KR20020054204A - A semiconductor laser including doped polymer waveguide - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A semiconductor laser element including doped polymer waveguide is provided to select a wavelength of a semiconductor laser element stably by applying an atomic ray transition to the semiconductor laser element. CONSTITUTION: A polymer waveguide(5) is doped with a material which has an atomic ray transition. A first semiconductor waveguide(3) which is linked with one end of the polymer waveguide(5) at a Brewster angle(6) offers a gain. A second semiconductor waveguide(4) which is linked with the other end of the polymer waveguide(5) at a Brewster angle(7) selects a wavelength. A resonator mirror(1,2) is linked with the first and the second semiconductor waveguide(3,4). An electrode injects a current into the first and the second semiconductor waveguide(3,4).

Description

도핑된 폴리머 도파로가 포함된 반도체 레이저 소자{A semiconductor laser including doped polymer waveguide}A semiconductor laser including doped polymer waveguide

반도체 레이저 소자의 파장 안정화에 관련된 것으로서, 더 구체적으로는 폴리머 도파로 및 원자선 천이 물질의 도핑 기술을 이용하여 반도체 레이저 소자의 파장을 안정화시키는 것에 관련된 것이다.It relates to wavelength stabilization of semiconductor laser devices, and more particularly to stabilizing wavelengths of semiconductor laser devices using doping techniques of polymer waveguides and atomic beam transition materials.

종래에 반도체 레이저 소자의 파장 선택을 위하여 이득 매질 아래에 격자를 새겨 넣는 DFB형 및 DBR형의 레이저 다이오드가 오랜 동안 연구되어 왔다. 또, 레이저 소자의 외부에 출력 파장의 감시 및 주입 전류 되먹임을 행하는 기술이 개발되고 있고, 수동 파장 선택(passive mode locking) 및 능동 파장 선택(active mode locking) 등의 기술이 알려져 있다.Conventionally, laser diodes of the DFB type and the DBR type in which a lattice is etched under a gain medium for wavelength selection of a semiconductor laser device have been studied for a long time. In addition, techniques for monitoring the output wavelength and feedback of the injection current to the outside of the laser element have been developed, and techniques such as passive mode locking and active mode locking are known.

또, 굴절률이 서로 다른 폴리머 층을 쌓아서 광도파로를 구성하고 광분할기 및 광스위치, 일대다 도파로 계 등이 연구되고 있고, 최근에는 폴리이미드(polyimide) 도파로에 원자선 천이가 가능한 물질(Nd3+)을 도핑하여 광발광 및 이득을 얻는 기술이 개발되고 있다.Further, there is being investigated a refractive index of each stacking another polymer layer constituting the optical waveguide and the optical splitter and the optical switch, a waveguide-to-many type, such as, recently, the polyimide (polyimide) circle charity transition is possible for the waveguide material (Nd 3+ Has been developed to obtain photoluminescence and gain.

그러나, 종래의 반도체 레이저 소자는 주입 전류나 외부의 온도에 따라서 파장선택이 변화되기 때문에 파장 선택을 긴 시간 동안 사용하였을 때 파장 선택이 안정되지 못하는 단점이 있다.However, the conventional semiconductor laser device has a disadvantage that the wavelength selection is not stable when the wavelength selection is used for a long time because the wavelength selection is changed according to the injection current or the external temperature.

따라서, 본 발명의 목적은 외부의 온도 변화에 영향을 받지 않는 원자선 천이를 반도체 레이저 소자에 적용하여 반도체 레이저 소자의 파장 선택을 안정화 하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to stabilize the wavelength selection of a semiconductor laser device by applying an atomic beam transition that is not affected by external temperature changes to the semiconductor laser device.

도 1은 본 발명의 종모드 선택성이 강화된 반도체 레이저 소자의 일실시예를 나타내는 단면도이고,1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a semiconductor laser device having enhanced longitudinal mode selectivity of the present invention;

도 2는 도 1의 레이저 소자에 전류 주입을 위한 전극 배치를 나타낸 단면도이고,2 is a cross-sectional view illustrating an electrode arrangement for injecting current into the laser device of FIG. 1;

도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 종모드 선택성이 강화된 반도체 레이저 소자에 포함된 폴리머 도파로에서의 길이 방향으로 위치에 따른 포화 흡수의 분포를 설명하기 위한 도면이고,3A to 3C are views for explaining the distribution of saturation absorption according to the position in the longitudinal direction in the polymer waveguide included in the semiconductor laser device having the enhanced longitudinal mode selectivity of the present invention.

