KR20020000168A - 기체 절연관내의 절연기체로부터 sf6의 분리 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따르면, 지하 케이블을 위한 절연 충진 기체로서 사용되는 SF6와 N2의 기체혼합물은 SF6를 분리하는 막을 사용하여 분리되어 질 수 있다.
Description
육플루오르화황과 질소로 된 혼합물은 지하 케이블을 위한 절연용 충진기체로서 사용된다(독일 실용신안 297 20 507.2 참조). 보통 이 혼합물은 5 내지 50 부피%(vol%)의 육플루오르화황 및 100 부피%까지의 잔부 질소를 함유한다.
관의 보수 분야에서, 또한 장애의 경우, 특히 SF6의 재사용의 목적을 가지고 기체 혼합물을 분리하는 것이 요망된다. 그런데 그렇게 얻어진 SF6는 대단히 작은 부피를 차지한다(이것은 수송, 관 단면의 설계등에 이점이 된다).
본 발명은, 기체 절연관("GIL(Gas Insulated Line)")으로부터 유래하는 육플루오르화황(SF6)과 질소를 함유하는 혼합물을 분리하는 방법에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 의한 3 막 분리 단계를 갖는 분리 시설의 흐름도이다.
본 발명의 목적은 기체 절연관 내에 재 도입을 위해, 또는 기체 밀폐된 생성물 회로 계에 재 사용하기 위해, 혼합물로부터 SF6의 단리(분리회수)를 가능하게 하는 상기한 기체 혼합물을 분리하는 방법을 제공하는 것이다.
추가의 목적은 적합한 장치를 이용가능하게 하는 것에 있다.
본 발명에 의한 방법에 있어서는, 기체 절연관(기밀관)으로부터의 SF6/N2-혼합물이 육플루오르화황을 분리할 수 있는 막에 의해 분리되게 한다. 본 발명에 의한 방법은, 예컨대 기체 절연 고압관을 보수하는 동안에, 고장 장애의 경우 또는 관내의 기체가 재생을 필요로 할 때 수행된다. 분리된 육플루오르화황은 기체 절연관 내로 환류(복귀)될 수 있다. 그리고 소망하는 농도에 따라 질소를 관 내에 도입할 수도 있다. 다른 이용 가능성은, 기체 절연관의 이용이 종료하여 그 관을 고철화하려 할 때에, 기체 절연관 내에 있는 SF6과 N2로 된 혼합물(및 경우에 따라서는 추가의 불순물)을 본 발명에 의한 공정으로 적절히 처리하는 데에 있다. SF6는 혼합물로부터 분리하여 추가의 용도에 공급될 수 있다.
SF6의 함량은 5 내지 50 부피%의 범위이다. 그러나 본 발명에 의한 방법은 보다 높은 SF6함량을 가진 기체 혼합물의 분리에도 또한 이용될 수 있다.
비대칭성 유기 막이 바람직하다. 투과물질의 용해도에 기초하여 분리하는 고무 탄성막("고무질 막")은 알려져 있다. 다른 막은 투과물질의 확산 능력에 기초하여 분리하는데, 이 막은 고무 탄성이 아닌 결정성 막("유리질 막(glassy membrane)")이고, 이 막이 보다 바람직하다.
이 막은, 공지의 방법으로, 예컨대 중공섬유 막들의 묶음으로서 만들어질 수 있다. 이 막은 공지의 재료로 제조될 수 있다. 대단히 양호하게 적합한 것으로는, 예컨대 폴리이미드, 폴리카보네이트, 폴리에스테르, 폴리에스테르카보네이트, 폴리설폰, 폴리에테르설폰, 폴리아미드, 폴리페닐렌옥사이드 및 폴리올레핀이 있다. 바람직하게는, 중합체 재료는 폴리에스테르, 폴리카보네이트 및 폴리에스테르카보네이트를 포함한다. 중합체 사슬 내에 있는 비스페놀 단위의 적어도 25%가 4-할로겐화 되어 있는(여기서의 할로겐은 염소 또는 브롬임) 비스페놀로부터 유도된 폴리카보네이트가 탁월하게 적합하다. 특히 바람직한 막은, 두 다공성 표면을 가진 중합체 매트릭스 및 다른 기체 성분들로부터 육플루오르황의 분리를 가능하게 하는 층을 갖고 있다. 그런 막은 미국특허 제 4,838,904 호(EP-A-0 340 262)에 기재되어 있다. 기체 혼합물 내에 SO2F2, SO2등과 같은 추가의 불순물이 함유되어 있는 한, 물 또는 알칼리액에 의한 세척 또는 흡착과 같은 정제 공정이 먼저 행해질 수 있다. 각 막 단계는 다수개의 막 카트리지(병렬로 배치됨)로 구성될 수 있다.
