KR20020056069A - 가스 스크러버 연소로 내부의 부식을 확인하는 방법 및 장치 - Google Patents

가스 스크러버 연소로 내부의 부식을 확인하는 방법 및 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20020056069A
KR20020056069A KR1020000085354A KR20000085354A KR20020056069A KR 20020056069 A KR20020056069 A KR 20020056069A KR 1020000085354 A KR1020000085354 A KR 1020000085354A KR 20000085354 A KR20000085354 A KR 20000085354A KR 20020056069 A KR20020056069 A KR 20020056069A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gas
combustion furnace
combustion
furnace
harmful gas
Prior art date
Application number
KR1020000085354A
Other languages
English (en)
Inventor
이후근
장길남
Original Assignee
이후근
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이후근 filed Critical 이후근
Priority to KR1020000085354A priority Critical patent/KR20020056069A/ko
Publication of KR20020056069A publication Critical patent/KR20020056069A/ko

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G5/00—Incineration of waste; Incinerator constructions; Details, accessories or control therefor
    • F23G5/50—Control or safety arrangements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G2207/00—Control
    • F23G2207/10—Arrangement of sensing devices
    • F23G2207/102—Arrangement of sensing devices for pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G2208/00—Safety aspects
    • F23G2208/10—Preventing or abating fire or explosion, e.g. by purging

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 및 산업현장에서 발생되는 발화성가스 또는 유독가스를 연소시켜 분해하는 가스 스크러버에 있어서 연소로 내부가 고온하에서 부식성가스에 의해 부식되어 균열이 일어나 부식성가스가 외부로 유출되어 2차적인 문제를 발생하는 것을 방지하고, 동시에 균열이 발생되는 것을 확인하기 위해 연소로를 내부와 외부케이스를 구분하는 이중관으로 제작하고, 이중관 내부에 질소를 가압상태로 충전한다. 연소로 내부가 부식성가스에 의해 부식되어 균열이 발생될 경우 이중관에 설치된 압력계로 가압된 질소압력을 측정하여 부식에 의한 균열 상태를 확인하고, 균열이 발생될 경우 즉시 이를 수리할 수 있도록 하였다. 이러한 방법으로 연소로 내부가 부식되어 외부로 유출되는 위험을 사전에 방지할 수 있다.
본 발명은 발화성가스 또는 유독가스를 연소로 내부가 부식성가스에 의해 부식되어 부식성가스가 외부로 유출되는 것을 방지하기 위한 방법으로 연소로를 이중관으로 제작하여 질소를 가압상태로 충전하는 방법, 이중관에 압력계를 설치하여 압력을 측정하는 방법으로 구성되어 있다.

