KR20020065753A - Structure for top plate of plasma display panel device and fabricating method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 상판 구조 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 상판에 이중 보호막을 형성하여 보호막의 오염을 방지할 수 있도록 한 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 상판 구조 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a top plate structure of a plasma display panel element and a method of manufacturing the same. In particular, a top plate structure of a plasma display panel element and a fabrication thereof for forming a double protective layer on the top plate of the plasma display panel element to prevent contamination of the protective layer It is about a method.
일반적인 플라즈마 디스플레이 패널 소자는 도1의 예시도에 도시한 바와같이 상판과 하판으로 구성된다.A typical plasma display panel element is composed of an upper plate and a lower plate as shown in the exemplary diagram of FIG.
먼저, 상판은 투명한 전면 유리기판(1) 상에 유지(sustain)전극(2)을 패터닝한 다음 그 유지전극(2) 상부에 버스전극(3)을 형성하고, 그 버스전극(3) 및 유지전극(2)을 포함한 전면 유리기판(1)의 상부전면에 상층유전체(4)를 형성한 다음 그 상층유전체(4)를 보호하기 위한 산화마그네슘(MgO) 재질의 보호막(5)이 적층되어 구성된다.First, the upper plate patterns the sustain electrode 2 on the transparent front glass substrate 1, and then forms the bus electrode 3 on the sustain electrode 2, and the bus electrode 3 and the sustain plate. The upper dielectric 4 is formed on the upper surface of the front glass substrate 1 including the electrode 2, and then a protective film 5 made of magnesium oxide (MgO) is laminated to protect the upper dielectric 4. do.
그리고, 하판은 배면 유리기판(6) 상부에 데이터신호가 인가되는 어드레스전극(7)을 패터닝한 다음 어드레스전극(7)을 포함한 배면 유리기판(5)의 상부전면에 하층유전체(8)를 형성하고, 그 하층유전체(8)의 상부에 격벽(9)을 선택적으로 형성하여 방전이 일어날 수 있는 셀을 구획한 다음 방전셀의 측면과 밑면에 적색,녹색,청색(R,G,B)의 형광체(10)가 형성되어 구성된다.In addition, the lower plate is formed by patterning the address electrode 7 to which a data signal is applied on the rear glass substrate 6, and then forming the lower dielectric 8 on the upper surface of the rear glass substrate 5 including the address electrode 7. The barrier 9 is selectively formed on the lower dielectric 8 to partition cells where discharge may occur, and then red, green, and blue (R, G, B) on the side and bottom of the discharge cell. The phosphor 10 is formed and comprised.
상기한 바와같이 제작된 상판과 하판을 합착하고, 방전셀내의 공기를 배기시킨 다음 크세논(Xe), 네온(Ne), 아르곤(Ar)과 같은 방전가스를 적당량 주입하고, 배기관을 토치로 녹여 밀봉함으로써, 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 제작을 완료한다.The upper plate and the lower plate manufactured as described above are bonded to each other, the air in the discharge cell is exhausted, and then an appropriate amount of discharge gas such as xenon (Xe), neon (Ne), and argon (Ar) is injected, and the exhaust pipe is melted and sealed by a torch. The fabrication of the plasma display panel device is completed.
상기한 바와같은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 상판 형성방법을 첨부한 도2a 내지 도2d의 수순단면도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the procedure cross-sectional view of Figs. 2a to 2d attached to the upper plate forming method of the general plasma display panel device as described above in detail as follows.
먼저, 도2a에 도시한 바와같이 투명한 전면 유리기판(1) 상부에 ITO(indium-tin oxide)와 같은 투명전극 물질을 증착한 다음 광이 방출되는 셀 가장자리에 일정하게 이격되도록 패터닝하여 유지전극(2)을 형성한다.First, as shown in FIG. 2A, a transparent electrode material such as indium-tin oxide (ITO) is deposited on the transparent front glass substrate 1, and then patterned to be uniformly spaced at an edge of a cell where light is emitted. 2) form.
그리고, 도2b에 도시한 바와같이 상기 유지전극(2)의 상부에 저항값이 낮은 금속물질을 형성한 다음 패터닝하여 유지전극(2)의 가장자리에 버스전극(3)을 각각 형성한다.As shown in FIG. 2B, a metal material having a low resistance value is formed on the sustain electrode 2 and then patterned to form a bus electrode 3 at the edge of the sustain electrode 2, respectively.
그리고, 도2c에 도시한 바와같이 상기 버스전극(3) 및 유지전극(2)을 포함한 전면 유리기판(1)의 상부에 유전체물질을 도포한 다음 소성하여 상층유전체(4)를 형성한다.As shown in FIG. 2C, a dielectric material is coated on top of the front glass substrate 1 including the bus electrode 3 and the sustain electrode 2 and then fired to form an upper dielectric 4.
그리고, 도2d에 도시한 바와같이 상기 상층유전체(4)를 보호하기 위하여 산화 마그네슘 재질의 보호막(5)을 형성한다.As shown in FIG. 2D, a protective film 5 made of magnesium oxide is formed to protect the upper dielectric 4.
