KR100345449B1 - A semiconductor laser including doped polymer waveguide - Google Patents

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Abstract

본 발명은 외부의 온도 변화에 영향을 받지 않는 원자선 천이를 반도체 레이저 소자에 적용하여 반도체 레이저 소자의 파장 선택을 안정화 하는데 목적이 있다. 상기 목적 달성을 위하여 본 발명의 반도체 레이저 소자는 요오드, 니오디움, 어븀, 프레시디움 등이 도핑된 폴리머로 이루어진 도파로(5)가 반도체로 이루어진 이득 도파로 영역부(3)와 반도체로 이루어진 파장선택 격자영역부(4) 사이에 브루스터각(6)(7)을 갖도록 접촉된다. 폴리머로 이루어진 도파로(5)와 접촉된 이득 도파로 영역부(3)와 파장선택 격자영역부(4)는 공진기 거울(1)(2) 사이에 설치된다. 이득 도파로 영역부(3)와 상기 파장선택 격자영역부(4)에는 전원 공급용 전극(8)(9)이 각각 접촉된다.An object of the present invention is to stabilize wavelength selection of a semiconductor laser device by applying a laser beam transition which is not affected by an external temperature change to a semiconductor laser device. In order to achieve the above object, the semiconductor laser device of the present invention comprises a waveguide 5 made of a polymer doped with iodine, niobium, erbium, prandium or the like, a gain waveguide region 3 made of a semiconductor, (6) and (7) between the region portions (4). The gain waveguide region 3 and the wavelength selection grating region 4 which are in contact with the waveguide 5 made of polymer are provided between the resonator mirrors 1 and 2. The power supply electrodes 8 and 9 are brought into contact with the gain waveguide region 3 and the wavelength selection grating region 4, respectively.

Description

도핑된 폴리머 도파로가 포함된 반도체 레이저 소자{A semiconductor laser including doped polymer waveguide}[0001] The present invention relates to a semiconductor laser device including a doped polymer waveguide,

반도체 레이저 소자의 파장 안정화에 관련된 것으로서, 더 구체적으로는 폴리머 도파로 및 원자선 천이 물질의 도핑 기술을 이용하여 반도체 레이저 소자의 파장을 안정화시키는 것에 관련된 것이다.Relates to wavelength stabilization of a semiconductor laser device, and more particularly relates to stabilizing a wavelength of a semiconductor laser device by using a doping technique of a polymer waveguide and an atomic beam transition material.

종래에 반도체 레이저 소자의 파장 선택을 위하여 이득 매질 아래에 격자를 새겨 넣는 DFB형 및 DBR형의 레이저 다이오드가 오랜 동안 연구되어 왔다. 또, 레이저 소자의 외부에 출력 파장의 감시 및 주입 전류 되먹임을 행하는 기술이 개발되고 있고, 수동 파장 선택(passive mode locking) 및 능동 파장 선택(active mode locking) 등의 기술이 알려져 있다.Conventionally, DFB type and DBR type laser diodes for inserting a grating under a gain medium for wavelength selection of a semiconductor laser device have been studied for a long time. Further, technologies for monitoring the output wavelength and injecting current feedback to the outside of the laser device have been developed, and techniques such as passive mode locking and active mode locking are known.

또, 굴절률이 서로 다른 폴리머 층을 쌓아서 광도파로를 구성하고 광분할기 및 광스위치, 일대다 도파로 계 등이 연구되고 있고, 최근에는 폴리이미드(polyimide) 도파로에 원자선 천이가 가능한 물질(Nd3+)을 도핑하여 광발광 및 이득을 얻는 기술이 개발되고 있다.In addition, a polymer layer having different refractive indexes is stacked to form an optical waveguide, and a light splitter, an optical switch, a one-to-many waveguide system, and the like have been studied. Recently, a material capable of being transferred to a polyimide waveguide (Nd 3+ ) Is doped to achieve light emission and gain.

그러나, 종래의 반도체 레이저 소자는 주입 전류나 외부의 온도에 따라서 파장선택이 변화되기 때문에 파장 선택을 긴 시간 동안 사용하였을 때 파장 선택이 안정되지 못하는 단점이 있다.However, since the wavelength selection is changed according to the injection current or the external temperature, the conventional semiconductor laser device has a disadvantage that the wavelength selection is not stable when the wavelength selection is used for a long time.

