NO322228B1 - Fremgangsmate for utskillelse av SF<N>6</N> fra isolergasser i gassisolerte ledninger, og anvendelse av et slikt system. - Google Patents

Fremgangsmate for utskillelse av SF<N>6</N> fra isolergasser i gassisolerte ledninger, og anvendelse av et slikt system. Download PDF

Info

Publication number
NO322228B1
NO322228B1 NO20015627A NO20015627A NO322228B1 NO 322228 B1 NO322228 B1 NO 322228B1 NO 20015627 A NO20015627 A NO 20015627A NO 20015627 A NO20015627 A NO 20015627A NO 322228 B1 NO322228 B1 NO 322228B1
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
membrane
gas
stage
separation
membrane separation
Prior art date
Application number
NO20015627A
Other languages
English (en)
Other versions
NO20015627D0 (no
NO20015627L (no
Inventor
Heinz-Joachim Belt
Michael Pittroff
Thomas Schwarze
Original Assignee
Solvay Fluor & Derivate
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Solvay Fluor & Derivate filed Critical Solvay Fluor & Derivate
Publication of NO20015627D0 publication Critical patent/NO20015627D0/no
Publication of NO20015627L publication Critical patent/NO20015627L/no
Publication of NO322228B1 publication Critical patent/NO322228B1/no

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B17/00Sulfur; Compounds thereof
    • C01B17/45Compounds containing sulfur and halogen, with or without oxygen
    • C01B17/4507Compounds containing sulfur and halogen, with or without oxygen containing sulfur and halogen only
    • C01B17/4515Compounds containing sulfur and halogen, with or without oxygen containing sulfur and halogen only containing sulfur and fluorine only
    • C01B17/453Sulfur hexafluoride
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/22Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B21/00Nitrogen; Compounds thereof
    • C01B21/04Purification or separation of nitrogen
    • C01B21/0405Purification or separation processes
    • C01B21/0433Physical processing only
    • C01B21/0438Physical processing only by making use of membranes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B3/00Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties
    • H01B3/02Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances
    • H01B3/16Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances gases
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B2210/00Purification or separation of specific gases
    • C01B2210/0043Impurity removed
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P20/00Technologies relating to chemical industry
    • Y02P20/151Reduction of greenhouse gas [GHG] emissions, e.g. CO2

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Cable Accessories (AREA)
  • Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
  • Pipeline Systems (AREA)

