KR20020033106A - 직통로를 구비한 압력계 - Google Patents

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KR20020033106A
KR20020033106A KR1020017016307A KR20017016307A KR20020033106A KR 20020033106 A KR20020033106 A KR 20020033106A KR 1020017016307 A KR1020017016307 A KR 1020017016307A KR 20017016307 A KR20017016307 A KR 20017016307A KR 20020033106 A KR20020033106 A KR 20020033106A
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브리에레폴에드워드
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부르동 쏘시에떼아노님
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Abstract

본 발명은 중심에 오목한 곡면(4)이 마련된 갖는 본체(1)를 포함하는 직통로 압력계에 관한 것으로, 2개 이상의 횡단 구멍(5, 6)이 상기 오목한 곡면(4)으로 측정 대상의 유체의 출입을 허용하기 위해 개방되어 있으며, 상기 오목한 곡면(4)은 다이아프램(2)에 의해 밀봉되고 이 다이아프램(2)은 고정 수단(11)과 구멍(12)을 경유하여 본체(1)와 상호 작용하는 로드 셀(3)에 의해 그 밀봉 위치에 보지되며, 상기 로드 셀(3)에는 다이아프램(2) 상에 안착되고 표시기에 연결되는 진동 증폭 장치를 장착시키기 위한 제2의 고정 수단(14)이 추가로 마련되어 있다.

Description

직통로를 구비한 압력계{MANOMETER WITH DIRECT PASSAGE}
종래의 압력계, 예컨대 부르돈(Bourdon) 튜브, 캡슐 혹은 벨로우즈 타입 등의 압력계는 측정 대상의 유체가 갇히게 되는 비교적 큰 사공간이 있는 구동 부재를 구비한다.
이러한 형태의 압력계에서, 상기 구동 요소를 청소하는 작업은 가능은 하지만 현실적으로 매우 곤란하며, 특히 접근하기가 불가능한 것은 바로 완전히 막힌 단부이다. 결국, 압력 측정 대상의 유체는 구동 요소 내에 영구적으로 갇힌 상태로 남게 된다. 어떤 산업 및 응용에 있어서, 이러한 현상은 상기 막힌 단부 내에서 바람직하지 못한 세균 및 박테리아가 성장하여 번식할 수 있기 때문에 문제를 야기할 수 있다. 더욱이, 부르돈 튜브 혹은 벨로우즈 타입의 압력계는 그 형상이 때문에(용접 없이 드로잉 가공되거나 혹은 롤링 가공과 용접 후 드로잉 가공되는지에 관계없이) 어떠한 처리를 행하더라고 내면 상태를 완전하게 만들 수 없다는 것이 자명하다.
내면 상태가 완벽하다고 가정할 경우, 관의 일단부에서 관을 커넥터에 고정시키기 위해 제조된 용접부에 의해 관 내측에 불순물이 생기게 된다.
부르돈 튜브의 매우 적은 부분의 내면 상태를 향상시키기 위해 전기 연마, 압출 성형 가공 혹은 그 밖의 처리 등의 가공이 요구될 수 있지만, 어떤 가공의 형태라도 모든 불순물을 청소하여 완전히 제거할 수 없다.
종래의 구동 부재는 어떤 형태(즉, 부르돈 튜브, 벨로우즈, 캡슐 등)라도 상관없이 효율적으로 청소하기가 불가능한 입자를 위한 실제 포켓으로 되는 것이 입증되었으며, 측정 대상의 매체와 접촉하고 있는 그것의 내면 상태는 고도의 청결성 및 순도를 요구하는 산업에서 양립할 수 없다.
더욱이, 제조 라인을 변경하는 중에 사용자는 라인과, 이 라인에 설비된 계측 장치의 청소를 원할 수도 있다. 압력계의 경우, 분리기(separator)라 불리는 중간 부품에 의해 압력계를 설비로부터 분리시키지 않는 한 청소가 불가능하다. 이러한 분리기는 계측 장치를 라인에서 격리시킬 수 있고 "버퍼(buffer)" 로서의 역할을 한다. 분리기에는 측정 대상의 유체와 접촉하는 다이아프램이 설치되어 있고, 충전 액체(일반적으로 오일)는 상기 다이아프램과 압력계의 구동 부재 사이의 설비에 존재하는 압력을 전달하게 된다.