따라서, 본 발명의 목적은 외부의 온도 변화에 영향을 받지 않는 원자선 천이를 반도체 레이저 소자에 적용하여 반도체 레이저 소자의 파장 선택을 안정화 하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to stabilize wavelength selection of a semiconductor laser device by applying a laser beam transition which is not influenced by an external temperature change to a semiconductor laser device.

도 1은 본 발명의 종모드 선택성이 강화된 반도체 레이저 소자의 일실시예를 나타내는 단면도이고,1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a semiconductor laser device enhanced in longitudinal mode selectivity of the present invention,

도 2는 도 1의 레이저 소자에 전류 주입을 위한 전극 배치를 나타낸 단면도이고,FIG. 2 is a sectional view showing the arrangement of electrodes for current injection into the laser device of FIG. 1,

도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 종모드 선택성이 강화된 반도체 레이저 소자에 포함된 폴리머 도파로에서의 길이 방향으로 위치에 따른 포화 흡수의 분포를 설명하기 위한 도면이고,3A to 3C are diagrams for explaining the distribution of the saturated absorption along the longitudinal direction in the polymer waveguide included in the semiconductor laser device with enhanced longitudinal mode selectivity of the present invention,

도 4는 원자선 천이 물질이 도핑된 도파로에서의 흡수 스펙트럼과 이득 매질의 이득 스펙트럼, 그리고 격자가 새겨진 이득 영역의 (이득-손실) 스펙트럼을 설명하기 위한 도면이다.Fig. 4 is a diagram for explaining the absorption spectrum of the gain medium in the waveguide doped with the atomic-line-transition material and the gain spectrum (gain-loss) of the gain region engraved with the lattice.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 출력 파장의 안정화를 위한 반도체 레이저에 있어서, 원자선 천이를 갖는 물질이 도핑된 폴리머 도파로; 상기 폴리머 도파로의 일측단에 브루스터 각으로 연결된 이득을 주는 제1 반도체 도파로; 상기 폴리머 도파로의 타측단에 브루스터 각으로 연결된 파장 선택을 위한 격자가 새겨진 제2 반도체 도파로; 상기 제1 및 제2 반도체 도파로에 연결된 공진기 거울; 및 상기 제1 및 제2 반도체 도파로에 전류 주입을 위한 전극을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a semiconductor laser for stabilizing an output wavelength, comprising: a polymer waveguide doped with a material having a circular transition; A first semiconductor waveguide for imparting a gain connected to one end of the polymer waveguide at a Brewster's angle; A second semiconductor waveguide in which a grating for wavelength selection is connected to the other side of the polymer waveguide by a Brewster's angle; A resonator mirror coupled to the first and second semiconductor waveguides; And an electrode for injecting a current into the first and second semiconductor waveguides.

상기 폴리머 도파로는, 상기 원자선 천이를 갖는 물질이 도핑된 코어 폴리머와 상기 코어 폴리머를 덮는 클래드 폴리머로 이루어짐을 특징으로 한다.Wherein the polymer waveguide comprises a core polymer doped with a material having the atomic transition and a clad polymer covering the core polymer.

상기 원자선 천이를 갖는 물질은 요오드, 니오디움, 어븀 및 프레시디움 중 선택되는 어느 하나를 이용하는 것을 특징으로 한다.The material having the arc transition may be any one selected from iodine, nioium, erbium, and prismium.

상기 제2 반도체 도파로에 연결된 상기 공진기 거울에 무반사 코팅(antireflection coating)을 한 것을 특징으로 한다.And an antireflection coating is applied to the resonator mirror connected to the second semiconductor waveguide.

