KR20020023054A - 반도체 제조 장비용 트레이 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조 장비용 트레이에 관한 것으로서, 본 발명은 상면에 반도체 소자들이 수납되는 다수의 포켓이 형성된 몸체부와, 상기 몸체부의 둘레에 단차지게 형성되고 반도체 소자들의 운반시 방향을 인식하기 위한 노치가 형성된 외곽부로 이루어지고, 상기 몸체부의 하면 중앙 부분에는 트레이가 기울어지지 않도록 받쳐주는 복수개의 가이드가 하측으로 돌출되게 형성됨으로써 트레이에 휨 또는 뒤틀림이 발생되더라도 상기 가이드들의 작용에 의해 트레이들이 서로 끼워지게 되는 현상이 방지되어 각 트레이들의 분리시 그 분리작업이 자연스럽게 이루어지도록 한 것이다.

Description

반도체 제조 장비용 트레이{TRAY FOR MANUFACTURE SYSTEM OF SEMICONDUCTOR}

본 발명은 수평 핸들러, 로더 및 언로더, 마킹 장비 등과 같은 반도체 제조 장비에서 반도체 소자들의 운반을 위해 사용되는 반도체 제조 장비용 트레이에 관한 것이다.

종래 기술에 따른 반도체 제조 장비용 트레이는 다수의 반도체 소자를 수납하여 운반할 수 있도록 구성된 것으로서, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 그 상면에는 반도체 소자들이 각각 수납되는 다수의 포켓(1)이 형성되어 있다.

또한, 상기 트레이(T)의 측면에는 반도체 소자들의 운반시 방향을 인식하기 위한 노치(3a, 3b)가 형성되고, 그 하면의 모서리 부분에는 트레이(T)가 기울어지지 않도록 받쳐 주는 가이드(미도시)가 형성되어 있다.

상기와 같이 구성된 반도체 제조 장비용 트레이의 동작을 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 여러 개의 트레이(T)를 차례로 적층시킨 후 이렇게 적층된 트레이(T)를 저장부에 장착하면 트레이 승강기(11)가 작동되어 상기한 트레이(T)를 상단센서(13)가 설치된 위치까지 위로 올려준다.

상기와 같이 트레이(T)가 트레이 승강기(11)에 의해 상단센서(13)가 있는 높이까지 상승되면 트레이 받침대(15)가 작동되어 가장 상단에 위치된 트레이(T)만을 받쳐주게 된다.

이후, 상기 트레이 승강기(11)가 하강되면 가장 상단에 위치된 트레이(T)는 트레이 받침대(15)와 함께 남고 이를 제외한 나머지 트레이(T)들이 트레이 승강기(11)와 함께 하강되면서 트레이(T)가 분리되게 된다.

상기와 같이 트레이(T)가 한장씩 분리되면 이 트레이(T)에 수납된 반도체 소자들을 번 인 보드(Burn in board) 또는 테스트 보드(Test board)에 로딩하고, 빈 트레이(T)는 회수부로 이송시킨다.

이후, 상기와 같은 방식으로 다른 트레이(T)를 분리시켜 동일한 과정을 반복한다.

그런데, 상기와 같은 트레이(T)는 도 5에 도시된 바와 같이 길이 방향으로 휘게 되는 경우 그 아래쪽에 있는 트레이(T')에 꽉 끼게 된다.

즉, 상기한 트레이(T)는 길이 방향의 휨으로 인해 그 길이가 L1이 되어 그 아래쪽에 있는 트레이(T')의 길이 L보다 작게 되면 이 트레이(T')에 끼게 되어 자연스러운 분리가 불가능하게 된다.

따라서, 상기와 같은 종래의 반도체 제조 장비용 트레이는 휨이 발생되는 경우 트레이(T)가 그 아래쪽의 트레이(T')에 꽉 끼게 되어 자연스럽게 분리되지 않게 되기 때문에 상기 트레이(T)의 이송 에러가 자주 발생됨은 물론 상기 트레이(T)를 분리하는 과정에서 트레이(T)에 수납되어 있는 반도체 소자들이 흩어져 리드가 구부러지는 등과 같은 상기 반도체 소자들의 파손이 유발되는 문제점이 있었다.

뿐만 아리나, 종래 기술은 휨으로 인해 아래쪽 트레이(T')에 끼게 된 트레이(T)를 분리하는데 시간이 많이 소요되어 작업 지연의 원인으로 작용되고, 상기 트레이(T)를 무리하게 분리하는 과정에서 트레이(T)가 파손되기도 하는 문제점이 있었다.