분리기의 사용은 문제를 야기할 수 있어서 항상 이상적인 것도 아니다. 분리기의 성능은 다이아프램 자체의 기계적 특성(그것의 반응 곡선), 충전 액체의 양, 그 액체의 열적 안전성과 점성, 충전 조건 등에 따라 크게 좌우된다. 추가적으로, 이러한 다이아프램과 설비 라인간의 밀봉성은 시일에 의해 부여되며, 이는 또한 세균, 박테리아 및 미생물이 번식할 수 있는 체류 영역(retention zone)을 제공하게 된다.
더욱이, 분리기에서 충전 액체를 사용한다는 것은 만약 다이아프램이 파열될 경우에 이러한 방식으로 설치된 전체의 설비를 오염시킬 위험이 있다는 것을 의미한다.
또한, 분리기는 압력계와 독립적인 추가의 부품이므로 완성품 제조에 있어 추가의 비용을 발생시키게 된다.
비록 그렇다 하더라도, 압력계는 이것이 분리기 상에 장착되는지의 여부에 상관없이 대부분의 산업 응용에서 요구되는 성능을 만족시키는 신뢰성 높은 압력 계측 장치이다.
전술한 결점이 더욱 문제시되는 응용 혹은 산업 분야가 존재한다. 이는 특히 음식물 및 농업 분야, 정제 화학, 제약 산업 분야, 반도체 제조 산업 분야, 순수하고 희박한 유독 가스의 제조 혹은 이를 사용하는 산업 분야, 페인팅 프로세스에서 압력 계측 장치를 사용하는 산업 분야가 있다.
이들 모든 산업 혹은 응용 분야에서, 압력 계측 장치의 사용시에는 특히, 불순물, 세균, 먼지 등의 존재와 관련하여 엄격한 조심이 요구된다. 이러한 형태의 공정에 사용된 계측 장치는 매우 용이하게 청소될 수 있어야 한다.
음식물 및 농업 분야에서는, 상기 프로세서는 사람이나 동물이 소비하게 될 액체 혹은 반죽된 식료품의 압력을 측정할 필요가 있다. 결국, 이러한 측정을 행하는 장비는 압력 측정 대상인 식료품을 변질 혹은 오염시키는 세균 혹은 박테리아의 성장 및 번식을 허용하는 어떠한 환경 하에 놓여서는 안 된다. 따라서, 계측 장치는 체류 영역이 거의 존재하지 않고, 또 그 영역을 쉽게 청소할 수 있도록 설계되어야 한다(즉, 크리닝 제품, 온수 혹은 설비 라인을 통과하는 다른 오염물 제거 제품에 의해 쉽게 청소될 수 있도록 설계되어야 한다).
제약 산업, 정제 화학 산업 분야 등에서도 이와 유사한 문제가 있다.
반도체 산업의 가스 분배 분야에서, 압력계는 다음의 2그룹의 가스를 측정하는데 주로 사용된다.
- 즉, 초순도의 질소, 아르곤, 헬륨 등의 순도에 있어서 매우 정확한 요구 조건을 갖는 "순수 가스" 로 불리는 가스 그룹. 이들 가스의 일반적인 순도는 99.99999% 이상이다.
- 메모리(RAM, DRAM), 마이크로프로세서 등의 전자 소자를 제조하기 위해 실리콘 웨이퍼의 도핑에 사용되는 일반적으로 매우 유독한 가스(비소, 붕소 - 갈륨 등)인 "도핑 가스" 로 불리는 가스 그룹.
이러한 산업에서, 사용되는 가스를 오염시킬 위험을 없애기 위해 청소에 있어서 매우 엄격한 조건을 만족해야 하는 계측 장치를 사용할 필요가 있다.