Description

Denne oppfinnelse angår en fremgangsmåte for separasjon av blandinger som inneholder svovelheksafluorid (SF6) og nitrogen (N2), og som stammer fra gassisolerte ledninger ("GIL").
Blandinger av svovelheksafluorid og nitrogen anvendes som isolerende fyllgass for jordkabler, se tysk bruksmønster nr. 297 20 507.2. Vanligvis inneholder disse blandinger 5-50 vol% svovelheksafluorid, idet resten til 100 vol%, utgjøres av nitrogen.
Innenfor rammen av tilsyn av ledningene og tilfeller av ødeleggelse er det ønskelig med en separasjon av gassblandingen, spesielt med tanke på gjenanvendelse av det utskilte SF6. Det utvundne SF6 opptar da et meget lite volum, hvilket innebærer en fordel ved transport, bestemmelse av ledningstverrsnitt, osv.
I EP 0 853 970 og EP 0 754 487 beskrives en fremgangsmåte for separasjon av gassblandinger som faller inn under halvlederfremstilling. Slike gassblandinger kan inneholde perfluorforbindelser. Separasjonen av gassblandingen foretas på membraner.
I US patentskrift nr. 5 843 208 beskrives en fremgangsmåte for gjenvinning av SF6 fra gassblandinger ved bruk av membraner ved et trykk på maks. 6,2 bar.
Med den foreliggende oppfinnelse tilveiebringes en fremgangsmåte for separasjon av SF6/N2-blandinger under anvendelse av membraner egnet for utskillelse av SF6. Fremgangsmåten er kjennetegnet ved at man i en mobil membranseparasjonsanordning hvis membraner består av en polymermatriks på basis av polykarbonat avledet fra en bisfenol, i hvilket minst 25 % av bisfenolenhetene i polymerkjeden er tetrahalogenert med klor eller brom, separerer SF6/N2-blandinger fra gassisolerte ledninger med et SF6-innhold på 5-50 vol% ved et membraninngangstrykk på 10-13 bar.
Med oppfinnelsen tilveiebringes likeledes et system omfattende en gassisolert ledning, en membranseparasjonsanordning og én eller flere forbindelsesledninger mellom den gassisolerte ledning og membrangasseparasjonsanordningen, anvendbart som mobil membranseparasjonsanordning.
På figur 1 vises et flytdiagram for fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen.
Ved fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen foretas separasjon av SF6/N2-blandinger fra gassisolerte ledninger ved hjelp av membraner som muliggjør fraskillelse av svovelheksafluorid. Fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen kan for eksempel utføres under vedlikehold av gassisolerte høyspenningsledninger, i tilfeller av ødeleggelse, eller i tilfeller hvor det har vist seg at gassen i ledningen trenger å regenereres. Det fraskilte svovelheksafluorid kan tilbakeføres til den gassisolerte ledning. Alt etter hvilken konsentrasjon som ønskes, blir også nitrogen innført i ledningen. En annen mulighet for anvendelse av fremgangsmåten består at blandingen av SF6 og N2 (samt eventuelle forurensninger) som befinner seg i den gassisolerte ledning, opparbeides på tilsvarende måte som ved fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen, når bruken av den gassisolerte ledning skal opphøre og ledningen skal skrotes. Det inneholdte SF6 kan isoleres fra blandingen og anvendes på ny.
Innholdet av SF6 ligger i området fira 5 til 50 vol%. Fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen kan imidlertid også anvendes for separasjon av gassblandinger med et høyere SF6-innhold.
Det foretrekkes organiske, asymmetriske membraner. Som kjent finnes det gummielastiske membraner ("Rubbery-Membranes") som besørger separasjonen på basis . av permeatets oppløselighet. Andre membraner separerer på grunnlag av permeatets diffusjonsevne. Disse er ikke-gummielastiske og er snarere krystallinske membraner ("Glassy Membranes"). Disse sistnevnte membraner foretrekkes.
