KR20020017270A - A semiconductor device test handler having fan revolution detection device for - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 디바이스 테스트 핸들러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 테스트 핸들러의 챔버 내부에 설치된 팬의 회전주기에 따른 팬의 속도를 감지할 수 있도록 한 팬 속도 감지장치를 가진 반도체 디바이스 테스트에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor device test handler, and more particularly, to a semiconductor device test having a fan speed sensing device capable of detecting a speed of a fan according to a rotation period of a fan installed inside a chamber of a test handler.
일반적으로 반도체 디바이스는 다수의 복잡한 제조공정을 통하여 제조하게 되는데. 이 제조공정을 간략하게 살펴보면, 먼저 순수 실리콘 기판에 직접회로가 형성되도록 다수 매의 반도체 박막을 형성하여 반도체 칩을 제작하는 공정과, 제작된 반도체 칩을 패키징하는 패키징 공정과, 패키징된 반도체 디바이스의 정상적인 작동여부를 테스트하는 테스트 공정으로 크게 대별된다.In general, semiconductor devices are manufactured through a number of complex manufacturing processes. The manufacturing process is briefly described. First, a process of fabricating a semiconductor chip by forming a plurality of semiconductor thin films so that an integrated circuit is formed on a pure silicon substrate, a packaging process of packaging the fabricated semiconductor chip, and a package of a semiconductor device It is roughly divided into a test process that tests normal operation.
특히, 테스트 공정에는 인위적인 고온환경을 조성하여 반도체 디바이스가 이러한 고온환경에서 정상적으로 작동하는 가를 테스트하는 공정이 있다.In particular, the test process includes creating an artificial high temperature environment to test whether the semiconductor device operates normally in such a high temperature environment.
이와 같은 고온 테스트 공정을 위해서는 소정의 챔버 내에 가열히터와 팬 그리고 덕트 등을 통하여 대략 120℃ - 130℃로 가열된 고온의 공기를 챔버 내에 안착된 반도체 디바이스로 송풍하여 반도체 디바이스를 가열하도록 되어 있다.For such a high temperature test process, a high temperature air heated at approximately 120 ° C to 130 ° C through a heating heater, a fan, and a duct in a predetermined chamber is blown to a semiconductor device seated in the chamber to heat the semiconductor device.
이러한 테스트 공정의 챔버에는 팬의 회전상태를 감지하는 회전감지장치가 마련된다. 이 회전감지장치는 팬을 회전시키는 교류전동기의 전원입력단의 케이블에 직렬 연결된 코일과 이 코일에 연동되어 전류가 케이블로 통하면 온되고 전원이끊기면 오프하는 릴레이 스위치를 구비하고,The chamber of the test process is provided with a rotation sensing device for detecting the rotation of the fan. The rotation sensing device includes a coil connected in series with the cable of the power input terminal of the AC motor which rotates the fan, and a relay switch interlocked with the coil to turn on the current through the cable and turn off the power when the power is cut off.
그리고 이 릴레이 스위치의 온/오프동작으로 작동하여 교류팬의 구동상태를 마이컴에 송신하는 포토커플러가 구비되어 있다. 따라서 케이블로 전류가 인가되지 않으면 릴레이 스위치는 오프되어 포토 커플러로 전류가 통하지 않아 마이컴에 팬이 구동하고 있지 않다는 것을 송신하고, 케이블에 전류가 인가되면 릴레이 스위치가 온되어 포토 커플러로 전류가 유통하여 마이컴으로 팬이 구동한다는 것을 송신하게 된다.A photocoupler is provided that operates by on / off operation of the relay switch and transmits a drive state of the AC fan to the microcomputer. Therefore, if no current is applied to the cable, the relay switch is turned off and the fan is not driven to the microcomputer because the current is not passed through the photocoupler.When the current is applied to the cable, the relay switch is turned on and the current flows through the photocoupler. The microcomputer will send a message that the fan is running.
