)를 통해 표준 POD 인터페이스(36)와 주문형 인터페이스(도시안됨) 사이에 연결된 주문형 인터페이스 POD(34)를 포함한다. 주문형 인터페이스 POD(34)는 표준 POD 인터페이스 프로토콜과 같은 일반 인터페이스 프로토콜을 갖는 발생기와 AnyBus, Ethernet, Devicenet, 그리고 Analog Interface와 같은 다른 통신 프로토콜에 기초한 또 다른 인터페이스 사이의 통신을 용이하게 하는데 사용되는 제한되지 않은 다양한 인터페이스 POD중 하나이다.
발생기(30)는 다른 조립체 및 장치와 통신하기 위한 표준으로서 일반 인터페이스 프로토콜만 사용한다. 다른 프로토콜에 기초한 인터페이스와 통신하기 위한 발생기(30)의 다른 형태는 없다. 필수적으로, 통신 인터페이스 시스템(32)은 발생기(30) 외부의 메카니즘용 인터페이스를 발생기(30)로부터 분리된 인터페이스 POD로 변환한다. 예컨대, 바람직한 실시예에서, 표준 POD 인터페이스 프로토콜은 모든 발생기에 이용된다. 발생기(30)를 Devicenet과 같은 다른 프로토콜을 사용하는 장치에 인터페이싱하기 위해, Devicenet 인터페이스 POD 가 발생기(30)와 Devicenet 장치 사이에 연결된다. 마찬가지로, 발생기(30)를 Ethernet을 사용하는 장치에 인터페이싱하기 위해, Ethernet 인터페이스 POD 가 발생기(30)와 Ethernet 장치 사이에 연결된다. 각각의 경우에, 인터페이스 POD는 발생기(30)의 일반 인터페이스를 다른 인터페이스 프로토콜에 인터페이싱한다. 인터페이싱 기능을 인터페이스 POD로 변환함으로써, 여러 장점을 얻는다. 예컨대, 인터페이스의 접근용이성으로 인하여 인터페이스의 업그레이드와 수리가 개선되고, 발생기는 해당 인터페이스 POD를 단순히 선택함으로써 여러 다른 인터페이스에 용이하게 인터페이싱되며, 다른 인터페이스 표준을 지원하기 위해 여러 형태의 주문형 발생기를 생산하고 관리하는 추가의 비용이 제거된다.
발생기(30)를 다른 장치(도시안됨)에 인터페이싱하는 것에 추가로, 통신 인터페이스 시스템은 다른 발생기 조립체를 내부 발생기 조립체 또는 외부 장치에 인터페이싱하는데 사용될 수 있다. 발생기 조립체는 전력 증폭기, V/I 프로브, 출력 센서, 제어 조립체, 그리고 내부 전력 공급기를 포함한다. 통신 인터페이스 시스템의 추가 실시예를 설명하기 전에, 발생기(30) 조립체의 상호 접속을 설명하는 것이 필요하다. 발생기(30)는 유지 및 초기 시스템 시험용 디버그 인터페이스(42)를 포함한다. 제어 시스템(44)은 출력 조정과 외부 장치와의 통신을 포함하는 발생기(30)의 동작을 조절한다. 제어 시스템(44)으로부터의 구동 신호는 전력 출력을 생성하는 전력 증폭기(46)에 연결된다. 출력 센서(48)는 전력 출력의 신호특성을 감지한다. 하우스키핑(housekeeping) 전력 공급기(50)에는 발생기(30)의 조립체를 위한 조정된 전력이 제공된다. 내부 데이터 인터페이스(52)는 전력 증폭기(46), 출력 센서(48), 그리고 하우스키핑 전력 공급기(50) 사이의 통신을 조정한다.
계속해서 도 4를 참조하면, 통신 인터페이스 시스템(54)의 제 2 실시예가 도시되어 있다. 발생기(30)의 출력 센서(48)는 회로망 인터페이스 POD(56)를 통해 회로망(58)에 연결되어 있는 표준 POD 인터페이스(도시안됨)를 포함한다. 출력 센서(48)로부터의 통신은 고속 링크(60)를 통해 회로망 인터페이스 POD로 흐르고, 다음으로 또 다른 링크(62)를 통해 회로망(58)으로 흐른다. 일반적으로, 만약 출력 센서(48)가 표준 POD 인터페이스(36)를 포함하는 발생기 조립체라면, 출력 센서(48)로부터의 통신은 발생기(30)의 표준 POD 인터페이스(36)을 통해 라우팅된다. 그러나, 만약 해당 발생기가 표준 POD 인터페이스(36)을 포함하지 않는다면, 다음으로 인터페이스 시스템(54)의 통신을 위해 설명된 것과 같이 회로망 인터페이스 POD(56)를 통해 통신을 루팅하는 것이 바람직하다. 이전의 실시예에서처럼, 회로망 인터페이스 POD(56)는 접근용이성, 인터페이스 선택의 용이성, 업그레이드 가능성, 낮은 생산 비용, 그리고 개선된 관리를 용이하게 하기 위해 발생기(30)로부터 분리되어 있다.