Membranene kan være bygget opp på kjent måte, for eksempel som bunter av hulfibermembraner. Membranene kan være fremstilt av kjente materialer. Meget velegnede er for eksempel polyamider, polykarbonater, polyestere, polyesterkarbonater, polysulfoner, polyetersulfoner, polyamider, polyfenylenoksider og polyolefiner. Fortrinnsvis inneholder polymermaterialet polyester, polykarbonater og polyesterkarbonater. Meget velegnede er polykarbonater som er avledet av en bisfenol, i hvilke minst 25 % av bisfenolenhetene i polymerkjeden er tetrahalogenert, idet halogenet er klor eller brom. Særlig foretrukne membraner har en polymermatriks som oppviser to porøse overflater og et sjikt som muliggjør utskillelse av svovelheksafluoridet fra de øvrige gassbestand-deler. Slike membraner er beskrevet i US patentskrift nr. 4 838 904 (EP-A-0 340 262). Dersom gassblandingen i tillegg inneholder forurensninger som for eksempel S02F2) S02, osv., kan det først foretas en rensing, som for eksempel vasking med vann eller en rensning med adsorpsjon. Hvert membrantrinn kan bestå av flere membranpatroner (anordnet i parallell).
Trykket på inntakssiden av membranen eller membranene er vanligvis høyere enn omgivelsenes trykk. Eksempelvis kan gassblandingen som skal separeres, tilføres med et trykk på inntil 13 bar. Fortrinnsvis er inngangstrykket 10-12 bar. Dersom det anvendes flere membraner, kan det anordnes en kompressor foran hver membran. Temperaturen kan med fordel være fra 10 °C til 40 °C.
Dersom det anvendes to membranseparasjonstrinn, foretrekkes følgende føring av gasstrømmen: blandingen som skal separeres - for eksempel en blanding med 20 vol% SFg og nitrogen fra gassisolerte høyspenningsledninger - tilføres til den første membran. Da membranen preferensielt lar nitrogen passere, fas et permeat med en stor nitrogenandel og en liten svovelheksafluoridandel. Permeatet slippes ut i atmosfæren. Retentatet fra den første membran - med en allerede høy SF6-konsentrasjon - føres inn i ytterligere en membran. Permeatet som fås fra denne andre membran, innføres i tilførselsstrømmen til den første membran.
Retentatet fra den andre membran utgjøres av svovelheksafluorid med en liten mengde nitrogen. Det kan etter komprimering med en kompressor straks gjeninnføres i den gassisolerte høyspenningsledning eller mellomlagres og anvendes på annet hold.
Antallet og anordningen av membranpatronene retter seg etter den ønskede renhetsgrad og etter hvorvidt det skal behandles en gass med høyt eller lavt SF6-innhold. Ved anvendelse av tre membrantrinn blir separasjonseffekten enda bedre. Fortrinnsvis ordnes de tre membraner på følgende måte: SF6/N2-gassblandingen tilføres som tilførselsstrøm til det første membrantrinn. Retentatet tilføres som tilførselsstrøm til et andre membrantrinn. Retentatet fra dette andre trinn utgjøres av høyanriket SF6 og kan anvendes på ny. Permeatet fra det første membrantrinn tilføres som tilførselsstrøm til det tredje membrantrinn. Permeatet fra dette tredje trinn utgjøres av N2 som er nesten fritt for SF(, og slippes ut i atmosfæren. Permeatet fra det andre membrantrinn og retentatet fra det tredje membrantrinn innføres i tilførselsstrømmen til det første membrantrinn.
Det er fastslått at allerede ett eller to membranseparasjonstrinn er tilstrekkelig til at det kan oppnås et tilstrekkelig anriket, renset svovelheksafluorid og en nitrogengass med en akseptabelt liten mengde svovelheksafluorid. Et etterfølgende adsorpsjonstrinn anses ikke påkrevet.
Fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen utmerker seg ved en god utskillelse av SF6/N2-blandingen fra jordkabler. Det rensede nitrogen, eller den rensede luft, kan uten betenkninger slippes ut i omgivelsene. Avgivelsen av SF6 til omgivelsene minskes sterkt. Det gjenvundne svovelheksafluorid kan umiddelbart innføres på ny i den gassisolerte høyspenningsledning. Det kan imidlertid også foretas andre operasjoner, for eksempel innblanding av nitrogen, for å oppnå den ønskede gassblanding.