이러한 종래의 팬 회전감지장치는 단지 팬의 회전여부만이 판단 가능할 뿐 팬의 회전속도를 감지하지는 못한다. 왜냐하면 교류전동기 전원입력단의 케이블에 연결된 릴레이 스위치가 온/오프일 때만 신호의 송신이 가능하도록 되어 있기 때문이다. 따라서 팬의 최적 작동상태를 판단할 수 없고, 더욱이 팬, 또는 교류전동기의 전기적 수명 내지는 기계적 수명이 끝나기 전에는 팬의 작동상태를 제대로 확인할 수 없기 때문에 항상 최적 상태의 송풍작동을 수행하게 하지 못한다.The conventional fan rotation detection device can only determine whether the fan is rotated but not detect the rotation speed of the fan. This is because the signal can be transmitted only when the relay switch connected to the AC motor power input cable is on / off. Therefore, the optimum operating state of the fan cannot be determined, and furthermore, the operating state of the fan cannot be properly checked until the end of the electrical life or mechanical life of the fan or the AC motor is not always performed to perform the optimal blow operation.
또한, 팬의 동작 감지가 접점에 의하여 이루어지므로 릴레이 스위치의 반복된 동작으로 전기접점의 스파크 현상이 발생하게 되고, 이 스파크 현상으로 인해 스위치의 수명이 단축되는 문제점도 있다.In addition, since the operation of the fan is detected by the contact, a spark phenomenon of the electrical contact occurs due to the repeated operation of the relay switch, and the spark phenomenon also shortens the life of the switch.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 반도체 디바이스 테스트 핸들러의 챔버로 가열공기를 송풍하는 팬의 회전속도와 작동여부를 감지할 수 있도록 하여 팬의 회전속도가 소정속도 이하일 때 즉각적으로 장치를개선하여 항상 최적 상태의 회전속도가 팬에서 발휘될 수 있도록 한 팬 속도 감지장치를 가진 반도체 디바이스 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.The present invention is to solve the above problems, an object of the present invention is to detect the rotational speed and operation of the fan to blow the heating air to the chamber of the semiconductor device test handler so that the rotational speed of the fan is less than a predetermined speed It is to provide a semiconductor device test handler with a fan speed sensor that immediately improves the device so that the optimum rotational speed is always achieved in the fan.
도 1은 일반적인 테스트 핸들러의 개념도이다.1 is a conceptual diagram of a general test handler.
도 2는 본 발명에 따른 테스트 핸들러에 설치된 테스트 유닛을 도시한 사시도이다.2 is a perspective view illustrating a test unit installed in a test handler according to the present invention.
도 3은 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 팬 회전속도 감지장치를 도시한 블록도이다.3 is a block diagram illustrating an apparatus for detecting fan rotation speed of a test handler according to the present invention.
도 4는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 팬 회전속도 제어상태를 나타낸 플로우 챠트이다.4 is a flow chart showing a fan rotational speed control state of the test handler according to the present invention.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **
200...대류 방식 온도 조절 시스템200 ... Convection Temperature Control System
240...구동모터240 ... drive motor
250...팬250 ... fan
300...감지판300 detection board
310...포토센서310 ... Photo sensor
320...제어부320 ... control unit
330...입력부330 ... input
350...클럭발생부350. Clock generator
전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 챔버, 상기 챔버 일측에 설치된 구동모터, 상기 구동모터에 의하여 회전하는 팬, 상기 팬으로부터 공급되는 공기를 가열하는 가열히터, 상기 팬의 회전속도를 감지하는 포토센서, 소정의 주파수를 인가하여 상기 포토센서에서 감지된 상기 팬의 회전주기와 동조하도록 된 클럭발생부, 상기 클럭발생부로부터 제공된 소정 주기의 주파수와 상기 팬의 회전주기를 비교하여 상기 팬의 회전속도에 판단하는 제어부, 상기 제어부에서 판단된 상기 팬의 회전속도를 외부로 표시하도록 된 표시부를 구비하고, 상기 표시부는 상기 팬의 회전속도에 따라 상기 제어부로부터 제공된 신호에 따라 선택적으로 점멸하는 다수의 엘이디를 포함한다. 그리고 상기 제어부에서 제공된 신호에 따라 상기 팬의 회전상태를 출력하도록 하는 포토 커플러를 포함하는 출력부를 더 구비한 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a chamber, a drive motor installed at one side of the chamber, a fan rotated by the drive motor, a heating heater for heating air supplied from the fan, and a photo for sensing a rotation speed of the fan. A clock generator configured to synchronize a rotation period of the fan sensed by the photosensor by applying a predetermined frequency to the sensor; and rotation of the fan by comparing the rotation period of the fan with a frequency of a predetermined period provided from the clock generator. And a display unit configured to display the rotational speed of the fan determined by the controller to the outside, wherein the display unit selectively blinks according to a signal provided from the control unit according to the rotational speed of the fan. Includes LEDs. And an output unit including a photo coupler for outputting a rotation state of the fan according to a signal provided from the control unit.
