KR20000059672A - 반도체 제조 공정에서 사용되는 약액 저장 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 용기에 담겨져 있는 약액의 레벨을 쉽게 파악할 수 있는 반도체 제조공정의 약액 저장 장치에 관한 것으로, 약액 저장 장치는 약액을 담아두기 위한 반투명의 용기와, 용기의 상단에 설치되고 용기의 내부로 약액이 주입되는 주입관과, 용기에 담겨진 약액의 양을 확인할 수 있도록 용기에 표시된 레벨표 및 내부 공간에 설치되며 부력을 이용하여 용기에 담겨진 약액의 높이를 표시하는 표시부재로 이루어진다.

Description

반도체 제조 공정에서 사용되는 약액 저장 장치{A CHEMICAL SOLUTION PRESERVATION APPARATUS IN USE THE PROCESS OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE}

본 발명은 반도체소자 제조공정에서 사용되는 약액 저장 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 용기에 담겨져 있는 약액의 레벨을 쉽게 파악할 수 있는 반도체 제조공정에서 사용되는 약액 저장 장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 웨이퍼표면에 감광액을 도포하는 포토마스킹공정을 비롯하여 많은 화학용액(이하 약액이라 함)을 사용하는 반도체의 제조공정에서는 약액을 저장, 또는 공급하는 용기가 많이 설치되어 사용되고 있으며, 이러한 약액 저장 장치는 고가이다. 따라서, 이들 약액 저장 장치는 내부에 채워진 약액을 전부 사용한 다음에는 재사용을 위하여 전량 회수하게 된다. 이렇게 수거된 약액 저장 장치는 다시 필요한 약액을 채워 넣는 과정을 갖게 된다.

종래 약액 저장 장치(100)는 중앙 약액 공급시스템으로부터 용기(102)의 주입관(104)을 통해 약액이 공급된다. 상기 용기(102)에 채워지는 약액의 양은 상기 용기(102)에 설치된 센서(106)에 의해서 체크된다. 그리고 설비 관리자가 정량을 확인하는 방법으로, 미세 조정시 펜을 이용하여 약액이 채워진 만큼 용기(102)에 선(120)을 긋고 그 옆에 현재의 레벨을 표시하는 방법이 사용되어 왔다.

그러나 상술한 바와 같은 약액의 레벨 표시 방법은 설비 관리자의 숙련도와 보는 시각에 따라 레벨 표시에 오차가 발생되며, 별도로 펜을 소지해야 하는 그리고 그 펜을 사용하여 용기(102)의 표면에 표시를 해두어야 하는 불편함이 있다. 특히, 용기(102)가 반투명이기 때문에 작업자가 용기에서 조금만 떨어져도 용기에 담겨진 약액의 레벨을 육안으로 확인하기 힘든 어려움이 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 용기에 담겨진 약액의 레벨을 용이하게 표시할 수 있는 새로운 형태의 반도체 제조공정의 약액 저장 장치를 제공하는데 있다.

도 1은 종래 약액 저장 용기를 보여주는 사시도;

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 약액 저장 장치를 보여주는 사시도;

도 3은 도 2에 도시된 부표를 보여주는 도면이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

12 : 용기 14 : 주입관

16 : 레벨 센서들 18 : 레벨표

20 : 부표 50 : 중앙 약액 공급 시스템

이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 특징에 따른 반도체 제조공정에서 사용되는 약액 저장 장치는 약액을 담아두기 위한 반투명의 용기와; 상기 용기의 상단에 설치되고 상기 용기의 내부로 약액이 주입되는 주입관과; 상기 용기에 담겨진 약액의 양을 확인할 수 있도록 상기 용기에 표시된 레벨표 및; 상기 내부 공간에 설치되며 부력을 이용하여 용기에 담겨진 약액의 높이를 표시하는 표시부재를 포함한다.

이와 같은 본 발명에서 상기 표시 부재는 색상이 있는 그리고 내부에 공기가 주입된 불소수지 재질의 부표이다.

이와 같은 본 발명에서 상기 부표는 용기의 내면 둘레를 따라 형성되는 고리 형상의 튜브로 이루어질 수 있다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도 2 및 도 3을 참조하면서 보다 상세히 설명하며, 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 병기한다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조공정의 약액 저장 장치를 보여주는 사시도이다. 도 3은 도 2에 도시된 부표를 보여주는 도면이다.