도 4는 원자선 천이 물질이 도핑된 도파로에서의 흡수 스펙트럼과 이득 매질의 이득 스펙트럼, 그리고 격자가 새겨진 이득 영역의 (이득-손실) 스펙트럼을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 4 is a diagram for explaining an absorption spectrum, a gain spectrum of a gain medium, and a (gain-loss) spectrum of a grating-engraved gain region in a waveguide doped with an atomic beam transition material.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 출력 파장의 안정화를 위한 반도체 레이저에 있어서, 원자선 천이를 갖는 물질이 도핑된 폴리머 도파로; 상기 폴리머 도파로의 일측단에 브루스터 각으로 연결된 이득을 주는 제1 반도체 도파로; 상기 폴리머 도파로의 타측단에 브루스터 각으로 연결된 파장 선택을 위한 격자가 새겨진 제2 반도체 도파로; 상기 제1 및 제2 반도체 도파로에 연결된 공진기 거울; 및 상기 제1 및 제2 반도체 도파로에 전류 주입을 위한 전극을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a semiconductor laser for stabilizing an output wavelength, comprising: a polymer waveguide doped with a material having an atomic beam transition; A first semiconductor waveguide having a gain connected at one end of the polymer waveguide at a Brewster angle; A second semiconductor waveguide engraved with a grating for wavelength selection connected to the other end of the polymer waveguide at Brewster angle; A resonator mirror coupled to the first and second semiconductor waveguides; And electrodes for injecting current into the first and second semiconductor waveguides.

상기 폴리머 도파로는, 상기 원자선 천이를 갖는 물질이 도핑된 코어 폴리머와 상기 코어 폴리머를 덮는 클래드 폴리머로 이루어짐을 특징으로 한다.The polymer waveguide comprises a core polymer doped with a material having the atomic beam transition and a clad polymer covering the core polymer.

상기 원자선 천이를 갖는 물질은 요오드, 니오디움, 어븀 및 프레시디움 중 선택되는 어느 하나를 이용하는 것을 특징으로 한다.The material having an atomic beam transition is characterized in that it uses any one selected from iodine, nidium, erbium and presidium.

상기 제2 반도체 도파로에 연결된 상기 공진기 거울에 무반사 코팅(antireflection coating)을 한 것을 특징으로 한다.And an antireflection coating on the resonator mirror connected to the second semiconductor waveguide.

이와 같이 본 발명은 폴리머에 도핑 하여 원자선 천이가 가능한 물질을 이용하고, 이들 원자들의 안정된 천이 파장을 반도체 레이저의 파장 안정화에 적용한다. 상기 원자선 천이가 가능한 물질을 이용하면 공진기 내 광강도가 낮은 영역에서는 수동 모드 선택으로 공진기 내 광강도가 높은 영역에서는 밀도 반전된 원자들의 좁은 선폭의 광발광으로 반도체 레이저의 출력 파장 안정화를 구현할 수 있다. 폴리머에 도핑되는 원자선 천이가 가능한 물질로는 요오드(Iodine),니오디움(Neodimium), 어븀(Erbium), 프레시디움(Praseodymium) 등이 있고, 상기 물질들은 각각 1.31㎛, 1.06㎛, 1.53㎛, 1.6㎛ 파장 근처에서 주로 천이하며 이득을 나타낸다. 이들 물질 중에 하나가 도핑된 폴리머 도파로를 각 파장대의 반도체 레이저 소자의 공진기 도파로 내부에 브루스터 각(Brewster angle)으로 연결하여 동작하게 함으로써 반도체 레이저 소자 수준에서 외부의 환경에 영향을 받지 않는 파장 안정화를 얻도록 한다.As described above, the present invention utilizes a material capable of atom beam transition by doping the polymer, and applies stable transition wavelengths of these atoms to wavelength stabilization of a semiconductor laser. By using the material capable of atomic line transition, the output wavelength of the semiconductor laser can be stabilized by light emission of narrow line width of atoms inverted density in the region of high light intensity in the resonator by manual mode selection in the region of low light intensity in the resonator. have. Substances capable of doping atomic rays to a polymer include iodine, neodimium, erbium, and praseodymium, and the materials are 1.31 μm, 1.06 μm, 1.53 μm, It mainly transitions around 1.6 μm wavelength and shows gain. The polymer waveguide doped with one of these materials is connected to the inside of the resonator waveguide of the semiconductor laser device in each wavelength band to operate at a Brewster angle to obtain wavelength stabilization that is independent of the external environment at the level of the semiconductor laser device. To do that.