더욱이, 이러한 경우에도 역시 바람직하지 못한 세균 및 박테리아의 성장을 증대시키기 때문에 모든 체류 영역이 금지된다.
더욱이, 실시해야할 작업에 따라 좌우되는 페인팅 프로세스용의 라인에서의 압력 측정을 예로 들면, 압력 측정 장치는 상이한 칼라의 페인트의 압력을 측정해야 한다. 2개의 제조 작업 사이에서, 압력계는 반드시 청소하기 쉬워야 하며 이전의 제조 작업으로부터의 페인트가 후속의 제조 작업을 오염시키게 되는 어떠한 체류 영역을 가져서는 안 된다.
상기 주어진 예는 한정되지 않는다. 생산 라인에 설치된 계측 장치가 가능한 한 쉽게 청소되어야 하고, 세균, 박테리아 및 제조 프로세스 또는 이 프로세스와 관련된 구성 요소, 예컨대 액체, 가스 등을 오염시킬 수 있는 다른 물질의 성장을 증대시키는 어떠한 체류 영역을 허용하지 않는 구조를 갖는 다른 많은 제조 공정이 존재한다.
이상의 설명을 통해 이들 장치들은 가능한 청소 혹은 세정될 수 있어야 한다는 것을 알 수 있다. 이러한 개념에서 보면, 공지의 압력계는 결코 이러한 편의를 제공하지 못하였으며, 이것이 분리기와 조합되지 않을 경우 수많은 문제를 야기한다는 사실을 알 수 있다.
이러한 문제점을 해소하기 위해, 압력 측정 장치의 주력 업체들은 최근에 이러한 오염 문제를 극복한 소위 "풀-보어(full-bore) 압력 트랜스미터"를 개발하였다. 실제로, 최근에 개발한 전자 공학의 기술로부터 파생된 다양한 기술에 의해, 구동 부재(이 부재는 물리적인 양 즉, 압력을 전기 신호로 변환 가능)가 매우 간단한 튜브이고, 또 압력 측정 대상의 "유체" 가 이 튜브 내부를 순환하되도록 한 압력 측정 장치를 개발할 수 있게 되었다. 예컨대, 체류 영역을 완전히 없애고 청소를 최대한으로 용이하게 해주는 압력 트랜스미터가 존재한다. 이러한 장치는 평평한 표면으로 기계 가공되고, 그 치수 및 기계 가공의 공차가 정확하게 공지되어 있는 튜브로 구성된다. 휘트스톤 브리지(저항 네트워크)로서 배열된 필름 스크린 스트레인 게이지(strain gauge)를 이 평평한 표면상에 주의하여 위치 설정하고 아교로 붙인다. 이러한 저항 네트워크에 외부 전압을 공급하면, 휘트스톤 브리지는 압력이 튜브의 내벽(평평한 표면의 레벨)에 가해질 때 스트레인 게이지의 변형 함수로서 그 값이 변하는 전기 신호를 공급한다.
따라서, 휘트스톤 브리지의 출력 신호는 상기 평평한 표면에 아교로 부착된 저항의 값에 따라 결정된다. 평평한 표면은 압력의 작용에 의해 뒤틀리는 경향이 있다. 그것이 변형됨에 따라 평평한 표면은 또한 스트레인 게이지가 변형되도록 만들며, 이것이 최종적으로 저항 혹은 스트레인 게이지 각각의 값의 변화로 바뀐다. 즉각적인 결과는 압력의 작용하에 있는 휘트스톤 브리지의 단자에서 출력 신호의 변화 및/또는 편차이다. 대체로, 출력 신호는 평평한 표면의 변형에 비례하며, 그에 따라 상기 평평한 표면의 변형 영역 상의 튜브 내의 유체 순환에 의해 가해지는 압력에 비례하게 된다. 그 다음, 휘트스톤 브리지의 출력 신호는 전기 장치에 의해 처리되며, 이 전기 장치는 일반적으로 계측 장치가 보정되는 0 압력 및 최대 압력과 각각 일치하는 4 내지 20㎃ 사이의 전류를 공급한다.