막 또는 막들의 입구측에서의 압력은 보통 주위 압력보다 더 높다. 예컨대, 분리할 기체 혼합물에 13 바까지의 압력을 걸어줄 수 있다. 바람직하게는, 입구 압력은 10 내지 12 바이다. 다수의 막이 제공되는 경우, 각각의 막 앞에 압축기가 배치될 수 있다. 온도는 10 내지 40℃가 바람직하다.
두 개의 막 단계가 설치되는 경우에는, 다음과 같이 기체 흐름을 안내하는 것이 합목적적이다: 분리할 혼합물 - 예컨대 기체 절연된 고압관으로부터의, 20 부피%의 SF6를 가진 육플루오르화황과 질소와의 혼합물 - 을 첫 번째 막에 가한다. 바람직하게는, 막은 질소를 통과시킬 수 있기 때문에, 질소분이 높고 육플루오르화황 분이 낮은 막 투과물이 얻어진다. 그 투과물은 외부 주위로 방출된다. 첫째 막의잔류물 - 이미 높은 SF6농도를 가진 - 은 다음 막 내에 도입된다. 이 두 번째 막으로부터 얻어지는 투과물은 첫째 막의 원료 공급류 내에 도입된다. 두 번째 막의 잔류물은 적은 질소량을 가진 육플루오르화황을 나타낸다. 그것은 압축기에 의해 유동화시켜 곧바로 기체 절연된 고압관 내로 환류시키거나 또는 임시 저장하였다가 다른 용도에 다시 이용할 수 있다.
막 카트리지의 수와 배치는, 원하는 순도 그리고 높은 SF6함량을 가진 기체가 처리될 것인가 또는 낮은 SF6함량을 가진 기체가 처리될 것인가에 따라 달라진다. 3 막 단계를 사용할 때에는 분리 효과가 더욱 개선된다. 바람직하게는, 3 막은 다음과 같이 연결된다: SF6/N2-기체 혼합물이 공급 원료류로서 제 1 막 단계 위에 가해진다. 그 잔류물이 공급 원료류로서 제 2 막 단계 위에 가해진다. 이 제 2 단계의 잔류물은 고도로 정제된 SF6이고, 재사용 가능하다. 제 1 막 단계의 투과물은 공급 원료류로서 제 3 막 단계에 공급된다. 이 제 3 막 단계의 투과물은 SF6가 거의 없는 N2이고, 외계로 방출된다. 제 2 막 단계의 투과물 및 제 3 막 단계의 잔류물은 제 1 막 단계에 대한 공급원료류 내에 혼입된다.
충분히 농축되고 정제된 육플루오르화황 및 허용가능한 낮은 육플루오르화황 분을 가진 질소가 얻어질 수 있기 위해서는, 1 막 또는 2 막 분리단계이면 충분하다는 것이 밝혀졌다. 후단 흡착 단계는 설치될 필요가 없다.
본 발명에 의한 방법은 지하 케이블로부터의 SF6/N2-혼합물의 양호한 분리에그 특징이 있다. 정제된 질소와 정제된 공기는 아무런 문제없이 주위로 방출될 수 있다. SF6을 주위로 방출시키는 것은 엄격히 방지되어야 한다. 회수된 육플루오르화황은 곧바로 기체 절연 고압관에 도입될 수 있다. 그러나 추가 조작을 행할 수 있는데, 예컨대 원하는 기체 혼합물을 얻기 위해 질소를 혼합할 수도 있다.