그러나, 상기한 바와같은 종래 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 상판 구조 및 제조방법은 보호막으로 적용되는 산화 마그네슘의 표면 반응이 매우 활발하여 표면 오염이 심하고, 특히 수분과의 반응에 의해 Mg(OH)2등과 같은 원하지 않는 상이 형성되어 배기 등의 후속공정 중에 제거되지 않고 잔류함에 따라 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 수명과 방전특성을 저하시키는 문제점이 있었다.However, the top plate structure and manufacturing method of the conventional plasma display panel device as described above is very active in the surface reaction of magnesium oxide applied as a protective film, the surface contamination is severe, especially by reaction with moisture such as Mg (OH) 2 As an unwanted phase is formed and remains without being removed during subsequent processes such as exhaust, there is a problem of degrading the lifetime and discharge characteristics of the plasma display panel element.
본 발명은 상기한 바와같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로, 본 발명은 목적은 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 상판에 이중 보호막을 형성하여 보호막의 오염을 방지할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 상판 구조 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, and an object of the present invention is to form a double protective film on the top plate of the plasma display panel device to prevent the contamination of the protective film top plate structure And to provide a method for producing the same.
도1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널 소자를 보인 예시도.1 is an exemplary view showing a typical plasma display panel device.
도2a 내지 도2d는 도1에 있어서, 상판 형성과정을 보인 수순단면도.Figures 2a to 2d is a cross-sectional view showing a top plate forming process in Figure 1;
도3은 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 상판 구조를 보인 예시도.3 is an exemplary view showing a top plate structure of a plasma display panel device according to the present invention.
도4는 도3에 있어서, 후속 에이징 공정을 통해 보조보호막이 선택적으로 제거된 것을 보인 예시도.4 is an exemplary view showing that in Figure 3, the auxiliary protective film is selectively removed through a subsequent aging process.
***도면의 주요부분에 대한 부호의 설명****** Explanation of symbols for main parts of drawing ***
21:전면 유리기판22:유지전극21: front glass substrate 22: holding electrode
23:투명전극24:상층유전체23: transparent electrode 24: upper dielectric
25:보호막26:보조보호막25: shield 26: secondary shield
먼저, 상기한 바와같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 상판 구조는 전면 유리기판 상에 패터닝된 유지전극과; 상기 유지전극의 상부에 패터닝된 버스전극과; 상기 버스전극 및 유지전극을 포함한 전면 유리기판 상부에 형성된 상층유전체와; 상기 상층유전체의 상부에 형성된 산화 마그네슘 재질의 보호막과; 상기 보호막의 상부에 형성된 보조보호막을 구비하여 구성되는 것을 특징으로 한다.First, the top plate structure of the plasma display panel device for achieving the object of the present invention as described above comprises a sustain electrode patterned on the front glass substrate; A bus electrode patterned on the sustain electrode; An upper dielectric formed on the front glass substrate including the bus electrode and the sustain electrode; A protective film made of magnesium oxide formed on the upper dielectric; And an auxiliary protective film formed on the protective film.
그리고, 상기한 바와같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 상판 제조방법은 전면 유리기판 상에 유지전극을 패터닝하는 공정과; 상기 유지전극의 상부에 버스전극을 패터닝하는 공정과; 상기 버스전극 및 유지전극을 포함한 전면 유리기판의 상부에 유전막을 형성하는 공정과; 상기 유전막의 상부에 진공상태에서 산화 마그네슘 재질의 보호막을 형성한 다음 계속해서 보호막의 상부에 SrO, MgF2, (Sr,Ba)O, (Mg,Sr)O, (Ca,Sr)O, MgO-MgF2중에서 선택된 하나의 재질로 보조보호막을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, a method of manufacturing a top plate of a plasma display panel device for achieving the object of the present invention as described above comprises the steps of: patterning a sustain electrode on a front glass substrate; Patterning a bus electrode on the sustain electrode; Forming a dielectric film on the front glass substrate including the bus electrode and the sustain electrode; A protective film made of magnesium oxide is formed on the dielectric layer in a vacuum state, and then SrO, MgF 2 , (Sr, Ba) O, (Mg, Sr) O, (Ca, Sr) O, and MgO are formed on the protective layer. It characterized by comprising a step of forming an auxiliary protective film with a material selected from -MgF 2 .