이와 같이 본 발명은 폴리머에 도핑 하여 원자선 천이가 가능한 물질을 이용하고, 이들 원자들의 안정된 천이 파장을 반도체 레이저의 파장 안정화에 적용한다. 상기 원자선 천이가 가능한 물질을 이용하면 공진기 내 광강도가 낮은 영역에서는 수동 모드 선택으로 공진기 내 광강도가 높은 영역에서는 밀도 반전된 원자들의 좁은 선폭의 광발광으로 반도체 레이저의 출력 파장 안정화를 구현할 수 있다. 폴리머에 도핑되는 원자선 천이가 가능한 물질로는 요오드(Iodine),니오디움(Neodimium), 어븀(Erbium), 프레시디움(Praseodymium) 등이 있고, 상기 물질들은 각각 1.31㎛, 1.06㎛, 1.53㎛, 1.6㎛ 파장 근처에서 주로 천이하며 이득을 나타낸다. 이들 물질 중에 하나가 도핑된 폴리머 도파로를 각 파장대의 반도체 레이저 소자의 공진기 도파로 내부에 브루스터 각(Brewster angle)으로 연결하여 동작하게 함으로써 반도체 레이저 소자 수준에서 외부의 환경에 영향을 받지 않는 파장 안정화를 얻도록 한다.As described above, the present invention uses a material capable of being atomic-line-shifted by doping into a polymer, and applies a stable transition wavelength of these atoms to wavelength stabilization of a semiconductor laser. By using the material capable of the atomic beam transition, it is possible to stabilize the output wavelength of the semiconductor laser by the light emission of the narrow line width of the densely inverted atoms in the region where the light intensity in the resonator is high by the passive mode selection in the region where the light intensity in the resonator is low have. Iodine, Neodimium, Erbium, Praseodymium, and the like are available as the materials capable of being transferred to the polymer, and the materials are respectively 1.31 μm, 1.06 μm, 1.53 μm, It mainly transits near 1.6 ㎛ wavelength and shows gain. One of these materials is operated by connecting the doped polymer waveguide to the inside of the resonator waveguide of the semiconductor laser device of each wavelength band by a Brewster angle so as to obtain wavelength stabilization that is not affected by the external environment at the level of the semiconductor laser device .

이하, 도 1 내지 도 4를 참고하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Figs. 1 to 4. Fig.

본 발명의 종모드 선택성이 강화된 반도체 레이저 소자는 원자선 천이를 갖는 물질로 도핑된 폴리머 도파로(5)와 도파로 양면에 공진기 거울(1),(2), InP, InGaAs, InGaAsP, InAlGaAs, GaInNAs 등의 반도체로 이루어진 이득을 주는 도파로 영역(3), InP, InGaAs, InGaAsP, InAlGaAs, GaInNAs 등의 반도체로 이루어진 파장 선택을 위한 격자가 새겨진 영역(4)를 갖는다. 폴리이미드 등의 폴리머 도파로(5)는 반도체 도파로(3) 및 반도체 도파로(4)와 브루스터 각(Brewster angle)(6), (7)으로 연결하여 연결 부분의 반사 손실을 최소화할 수 있도록 구성한다. 또한, 이득 영역에 전류를 공급하는 전극 (8)과 파장 선택 영역에 전류를 공급하는 전극(9)을 형성한다.The semiconductor laser device having enhanced longitudinal mode selectivity of the present invention includes a polymer waveguide 5 doped with a material having a circular arc transition and a resonator mirror 1, 2, InP, InGaAs, InGaAsP, InAlGaAs, GaInNAs And a grating-engraved region 4 made of a semiconductor such as InP, InGaAs, InGaAsP, InAlGaAs, GaInNAs or the like for wavelength selection. The polymer waveguide 5 such as polyimide is connected to the semiconductor waveguide 3 and the semiconductor waveguide 4 by Brewster's angles 6 and 7 so as to minimize the reflection loss of the connection part . Further, an electrode 8 for supplying a current to the gain region and an electrode 9 for supplying current to the wavelength selection region are formed.

도 1 및 도 2의 구조에서 알 수 있는 것처럼 제작된 반도체 레이저 소자의 도파로 위에 패턴 식각을 통해서 브루스터 각(Brewster angle)으로 깊게 식각한 후 이 부분을 코어(core) 및 클래드(clad) 폴리머로 채우고 도파로를 형성한다. 폴리머 도파로를 얻기 위해서 코어(core)에 해당되는 폴리머에 원자선 천이가 가능한물질을 적정한 이온 밀도가 되도록 배합하여 코팅하고 그 위에 클래드(clad)를 이룰 폴리머를 입힌다. 그리고 패턴을 만들어 반도체 레이저 소자의 도파로와 연결하여 구성한다.As can be seen from the structures of FIGS. 1 and 2, the waveguide of the fabricated semiconductor laser device is etched deeply with a Brewster angle through pattern etching, then the portion is filled with a core and a clad polymer Thereby forming a waveguide. In order to obtain a polymer waveguide, a material capable of forming a circular arc is mixed with a polymer corresponding to a core so as to have an appropriate ion density, and a polymer for forming a clad is coated thereon. Then, a pattern is formed and connected to the waveguide of the semiconductor laser device.