Oppfinnelsen omfatter også et system omfattende en gassisolert, SF^/Nrfylt høyspenningsledning, et membranseparasjonsanlegg og forbindelsesledninger mellom den gassisolerte høyspenningsledning og membranseparasjonsanlegget. Membranseparasjonsanlegget omfatter ett, to, tre eller flere membranseparasjonstrinn med membraner som preferensielt slipper gjennom nitrogen. Med hensyn til antallet membrantrinn gjelder det som er sagt ovenfor. Foran det først membrantrinn og fortrinnsvis foran hvert av de øvrige er det anordnet en kompressor. Et foretrukket anlegg har minst to membranseparasjonstrinn. Det omfatter videre en forbindelsesledning for gassblandingen som skal separeres, som er forbundet med den gassisolerte høyspenningsledning og inntaket for det første membranseparasjonstrinn; en forbindelsesledning mellom det første og det andre membranseparasjonstrinn, som er beregnet for innføring av retentatet (anriket på SF6) fra det første membranseparasjonstrinn i det andre membranseparasjonstrinn; og en uttaksledning for retentatet fra det andre membranseparasjonstrinn, fra hvilket retentat med høyt SF6-innhold kan tas ut. Denne uttaksledning forbinder membranseparasjonsanlegget med den gassisolerte høyspenningsledning (forbindelsesledning for tilbakeføring av SF6) eller en tank for mellomlagring. Videre har det en tilbakeførings-ledning for innmating av permeatet fra det andre membrantrinn i tilførselsstrømmen til det første membrantrinn. Mellom den gassisolerte ledning og membranseparasjonsanlegget er det anordnet pumper (f.eks. vakuumpumper) og kompressorer for uttak og tilførsel av hhv. gassblanding og SF6. Eventuelt kan ytterligere behandlingsinnretninger være innsjaltet (kompressor, gassblander for innblanding av N2, osv.). Permeatet fra det første membrantrinn kan slippes ut i omgivelsene.
Et ytterligere, spesielt foretrukket system omfatter tre membrantrinn. Dette er hensiktsmessig anordnet som beskrevet ovenfor. Beholder B (symboliserer den gassisolerte ledning) inneholder en blanding av N2 og SF6- Gjennom ledningen 1 innføres blandingen i det første membrantrinn. Retentatet føres via ledning 3 inn i det annet membrantrinn 4. Retentatet, bestående av høyanriket SF6, fra membrantrinn 4 innføres via ledning 5 i forrådsbeholderen V (mellomtank). Permeatet fra det første membrantrinn 2 innføres i et tredje membrantrinn, hvis permeat kan slippes ut i omgivelsene (via ledning 10) og hvis retentat innføres via ledning 7 i tilførselsstrømmen til det første membrantrinn. Også permeatet fra det andre membrantrinn 4 innføres, via ledning 9, i tilførsels-strømmen til det første membrantrinn. Kompressorer foran membrantrinnene, sonder for prøveanalyse, strømningsmålere, osv. er utelatt for oversiktens skyld. Tallene som er angitt, refererer seg til eksempel 2. De angir volumforholdet N2/SF6 i de angjeldende ledninger.
Oppfinnelsen muliggjør på enkel måte en gjenvinning av SF6-innholdet i gassisolerte ledninger.
De følgende eksempler illustrerer oppfinnelsen.
De anvendte membraner var av hulfibertype. Fabrikant: Aga-Gas; type Nitroprine™; 3 patroner pr. membranseparasjonstrinn.
Eksempel 1 - Totrinns fremgangsmåte
Ved blanding av nitrogen og svovelheksafluorid ble det oppnådd en gassblanding med 20 vol% SF6 og 80 vol% N2 som svarer til en gassblanding benyttet i jordkabler.
Gassblandingen ble brakt til et trykk på 13 bar (abs.) og ble fra en beholder B, som svarte til den gassisolerte ledning, og ført via ledningen 1 til det første membranseparasjonstrinn 2. Permeatet som forlot det første membranseparasjonstrinn, inneholdt 97 vol% nitrogen og 3 vol% svovelheksafluorid.
Retentatet fra det første membranseparasjonstrinn inneholdt 50 vol% nitrogen og 50 vol% svovelheksafluorid og ble etter ny komprimering til 13 bar innført via ledning 3 i det annet membranseparasjonstrinn 4. Permeatet fra det annet membranseparasjonstrinn inneholdt 81 vol% nitrogen og 19 vol% svovelheksafluorid. Retentatet fra det andre membranseparasjonstrinn inneholdt 95 vol% svovelheksafluorid og 5 vol% nitrogen. Det ble via ledning 5 innført i en forrådsbeholder V. Dette produkt er så rent at det umiddelbart er egnet for videre anvendelse av det oppnådde SF6-
Eksempel 2 - Fremgangsmåte med tre membraner
Eksempel l ble gjentatt, denne gang med 3 membraner, i henhold til Fig. 1. Gassblandingen som skulle behandles, ble tilført til det første membrantrinn. Retentatet fra dette ble tilført til det andre membrantrinn, og retentatet fra dette var høyanriket SF6 (95 vol%; resten N2) og var egnet for ny anvendelse.
Permeatet fra det tredje membrantrinn inneholdt kun 1 vol% SF6. Retentatet ble blandet med tilførselsstrømmen til det første membrantrinn (via ledning 7).