도 5를 참조하면, 발생기(70)에 연결된 통신 인터페이스 시스템(72)의 제 2 실시예가 도시되어 있다. 통신 인터페이스 시스템(72)이 발생기, 발생기 조립체, 그리고 회로망과 같은 여러 장치에 인터페이싱하기 위해 추가의 통신 링크(94)를포함한다는 것을 제외하고, 70-99 범위의 번호가 붙여진 해당 부재와 관련하여, 통신 인터페이스 시스템(72)과 발생기(70)의 조합은 통신 인터페이스 시스템(32)과 발생기(30)의 조합과 기능적으로 유사하다. 게다가, 시스템 제어기는 통신 링크(78,80,94)의 상호 작용을 조정하도록 주문형 인터페이스 POD(74) 내에 포함된다.
도 6을 참조하면, 전력 전달 시스템 부재(100)에 연결된 통신 인터페이스 시스템(102)의 제 3 실시예가 도시되어 있다. 인터페이스 POD(104)가 높은 속도와 증가된 기능을 갖는 인터페이스를 지원하기 위하여 코프로세서(124)를 포함한다는 것을 제외하고, 100-122 범위로 번호가 붙여진 해당 부재와 관련하여, 통신 인터페이스 시스템(102)과 전력 전달 시스템 부재(100)의 조합은 통신 인터페이스 시스템(32)과 발생기(30)의 조합과 기능적으로 유사하다. 또한 인터페이스 POD(104)는 단독으로 또는 코프로세서(124)와 조합한 대용량(mass) 저장 시스템(126)를 포함한다. 본 발명의 범위는 플래시 카드, 기록가능한 CD-ROM, 기록가능한 광디스크, 그리고 자기 매체와 같은 저장 장치를 사용하는 대용량 저장 시스템을 포함한다.
본 발명의 범위는 본래 단순한 예시일 뿐이며, 따라서, 발명의 요지에서 벗어나지 않는 변형들이 발명의 범위내에서 이루어질 수 있다. 이러한 변형는 본 발명의 사상과 범위에서 벗어나지 않는다.
본 발명에 따르면, 휴대용 장치를 표준 POD 인터페이스와 제 2 통신 인터페이스 사이에 제 1 및 제 2 통신 링크를 이용하여 연결함으로써, 종래 발생기와 주문자 사이의 통신을 담당하는 주문형 인터페이스의 업그레이드 및 수리를 용이하게 하고, 주문자의 인터페이스 선택폭을 넓히며, 발생기의 주문 버전 생성 및 비용을 효율적으로 관리하여 다른 인터페이스 표준을 지원하는 주문형 데이터 통신 시스템을 제공한다.
Claims (20)
- 제 1 프로토콜에 따라서 정보를 통신하기 위한 표준 POD 인터페이스를 포함하는 전력 전달 시스템 부품;상기 표준 POD 인터페이스와 제 2 프로토콜에 따라서 정보를 통신하는 제 2 통신 인터페이스 사이에서 정보를 통신하기 위해 연결되고, 상기 POD 인터페이스와 상기 제 2 통신 인터페이스로부터 착탈가능한 휴대용 장치;상기 표준 POD 인터페이스를 상기 휴대용 장치에 연결하기 위한 제 1 통신 링크; 및상기 휴대용 장치를 상기 제 2 통신 인터페이스에 연결하기 위한 제 2 통신 링크를 포함하는 플라즈마 공정 시스템내에 정보를 통신하는 통신 인터페이스 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 표준 POD 인터페이스는 주문형 프로토콜을 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 시스템내에 정보를 통신하는 통신 인터페이스 시스템.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제 2 통신 인터페이스는 표준 프로토콜을 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 시스템내에 정보를 통신하는 통신 인터페이스 시스템.