이러한 형태의 트랜스미터는 청결, 순도 및 청소 가능성의 요구 조건들을 완전히 충족시킨다. 그러나, 이러한 사용은 다른 제약을 받게 되며, 사용자에 있어 가장 중요한 제약은 휘트스톤 브리지와 그에 따른 상기 형태의 압력 트랜스미터에 전원을 공급해야 하는 것이다. 따라서, 최종 사용자는 상기 설비에 동력 케이블의 부설과, 그리고 이러한 장치를 위한 프로세스를 제공해야 한다. 반도체 산업에서,예컨대 제조 공정에서 가스 분배를 모니터링하기 위한 수 백개의 압력 측정 장치를 설치하는 것이 보통이다. 이러한 형태의 플랜트는 무겁고 고가일 수 있다. 또한, 이러한 형태의 트랜스미터만이 계측 장치에 의해 전송된 측정을 시각화하기 위한 유닛과 조합되어야 하며, 디스플레이를 통해 라인 압력이 실시간으로 시각화될 것이다.
끝으로, 트랜스미터는 대개 압력계 보다 더 고가이다.
본 발명은 각종 설비의 라인 상의 압력을 측정하는 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로 말하면, 구동 요소 내의 어떠한 사공간(dead space)이 생기는 것을 피하는 반면에 프로세스 라인에서 측정 계기를 분리하거나 심지어 그것을 해체하지 않고 매우 용이하게 청소할 수 있도록 설계되어 있는 압력계에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 압력계를 도시한 평면도이며,
도 2는 도 1의 압력계를 도시한 측단면도이고,
도 3은 압력계 본체의 평면도이며,
도 4는 본 발명의 압력계에 사용되는 다이아프램을 절단하여 도시한 측단면도이고,
도 5는 도 3의 변형례를 도시한 평면도이다.
따라서, 본 발명의 목적은 어떠한 구동 부재에 대해 독립적이고, 에너지 공급원 측면에서 자율적이고, 또 구동 부재의 순도, 청결 및 청소 가능성과 관련한 문제를 대부분 없앨 수 있는 장치를 제공함으로써 전술한 문제점을 해소하는 데 있다.
이러한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 직통로 압력계는 중심에 오목한 곡면이 마련된 본체를 포함하며, 2개 이상의 횡단 채널이 상기 오목한 곡면으로 압력 측정 대상의 유체의 출입을 허용하기 위해 개방되어 있으며, 상기 오목한 곡면은 다이아프램에 의해 밀봉되고, 이 다이아프램은 고정 수단과 채널을 경유하여 본체와 상호 작용하는 로드 셀에 의해 그 밀봉 위치에 보지되며, 상기 로드 셀에는 다이아프램 상에 안착되고 표시기에 연결되는 진동 증폭 장치를 장착시키기 위한 제2의 고정 수단이 추가로 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 특징 및 장점은 한정하려는 의도가 아닌 실시예를 예시하고 첨부 도면을 참조한 이하의 상세한 설명으로부터 더 명백해질 것이다.
양호한 실시예에 따르면, 도 2에 표시한 도면 부호 1은 압력계 본체를, 도면 부호 2는 다이아프램을, 그리고 도면 부호 3은 로드 셀을 각각 지시하며, 이들 3개의 구성요소들이 함께 조립되어 압력계를 형성한다.
압력계 본체(1)는 베이스를 형성하는 대략 원통형의 부품이 되도록 연속적인 기계 가공에 의해 제작된다. 이 본체(1)는 특히 스테인레스강 형태의 금속 인발 프레임에서 기계 가공되는 것이 바람직하며, 그 중심 근처에 오목한 곡면(4)이 마련되어 있고, 이 곡면의 경우 곡률 반경, 기계 가공, 표면 처리 및 표면 상태에 의해 어떠한 체류 영역도 없앨 수 있기 때문에 이러한 압력계는 라인 내에서 완전히 청소될 수 있다.