상기 원자선 천이가 가능한 물질을 포함하는 용재의 용매에 대한 용해도는 이온 밀도 및 폴리머 도파로 형성에 영향을 미치므로 적절한 용재 및 용매 선택이 필요하고, 경우에 따라서는 반도체 도파로(3)(4)와 폴리머 도파(5)로 사이의 접착력을 좋게 하기 위한 접착력 촉진제(adhesion promoter)를 사용할 수 있다.Since the solubility of the solvent containing a material capable of converting the atomic energy into the solvent affects ion density and polymer waveguide formation, it is necessary to select an appropriate solvent and solvent. In some cases, the solubility of the semiconductor waveguide (3) An adhesion promoter may be used to improve the adhesion between the polymer dopes 5.

상기와 같이 구성되는 종모드 선택성이 강화된 반도체 레이저 소자는 이득 영역과 파장 선택 영역의 전극(8, 9)을 통해서 전류가 주입되면, 낮은 전류, 즉 문턱 전류 직후에서는 폴리머 도파로(5)에서의 길이 방향으로 위치에 따른 포화 흡수의 분포(도 3참조)로 인해서 파장 선택이 이루어 진다. 도 3에서 알수 있는 것처럼 레이저 소자의 공진기 내부에서 가능한 종모드는 정상파를 이루어 시간에 따라 일정한 광강도 분포를 갖게 되는데, 공진기 내부에 있는 도핑된 폴리머 도파로(5) 내부에서도 정상파 분포가 있다. 상기와 같이 정상파를 이룬 종모드들 중에서 (이득-손실)이 최대가 되는 종모드 파장에서 레이저 동작이 시작된다. 한번 선택된 종모드(10)는 도핑된 폴리머 도파로(5)를 지나면서 이미 포화 흡수되었으므로 흡수를 겪지 않지만, 이웃한 종모드들(11, 12)은 흡수를 겪게되므로 이미 선택된 종모드가 레이저 동작에 유리하게 된다. 상기 소자는 초기에 도핑된 폴리머 도파로를 제외한 나머지 반도체 레이저 구조에서의 (이득-손실)이 최대가 되는 종모드가 폴리머 도파로의 흡수선 선폭의 근처에 있어야만 한다. 도 4에서와 같이 레이저 구조에서의이득 선폭(13)은 폴리머 도파로의 흡수 선폭(15)보다 많이 넓지만, 격자가 그려진 이득 영역의 이득 파장 및 선폭(14)은 격자 수를 조절하면 도파로의 흡수 선폭 근처로 초기의 (이득-손실) 최대 종모드 파장을 정밀하게 가져갈 수 있다.When the current is injected through the electrodes 8 and 9 of the gain region and the wavelength selection region, the semiconductor laser device having the above-described longitudinal mode selectivity enhanced has a low current, that is, The wavelength selection is made by the distribution of saturated absorption along the lengthwise direction (see FIG. 3). As can be seen from FIG. 3, the longitudinal mode within the resonator of the laser device is a standing wave having a constant light intensity distribution with time, and there is a standing wave distribution also in the doped polymer waveguide 5 inside the resonator. As described above, the laser operation starts at the longitudinal mode wavelength at which the (gain-loss) becomes the maximum among the standing wave modes. Once the selected longitudinal mode 10 has already been saturated and absorbed through the doped polymer waveguide 5, it does not undergo absorption, but neighboring longitudinal modes 11 and 12 will undergo absorption, . The device must be in the vicinity of the absorption linewidth of the polymer waveguide in which the longitudinal mode (gain-loss) in the remaining semiconductor laser structures other than the initially doped polymer waveguide is maximized. 4, the gain line width 13 in the laser structure is much wider than the absorption line width 15 of the polymer waveguide. However, the gain wavelength and line width 14 of the gain region in which the lattice is plotted, (Gain-loss) maximum longitudinal mode wavelength can be precisely taken away.