- 제 3 항에 있어서, 상기 표준 프로토콜은 아날로그 인터페이스, USB, Ethernet, Devicenet, Profibus, Modbus, 그리고 Infrared Transceiver 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 시스템내에 정보를 통신하는 통신 인터페이스 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 휴대용 장치는 대용량 저장 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 시스템내에 정보를 통신하는 통신 인터페이스 시스템.
- 제 5 항에 있어서, 상기 대용량 저장 장치는 CD-ROM, FlashCard, Optical Disk, 그리고 자기 매체 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 시스템내에 정보를 통신하는 통신 인터페이스 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 휴대용 장치는 하나 이상의 통신 인터페이스와 인터페이싱하기 위한 다수의 인터페이스 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 시스템내에 정보를 통신하는 통신 인터페이스 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 휴대용 장치는 코프로세서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 시스템내에 정보를 통신하는 통신 인터페이스 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 통신 인터페이스는 주문형 인터페이스인 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 시스템내에 정보를 통신하는 통신 인터페이스 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 전력 전달 시스템 부품은 V/I 프로브, 발생기, 정합 회로망, 그리고 전력 증폭기 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 시스템내에 정보를 통신하는 통신 인터페이스 시스템.
- 주문형 프로토콜에 따라서 정보를 통신하기 위한 표준 POD 인터페이스를 포함하는 전력 전달 시스템;상기 표준 POD 인터페이스와 표준 프로토콜에 따라서 정보를 통신하는 주문형 통신 인터페이스 사이에 정보를 통신하기 위해 연결되고, 상기 표준 POD 인터페이스와 상기 주문형 통신 인터페이스로부터 착탈가능한 휴대용 장치;상기 표준 POD 인터페이스를 상기 휴대용 장치에 연결하기 위한 제 1 통신 링크; 및상기 휴대용 장치를 상기 주문형 통신 인터페이스에 연결하기 위한 제 2 통신 링크를 포함하는 플라즈마 생성기 시스템용 통신 인터페이스 시스템.
- 제 11 항에 있어서, 상기 휴대용 장치는 대용량 저장 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 생성기 시스템용 통신 인터페이스 시스템.
- 제 12 항에 있어서, 상기 대용량 저장 장치는 CD-ROM, FlashCard, Optical Disk, 그리고 자기 매체 그룹으로부터 선택된는 것을 특징으로 하는 플라즈마 생성기 시스템용 통신 인터페이스 시스템.
- 제 13 항에 있어서, 상기 휴대용 장치는 코프로세서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 생성기 시스템용 통신 인터페이스 시스템.
- 제 11 항에 있어서, 상기 휴대용 장치는 코프로세서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 생성기 시스템용 통신 인터페이스 시스템.
- 제 14 항에 있어서, 상기 휴대용 장치는 하나 이상의 통신 인터페이스와 인터페이싱하기 위한 다수의 인터페이스 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 생성기 시스템용 통신 인터페이스 시스템.
- 제 16 항에 있어서, 상기 전력 전달 시스템 부품은 V/I 프로브, 발생기, 정합 회로망, 그리고 전력 증폭기 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 생성기 시스템용 통신 인터페이스 시스템.
- 정보를 통신하기 위한 주문형 프로토콜에 따르며, 통신 신호를 수신하기 위한 통신 포트를 포함하는 표준 POD 인터페이스를 포함하는 발생기 조립체;상기 표준 POD 인터페이스 통신에 착탈가능하게 연결되는 제 1 단부를 갖는 제 1 통신 링크;상기 표준 POD 인터페이스와 표준 프로토콜에 따르는 제 2 통신 인터페이스 사이에서 착탈가능하게 연결되어, 상기 제 2 통신 인터페이스로 흐르는 정보가 상기 표준 프로토콜에 따르고 상기 표준 POD 인터페이스로 흐르는 정보가 상기 주문형 프로토콜에 따르도록 상기 표준 POD 인터페이스와 상기 제 2 통신 인터페이스 사이에서 흐르는 정보를 변환하는 인터페이스 휴대용 장치; 및상기 휴대용 장치를 상기 제 2 통신 인터페이스에 착탈가능하게 연결하는 제 2 통신 링크를 포함하는 플라즈마 공정 시스템내의 정보를 통신하는 통신 인터페이스 시스템.
- 제 18 항에 있어서, 상기 휴대용 장치는 대용량 저장 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 시스템내의 정보를 통신하는 통신 인터페이스 시스템.
- 제 18 항에 있어서, 상기 휴대용 장치는 하나 이상의 통신 인터페이스와 인터페이싱하기 위한 다수의 인터페이스 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 시스템내의 정보를 통신하는 통신 인터페이스 시스템.
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