KR20020037863A - 잔량 표시기를 갖는 화학 용기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조 공정에 사용되는 각종 화학 물질을 보관하는 화학 용기에 관한 것이다. 본 발명의 화학 용기(chemical bottle)는 그 몸체의 측면에 잔량 표시 수단을 구비하여 작업자가 수시로 그 화학 용기 내 화학 물질의 양을 확인할 수 있도록 구성된다. 이러한 잔량 표시 수단은 투명한 막대형 또는 투명한 관(tube) 형태로 구성할 수 있으며, 이 잔량 표시 수단은 보호를 위해 몸체의 내부로 음각으로 성형되고 보호대를 더 포함할 수 있다. 본 발명의 잔량 표시기를 갖는 화학 용기를 반도체 제조 공정에 적용하면, 종래와 같이 부정확한 잔량 측정으로 낭비되는 화학 물질(chemical)을 절약할 수 있으며, 화학 용기를 교체하는 주기(period)가 기존에 비해 길어지므로 교체 작업 시간을 줄일 수 있다.

Description

잔량 표시기를 갖는 화학 용기{CHEMICAL BOTTLE HAVING VISUAL INDICATOR DISPLAYING REMAINS}

본 발명은 반도체 제조 공정에 사용되는 각종 화학 물질을 보관하는 화학 용기에 관한 것이다.

화학적 증착 공정(chemical vapor deposition :CVD)에서 사용되는 화학 물질로는 TEOS, TEPO, TEB, TMP, ETC 등이 있는데, 현재 동일 규격인 스테인리스 스틸 용기에 보관되어 사용된다. 이 용기의 제작은 한국 야마나까, 슈마커 코리아에서 제작되고 있다. 이 용기는 고압 가스와 같은 내압이 요구되지 않으며 단순히 화학물질을 보관(charge)하여 설비(equipment)로 화학 물질을 공급하여 주는 역할을 하며 전체 시스템에 장착되는 밀폐된 용기이다. 그런데 공정을 진행하면서 화학 용기 내 화학 물질의 양이 줄어드는데, 이의 잔량을 확인하기 위해 용기 전체의 무게를 측정하거나 또는 공정 진행시 화학 물질의 소비량을 소프트웨어(software)적으로 계산하는 방법 등이 사용되고 있다.

이들 용기는 일회용으로 사용 후 새것으로 교체되는데, 상술한 잔량 측정 방법으로는 용기 내 화학 물질의 잔량을 정확하게 측정할 수 없으므로, 대략 10??20 % 수준 정도 남아 있을 때 교체된다. 그러므로 이러한 10??20 % 의 화학 물질이 재활용되고 있지 않는 것을 고려할 때 사용되지 않고 폐기되어 화학 물질의 낭비가 심하므로 이러한 문제를 개선할 수 있는 화학 용기가 필요하다.

본 발명은 화학 용기 내부의 잔량을 작업자가 육안으로 쉽게 확인할 수 있는 수단을 구비한 화학 용기를 제공하는 데 그 목적이 있다.

도 1은 본 발명의 잔량 표시기를 갖는 화학 용기의 사시도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1: 화학 용기(chemical bottle)

2: 몸체(bottle body)

3: 잔량 표시기(remains indicator)

4: 보호대(protector)

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 화학 용기(chemical bottle)는 그 몸체의 측면에 잔량 표시 수단을 구비하여 작업자가 수시로 그 화학 용기 내의 화학 물질의 양을 확인할 수 있도록 한다. 이러한 잔량 표시 수단은 투명한 막대형 또는 투명한 관(tube) 형태로 구성할 수 있으며, 이 잔량 표시 수단의 보호를 위하여 몸체의 내부로 음각으로 형성되고 보호대를 더 포함할 수 있다.

이하 본 발명의 구체적인 실시예의 구성과 작용을 첨부한 도면을 참조하여상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 잔량 표시기를 갖는 화학 용기의 사시도이다.

본 발명의 화학 용기는 도 1에 도시한 바와 같이 원통(cylindrical) 형태의 몸체(bottle body)(2)와 잔량 표시기(remains indicator)(3)로 구성된다. 원통 형태의 몸체(2)는 내압이 고압이므로 특별히 압력 용기의 형태일 필요는 없으며, 부식이 잘 되지 않는 금속성이 바람직하다. 그 예로는 스테인리스 스틸(stainless steel)이 적절하다. 잔량 표시기(3)는 몸체(2)의 측면에 길이 방향으로 형성되는 것이 보통이며, 이것은 제한적이지 않고 각 용기가 배치되는 위치에 따라 수평으로 설치될 수도 있다.

바람직하게는 도 1에 도시한 바와 같이 잔량 표시기(3)는 막대형으로 형성되며, 작업자의 편의를 위하여 그 주변에 눈금을 표시할 수 있다. 도 1에 도시한 눈금 'F', 'H' 및 'E'는 각각 100, 50, 0 %의 잔량을 나타낸다. 그러나 막대형 뿐 만 아니라 관(tube) 형태의 잔량 표시기(3)를 설치할 수 있다. 막대형은 몸체(2)의 일부를 절개하여 그 곳에 투명한 재질의 수지 또는 유리로 밀봉하는 형태로 구성할 수 있으며, 관 형태는 긴 파이프 형태의 잔량 표시기(3)를 절개된 부위에 부착하는 것이다. 막대형은 직접 화학 물질의 수위를 관찰할 수 있는 것이고, 관 형태의 잔량 표시기(3)는 하부에서 유입되는 화학 물질의 관내 수위로 그 잔량을 표시하는 것이다.

도 1에 도시한 바와 같이 본 발명의 화학 용기는 보호대(protector)(4)를 더 구비하여 상술한 잔량 표시기(3)를 외부 충격으로부터 보호한다. 이와 함께 잔량표시기(3)는 음각으로 형성되어, 즉 외부로 노출되지 않는 구조로 제조되어 이중으로 보호하는 구조를 갖는다. 이러한 구조는 누출로 인한 화재 등의 사고를 방지하기 위한 것이다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

본 발명의 잔량 표시기를 갖는 화학 용기를 반도체 제조 공정에 적용하면, 종래와 같이 부정확한 잔량 측정으로 낭비되는 화학 물질(chemical)을 절약할 수 있으며, 화학 용기를 교체하는 주기(period)가 기존에 비해 길어지므로 교체 작업 시간을 줄일 수 있다.

Claims (5)

1. 반도체 제조 공정에서 화학 물질을 공급하는 화학 용기에 있어서:

   원통형의 몸체; 그리고

   상기 몸체 내부의 화학 물질의 양을 나타내는 잔량 표시 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 용기.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 잔량 표시 수단은 상기 몸체의 측면에 길이 방향으로 배치되며, 투명한 막대형인 것을 특징으로 하는 화학 용기.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 잔량 표시 수단은 상기 몸체의 측면에 길이 방향으로 배치되며, 투명한 관 형태인 것을 특징으로 하는 화학 용기.
4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

   상기 화학 용기는 상기 잔량 표시 수단을 보호하기 위한 보호대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 용기.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 잔량 표시 수단은 상기 몸체의 표면에 음각으로 형성되어 노출되지 않는 것을 특징으로 하는 화학 용기.