상기한 바와같은 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 상판 구조 및 그 제조방법을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.The upper plate structure of the plasma display panel device and the method of manufacturing the same according to the present invention as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
먼저, 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 상판 구조는 도3의 단면도에 도시한 바와같이 투명한 전면 유리기판(21) 상에 패터닝된 유지전극(22)과; 상기 유지전극(22)의 상부에 패터닝된 버스전극(23)과; 상기 버스전극(23) 및 유지전극(22)을 포함한 전면 유리기판(21) 상부에 형성된 상층유전체(24)와; 상기 상층유전체(24)의 상부에 형성된 산화 마그네슘 재질의 보호막(25)과; 상기 보호막(25)의 상부에 형성된 보조보호막(26)으로 구성된다.First, the upper plate structure of the plasma display panel device according to the present invention includes a sustain electrode 22 patterned on a transparent front glass substrate 21 as shown in the cross-sectional view of FIG. A bus electrode 23 patterned on the sustain electrode 22; An upper dielectric layer 24 formed on the front glass substrate 21 including the bus electrode 23 and the sustain electrode 22; A protective film 25 made of magnesium oxide formed on the upper dielectric 24; It consists of an auxiliary protective film 26 formed on the protective film 25.
이때, 상기 보조보호막(26)은 대기중에서 안정해서 수분과 반응하지 않고, 이차전자 방출계수가 낮으며, 스퍼터링 속도가 빠른 특성을 갖도록 예를 들어 SrO, MgF2, (Sr,Ba)O, (Mg,Sr)O, (Ca,Sr)O, MgO-MgF2중에서 선택된 하나의 재질을 수 nm 정도의 미세 박막으로 형성하는 것이 바람직하다.At this time, the auxiliary protective layer 26 is stable in the air, does not react with moisture, has a low secondary electron emission coefficient, and has a fast sputtering rate. For example, SrO, MgF 2 , (Sr, Ba) O, ( It is preferable to form one material selected from Mg, Sr) O, (Ca, Sr) O, and MgO-MgF 2 into a fine thin film of about several nm.
또한, 상기 보조보호막(26)은 진공장치를 이용하여 상기 산화 마그네슘 재질의 보호막(25)을 형성한 다음 그 보호막(25)이 대기중에 노출되지 않도록 진공을 유지한 상태에서 보호막(25) 상부에 형성한다.In addition, the auxiliary protective film 26 forms a protective film 25 made of magnesium oxide by using a vacuum device, and then the protective film 25 is formed on the upper portion of the protective film 25 while maintaining the vacuum so that the protective film 25 is not exposed to the air. Form.
상기한 바와같이 제작된 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 상판은 하판과 합착되며, 방전셀내의 공기를 배기시킨 다음 크세논(Xe), 네온(Ne), 아르곤(Ar)과 같은 방전가스를 적당량 주입하고, 배기관을 토치로 녹여 밀봉함으로써, 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 제작을 완료한다.The upper plate of the plasma display panel device manufactured as described above is bonded to the lower plate, exhausts the air in the discharge cell, and then injects an appropriate amount of discharge gas such as xenon (Xe), neon (Ne), and argon (Ar), and exhausts the exhaust pipe. Is melted with a torch and sealed to complete production of the plasma display panel element.
상기 제작이 완료된 플라즈마 디스플레이 패널 소자는 실제 구동이 이루어지기 전에 방전셀의 발광상태가 안정화될 때까지 여러가지 전극에 전압펄스를 인가하여 유지하는 에이징(aging) 공정을 거치게 되는데, 이때 도4에 도시한 바와같이 방전 가스이온들의 스퍼터링에 의해 방전셀의 광이 방출되는 영역 상부에 형성된 상기 보조보호막(26)이 선택적으로 제거된다.The fabricated plasma display panel device is subjected to an aging process of applying and maintaining voltage pulses to various electrodes until the light emitting state of the discharge cell is stabilized before the actual driving is performed. As described above, the auxiliary protective layer 26 formed on the area where the light of the discharge cells is emitted is selectively removed by the sputtering of the discharge gas ions.
따라서, 플라즈마 디스플레이 패널 소자가 실제 구동될 때에는 대기에 의해 오염되지 않은 우수한 특성의 산화 마그네슘 재질의 보호막(25)이 방전 가스와 접촉하게 된다.Therefore, when the plasma display panel element is actually driven, the protective film 25 made of magnesium oxide, which is not contaminated by the air, comes into contact with the discharge gas.
상기한 바와같은 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 상판 구조 및 그 제조방법은 산화 마그네슘 재질의 주보호막과 얇은 두께의 보조보호막으로 이루어지는 이중 보호막을 통해 주보호막이 대기중에서 수분에 의해 오염되는 것을 차단할 수 있게 되어 높은 이차전자 방출계수 및 낮은 스퍼터링율을 갖는 우수한 특성의 보호막을 형성함에 따라 낮은 구동전압, 높은 방전효율 및 긴 수명을 갖는 플라즈마 디스플레이 패널 소자를 구현할 수 있는 효과가 있다.As described above, the upper plate structure of the plasma display panel device and the method of manufacturing the same may prevent the main protective film from being contaminated by moisture in the air through a double protective film including a main protective film made of magnesium oxide and a thin auxiliary protective film. By forming a protective film having excellent characteristics having a high secondary electron emission coefficient and a low sputtering rate, a plasma display panel device having a low driving voltage, a high discharge efficiency, and a long lifetime can be realized.
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