적어도 2개의 횡단 채널(5, 6)이 상기 곡면(4)으로 개방되어 있으며, 그 이유는 압력 측정 대상의 유체의 출입을 허용하기 위해서이다.
제1 실시예에 따르면, 이들 채널(5, 6)은 동일선상에, 특히 본체(1)의 직경상에 위치가 부여된다(도 3 참조).
제2 실시예에 따르면, 이들 채널(5, 6)은 2개의 교차하는 선상에 위치가 부여된다(도 5 참조).
실시 형태에 상관없이, 채널(5, 6)과 상기 오목한 곡면(4) 사이의 교차 영역은 타원형의 프로파일을 형성하며, 이 프로파일의 연결 영역은 또한 어떠한 체류 영역을 없애기 위한 방법으로 기계 가공 및 처리된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 오목한 곡면(4)의 외주에는 다이아프램 (2)을 위한 접촉면으로서의 역할을 하는 카운터싱크(countersink)의 경계를 한정하는 링(7)이 마련되어 있다.
상기 다이아프램(2)은 오목한 곡면(4)을 완전히 덮으며, 2개의 채널(5, 6)을 경유하여 캐비티(cavity)를 가로질러 통과하는 유체에 의해 발생되는 압력을 받는다(도 4 참조).
다이아프램(2)은 동심의 파형부(8)가 복수 개로 형성되는 금속 디스크 형상으로 되어 있고, 이 파형부 사이에 탄성 변형 영역이 한정된다.
추가적으로, 상기 다이아프램의 중앙 부분(9)은 평평하고 진동 증폭 장치와의 접촉 영역을 한정하며, 이 장치는 피니언의 샤프트 상의 포인터(pointer)의 운동을 야기하는 피니언에 자체적으로 접속되어 있다.
더욱이, 다이아프램의 외주부(10)는 다이아프램의 중앙 부분(9)과 외주부(10) 사이에 분포되어 있는 복수 개의 동심의 파형부에 대해 중간인 평면에 대략 위치가 부여된다. 이 외주부(10)의 역할은 이하에 후술될 것이다.
또한, 상기 다이아프램(2)은 금속 스트립을 인발 가공한 후 몇 번의 열처리와 표면 처리 작업을 행하여 얻어진다.
사용되는 금속의 선택과 그것의 처리는 엄격한 연구를 통해 최적의 기능을 발휘하도록 하고, 특히 우수한 계측 성능(직선 형성, 히스테리시스, 반복성)을 제공하기 위해 선택되어야 하며, 따라서 정확도 등급 1을 얻게 된다.
압력계의 본체(1)는 또한 수 개의 고정 수단(11)을 구비하며, 이 수단은 링(7) 둘레에 동일한 거리를 두고 배치되는 것이 바람직하다.
이들 고정 수단(11)은 로드 셀(3)의 견고한 장착을 허용하기 위해 압력계의 본체(1)에 드릴 및 태핑 가공에 의해 제작된다.
로드 셀(3)은 본체(1)의 재료와 동일한 재료로 구성되며 각종 열처리 작업뿐만 아니라 몇 번의 공지의 기계 가공에 의해 형성된다.
이 로드 셀은 전체적으로 원통형의 테(hoop)를 이루며, 다이아프램을 곡면의 캐비티(4) 위에 보지하고 또 눈금을 새긴 다이얼 및 진동 증폭 장치를 장착하기 위해 제공된다.
따라서, 이러한 다양한 기능을 수행하기 위해 로드 셀(3)을 형성하는 테는 압력계의 본체(1)에 제공된 고정 수단(11)과 합치되도록 각도를 이루면서 위치 설정되어 있는 수 개의 구멍(12)을 구비한다.
상기 구멍(12)을 통해 나사, 스터드 등이 삽통되어 고정 수단(11)과 체결되며, 이 나사를 죄어 로드 셀(3)을 본체(1)에 보지시킬 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 테의 면은 다이아프램(2)의외주부(10)와 반드시 접촉되어야 하기 때문에, 이 테는 로드 셀(3)을 본체(1)에 장착하는 동안 외주부(10)를 본체(1)에 형성된 카운터싱크(7)의 높이에서 주름지게 하는 접촉면(13)을 한정하는 쇼울드(shoulder) 혹은 환상의 돌출부를 구비한다.