Claims (5)

1. Fremgangsmåte for separasjon av SF6/N2-blandinger under anvendelse av membraner egnet for utskillelse av SF6, karakterisert ved at man i en mobil membranseparasjonsanordning hvis membraner (2,4,6) består av en polymermatriks på basis av polykarbonat avledet fra en bisfenol, i hvilket minst 25 % av bisfenolenhetene i polymerkjeden er tetrahalogenert med klor eller brom, separerer SF^/Ni-blandinger fra gassisolerte ledninger med et SF6-innhold på 5-50 vol% ved et membraninngangstrykk på 10-13 bar.
2. Fremgangsmåte ifølge krav 1, karakterisert ved at det anvendes to eller flere membranseparasjonstrinn.
3. Fremgangsmåte ifølge krav 2, karakterisert ved at det anvendes tre membranseparasjonstrinn (2,4,6) hvor retentatet fra det første membranseparasjonstrinn (2) innføres i det andre membranseparasjonstrinn (4), og retentatet (5) fra det andre membranseparasjonstrinn (4) utvinnes som en blanding med høyt SF6-innhold, og permeatet (8) fra det første membrantrinn (2) innføres i det tredje membrantrinn (6), og permeatet (9) fra det andre membranseparasjonstrinn (4) og retentatet (7) fra det tredje trinn (6) tilbakeføres til tilførsels-strømmen (1) til det første membrantrinn (2), og permeatet (10) fra det tredje trinn (6) slippes ut i omgivelsene.
4. Fremgangsmåte ifølge krav 1, karakterisert ved at den anvendes mens den gassisolerte ledning er i bruk, for rensing av isolergassblandingen bestående av SF6 og N2, eller etter endt bruk av den gassisolerte ledning, for gjenvinningsformål.
5. System omfattende en gassisolert ledning (B), en membranseparasjonsanordning (2,4, 6) og én eller flere forbindelsesledninger (1, 3, 7, 8, 9) mellom den gassisolerte ledning (B) og membrangasseparasjonsanordningen, anvendbart som mobil membranseparasjonsanordning.
NO20015627A 1999-05-20 2001-11-19 Fremgangsmate for utskillelse av SF<N>6</N> fra isolergasser i gassisolerte ledninger, og anvendelse av et slikt system. NO322228B1 (no)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19923155A DE19923155A1 (de) 1999-05-20 1999-05-20 SF¶6¶-Abtrennung aus Isoliergasen aus gasisolierten Leitungen
PCT/EP2000/000979 WO2000071232A1 (de) 1999-05-20 2000-02-08 Sf6-abtrennung aus isoliergasen aus gasisolierten leitungen

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NO20015627D0 NO20015627D0 (no) 2001-11-19
NO20015627L NO20015627L (no) 2001-11-19
NO322228B1 true NO322228B1 (no) 2006-08-28

Family

ID=7908626

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO20015627A NO322228B1 (no) 1999-05-20 2001-11-19 Fremgangsmate for utskillelse av SF<N>6</N> fra isolergasser i gassisolerte ledninger, og anvendelse av et slikt system.

Country Status (19)