이하에서는 본 발명에 따른 하나의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, one preferred embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 디바이스 테스트 핸들러는 전체적으로 반도체 디바이스 로더(100), 반도체 디바이스 핸들러 유닛(110)과 테스트 설비인 테스트 유닛(120)과 대류 방식 온도 조절 시스템(200)을 구비한다.As shown in FIG. 1, the semiconductor device test handler according to the present invention generally includes the semiconductor device loader 100, the semiconductor device handler unit 110, the test unit 120, which is a test facility, and the convection type temperature control system 200. Equipped.
먼저 반도체 디바이스 로더(100)는 선행공정, 즉 반도체 칩을 제조하는 공정및 제조된 반도체 칩을 패키징하는 패키징 공정이 종료된 후 테스트가 수행될 반도체 디바이스를 트레이에 수납하여 공정 대기시키는 것으로 통상 복수 매의 트레이가 적층 수납되어 구현된다.First, the semiconductor device loader 100 stores a semiconductor device to be tested in a tray and waits for a process after completion of a preceding process, that is, a process of manufacturing a semiconductor chip and a packaging process of packaging a manufactured semiconductor chip. The tray is stacked and housed.
그리고 반도체 디바이스 핸들러 유닛(110)은 반도체 디바이스 로더에 수납된 트레이 또는 트레이에 수납된 반도체 디바이스를 테스트 유닛으로 이송시키는 것으로 통상적으로 다축 로봇 등으로 구현된다.The semiconductor device handler unit 110 transfers a tray accommodated in a semiconductor device loader or a semiconductor device stored in a tray to a test unit, and is typically implemented as a multi-axis robot.
특히 테스트 유닛(120)과 대류방식 온도조절시스템(200)은 도 2에 도시된 바와 같이 반도체 디바이스의 테스트 공간을 제공하도록 된 챔버(210)와 이 챔버(210) 내부로 고온의 공기를 송풍 공급하는 구동모터(240)와 팬(250)을 구비하고, 챔버(210) 내부로 공급된 공기의 온도를 감지하여 설정된 온도로의 온도조절과 작동조절을 수행하는 온도 상태신호를 제공하는 온도감지센서(260)가 설치된다.In particular, the test unit 120 and the convection type temperature control system 200 blow a supply of hot air into the chamber 210 and the chamber 210 to provide a test space for the semiconductor device as shown in FIG. 2. A temperature sensing sensor having a driving motor 240 and a fan 250 for sensing a temperature of the air supplied into the chamber 210 and providing a temperature state signal for performing temperature control and operation control to a set temperature 260 is installed.
그리고 팬(250)으로부터 챔버(210)의 바닥으로 연장된 덕트(220)와 이 덕트(220) 내부의 상측에 설치된 코일타입으로 된 가열히터(230)를 구비하고 있다.And a duct 220 extending from the fan 250 to the bottom of the chamber 210 and a heating heater 230 of a coil type provided above the duct 220.
한편, 팬(250)의 회전속도를 감지하는 속도감지장치가 테스트 유닛(120)과 함께 구현된다.On the other hand, a speed sensor for detecting the rotational speed of the fan 250 is implemented with the test unit 120.
이 속도감지장치는 도 3에 도시된 바와 같이 팬(250)의 가장자리 부분에 설치되며 다수의 감지홀(301)이 형성된 감지판(300)과 이 감지판(300)의 외주가 그 사이로 내삽되도록 되어 팬(250)의 회전 중 감지홀(301)을 관통하여 송수신된 신호에 의해 팬(250)의 회전주기를 감지할 수 있도록 수광부와 발광부를 가진 포토센서(310)를 구비한다.This speed sensing device is installed in the edge portion of the fan 250 as shown in Figure 3 so that the outer periphery of the sensing plate 300 and a plurality of sensing holes 301 formed therein and the sensing plate 300 interpolated therebetween. And a photo sensor 310 having a light receiving unit and a light emitting unit to detect a rotation period of the fan 250 by a signal transmitted and received through the detection hole 301 during rotation of the fan 250.