본 발명에는 기체 절연된, SF6/N2-로 충전된 고압관, 막 분리 시설 및 기체 절연관과 막 분리 시설 사이의 연결관을 포함하는 시스템도 포함된다. 막 분리 시설은, 바람직하게는 질소에 대해 투과성인 막을 가진 하나, 둘, 셋 또는 그 이상의 막 분리 단계를 포함한다. 막 분리 단계의 수에 대해서는 위에서 설명된 내용이 적용된다. 제 1 막 단계에 대해서는, 또한 바람직하게는 각 추가 단계에 대해 압축기가 배치되어 있다. 바람직한 시설은 적어도 두 개의 막 분리 단계를 갖고 있다. 이 시설은 또한 기체 절연 고압관 및 제 1 막 분리 단계 내로의 입구와 연결된 분리할 혼합물용 연결관, 제 1 막 분리 단계로부터의 잔류물(농축된 SF6를 가진)을 제 2 막 분리 단계 내로 도입하기 위해 배치되어 있는 제 1과 제 2 막 분리 단계 사이의 연결관, 및 거기로부터 높은 SF6함량을 가진 잔류물이 유출되는 제 2 막 분리 단계로부터의 잔류물을 위한 유출관을 포함한다. 이 유출관은 막 분리 시설을 기체 절연된 고압관(SF6의 환류를 위한 연결관)과 또는 임시 저장을 위한 탱크와 연결시킨다. 또한, 이 관은 제 2 막 단계의 투과물을 제 1 막 단계의 공급 원료류 내로 공급할 환류관을 갖고 있다. 기체 절연관과 막 분리 시설 사이에는 기체 혼합물과 SF6를 인출하고 공급하기 위한 펌프(예컨대, 진공 펌프)와 압축기가 배치되어 있다. 소망의 경우에는, 추가의 처리 장치들(압축기, N2-혼합을 위한 기체 혼합기 등)이 중간에 설치될 수 있다. 제 1 막 단계의 투과물은 주위로 방출될 수 있다.
추가의 특히 바람직한 시스템은 세 개의 막 단계를 포함한다. 합목적적으로 이 시스템은 상기와 같이 배치되어 있다. 용기(B)(기체 절연관으로 표시되어 있음)는 N2와 SF6의 혼합물을 수용한다. 관(1)을 통해 그 혼합물은 제 1 막 단계(2)에 유입된다. 잔류물은 관(3)을 통해 제 2 막 단계(4)에 공급된다. 막 단계(4)의 잔류물인 고농축 SF6은 관(5)을 통해 저장 용기(V)(중간 탱크)에 도입된다. 제 1 막 단계(2)의 투과물은 제 3 막 단계(6)에 공급되고, 이 단계의 투과물은 주위 환경으로 방출될 수 있고(관(10)을 통해), 잔류물은 관(7)을 통해 제 1 막 단계(2)의 원료 공급류에 도입될 수 있다. 제 2 막 단계(4)의 투과물도 관(9)을 통해 제 1 막 단계(2)의 원료 공급류에 도입된다. 막 단계들 전방의 압축기, 시료 분석용 탐침, 유량계 등은 명료성을 위해 생략되어 있다. 수치들은 실시예 2를 설명하는 데에 사용될 것이다. 그 수치들은 각 관내에서 N2/SF6의 부피 관계를 나타낸다.
본 발명은 간단한 방법으로 기체 절연관에 있는 SF6함유물을 재평가할 수 있게 한다.
다음 실시예들은 본 발명을 그 범위를 축소시킴이 없이 더욱 상세하게 설명할 것이다.
사용된 막은, 중공 섬유형, 제조자: Aga-Gas, NitroprineTM형; 각 막 분리단계 당 3 개의 카트리지를 갖는 것이었다.
실시예 1
:
2 단계 방법
질소와 육플루오르화황을 혼합하여, 지하 케이블에 사용된 기체 혼합물에 상당하는 20 부피%의 SF6와 80 부피%의 N2를 갖는 기체 혼합물을 만들었다. 13 바(절대)의 압력으로 상승시킨 기체 혼합물을 기체 절연관에 해당하는 용기(B)로부터 관(1)을 통해 제 1 막 분리단계(2)에 도입했다(1 m3/h). 제 1 막 분리 단계를 떠난 투과물은 97 부피%의 질소와 3 부피%의 육플루오르화황을 포함했다.