Description

가스 스크러버 연소로 내부의 부식을 확인하는 방법 및 장치{The identification method and apparatus about the inside of incinerator of gas scrubber}
반도체 공정에서 발생하는 할로겐 또는 수소화합물계 유독가스는 발화되기 쉽고, 독성이 있기 때문에 인체에 극히 해로운 것으로 알려져 있다. 이러한 발화성가스 및 유독가스를 제거하는 방식으로는 고온으로 열분해하는 연소방법, 용액에 흡수시키는 습식 처리법, 흡착제를 이용하는 건식 처리법 등을 사용하고 있다.
건식 처리법으로 유독가스 또는 부식성가스를 흡착제를 이용하여 흡착 제거하는 방법이 있다. 흡착제를 이용한 흡착식 스크러버에는 유독성 가스를 제거하기 위하여 흡착제를 스크러버에 충전한다. 흡착제로는 일반적으로 활성탄[일본특허번호 61-35849(1986)]과 NaOH, Ca(OH)2, Mg(OH)2와 같은 염기성물질[일본특허번호 61-61619(1986)]을 사용한다. 또한 흡착제로 활성탄과 염기성 물질을 혼합하여 사용하는 경우도 있다[미국특허번호 5322674(1994)]. 이러한 건식 처리법에 사용되는 흡착제는 일반적으로 활성탄을 사용하고 있는데 활성탄은 인화점이 낮아 발열반응이 심한 공정에서는 사용하기가 어렵고, 발화의 위험이 있으므로 고온에서 사용이 어렵다는 문제점이 있다. 또한 부식성가스 및 유독가스를 흡착제를 사용하여 제거하고 있기 때문에 스크러버의 인입관 또는 토출관, 스크러버의 내부가 부식될 우려가 있다. 이러한 부식으로 인해 부식성가스 및 유독가스가 외부로 유출될 우려가 있기 때문에 부식으로 인한 균열 또는 구멍을 확인할 수 있어야 한다. 이러한 부식성가스 및 유독가스가 흡착제를 통과하지 않고 외부로 유출될 경우 인체에 영향을 줄뿐만 아니라 주변의 기기에도 영향을 줄 수 있다.
고온으로 열분해시켜 사용하는 연소처리법으로는 히터를 이용하여 연소시키는 방식과 연소가스를 주입시켜 연소시키는 방식이 있다. 이러한 연소방법은 인입관을 통해 인입된 유독가스가 연소장치의 연소 챔버를 통과되면서 고온의 열원(500∼900℃)을 이용하여 유독가스를 분해시킨다. 고온에서 분해된 가스는 케이스 하부로 토출되면서 유독가스는 흡착제에 의해 물리적 또는 화학적으로 흡착되어 무해한 가스로 외기로 방출시킨다. 그러나 고온으로 유독가스를 열분해 할 경우 발생된 부식성가스에 의해 연소로 및 토출관이 부식되거나 파손되어 자주 교체를 하게 되고, 교체에 따른 비용이 상승한다는 문제점을 갖고 있다.
기존에 부식을 억제하기 위하여 인코넬(Inconel) 합금과 같은 재질을 이용하여 연소로에 사용하였으나 이러한 합금 재질은 고가이며, 900℃의 고온하에서 부식에 오래 견디지 못한다는 문제점이 있고, 또는 steam을 이용하여 HF 가스를 증기상으로 바꾸는 공정을 사용하여 부식을 방지시키는 방법이 있지만, F2가스가 물과 반응하여 HF를 생성하고 증기상으로 존재하지 않는 HF는 강한 부식성을 나타내고, 또한 후단에서 HF를 냉각시켜 수분을 제거시켜야 하고 공정이 복잡해지는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 시스템으로 이루어진 것이다. 본 발명의 목적은 반도체 공정중에서 부식성가스를 사용하는 공정이나 유독가스 열분해시 발생하는 부식성가스에 의해 연소로 내부 또는 토출관이 부식되는 것을 확인하고, 이에 대하여 즉각 조치가 가능하도록 하는 방법으로 가스 스크러버 연소로를 이중관으로 제작하여 이중관 내부에 질소를 가압 충전한 후, 압력계를 설치하여 압력의 변화를 측정함으로서 부식성가스 및 유독가스가 외부로 유출되는 것을 막고, 주변의 기기 및 사람을 보호하기 위한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 이중관으로 제작된 연소로의 모식도