이하, 도 1 내지 도 4를 참고하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 4.

본 발명의 종모드 선택성이 강화된 반도체 레이저 소자는 원자선 천이를 갖는 물질로 도핑된 폴리머 도파로(5)와 도파로 양면에 공진기 거울(1),(2), InP, InGaAs, InGaAsP, InAlGaAs, GaInNAs 등의 반도체로 이루어진 이득을 주는 도파로 영역(3), InP, InGaAs, InGaAsP, InAlGaAs, GaInNAs 등의 반도체로 이루어진 파장 선택을 위한 격자가 새겨진 영역(4)를 갖는다. 폴리이미드 등의 폴리머 도파로(5)는 반도체 도파로(3) 및 반도체 도파로(4)와 브루스터 각(Brewster angle)(6), (7)으로 연결하여 연결 부분의 반사 손실을 최소화할 수 있도록 구성한다. 또한, 이득 영역에 전류를 공급하는 전극 (8)과 파장 선택 영역에 전류를 공급하는 전극(9)을 형성한다.The semiconductor laser device having enhanced longitudinal mode selectivity of the present invention includes a polymer waveguide (5) doped with a material having an atomic beam transition and resonator mirrors (1), (2), InP, InGaAs, InGaAsP, InAlGaAs, and GaInNAs on both surfaces of the waveguide. A waveguide region 3 which gives a gain made of a semiconductor such as a semiconductor, and an area 4 engraved with a grating for wavelength selection made of a semiconductor such as InP, InGaAs, InGaAsP, InAlGaAs, GaInNAs, and the like. The polymer waveguide 5 such as polyimide is connected to the semiconductor waveguide 3 and the semiconductor waveguide 4 at the Brewster angles 6 and 7 so as to minimize the reflection loss of the connection portion. . Further, an electrode 8 for supplying current to the gain region and an electrode 9 for supplying current to the wavelength selection region are formed.

도 1 및 도 2의 구조에서 알 수 있는 것처럼 제작된 반도체 레이저 소자의 도파로 위에 패턴 식각을 통해서 브루스터 각(Brewster angle)으로 깊게 식각한 후 이 부분을 코어(core) 및 클래드(clad) 폴리머로 채우고 도파로를 형성한다. 폴리머 도파로를 얻기 위해서 코어(core)에 해당되는 폴리머에 원자선 천이가 가능한물질을 적정한 이온 밀도가 되도록 배합하여 코팅하고 그 위에 클래드(clad)를 이룰 폴리머를 입힌다. 그리고 패턴을 만들어 반도체 레이저 소자의 도파로와 연결하여 구성한다.As shown in the structures of FIGS. 1 and 2, after etching deep into the Brewster angle through pattern etching on the waveguide of the fabricated semiconductor laser device, this part is filled with a core and a clad polymer. To form a waveguide. In order to obtain a polymer waveguide, the polymer corresponding to the core is coated with a material capable of atomic beam transition so as to have an appropriate ion density, and a polymer for cladding is coated thereon. The pattern is formed and connected to the waveguide of the semiconductor laser device.