Country Link
US (1) US6723153B2 (no)
EP (1) EP1181087B1 (no)
JP (1) JP2003500186A (no)
KR (1) KR100650379B1 (no)
AR (1) AR023375A1 (no)
AT (1) ATE240150T1 (no)
AU (1) AU769549B2 (no)
BR (1) BR0010754A (no)
CA (1) CA2374581C (no)
DE (2) DE19923155A1 (no)
ES (1) ES2193054T3 (no)
HU (1) HU225302B1 (no)
MX (1) MXPA01010386A (no)
MY (1) MY127820A (no)
NO (1) NO322228B1 (no)
PL (1) PL193463B1 (no)
SA (1) SA00210147B1 (no)
WO (1) WO2000071232A1 (no)
ZA (1) ZA200109268B (no)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE60231600D1 (de) * 2001-01-25 2009-04-30 Ube Industries Verfahren und anlage zur trennung und rückgewinnung von halogengas
JP4089223B2 (ja) * 2001-12-26 2008-05-28 宇部興産株式会社 ハロゲン化合物ガスの分離回収装置および分離回収方法
SG131861A1 (en) * 2005-10-11 2007-05-28 Millipore Corp Methods and systems for integrity testing of porous materials
JP4897085B2 (ja) 2007-10-03 2012-03-14 ミリポア・コーポレイション 積層プレート構成のろ過カートリッジ
EP2058045A3 (en) * 2007-11-02 2011-02-02 Yoosung Co., Ltd. Separation, purification and recovery method of SF6, HFCs and PFCs
KR101249261B1 (ko) * 2011-04-15 2013-04-01 한국과학기술연구원 Sf6 분리회수장치 및 방법
KR101514801B1 (ko) * 2013-06-25 2015-04-24 (주)파인텍 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템
KR101487437B1 (ko) * 2014-04-01 2015-02-03 지에스건설 주식회사 가스 분리시스템
KR101640040B1 (ko) * 2014-04-24 2016-07-15 한국과학기술연구원 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수장치 및 방법
CN104174249B (zh) * 2014-08-13 2016-01-20 国家电网公司 一种六氟化硫和氮气混合气体分离净化处理装置净化处理混合气体的方法
KR20170079234A (ko) * 2015-12-30 2017-07-10 상명대학교산학협력단 질산염을 포함하는 sf6 분리용 고분자 전해질 분리막
CN107433111A (zh) * 2017-09-18 2017-12-05 国网安徽省电力公司电力科学研究院 一种混合绝缘气体快速回收系统及方法
CN208406547U (zh) * 2018-01-09 2019-01-22 丁五行 混合气体的分离装置

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4264338A (en) * 1977-11-02 1981-04-28 Monsanto Company Method for separating gases
US4838904A (en) * 1987-12-07 1989-06-13 The Dow Chemical Company Semi-permeable membranes with an internal discriminating region
US5378263A (en) * 1992-12-21 1995-01-03 Praxair Technology, Inc. High purity membrane nitrogen
US5282969A (en) * 1993-04-29 1994-02-01 Permea, Inc. High pressure feed membrane separation process
US5482539A (en) * 1993-09-22 1996-01-09 Enerfex, Inc. Multiple stage semi-permeable membrane process and apparatus for gas separation
CA2149806A1 (en) * 1994-05-20 1995-11-21 William John Koros Polymeric membrane
US5785741A (en) * 1995-07-17 1998-07-28 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges, Claude Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases
US5858065A (en) * 1995-07-17 1999-01-12 American Air Liquide Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases
US5759237A (en) * 1996-06-14 1998-06-02 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et, L'exploitation Des Procedes Georges Claude Process and system for selective abatement of reactive gases and recovery of perfluorocompound gases
US5730779A (en) * 1996-10-31 1998-03-24 Air Products And Chemicals, Inc. Fluorochemical recovery and recycle using membranes
US5814127A (en) * 1996-12-23 1998-09-29 American Air Liquide Inc. Process for recovering CF4 and C2 F6 from a gas
US5855647A (en) * 1997-05-15 1999-01-05 American Air Liquide, Inc. Process for recovering SF6 from a gas
JP3356965B2 (ja) * 1997-06-20 2002-12-16 株式会社日立製作所 Sf6ガス回収・精製処理装置及び方法
US5843208A (en) * 1997-07-24 1998-12-01 Alliedsignal Inc. Process for recovering sulfur hexafluoride
US5976222A (en) * 1998-03-23 1999-11-02 Air Products And Chemicals, Inc. Recovery of perfluorinated compounds from the exhaust of semiconductor fabs using membrane and adsorption in series
US6187077B1 (en) * 1998-04-17 2001-02-13 American Air Liquide Inc. Separation of CF4 and C2F6 from a perfluorocompound mixture
US6168649B1 (en) * 1998-12-09 2001-01-02 Mg Generon, Inc. Membrane for separation of xenon from oxygen and nitrogen and method of using same