도 2는 본 발명에 따른 이중관의 모식도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
(1) : 인입관(2) : F2제거 trap
(3) : 연소로(4) : 히터
(5) : 이중관(6) : 토출관
(7) : 주입구(8) : 압력계
(9) : 밸브(10): 컨트롤 panel
(11): 경고등
본 발명은 반도체 공정 및 산업현장에서 발생하는 부식성가스에 의해 연소로 내부가 부식되어 균열 또는 구멍이 생겨 부식성가스 및 유독가스가 외부로 유출되는 것을 방지 방법에 관한 것이다.
이하, 본 발명에 따른 부식에 의한 균열을 확인하는 방법을 첨부 도면에 의거하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 연소로를 이중관으로 장착한 연소가스 처리시스템에 관한 모식도이다. 반도체 공정 및 산업현장에서 발생하는 발화성가스 및 유독가스는 인입관(1)을 통해 들어온 유독가스는 F2제거 trap(2)으로 유입되어 F2또는 HF를 제거한다. 연소로 전단에 F2제거 trap의 설치는 본 발명자가 특허출원한 방법(No. 제78535호, 2000. 12. 19)에 의한 것이다. F2또는 HF를 제거한 유독가스는 연소로(3) 내부로 들어간다. 연소로(3) 내부는 고온하에서 유독가스를 열분해 시키면서 부식성가스를 발생시키기 때문에 연소로(3) 내부가 부식될 우려가 있다. 연소로(3) 내부는 본 발명자가 특허출원한 방법(No. 제78535호, 2000, 12.19)에서 SiO2또는 액상유리 박막 코팅된 관을 사용하였다. 유독가스는 가스 스크러버 연소로(3) 내부에 있는 히터(4) 또는 연소로 외부에서 가열된 열에 의해 열분해가 일어난다. 열분해가 일어나는 공간은 연소로(3) 내부와 외부케이스로 구성된 이중관(5)으로 되어 있다. 분해된 부식성가스는 토출관(6)을 통해 배출되고 배출된 부식성가스는 흡착탑에 의해 제거된다.
도 2는 연소로를 이중관으로 제작한 모식도이다. 장기간 사용으로 인한 연소로(3) 내부가 부식되어 균열이 생겼을 경우 이를 확인하기 위하여 연소로(3)를 이중관(5)으로 제작하고 이중관(5) 내부는 주입구(7)를 통하여 질소로 가압 충전한 후 압력계(8)의 눈금을 2-3 kgf/cm2를 확인하고, 질소압력이 유지되면 밸브(9)를 닫는다. 부식성가스에 의하여 연소로(3) 내부에 균열이 생기게 되면 충전질소가 배출되면서 압력이 떨어지고, 압력계(8)의 눈금이 낮아지면서 컨트롤 panel(10)로 신호가 전해지면서 컨트롤 panel(10)에서 경고등(11)에 불이 들어오게 한다.
연소로 내부를 이중관(5)으로 제작시에는 이중관(5) 자체적으로 leak가 생기지 않게 하기 위해서 leak test를 충분히 한 후 연소로(3)에 장착되어야 한다.
반도체 공정에서 부식성가스를 흡착시키거나 연소시키면서 발생되는 부식성가스로부터 연소로의 부식으로 인해 내부가 균열이 생겼을 경우 이를 확인하기 위하여 이중관으로 제작한 후 이중관 내부에 질소를 가압 충전한 후 압력계를 설치하여 압력을 측정하여 즉각 조치가 가능하도록 하였고, 연소로 내부 균열에 의해 부식성가스 또는 유독가스가 외부로 유출되지 않도록 하였다. 부식성가스 및 유독가스가 외부로 유출이 되면 주변기기 및 인체에 극히 해롭기 때문에 이를 사전에 발견하여 새로운 외부케이스를 교체하여 부식성가스가 외부로 누출하고 것을 억제할 수 있어 인명과 주변기기 보호할 수 있을 것이다.