그리고 포토센서(310)에서 감지된 팬(250)의 회전주기에 따른 신호를 처리하여 팬(250)의 회전상태를 판단하는 PLD(Programmmable Logic Device)인 제어부(320)와 이 제어부(320)에 포토센서(310)의 회전주기를 입력하는 입력부(330), 그리고 제어부(320)에 1.2MHz의 주파수를 입력하는 클럭발생부(350)를 구비하고, 제어부(320)에 전원을 공급하도록 24v의 직류전압을 걸어주는 전원부(340)를 구비한다.In addition, the controller 320, which is a programmable logic device (PLD) for determining a rotation state of the fan 250 by processing a signal according to the rotation period of the fan 250 sensed by the photosensor 310, and the controller 320. An input unit 330 for inputting a rotation period of the photosensor 310 and a clock generator 350 for inputting a frequency of 1.2 MHz to the controller 320, and supplying power to the controller 320 at 24v; A power supply unit 340 for applying a DC voltage is provided.
그리고 이러한 팬 회전속도감지장치의 작동상태와 팬(250)의 속도상태를 출력하는 출력부(360)를 구비하는데, 이 출력부(360)에는 도시되지 않았지만 속도감지장치의 작동상태를 마이컴(370)으로 송신하는 포토커플러로 구성된다.And it has an output unit 360 for outputting the operation state of the fan rotation speed detection device and the speed state of the fan 250, the output unit 360, although not shown, the microcom (370) the operation state of the speed detection device. It consists of a photocoupler transmitting with).
또한 팬(250)의 속도상태를 외부로 디스플레이 해주는 표시부(380)가 마련된다. 이 표시부(380)는 다수개의 엘이디로 구현된다. 그리고 엘이디의 정상상태를 표시하도록 5v 직류전압이 인가되어 작동하는 다수개의 토글스위치가 마련된다.In addition, the display unit 380 for displaying the speed state of the fan 250 to the outside is provided. The display unit 380 is implemented with a plurality of LEDs. In addition, a plurality of toggle switches are provided which operate by applying a 5v DC voltage to indicate the normal state of the LED.
여기서 엘이디와 토글스위치는 본 발명의 실시예에서 각각의 속도 상태를 나타내도록 엘이디와 같은 수로 구현된다.Here, the LEDs and the toggle switch are implemented in the same number of LEDs to indicate the respective speed state in the embodiment of the present invention.
이하에서는 전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 반도체 디바이스의 테스트 핸들러 팬 속도감지장치의 작동상태에 대하여 설명하기로 하되, 전술한 구성 설명의 도입부분에서 전체적인 작용상태를 언급하였으므로 이하의 설명에서는 주로 테스트 설비중에서도 팬의 속도감지상태에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, the operation state of the test handler fan speed detection apparatus of the semiconductor device according to the present invention configured as described above will be described, but the overall operation state is mentioned in the introduction of the above-described configuration description, and therefore, the following description mainly tests The speed sensing state of the fan in the installation will be described.
반도체의 패키징 공정이 끝나면 반도체 디바이스(270)는 로더(100)와 핸들러 유닛(110)을 통하여 챔버(210) 내부로 이송되어 챔버(210)의 테스트부에 안착된다.그리고 챔버(210) 내에 반도체 디바이스(270)가 안착되면 구동모터(240)의 동력으로 팬(250)이 회전하게 되고, 팬(250)의 회전으로 가열히터(230)에 의해 가열된 공기가 덕트(220)를 통하여 반도체 디바이스(270)로 공급된다.After the semiconductor packaging process is completed, the semiconductor device 270 is transferred into the chamber 210 through the loader 100 and the handler unit 110, and is placed in the test unit of the chamber 210. When the device 270 is seated, the fan 250 is rotated by the power of the driving motor 240, and the air heated by the heating heater 230 is rotated by the rotation of the fan 250 through the duct 220. Supplied to 270.
이러한 팬(250)의 회전상태는 도 4와 같은 작동흐름으로 이루어지는데. 도 4를 참조하여 이 작동상태를 설명하면, 가변 교류 전동기인 구동모터(240)의 회전축에 압입되어 팬(250)과 함께 회전하는 감지판(300)에 개재된 포토센서(310)로부터 팬(250)의 회전주기가 감지되고, 이 감지된 회전주기는 입력부(330)를 거쳐 제어부(320)로 입력 되는 단계(S1)를 거치게 된다.The fan 250 is rotated as shown in FIG. 4. Referring to FIG. 4, a fan (from the photosensor 310 interposed on the sensing plate 300 which is pressed into the rotating shaft of the driving motor 240 which is a variable AC motor and rotates together with the fan 250). The rotation period of 250 is sensed, and the detected rotation period passes through the input unit 330 to the control unit 320 (S1).
