KR200198448Y1 - 종점검출모니터장치 - Google Patents

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Abstract

본 고안은 종점검출 모니터 장치에 관한 것으로, 종래의 기술에 있어서는 두 가지의 종점검출 방법을 개별적으로 사용할 때 종점검출 시스템의 노이즈로 인해 적합한 시기가 아닌 사전에 종점검출(EPD)이 형성되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로, 에칭개스 검출법과 부산물 검출법을 함께 사용하여 효과적으로 종점을 검출하여 모니터하는 장치를 제공함으로써, 개별적으로 사용했을 때에 발생하는 노이즈에 의한 종점검출 오류를 줄이는 효과가 있다.

Description

종점검출 모니터 장치{END-POINT-DETECTOR MONITOR APPARATUS}
본 고안은 종점검출 모니터 장치에 관한 것으로, 특히 에칭장비에 있어서 에칭개스(etchant) 검출법과 부산물(biproduct) 검출법을 함께 사용하여 효과적으로 종점(End-Point)을 검출하여 모니터하는 종점검출 모니터 장치에 관한 것이다.
도 1은 종래 에칭개스 검출법을 이용한 종점검출 모니터장치의 구성을 보인 블록도이고, 도 3은 종래 에칭개스 검출법을 보인 예시도로서, 이에 도시된 바와 같이 에칭개스(etching gas) 검출법은 에칭을 일으키는 개스가 발산하는 빛을 감지하여 종점을 검출하는 방법이다. 먼저 에칭 챔버(chamber) 내에서 웨이퍼(wafer) 상의 특정 필름(film)이 어떤 에칭 개스에 의해 에칭이 될 때 광센서(10)는 에칭 개스가 발산하는 빛의 파장 (λ1)을 감지한다.
그러나, 필름의 에칭이 진행되는 동안에는 에칭 개스가 모두 사용되어 광센서(10)는 감지를 하지 못하여, 모니터 상에는 어떤 파형도 나타나지 않는다(①영역 : 이때, 디스플레이 출력은 볼트(V)단위로 표시한다).
필름의 에칭이 끝나감에 따라 에칭 개스의 챔버 내 잔류량이 많아져 파장 (λ1)의 디스플레이 출력은 점차 커지며(②영역), 이것이 어떤 주어진 값에 이르면 종점검출(EPD)이 형성된다(③영역).
도 2는 종래 부산물 검출법을 이용한 종점검출 모니터장치의 구성을 보인 블록도이고, 도 4는 종래 부산물 검출법을 보인 예시도로서, 이에 도시된 바와 같이 부산물 검출법은 어떤 필름이 에칭될 때 이들의 부산물이 발산하는 빛의 파장 (λ2)을 광센서로 감지하여 종점검출(EPD)을 형성한다.
즉, 에칭 초기 필름의 부산물이 거의 없어 0V의 출력을 디스플레이하다가(①영역), 에칭이 진행되어 부산물이 많아지면 최대의 출력을 나타내고(②영역), 에칭이 완료되면 부산물이 없어져 이들이 발산하는 빛의 파장 (λ2)에 대한 출력이 제로('0')로 떨어지면서 종점검출(EPD)이 형성된다(③영역).
상기와 같은 종래의 기술에 있어서는 도 5에 도시된 바와 같이 종점검출 방법을 개별적으로 사용할 때 종점검출 시스템의 노이즈로 인해 적합한 시기가 아닌 사전에 종점검출(EPD)이 형성되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로, 에칭개스 검출법과 부산물 검출법을 함께 사용하여 효과적으로 종점을 검출하여 모니터하는 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
도 1은 종래 에칭개스 검출법을 이용한 종점검출 모니터장치의 구성을 보인 블록도.
도 2는 종래 부산물 검출법을 이용한 종점검출 모니터장치의 구성을 보인 블록도.
도 3은 종래 에칭개스 검출법을 보인 예시도.
도 4는 종래 부산물 검출법을 보인 예시도.
도 5는 종래 종점검출의 문제점을 보인 예시도.
도 6은 본 고안 종점검출 모니터 장치의 구성을 보인 블록도.
도 7은 본 고안 종점검출 모니터 장치를 적용한 예시도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10,11,20,21 : 광센서 12,22,23 : 광증폭기
13,24 : 앰프 14,25 : 마이크로컴퓨터
15,26 : 모니터 장치