Also Published As

Publication number Publication date
US6723153B2 (en) 2004-04-20
CA2374581A1 (en) 2000-11-30
AR023375A1 (es) 2002-09-04
WO2000071232A1 (de) 2000-11-30
CA2374581C (en) 2009-04-14
PL193463B1 (pl) 2007-02-28
NO20015627D0 (no) 2001-11-19
MXPA01010386A (es) 2002-03-27
HU225302B1 (en) 2006-09-28
NO20015627L (no) 2001-11-19
BR0010754A (pt) 2002-02-26
JP2003500186A (ja) 2003-01-07
KR20020000168A (ko) 2002-01-04
MY127820A (en) 2006-12-29
ZA200109268B (en) 2003-02-26
US20020062734A1 (en) 2002-05-30
EP1181087B1 (de) 2003-05-14
SA00210147B1 (ar) 2006-08-02
ATE240150T1 (de) 2003-05-15
EP1181087A1 (de) 2002-02-27
HUP0201159A3 (en) 2006-04-28
AU769549B2 (en) 2004-01-29
AU3153500A (en) 2000-12-12
DE19923155A1 (de) 2000-11-23
HUP0201159A2 (hu) 2002-07-29
ES2193054T3 (es) 2003-11-01
PL352053A1 (en) 2003-07-28
DE50002187D1 (de) 2003-06-18
KR100650379B1 (ko) 2006-11-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NO322228B1 (no) Fremgangsmate for utskillelse av SF&lt;N&gt;6&lt;/N&gt; fra isolergasser i gassisolerte ledninger, og anvendelse av et slikt system.
AU680800B1 (en) Process for the dehydration of a gas
KR100266460B1 (ko) 퍼플루오로화합물 기체를 분리 및 회수하기 위한방법 및 시스템
US6030598A (en) Process for producing a gaseous product
JPH08312898A (ja) 容器内の保持ガス中に充填ガスを導入する方法及びその装置
NO152033B (no) Fremgangsmaate ved tilveiebringelse av en bruksgass for en kjemisk reaksjon og ved adskillelse av et gassformig reaksjonsprodukt
NO163317B (no) Fremgangsmaate for rensing av naturgass.
KR19980070555A (ko) 퍼플루오로 화합물 가스를 분리 및 회수하는 방법 및 그 시스템
US6551387B2 (en) Gas separation apparatus
NO317010B1 (no) Fremgangsmate og innretning for separasjon av SF&lt;N&gt;6&lt;/N&gt;-holdige gasser
KR20200016955A (ko) 가스 스트림으로부터의 헬륨 회수
CA3026501A1 (en) Process and plant for obtaining pure helium
AU733502B2 (en) Process for recovering olefins
US20210260521A1 (en) Process and plant for purifying crude synthesis gas
US20150360165A1 (en) Separation of biologically generated gas streams
CN104843652A (zh) 一种用膜分离法回收提取高纯度sf6气体的装置及方法
CA2547740C (en) Process for shifting sour gas portions within a natural gas network
CN216737597U (zh) 一种多级膜处理与变压吸附联合提纯氦气的装置
KR20210067589A (ko) Sf6 회수율을 향상시키기 위한 sf6 액화정제 시스템 및 이를 이용한 sf6 회수 방법
CN101511727A (zh) 包含氢和一氧化碳还至少包含二氧化碳和水蒸气的合成气的分离方法
US3630666A (en) Precontacting hydrogen sulfide containing gas streams with rich sulfinol
JP2000015039A (ja) 六弗化硫黄ガス回収再生装置
JP2019181383A (ja) ガス分離装置及びガス分離方法
US20050183573A1 (en) Method for separating gas mixtures
WO2023127485A1 (ja) 圧力変動吸着式ガス分離装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM1K Lapsed by not paying the annual fees