상기 원자선 천이가 가능한 물질을 포함하는 용재의 용매에 대한 용해도는 이온 밀도 및 폴리머 도파로 형성에 영향을 미치므로 적절한 용재 및 용매 선택이 필요하고, 경우에 따라서는 반도체 도파로(3)(4)와 폴리머 도파(5)로 사이의 접착력을 좋게 하기 위한 접착력 촉진제(adhesion promoter)를 사용할 수 있다.The solubility of the solvent containing the substance capable of atomic beam transition to the solvent affects the ion density and the formation of the polymer waveguide, so appropriate solvent and solvent selection is required, and in some cases, the semiconductor waveguide (3) (4) and An adhesion promoter can be used to improve the adhesion between the polymer waveguides 5.

상기와 같이 구성되는 종모드 선택성이 강화된 반도체 레이저 소자는 이득 영역과 파장 선택 영역의 전극(8, 9)을 통해서 전류가 주입되면, 낮은 전류, 즉 문턱 전류 직후에서는 폴리머 도파로(5)에서의 길이 방향으로 위치에 따른 포화 흡수의 분포(도 3참조)로 인해서 파장 선택이 이루어 진다. 도 3에서 알수 있는 것처럼 레이저 소자의 공진기 내부에서 가능한 종모드는 정상파를 이루어 시간에 따라 일정한 광강도 분포를 갖게 되는데, 공진기 내부에 있는 도핑된 폴리머 도파로(5) 내부에서도 정상파 분포가 있다. 상기와 같이 정상파를 이룬 종모드들 중에서 (이득-손실)이 최대가 되는 종모드 파장에서 레이저 동작이 시작된다. 한번 선택된 종모드(10)는 도핑된 폴리머 도파로(5)를 지나면서 이미 포화 흡수되었으므로 흡수를 겪지 않지만, 이웃한 종모드들(11, 12)은 흡수를 겪게되므로 이미 선택된 종모드가 레이저 동작에 유리하게 된다. 상기 소자는 초기에 도핑된 폴리머 도파로를 제외한 나머지 반도체 레이저 구조에서의 (이득-손실)이 최대가 되는 종모드가 폴리머 도파로의 흡수선 선폭의 근처에 있어야만 한다. 도 4에서와 같이 레이저 구조에서의이득 선폭(13)은 폴리머 도파로의 흡수 선폭(15)보다 많이 넓지만, 격자가 그려진 이득 영역의 이득 파장 및 선폭(14)은 격자 수를 조절하면 도파로의 흡수 선폭 근처로 초기의 (이득-손실) 최대 종모드 파장을 정밀하게 가져갈 수 있다.In the semiconductor laser device having the enhanced longitudinal mode selectivity configured as described above, when a current is injected through the electrodes 8 and 9 of the gain region and the wavelength selection region, a low current, that is, immediately after the threshold current, The wavelength selection is made due to the distribution of saturation absorption with position in the longitudinal direction (see FIG. 3). As can be seen in FIG. 3, the longitudinal mode possible in the resonator of the laser device forms a standing wave to have a constant light intensity distribution over time. There is also a standing wave distribution in the doped polymer waveguide 5 inside the resonator. As described above, the laser operation is started at the longitudinal mode wavelength at which (gain-loss) becomes the maximum among the longitudinal modes of the standing wave. Once selected, the longitudinal mode 10 has already undergone absorption because it has already been saturated and absorbed through the doped polymer waveguide 5, but the neighboring longitudinal modes 11 and 12 undergo absorption, so that the already selected longitudinal mode is subjected to laser operation. Is advantageous. The device must have a longitudinal mode close to the absorber line width of the polymer waveguide in which the (gain-loss) in the semiconductor laser structure, except for the initially doped polymer waveguide, is maximized. As shown in Fig. 4, the gain line width 13 in the laser structure is much wider than the absorption line width 15 of the polymer waveguide, but the gain wavelength and line width 14 of the gain region in which the grating is drawn are adjusted when the number of gratings is adjusted. It is possible to precisely bring the initial (gain-loss) maximum longitudinal mode wavelengths nearby.