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안 종점검출 모니터 장치의 구성은, 챔버내에서 에칭 개스가 발산하는 빛의 파장을 감지하여 전기적신호를 출력하는 제1 광센서와; 상기 챔버내에서 에칭에 따른 부산물이 발산하는 빛의 파장을 감지하여 전기적신호를 출력하는 제2 광센서와; 상기 제1, 제2 광센서에서 출력한 신호를 증폭하는 제1, 제2 광증폭기와; 상기 제1, 제2 광증폭기에서 출력한 신호를 받아들여 두신호의 차신호를 증폭하여 출력하는 앰프와; 상기 앰프의 출력신호를 입력받아 상기 차신호가 제로로되는 시점에서 종점검출 신호를 출력하는 마이크로컴퓨터와; 상기 마이크로컴퓨터로부터 받은 종점검출 신호를 화면에 표시하는 모니터장치로 구성함을 특징으로 한다.
이하, 본 고안에 따른 일실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과같다.
도 6는 본 고안 종점검출 모니터 장치의 구성을 보인 블록도로서, 이에 도시한 바와 같이 챔버 내의 에칭 개스가 발산하는 빛의 파장을 감지하여 전기적신호를 출력하는 제1 광센서(20)와; 상기 챔버내의 에칭에 따른 부산물이 발산하는 빛의 파장을 감지하여 전기적신호를 출력하는 제2 광센서(21)와; 상기 제1, 제2 광센서(20, 21)에서 출력한 신호를 증폭하는 제1, 제2 광증폭기(22, 23)와; 상기 제1, 제2 광증폭기(22, 23)에서 출력한 신호를 받아들여 두신호의 차신호를 증폭하여 출력하는 앰프(24)와; 상기 앰프(24)의 출력신호를 입력받아 상기 차신호가 제로가 되는 시점에서 종점검출 신호를 출력하는 마이크로컴퓨터(25)와; 상기 마이크로컴퓨터(25)로부터 받은 종점검출 신호를 화면에 표시하는 모니터장치(26)로 구성한다.
이와 같이 구성한 본 고안에 따른 일실시예의 동작 과정을 도 7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 7은 본 고안 종점 검출 모니터 장치를 적용한 예시도로서, 이에 도시한 바와 같이 챔버(chamber) 내에 에칭개스를 검출하는 제1 광센서(20)와 에칭에 따른 부산물을 검출하는 제2 광센서(21)를 설치하고, 상기 제1 광센서(20) 및 제2 광센서(21)에서 검출한 빛의 파장 (λ1)과 파장 (λ2)은 각각 V1과 V2의 전압으로 출력하며, 이를 제1, 제2 광증폭기(22, 23)에서 1차 증폭되고, 앰프(24)를 통해 상기 V1과 V2의 차 전압이 증폭되어 마이크로컴퓨터(25)로 입력되며, 이 마이크로컴퓨터(25)에서 입력된 차전압의 크기가 제로로 되는 시점에서 종점검출 신호를 모니터 장치(26)로 보내고, 모니터 장치(26)는 상기 마이크로컴퓨터(25)로부터 입력된 종점검출 신호에 맞는 전압의 그래프를 화면에 나타낸다.
초기에는 먼저 모니터 장치(26)에 나타나는 V1과 V2전압의 파형을 V1이 V2보다 높은 전압레벨로 나타나게 하고, 각 파형의 크기를 조절하여 어느 일정지점(V1- V2= 0)에서 만나게 하여 이를 종점(End-Point)의 위치로 설정한 후, 실제 제1, 제2 광센서(20, 21)에서 출력되는 V1- V2를 모니터하여 V1- V2= 0 인 위치에서 종점(End-Point)이 형성되게 한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 고안 종점검출 모니터 장치는 에칭개스 검출법과 부산물 검출법을 동시에 사용함으로써, 개별적으로 사용했을 때에 발생하는 노이즈에 의한 종점검출 오류를 줄이는 효과가 있다.

Claims (1)

  1. 에칭 개스가 발산하는 빛의 파장을 감지하여 전기적신호를 출력하는 제1 광센서와; 초기출력레벨이 상기 제1광센서보다 낮게 설정되고, 부산물이 발산하는 빛의 파장을 감지하여 전기적신호를 출력하는 제2 광센서와; 상기 제1, 제2 광센서에서 출력한 신호를 증폭하는 제1, 제2 광증폭기와; 상기 제1, 제2 광증폭기에서 출력한 신호를 받아들여 두신호의 차신호를 증폭하여 출력하는 앰프와; 상기 앰프의 출력신호를 입력받아 상기 차신호가 제로로되는 시점에서 종점검출 신호를 출력하는 마이크로컴퓨터와; 상기 마이크로컴퓨터로부터 받은 종점검출신호를 화면에 표시하는 모니터장치로 구성하여 된 것을 특징으로 하는 종점검출 모니터 장치.
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