로드 셀(3)의 다이아프램(2)의 본체(1) 레벨에서 압력계의 조립은 용접이 아닌 방법으로 행해지기 때문에 어떠한 내부 오염의 위험이 존재하지 않는다. 압력계의 설치의 정확도 등급은 100이며, 소정의 작업에서 어떠한 오염의 위험을 피하기 위해서는 등급 10(후드 아래에서는 층류 상태)이다.
로드 셀(3)은 또한 측정 증폭 장치를 장착하기 위한 제2 고정 수단(14)을 구비하며, 이것의 일단부는 다이아프램(2)의 중심부(9) 상에 안착되고 그 타단부는 표시기, 특히 포인터 형태의 표시기를 장착하기 위한 샤프트에 의해 형성되어 있다.
추가적으로, 상기 테(3)의 전방 부분은 고정 수단(14) 상에 안착되는 다이얼의 통로를 위해 그리고 다이얼 및 포인터를 보호하는 커버를 보지하기 위해 제공되는 일련의 쇼울더(15)를 구비한다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 채널(5, 6)은 압력계의 본체(1)에 대해 측방향으로 돌출하는 분기부에 접속되어 있다. 이러한 분기부(16, 17)는 프로세스 라인 상에 압력계를 설치할 수 있도록 각종 표준형의 암형 혹은 수형의 커넥팅 수단을 수납하게 된다.
전술한 본 발명은, 상기의 구성에 의한 압력계가 사공간을 없애는 특별한 특징을 갖는 직접 통로를 구비하고, 또 유체의 압력을 측정하는 캐비티가 상기 유체의 의해 완전히 휩쓸리기 때문에 청소의 기준에 부정적인 영향을 미치는 어떠한 체류 영역의 생성을 방지한다는 점에서 유리하다.
더욱이, 압력계의 각종 구성 요소들의 구성, 내부 부품의 형태, 기계 가공 작업, 처리 및 표면 상태에 의해 어떠한 체류 영역도 없앨 수 있어 상기 압력계는 라인 내에서 완전히 청소될 수 있다. 상기의 구조 즉, 용접한 다이아프램이 아니라 주름을 잡은 다이아프램을 채택하는 구조에 의해, 상기 압력계의 각 구성 요소는 최상의 순도 및 청결성을 얻을 수 있도록 처리될 수 있다.
물론, 본 발명은 전술하고 도면에 예시한 실시예에만 한정되는 것이 아니라 모든 변형례를 포함한다.

Claims (8)

  1. 중심에 오목한 곡면(4)이 마련된 본체(1)를 포함하는 직통로 압력계로서, 2개 이상의 횡단 구멍(5, 6)이 상기 오목한 곡면(4)으로 압력 측정 대상의 유체의 출입을 허용하기 위해 개방되어 있으며, 상기 오목한 곡면(4)은 다이아프램(2)에 의해 밀봉되고 이 다이아프램(2)은 고정 수단(11)과 구멍(12)을 경유하여 본체(1)와 상호 작용하는 로드 셀(3)에 의해 그 밀봉 위치에 보지되며, 상기 로드 셀(3)에는 다이아프램(2) 상에 안착되고 표시기에 연결되는 진동 증폭 장치를 장착시키기 위한 제2의 고정 수단(14)이 추가로 마련되어 있는 직통로 압력계에 있어서,
    상기 구멍(5, 6)과 오목한 곡면(4) 사이의 교차 영역은 타원형 프로파일을 형성하며, 이 프로파일의 연결 영역은 어떠한 체류 영역을 없애 상기 압력계가 라인 내에서 완전히 청소될 수 있도록 기계 가공 및 처리되어 있는 것을 특징으로 하는 압력계.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구멍(5, 6)은 특히 본체(1)의 직경 상인 동일선상에 위치가 부여되는 것을 특징으로 하는 압력계.