그리고 제어부(320)는 전원부(340)에서 공급된 24v 직류전압을 공급받아 작동을 시작하게 되고, 클럭발생부(350)로부터 1.2MHz의 소정주기의 주파수가 제공된다.In addition, the control unit 320 is supplied with a 24v DC voltage supplied from the power supply unit 340 to start operation, and a frequency of a predetermined cycle of 1.2 MHz is provided from the clock generator 350.
따라서 제어부(320)는 클럭발생부(350)로부터 제공된 소정주기의 주파수에 포토센서(310)로부터 감지된 팬(250) 회전주기가 동기되어 제어부(320) 내부에서 카운트됨으로써 구동중인 팬(250)의 회전속도가 판단된다.Therefore, the control unit 320 is driven by the rotation period of the fan 250 sensed by the photosensor 310 at the frequency of the predetermined period provided from the clock generator 350 is counted inside the control unit 320 to drive the fan 250. The rotation speed of is determined.
이때의 팬(250) 회전속도가 소정속도, 예를 들면 초당 10회, 600RPM 이상이면 디지털 출력값은 비작동신호를 그리고 600RPM 이하이면 작동신호를 발생시키고 이때의 신호값을 출력부(360)와 표시부(380)로 제공하는 단계(S2)로 진행한다.At this time, if the rotation speed of the fan 250 is a predetermined speed, for example, 10 times per second, 600 RPM or more, the digital output value generates a non-operation signal, and if it is 600 RPM or less, an operation signal is generated and the signal value is output to the output unit 360 and the display unit. Providing to step 380, step S2 is reached.
그리고 출력부(360)에서는 먼저 포토커플러가 팬(250)이 소정속도 이상일 때와 이하일 때의 값을 테스트 유닛(120)의 마이컴(370)으로 송신하고, 동시에 표시부(380)의 엘이디에 팬(250)이 소정속도 이하일 때 작동값을 제공하여 엘이디를 발광시킴으로써 팬(250)의 회전상태와 속도를 외부에 표시하며 동시에 출력부(360)의 포토 커플러로부터 마이컴(370)으로 송신한다. (S3, S4)In the output unit 360, the photocoupler first transmits a value when the fan 250 is greater than or equal to a predetermined speed to the microcomputer 370 of the test unit 120, and at the same time, the fan of the LED of the display unit 380 ( When 250 is less than or equal to a predetermined speed, an operating value is provided to emit an LED, thereby displaying the rotation state and the speed of the fan 250 to the outside and simultaneously transmitting from the photo coupler of the output unit 360 to the microcomputer 370. (S3, S4)
따라서 마이컴(370)에서는 팬(250)의 회전속도가 소정속도 이하 일 때는 구동모터(240)의 회전속도를 상승시켜 팬(250)이 소정속도 이상으로 회전하도록 구동모터(240)를 구동시키게 된다.(S5)Accordingly, in the microcomputer 370, when the rotational speed of the fan 250 is less than or equal to the predetermined speed, the rotational speed of the driving motor 240 is increased to drive the driving motor 240 so that the fan 250 rotates above the predetermined speed. (S5)
그리고 구동모터(240)의 회전속도를 상승시키고 엘이디와 포토커플러가 켜진 상태에서 다시 한번 더 팬(250) 회전주기를 포토센서(310)가 감지한다. 그리고 이때의 회전주기가 소정속도 이하라고 판단되면 구동모터(240)의 회전속도를 보다 더 상승시키고, 팬(250)의 회전속도가 소정주기 이상이라고 판단되면 포토커플러와 엘이디를 오프시킨다.(S7)(S8)Then, the rotation speed of the driving motor 240 is increased, and the photo sensor 310 detects the rotation period of the fan 250 again once the LED and the photo coupler are turned on. If it is determined that the rotation period is less than or equal to the predetermined speed, the rotation speed of the driving motor 240 is further increased. If the rotation speed of the fan 250 is greater than or equal to the predetermined period, the photocoupler and the LED are turned off. (S8)
그리고 포토커플러와 엘이디가 오프한 상태에서 다시 최초 팬(250) 회전주기 감지단계(S1)로 진행하게 되며 계속해서 이러한 팬 회전주기 감지작동을 수행하게 된다.In addition, the photocoupler and the LED are turned off, and the first fan 250 rotation cycle detection step S1 is performed again, and the fan rotation cycle detection operation is continuously performed.