제 1 막 분리 단계의 잔류물은 50 부피%의 질소와 50 부피%의 육플루오르화황을 함유했고, 이를 새로이 13 바로 가압한 후 관(3)을 통해 제 2 막 분리 단계(4)에 도입했다. 제 2 막 분리 단계로부터의 투과물은 81 부피%의 질소와 19 부피%의 육플루오르화황을 함유했다. 제 2 막 분리 단계로부터의 잔류물은 95 부피%의 육플루오르화황과 5 부피%의 질소를 함유했다. 그 잔류물을 관(5)을 통해저장 용기(V)에 도입했다. 이 물질은 대단히 순수하여 직접 SF6의 재사용에 이용될 수 있다.
실시예 2
:
3 막의 이용
도 1에 따라 이번에는 3개의 막으로 실시예 1을 반복했다.
처리할 기체 혼합물을 제 1 막 단계에 가하고, 그 잔류물을 제 2 막 단계에 공급했는데; 그 잔류물은 고농축 SF6(95 부피%이고, 나머지는 질소)이었고, 재사용에 이용될 수 있었다.
제 3 막 단계의 투과물은 단지 1 부피%의 SF6를 함유했다. 잔류물은 제 1 막 단계로의 원료 공급류에 혼입했다(관(7)을 통해).
Claims (11)
- 기체 혼합물을 SF6를 분리하기에 적합한 막과 접촉시키는 것을 포함하는, 기체 절연관으로부터의 SF6/N2-혼합물의 분리방법.
- 제 1 항에 있어서, 비대칭 유리질 유기막이 사용되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 2 항에 있어서, 두 개의 다공성 표면과 분리에 효과적인 층을 가진 중합체 매트릭스를 갖고 있는 막이 사용되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 1 항 내지 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 폴리에스테르, 폴리카보네이트 또는 폴리에스테르카보네이트를 기초로 한 막이 사용되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 3 항에 있어서, 폴리카보네이트를 기초로 한 중합체 매트릭스를 가진 막이 사용되고, 상기 폴리카보네이트는 비스페놀로부터 유도된 것이고, 그 폴리카보네이트 내에는 중합체 사슬 내 비스페놀-단위의 적어도 25%가 염소 또는 브롬으로 4-할로겐화 되어 있는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 5 내지 50 부피%의 SF6함량을 가진 SF6/N2-혼합물이 원료가 되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 둘 또는 그 이상의 막 분리 단계가 설치되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 7 항에 있어서, 3 막 분리 단계가 제공되는 것으로, 제 2 막 분리 단계로부터의 잔류물로서 높은 SF6-함량을 가진 혼합물을 얻기 위해 제 1 막 분리 단계의 잔류물을 제 2 막 분리 단계에 공급하고, 제 1 막 분리 단계의 투과물을 제 3 막 분리 단계에 도입하고, 제 2 막 분리 단계의 투과물과 제 3 막 분리 단계의 잔류물은 제 1 막 분리 단계의 공급 원료류 내에 환류 공급되고, 제 3 막 분리 단계의 투과물은 주위환경으로 방출될 수 있는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 기체 절연관의 사용 중에는 SF6및 N2로 된 절연 혼합물의 정제를 위해 이 방법을 사용하고, 또는 기체 절연관의 사용 종료 후에는 재사용의 목적을 위해 이 방법을 사용하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 기체 절연관, 막 분리 장치 및 기체 절연관과 막 분리 장치 사이의 하나 또는 둘 이상의 연결관을 포함하는 시스템.