  3. 제1항에 있어서, 상기 구멍(5, 6)은 2개의 교차하는 선상에 위치가 부여되는 것을 특징으로 하는 압력계.
  4. 제1항에 있어서, 오목한 곡면(4)의 외주에는 다이아프램(2)을 위한 접촉면으로서의 역할을 하는 카운터싱크의 경계를 한정하는 링(7)이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 압력계.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다이아프램(2)은 동심의 파형부(8)가 복수 개로 형성되는 금속 디스크 형상으로 되어 있고, 이 파형부 사이에 탄성 변형 영역이 한정되는 것을 특징으로 하는 압력계.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다이아프램(2)의 중앙 부분(9)은 평평하고 진동 증폭 장치와의 접촉 영역을 한정하는 것을 특징으로 하는 압력계.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다이아프램(2)의 외주부(10)는 평평하고, 다이아프램의 중앙 부분(9)과 외주부(10) 사이에 분포되어 있는 복수 개의 동심의 파형부에 대해 중간인 평면에 대략 위치가 부여되는 것을 특징으로 하는 압력계.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 다이아프램(2)의 외주부(10)와 접촉 상태로 있는 상기 로드 셀(3)의 면은 로드 셀(3)을 본체(1)에 장착하는 동안 다이아프램(2)의 외주부(10)를 본체(1)에 형성된 카운터싱크(7)의 높이에서 주름지게 하는 접촉면(13)을 한정하는 쇼울드 혹은 환상의 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 압력계.
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7140257B2 (en) * 2002-12-10 2006-11-28 Ashcroft Inc. Wireless transmitting pressure measurement device
US7165461B2 (en) * 2003-03-27 2007-01-23 Ashcroft, Inc. Pressure gauge having dual function movement plate
WO2004094971A1 (en) 2003-03-27 2004-11-04 Dresser, Inc. Temperature measurement device
US7162927B1 (en) * 2005-12-16 2007-01-16 Honeywell International Inc. Design of a wet/wet amplified differential pressure sensor based on silicon piezoresistive technology
US7637165B2 (en) * 2007-01-16 2009-12-29 Vortran Medical Technology 1, Inc. Pressure measuring manometer with alignment spur
EP2264399B1 (fr) 2009-06-19 2012-05-30 The Swatch Group Research and Development Ltd. Capteur de pression à diaphragme et profondimètre comportant un tel capteur
US8584528B2 (en) * 2011-10-19 2013-11-19 Chia-Hsin Lee Manometer with a pressure transforming device
RU2488787C1 (ru) * 2012-01-31 2013-07-27 Александр Николаевич Смирнов Указатель рабочего давления технического манометра
CN107941411A (zh) * 2017-11-02 2018-04-20 美的集团股份有限公司 用于厨房电器的压力检测装置和厨房电器
US11105697B2 (en) * 2018-08-06 2021-08-31 Wika Alexander Wiegand Se & Co. Kg Plate spring manometer
EP4083572A1 (fr) 2021-04-29 2022-11-02 Blancpain SA Joint d'etancheite pour profondimetre

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1289636A (fr) * 1961-02-24 1962-04-06 Dispositif indicateur de pression à voyant
FR2166485A5 (ko) * 1971-12-27 1973-08-17 Guriner Sa
EP0197130A1 (en) * 1984-10-12 1986-10-15 Ametek, Inc. Pressure transducer
DE3525536A1 (de) * 1985-07-17 1987-01-29 Berg Extrakorp Syst Medtech Verfahren zur herstellung eines druckuebertragenden kontaktes zwischen der membran eines druckdomes und dem druckuebertrager eines messwandlers und druckmessvorrichtung zur ermittlung des physiologischen druckes von fluiden des menschlichen oder tierischen koerpers
US6120458A (en) * 1999-01-07 2000-09-19 Welch Allyn, Inc. Low profile pressure measure device

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