한편, 이러한 감지단계를 거치면서 표시부(380)의 엘이디가 계속해서 소정시간 이상 온상태가 유지되면 작업자가 기기의 이상상태를 인식하게 되므로 장치의 점검 및 그 외의 필요한 조치를 신속하게 취할 수 있어 계속적인 장치의 작동신뢰성이 유지되게 할 수 있다.On the other hand, if the LED of the display unit 380 continues to be on for more than a predetermined time during this detection step, the operator recognizes the abnormal state of the device, so that the inspection of the device and other necessary measures can be promptly taken. It is possible to maintain operational reliability of the apparatus.
그리고 전술한 실시예에서 다수의 엘이디를 설치한 것은 제어부의 구성을 개선하여 팬의 속도에 따른 변동상태를 보다 광범위하게 출력하여 보다 상세하고 자세한 팬의 작동상태를 제공할 수 있도록 하기 위한 것이다. 따라서 기본적으로 반도체 디바이스 테스트 핸들러에서 포토센서를 이용하여 대류팬의 회전속도를 감지하고 엘이디로 이러한 상태를 표시하고자 하는 다른 모든 실시예는 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.In addition, in the above-described embodiment, the plurality of LEDs is installed to improve the configuration of the control unit so as to more widely output the variation state according to the speed of the fan to provide a more detailed and detailed operation state of the fan. Therefore, basically, all other embodiments that detect the rotational speed of the convection fan using the photosensor in the semiconductor device test handler and display the state by the LED should all be included in the technical scope of the present invention.
이상과 같은 본 발명에 따른 반도체 디바이스 테스트 핸들러는 팬의 회전주기의 검출이 포토센서로 이루어지기 때문에 종래 릴레이 스위치의 사용에 의한 접점수명에 따른 작동불능 상태를 해소할 수 있고, 또한 팬의 회전주기가 소정속도 이하일 때 즉각적으로 팬의 회전상태를 외부에서 감지하여 팬 회전수 감지정보를 출력함으로써 보다 효율적인 장치의 관리가 이루어질 수 있는 효과가 있다.In the semiconductor device test handler according to the present invention as described above, since the detection of the rotation period of the fan is made of a photosensor, it is possible to solve the inoperable state caused by the contact life by using a conventional relay switch, and also the rotation period of the fan. When the fan speed is below a predetermined speed, the fan's rotation state is immediately detected from the outside and the fan rotation speed detection information is output, thereby making it possible to more efficiently manage the device.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020000050482A KR20020017270A (en) | 2000-08-29 | 2000-08-29 | A semiconductor device test handler having fan revolution detection device for |
Applications Claiming Priority (1)
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ID=19685901
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| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20020017270A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100530039B1 (en) * | 2001-06-12 | 2005-11-22 | 미래산업 주식회사 | Revolving Sense System of Chamber Fan Apparatus for Handler |
| KR100942623B1 (en) * | 2007-11-06 | 2010-02-17 | 파워테크 테크놀로지 인코포레이티드 | Method for raising chamber temeprature and heating apparatus thereof |
| KR20220120797A (en) * | 2021-02-23 | 2022-08-31 | (주)메리테크 | Temperature evaluating device of memory module and operating method thereof |
-
2000
- 2000-08-29 KR KR1020000050482A patent/KR20020017270A/en not_active Application Discontinuation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100530039B1 (en) * | 2001-06-12 | 2005-11-22 | 미래산업 주식회사 | Revolving Sense System of Chamber Fan Apparatus for Handler |
| KR100942623B1 (en) * | 2007-11-06 | 2010-02-17 | 파워테크 테크놀로지 인코포레이티드 | Method for raising chamber temeprature and heating apparatus thereof |
| KR20220120797A (en) * | 2021-02-23 | 2022-08-31 | (주)메리테크 | Temperature evaluating device of memory module and operating method thereof |
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