상기한 바와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 발명의 목적은, 트레이 하면의 중앙 부분에 하측으로 돌출된 가이드들을 형성함으로써 트레이에 휨 또는 뒤틀림이 발생되더라도 상기 가이드들의 작용에 의해 트레이들이 서로 끼워지게 되는 현상이 방지되어 각 트레이들의 분리시 그 분리작업이 자연스럽게 이루어지도록 하는 반도체 제조 장비용 트레이를 제공함에 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 반도체 제조 장비용 트레이가 도시된 평면도,

도 2는 도 1의 정면도,

도 3은 도 1의 측면도,

도 4는 종래 기술에 따른 반도체 제조 장비용 트레이가 트레이 승강기 및 트레이 받침대에 의해서 한장씩 분리되는 상태가 도시된 정면도,

도 5는 종래 기술에 따른 반도체 제조 장비용 트레이가 휨으로 인해 다른 트레이에 끼워져 있는 상태가 도시된 정면도,

도 6은 본 발명에 따른 반도체 제조 장비용 트레이가 도시된 평면도,

도 7은 도 6의 A-A선 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

51 : 몸체부 51a : 포켓

53 : 외곽부 53a, 53b : 노치

55 : 가이드 57 : 가이드홈

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 상면에 반도체 소자들이 수납되는 다수의 포켓이 형성된 몸체부와, 상기 몸체부의 둘레에 단차지게 형성되고 반도체 소자들의 운반시 방향을 인식하기 위한 노치가 형성된 외곽부로 이루어진 반도체 제조 장비용 트레이에 있어서, 상기 몸체부의 하면 중앙 부분에는 트레이가 기울어지지 않도록 받쳐주는 복수개의 가이드가 하측으로 돌출되게 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 트레이가 제공된다.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.

도 6은 본 발명에 따른 반도체 제조 장비용 트레이가 도시된 평면도이고, 도 7은 도 6의 A-A선 단면도이다.

상기한 도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 제조 장비용 트레이는 상면에 반도체 소자들이 수납되는 다수의 포켓(51a)이 형성된 몸체부(51)와,상기 몸체부(51)의 둘레에 단차지게 형성되고 반도체 소자들의 운반시 방향을 인식하기 위한 노치(53a, 53b)가 형성된 외곽부(53)로 이루어진 것으로서, 상기 몸체부(51)의 하면 중앙 부분에 트레이(T)가 기울어지지 않도록 받쳐주는 복수개의 가이드(55)가 하측으로 돌출되게 형성된다.

여기서, 상기 몸체부(51)의 상면 중 상기 가이드(55)와 일치되는 위치에는 트레이(T)의 적층시 상측 트레이(T)의 가이드(55)가 삽입될 수 있도록 상기 가이드(55)와 대응되는 형태로 가이드홈(57)이 형성된다.

또한, 상기 가이드(55) 및 가이드홈(57)은 상단부의 직경이 하단부의 직경보다 넓은 2단 구조로 형성되는 것이 바람직하다.

상기와 같이 트레이(T)를 받쳐주는 가이드(55)들을 몸체부(51)의 중앙 부분에 형성하면 상기 가이드(55)들에 의해 트레이(T)가 길이 방향으로 휘거나 뒤틀리게 되더라도 하측의 트레이(T)에 꽉 끼워지지는 않게 된다.

즉, 상기 가이드(55)들의 작용에 의해 트레이(T)들이 휨이나 뒤틀림으로 인해 서로 끼워지게 되는 현상이 방지되게 된다.

따라서, 트레이 승강기와 트레이 받침대에 의해 트레이(T)가 하나씩 분리될 때 휨이나 뒤틀림 등에 관계없이 각 트레이(T)들이 자연스럽게 분리되게 된다.

한편, 상기 가이드(55) 및 이 가이드(55)가 삽입되는 가이드홈(57)은 각각 2단 구조로 되어 있으므로 프리 얼라인먼트를 통해 트레이(T)의 위치를 정렬한 후 상기 트레이(T)를 떨어뜨려 다른 트레이(T) 위로 적층시킬 때 상기 가이드(55)가 가이드홈(57)의 상단부를 거쳐 하단부로 진행되면서 트레이(T)가 정위치로 정렬되게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조 장비용 트레이는, 트레이(T) 하면의 중앙 부분에 하측으로 돌출된 가이드(55)들을 형성되어 있으므로 트레이(T)에 휨 또는 뒤틀림이 발생되더라도 상기 가이드(55)들의 작용에 의해 트레이(T)들이 서로 끼워지게 되는 현상이 방지되어 각 트레이(T)들의 분리시 그 분리작업이 자연스럽게 이루어지고, 이에 따라 트레이(T)의 겹침 현상으로 인한 트레이(T)의 이송 에러 및 작업시간의 지연 등이 없어지는 동시에 상기 트레이(T)를 억지로 분리하는 과정에서 발생될 수도 있는 반도체 소자 및 트레이(T)의 파손이 방지되는 이점이 있다.

Claims (3)

1. 상면에 반도체 소자들이 수납되는 다수의 포켓이 형성된 몸체부와, 상기 몸체부의 둘레에 단차지게 형성되고 반도체 소자들의 운반시 방향을 인식하기 위한 노치가 형성된 외곽부로 이루어진 반도체 제조 장비용 트레이에 있어서,

   상기 몸체부의 하면 중앙 부분에는 트레이가 기울어지지 않도록 받쳐주는 복수개의 가이드가 하측으로 돌출되게 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 트레이.
2. 제 1항에 있어서, 상기 몸체부의 상면 중 상기 가이드와 일치되는 위치에는 트레이의 적층시 상측 트레이의 가이드가 삽입될 수 있도록 상기 가이드와 대응되는 형태로 가이드홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 트레이.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 가이드 및 가이드홈은 상단부의 직경이 하단부의 직경보다 넓은 2단 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 트레이.