파장 선택 영역의 전류 주입량에 따라서 파장 선택 영역의 중심 파장이 변화함을 고려하여 적절한 전류 주입을 한다. 그리고, 원자선 천이가 가능한 물질이 도핑된 폴리머 도파로의 흡수 파장은 외부의 온도나 주입 전류에 따라서 변하지 않으므로 출력 파장을 장시간 고정할 수 있다. 또한, 공진기 내부에 광강도가 커지게 되는 경우, 즉 단면에 고반사의 반사경을 두고 주입 전류를 크게 하면 폴리머 도파로로부터 원자선 천이 광발광이 레이저 공진기에 주입되어 발진 파장 고정을 강화하게 할 수도 있다.An appropriate current injection is performed in consideration of the change of the center wavelength of the wavelength selection region in accordance with the current injection amount of the wavelength selection region. Since the absorption wavelength of the polymer waveguide doped with a material capable of being converted into a circular arc does not change according to the external temperature or the injection current, the output wavelength can be fixed for a long time. In addition, when the intensity of light is increased inside the resonator, that is, when a highly reflective reflector is provided on the end face and the injection current is increased, the oscillation of the oscillation wavelength can be enhanced by injecting the circularly polarized light emission from the polymer waveguide into the laser resonator .

본 발명의 반도체 레이저 소자는 원자선 천이의 파장으로 안정화된 출력 파장을 가지고 있어서 외부의 온도 변화에 영향을 받지 않으며 기준(reference) 파장으로의 역할을 할 수 있는 효과가 있다. 상기와 같은 광원은 DWDM이 요구되는 대용량 광통신 시스템에 있어서, 반도체 레이저 소자가 사용될 때 장시간의 파장 안정성이 요구되므로 효과적으로 적용할 수 있는 장점이 있다.The semiconductor laser device according to the present invention has an output wavelength stabilized by the wavelength of the atomic beam transition, so that the semiconductor laser device is not affected by the temperature change of the external and can act as a reference wavelength. The above-mentioned light source is advantageous in that it can be effectively applied in a large-capacity optical communication system in which DWDM is required, since a long-term wavelength stability is required when a semiconductor laser device is used.

Claims (5)

출력 파장의 안정화를 위한 반도체 레이저에 있어서,In a semiconductor laser for stabilizing an output wavelength, 원자선 천이를 갖는 물질이 도핑된 폴리머 도파로;A material doped polymer waveguide having a circular arc transition; 상기 폴리머 도파로의 일측단에 브루스터 각으로 연결된 이득을 주는 제1 반도체 도파로;A first semiconductor waveguide for imparting a gain connected to one end of the polymer waveguide at a Brewster's angle; 상기 폴리머 도파로의 타측단에 브루스터 각으로 연결된 파장 선택을 위한 격자가 새겨진 제2 반도체 도파로;A second semiconductor waveguide in which a grating for wavelength selection is connected to the other side of the polymer waveguide by a Brewster's angle; 상기 제1 및 제2 반도체 도파로에 연결된 공진기 거울; 및A resonator mirror coupled to the first and second semiconductor waveguides; And 상기 제1 및 제2 반도체 도파로에 전류 주입을 위한 전극And an electrode for current injection into the first and second semiconductor waveguides 을 포함하여 이루어진 반도체 레이저 소자.. 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 폴리머 도파로는,The polymer waveguide includes: 상기 원자선 천이를 갖는 물질이 도핑된 코어 폴리머와 상기 코어 폴리머를 덮는 클래드 폴리머로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 레이저 소자.Wherein the material having the atomic transition is doped with a core polymer and a clad polymer covering the core polymer. 제1항 또는 제2항에 있어서,3. The method according to claim 1 or 2, 상기 원자선 천이를 갖는 물질은 요오드, 니오디움, 어븀 및 프레시디움 중 선택되는 어느 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 소자.Wherein the material having the atomic transition is selected from iodine, nioium, erbium, and prussiate. 제1항 또는 제2항에 있어서,3. The method according to claim 1 or 2, 상기 반도체는 InP, InGaAs, InGaAsP, InAlGaAs, GaInNAs의 그룹으로부터 선택된 어느하나 또는 이들의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저소자. Wherein the semiconductor is made of any one selected from the group consisting of InP, InGaAs, InGaAsP, InAlGaAs, and GaInNAs, or a combination thereof . 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제2 반도체 도파로에 연결된 상기 공진기 거울에 무반사 코팅(antireflection coating)을 한 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 소자.Wherein an antireflection coating is applied to the resonator mirror connected to the second semiconductor waveguide.
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