파장 선택 영역의 전류 주입량에 따라서 파장 선택 영역의 중심 파장이 변화함을 고려하여 적절한 전류 주입을 한다. 그리고, 원자선 천이가 가능한 물질이 도핑된 폴리머 도파로의 흡수 파장은 외부의 온도나 주입 전류에 따라서 변하지 않으므로 출력 파장을 장시간 고정할 수 있다. 또한, 공진기 내부에 광강도가 커지게 되는 경우, 즉 단면에 고반사의 반사경을 두고 주입 전류를 크게 하면 폴리머 도파로로부터 원자선 천이 광발광이 레이저 공진기에 주입되어 발진 파장 고정을 강화하게 할 수도 있다.In consideration of the change in the center wavelength of the wavelength selection region according to the amount of current injection in the wavelength selection region, appropriate current injection is performed. In addition, the absorption wavelength of the polymer waveguide doped with a material capable of atomic beam transition does not change depending on an external temperature or an injection current, thereby fixing the output wavelength for a long time. In addition, when the light intensity increases inside the resonator, that is, when the injection current is increased with a high reflecting mirror on the cross section, atomic ray transition light emission from the polymer waveguide may be injected into the laser resonator to enhance oscillation wavelength fixation. .

본 발명의 반도체 레이저 소자는 원자선 천이의 파장으로 안정화된 출력 파장을 가지고 있어서 외부의 온도 변화에 영향을 받지 않으며 기준(reference) 파장으로의 역할을 할 수 있는 효과가 있다. 상기와 같은 광원은 DWDM이 요구되는 대용량 광통신 시스템에 있어서, 반도체 레이저 소자가 사용될 때 장시간의 파장 안정성이 요구되므로 효과적으로 적용할 수 있는 장점이 있다.Since the semiconductor laser device of the present invention has an output wavelength stabilized by the wavelength of the atomic beam transition, the semiconductor laser device is not affected by external temperature change and has an effect of serving as a reference wavelength. Such a light source has a merit that it can be effectively applied in a large capacity optical communication system requiring DWDM, since wavelength stability is required for a long time when a semiconductor laser device is used.

Claims (5)

출력 파장의 안정화를 위한 반도체 레이저에 있어서,In the semiconductor laser for stabilization of the output wavelength, 원자선 천이를 갖는 물질이 도핑된 폴리머 도파로;A polymer waveguide doped with a material having an atomic beam transition; 상기 폴리머 도파로의 일측단에 브루스터 각으로 연결된 이득을 주는 제1 반도체 도파로;A first semiconductor waveguide having a gain connected at one end of the polymer waveguide at a Brewster angle; 상기 폴리머 도파로의 타측단에 브루스터 각으로 연결된 파장 선택을 위한 격자가 새겨진 제2 반도체 도파로;A second semiconductor waveguide engraved with a grating for wavelength selection connected to the other end of the polymer waveguide at Brewster angle; 상기 제1 및 제2 반도체 도파로에 연결된 공진기 거울; 및A resonator mirror coupled to the first and second semiconductor waveguides; And 상기 제1 및 제2 반도체 도파로에 전류 주입을 위한 전극Electrodes for injecting current into the first and second semiconductor waveguide 을 포함하여 이루어진 반도체 레이저 소자.Semiconductor laser device comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 폴리머 도파로는,The polymer waveguide, 상기 원자선 천이를 갖는 물질이 도핑된 코어 폴리머와 상기 코어 폴리머를 덮는 클래드 폴리머로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 레이저 소자.And the clad polymer covering the core polymer is doped with the material having the atomic beam transition. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 원자선 천이를 갖는 물질은 요오드, 니오디움, 어븀 및 프레시디움 중 선택되는 어느 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 소자.The material having the atomic beam transition is any one selected from iodine, nidium, erbium and presidium. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 반도체는 InP, InGaAs, InGaAsP, InAlGaAs, GaInNAs의 그룹으로부터 선택된 어느하나 또는 이들의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저소자. The semiconductor laser device, characterized in that any one or a combination thereof selected from the group of InP, InGaAs, InGaAsP, InAlGaAs, GaInNAs . 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2 반도체 도파로에 연결된 상기 공진기 거울에 무반사 코팅(antireflection coating)을 한 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 소자.And an antireflection coating on the resonator mirror connected to the second semiconductor waveguide.
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