Claims (2)

  1. 유독가스를 처리하는 연소가스 처리시스템에 있어서
    연소로 이중관으로 제작하여 이중관 내부에 질소를 가압 충전한 후 압력계를 이용하여 부식성가스의 유출을 확인하는 방법
  2. 제 1 항에 있어서,
    부식으로 인한 leak 발생시 압력변화에 의해 컨트롤 panel로 display 되며 경고등에 불이 들어오게 하는 방법
KR1020000085354A 2000-12-29 2000-12-29 가스 스크러버 연소로 내부의 부식을 확인하는 방법 및 장치 KR20020056069A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000085354A KR20020056069A (ko) 2000-12-29 2000-12-29 가스 스크러버 연소로 내부의 부식을 확인하는 방법 및 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000085354A KR20020056069A (ko) 2000-12-29 2000-12-29 가스 스크러버 연소로 내부의 부식을 확인하는 방법 및 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20020056069A true KR20020056069A (ko) 2002-07-10

Family

ID=27688580

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020000085354A KR20020056069A (ko) 2000-12-29 2000-12-29 가스 스크러버 연소로 내부의 부식을 확인하는 방법 및 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20020056069A (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100933173B1 (ko) * 2009-05-25 2009-12-21 주식회사 에네스코 발전소 터빈밸브 유압엑츄에이터 부식방지 방법
KR101282681B1 (ko) * 2007-12-13 2013-07-12 현대자동차주식회사 자동차 연료계의 내식성 평가 시스템

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1992004112A1 (en) * 1990-09-12 1992-03-19 E.I. Du Pont De Nemours And Company Sealing plug for pressure vessel
KR19980052008A (ko) * 1996-12-24 1998-09-25 김광호 가스 공급 시스템 구조
KR20000019928A (ko) * 1998-09-16 2000-04-15 윤종용 반도체장치 제조용 가스공급장치의 리크체크 시스템

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1992004112A1 (en) * 1990-09-12 1992-03-19 E.I. Du Pont De Nemours And Company Sealing plug for pressure vessel
KR19980052008A (ko) * 1996-12-24 1998-09-25 김광호 가스 공급 시스템 구조
KR20000019928A (ko) * 1998-09-16 2000-04-15 윤종용 반도체장치 제조용 가스공급장치의 리크체크 시스템

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101282681B1 (ko) * 2007-12-13 2013-07-12 현대자동차주식회사 자동차 연료계의 내식성 평가 시스템
KR100933173B1 (ko) * 2009-05-25 2009-12-21 주식회사 에네스코 발전소 터빈밸브 유압엑츄에이터 부식방지 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7789999B2 (en) Thermal decomposition treatment system of flammable waste and method for treating the waste using the system
WO2002016830A1 (fr) Procede et dispositif de traitement par combustion des gaz d&#39;echappement
CN105761768A (zh) Loca工况下核电站用锆合金燃料包壳完整性的性能评价系统
KR20020056069A (ko) 가스 스크러버 연소로 내부의 부식을 확인하는 방법 및 장치
US6532684B1 (en) System for cleaning pressurized containers
EP2176379A2 (en) Thermowell compound apparatus of high shell for residue hydrogen desulfurization
KR100420216B1 (ko) 세라믹 관을 이용하여 가스 스크러버 연소로의 부식을억제하는 방법
CN106290201A (zh) 一种测汞系统及测汞方法
KR102239961B1 (ko) 자연발화성 화학물질의 초기 화재 억제장치 및 화재 억제방법
CN105299661A (zh) 一种适用于富乙炔火炬气的处理系统及方法
US6793740B1 (en) Method for cleaning pressurized containers containing moisture sensitive chemicals
KR101568583B1 (ko) 황화수소가스 중화장치 및 중화방법
KR20020049378A (ko) 연소시에 발생하는 부식성가스로부터 연소로 내부의부식을 억제하는 방법
CN112051136A (zh) 一种呼吸面罩抗压性损伤的检测方法
CN112174472A (zh) 一种热解脱附系统气氛保护装置
JPH0679138A (ja) Ｎｆ▲３▼ガスの前処理方法
US6715338B1 (en) Apparatus and method for detecting flammable gas in a gas mixture
CN221572540U (zh) 一种易燃易爆气体安全监测系统
US6926776B1 (en) Method for cleaning pressurized containers containing chlorine gas or sulfur dioxide gas
JP2007285821A (ja) 熱重量測定装置
CN109668998A (zh) 气体燃烧速率测试装置
CN217311978U (zh) 一种水质氰化物快速蒸馏用防泄漏装置
US5426259A (en) Method for oil-extracting treatment of wastes
JP2000199617A (ja) 気相法炭素繊維の排ガスの処理方法
JP2004012049A (ja) 除害装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application