- 제 10 항에 있어서, 가동성 막 분리 장치를 구비하는 시스템.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150122985A (ko) * | 2014-04-24 | 2015-11-03 | 한국과학기술연구원 | 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수장치 및 방법 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6921428B2 (en) | 2001-01-25 | 2005-07-26 | Ube Industries, Ltd. | Device and method for separating and collecting halide gas |
JP4089223B2 (ja) * | 2001-12-26 | 2008-05-28 | 宇部興産株式会社 | ハロゲン化合物ガスの分離回収装置および分離回収方法 |
SG131861A1 (en) | 2005-10-11 | 2007-05-28 | Millipore Corp | Methods and systems for integrity testing of porous materials |
CN104785113B (zh) | 2007-10-03 | 2017-06-23 | Emd密理博公司 | 堆叠板形成的过滤盒体 |
EP2058045A3 (en) * | 2007-11-02 | 2011-02-02 | Yoosung Co., Ltd. | Separation, purification and recovery method of SF6, HFCs and PFCs |
KR101249261B1 (ko) * | 2011-04-15 | 2013-04-01 | 한국과학기술연구원 | Sf6 분리회수장치 및 방법 |
KR101514801B1 (ko) * | 2013-06-25 | 2015-04-24 | (주)파인텍 | 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템 |
KR101487437B1 (ko) * | 2014-04-01 | 2015-02-03 | 지에스건설 주식회사 | 가스 분리시스템 |
CN104174249B (zh) * | 2014-08-13 | 2016-01-20 | 国家电网公司 | 一种六氟化硫和氮气混合气体分离净化处理装置净化处理混合气体的方法 |
KR20170079234A (ko) * | 2015-12-30 | 2017-07-10 | 상명대학교산학협력단 | 질산염을 포함하는 sf6 분리용 고분자 전해질 분리막 |
CN107433111A (zh) * | 2017-09-18 | 2017-12-05 | 国网安徽省电力公司电力科学研究院 | 一种混合绝缘气体快速回收系统及方法 |
CN108404613A (zh) * | 2018-01-09 | 2018-08-17 | 丁五行 | 混合气体的分离装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4264338A (en) * | 1977-11-02 | 1981-04-28 | Monsanto Company | Method for separating gases |
US4838904A (en) * | 1987-12-07 | 1989-06-13 | The Dow Chemical Company | Semi-permeable membranes with an internal discriminating region |
US5378263A (en) * | 1992-12-21 | 1995-01-03 | Praxair Technology, Inc. | High purity membrane nitrogen |
US5282969A (en) * | 1993-04-29 | 1994-02-01 | Permea, Inc. | High pressure feed membrane separation process |
US5482539A (en) * | 1993-09-22 | 1996-01-09 | Enerfex, Inc. | Multiple stage semi-permeable membrane process and apparatus for gas separation |
EP0682977A3 (en) * | 1994-05-20 | 2000-01-12 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Improved polymeric membrane |
US5785741A (en) * | 1995-07-17 | 1998-07-28 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges, Claude | Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases |
US5858065A (en) * | 1995-07-17 | 1999-01-12 | American Air Liquide | Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases |
US5759237A (en) * | 1996-06-14 | 1998-06-02 | L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et, L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Process and system for selective abatement of reactive gases and recovery of perfluorocompound gases |
US5730779A (en) * | 1996-10-31 | 1998-03-24 | Air Products And Chemicals, Inc. | Fluorochemical recovery and recycle using membranes |
US5814127A (en) * | 1996-12-23 | 1998-09-29 | American Air Liquide Inc. | Process for recovering CF4 and C2 F6 from a gas |
US5855647A (en) * | 1997-05-15 | 1999-01-05 | American Air Liquide, Inc. | Process for recovering SF6 from a gas |
JP3356965B2 (ja) * | 1997-06-20 | 2002-12-16 | 株式会社日立製作所 | Sf6ガス回収・精製処理装置及び方法 |
US5843208A (en) * | 1997-07-24 | 1998-12-01 | Alliedsignal Inc. | Process for recovering sulfur hexafluoride |
US5976222A (en) * | 1998-03-23 | 1999-11-02 | Air Products And Chemicals, Inc. | Recovery of perfluorinated compounds from the exhaust of semiconductor fabs using membrane and adsorption in series |
US6187077B1 (en) * | 1998-04-17 | 2001-02-13 | American Air Liquide Inc. | Separation of CF4 and C2F6 from a perfluorocompound mixture |
US6168649B1 (en) * | 1998-12-09 | 2001-01-02 | Mg Generon, Inc. | Membrane for separation of xenon from oxygen and nitrogen and method of using same |
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Cited By (1)
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