이를 참조하면, 본 발명의 약액 저장 장치(10)는 용기(12), 주입관(14), 레벨 센서들(16), 레벨표(18) 그리고 부표(20)로 이루어진다. 상기 용기(12)는 반투명으로 그 내부에는 반도체 소자의 제조에 사용되는 약액이 저장된다. 상기 약액은 중앙 약액 공급 시스템(50)으로부터 상기 용기(12)의 상단에 설치된 주입관(14)을 통해 상기 용기(12) 내부로 주입된다. 상기 주입관(14)의 상단에는 중앙 약액 공급 시스템(50)의 공급 라인(52)과 연결되는 구조를 갖는다.

한편, 상기 용기(12)에는 용기내부에 담겨지는 약액의 양을 표시하는 레벨 표(18)가 형성되어 있다. 그리고 상기 용기(12) 내부에는 용기(12)의 내면 둘레를 따라 형성된 사각 고리의 튜브 형상의 부표(20)가 설치된다. 도 3에서 보여주는 바와 같이 상기 부표(20)는 내부에 공기가 주입된 불소수지 재질로 이루어지며, 작업자가 보다 명확하게 확인할 수 있도록 색상을 갖는다. 상기 부표(20)는 부력을 이용하여 상기 용기(12)에 담겨진 약액의 레벨을 표시하게 된다. 따라서, 작업자는 상기 용기(12)에 담겨진 약액의 용량 변동시 상기 부표(20)와 레벨표(18)를 보고 현재 약액의 레벨(용량)을 쉽게 확인할 수 있는 것이다.

예컨대, 상기 부표(20)는 내부에 공기가 채워진 석영(quartz) 재질로 이루어질 수 있다. 그리고, 상기 부표(20)는 약액에 의해 용출되지 않는 재질로 형성하는 것이 바람직하다.

상기 약액 저장 장치(10)의 용기(12)는 원통형 또는 다각통형 등의 다양한 형상으로 제작되어 사용될 수 있으며, 상기 부표는 그 다양한 형상의 용기 내면 둘레의 형상에 따라서 다양한 형상으로 제작될 수 있다.

이와 같은 상기 약액 저장 장치(10)는 약액을 채워 넣는 과정에서 작업자가 상기 부표(20)를 보고 용이하게 약액의 레벨을 확인할 수 있으며, 부표(20)가 색상을 갖고 있기 때문에, 작업자가 용기에서 떨어져 있어도 육안으로 약액의 레벨 확인이 용이하다. 따라서, 용기에 약액을 채워넣는 과정에서 정량 조절을 보다 용이하게 할 수 있다.

한편, 도 2에서 미설명번호 54는 에어 밸브를 나타내며 56은 핸들 밸브를 나타낸다.

이와 같이 상기 약액 저장 장치(10)는 반도체 제조 공정이 수행되는 설비에 설치되어 사용되는 경우에도 공정라인의 작업자 또는 설비 관리자가 약액 공급 용기내의 약액 양을 상기 부표를 보고 쉽게 확인할 수 있다. 따라서 상기 약액 저장 장치의 교체시기 및 안전상태 등의 확인이 용이하다.

이와 같은 본 발명을 적용하면, 용기에 담겨진 약액의 레벨이 부표에 의해 표시되기 때문에, 작업자는 용기의 약액 레벨을 원거리에서도 확인이 가능하고, 또한, 정량 조정을 용이하게 할 수 있다.

Claims (3)

1. 약액 저장 장치에 있어서,

   약액을 담아두기 위한 반투명의 용기와;

   상기 용기의 상단에 설치되고 상기 용기의 내부로 약액이 주입되는 주입관과;

   상기 용기에 담겨진 약액의 양을 확인할 수 있도록 상기 용기에 표시된 레벨표 및;

   상기 내부 공간에 설치되며 부력을 이용하여 용기에 담겨진 약액의 높이를 표시하는 표시부재를 포함하여,

   상기 용기에 담겨진 약액의 용량 변동시 작업자가 상기 표시부재를 보고 약액의 현재 레벨을 쉽게 확인할 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정에서 사용되는 약액 저장 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 표시 부재는 색상이 있는 그리고 내부에 공기가 주입된 불소수지 재질의 부표인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정에서 사용되는 약액 저장 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 부표는 용기의 내면 둘레를 따라 형성되는 고리 형상의 튜브로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정에서 사용되는 약액 저장 장치.