KR200191295Y1 - 메가 헬스 초음파 발생장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 출력레벨표시수단에서 A/C전원전압의 출력레벨을 표시하며, 이때 삼각파 발생수단에서 삼각파를 전압제어 발진기에 출력하며 전압제어 발진기에서는 삼각파를 받아서 전압을 제어하기 위하여 발진해서 펄스폭 변조수단에 출력하며, 펄스폭 변조수단에서는 상기 발진신호를 받아서 펄스폭을 변조하여 발진주파수 표시수단에 출력하며, 발진주파수 표시수단에서는 펄스폭이 변조된 초음파신호를 받아 분주 및 카운트해서 800Khz 내지 3Mhz대의 발진주파수를 표시하고, 전력증폭수단에서는 A/C전원수단에서 출력되는 A/C전원을 받음과 동시에, 상기 펄스폭 변조수단에서 출력되는 펄스폭이 변조된 변조신호를 받아서 전력증폭해서 트랜스듀셔에 출력하며, 트랜스듀셔에 출력되는 메가 헬스대의 초음파신호는 오동작방지수단에 의해 전압 및 전류를 검출하여 오동작 방지수단의 제2 마이크로 프로세서에 미리 설정되어 있는 값보다 크거나 작을 경우 메가 헬스대의 초음파신호가 트랜스듀셔에 인가되지 않도록 회로를 차단하고, 오동작을 방지하기 위하여 경보신호 출력수단에서 경보를 출력하도록 구성되어 있으므로, 피세척물의 표면에 부착된 먼지를 정밀하게 세척할 수 있도록 메가 주파수대의 초음파를 출력할 수 있다.

Description

메가 헬스 초음파 발생장치{MEGA Hz ULTRASONIC GENERATOR}

본 고안은 초음파 세정기에 관한 것으로써, 특히 반도체 제조공정에 사용되는 웨이퍼에는 흠집을 발생시키지 않고 웨이퍼에 부착되어 있는 미세한 먼지를 청결하게 완전히 제거할 수 있도록 메가 헬스대의 초음파를 출력할 수 있는 메가 헬스 초음파 발생장치에 관한 것이다.

일반적으로 종래의 초음파 세정기는 한국 등록실용신안공보의 등록번호 실137644호에 개시되어 있다.

동 한국 실용신안공보에 개시되어 있는 초음파 세정기는 도 1에 도시한 바와같이 외부조건과 여러 세정환경의 변화에 대해 진동자의 진동주파수와 발진부의 발진주파수를 일치시켜 적절한 초음파 출력을 발생하여 세정성능을 향상시키기 위해서 상용전원(110~110V)를 직류전압을 발생시키는 정류회로부(11)와, 상기 정류회로부(11)의 직류전압을 전원으로 하여 고주파 출력하는 발진회로부(12)와, 상기 발진회로부(12)에서 발진하는 발진고주파의 진폭이 충분히 높아지도록 증폭하는 증폭회로부(13)와, 상기 증폭회로부(13)의 높은 진폭의 발진주파수에 의해서 초음파 진동주파수를 출력하는 송신진동자(14)와, 상기 송신진동자(14)에서 발생한 진동 주파수가 피세정물을 진동한 뒤에 발생하는 미세한 초음파 진동을 감지하는 수신진동자(15)와, 상기 수신진동자(15)에서 감지된 미세한 초음파 진동신호를 증폭하는 수신증폭회로부(16)와, 상기 수신증폭회로부(16)의 아날로그신호를 디지털 신호로 변환하는 A/D변환부(17)와, 상기 A/D변환부(17)의 디지탈 신호와 바로 전단계의 디지털 신호를 비교하여 오차를 검출하는 비교부(18)와, 상기 비교부(18)에서 검출된 오차신호에 의해서 바로 전단계의 송신 주파수와 일치되거나 이상이 되도록 상기 발진회로부(12)에 주파수 조절신호를 출력하는 조절부(19)로 구성되어 있다.

그런데, 이와 같이 구성된 종래의 초음파 세정기의 진동주파수 제어장치는 A/D변환부(17)의 디지탈 신호와 바로 전단계의 디지털 신호를 비교부(18)에서 비교하여 오차를 검출하고, 이 검출된 오차에 따른 조절부(19)에서 상기 발진회로부(12)에 주파수 조절신호를 출력하여 바로 전단계의 송신 주파수와 일치되거나 또는 그 이상이 되도록 제어할 수는 있으나, 메가 헬즈대의 초음파를 정밀하게 발진할 수 없을 뿐만 아니라, 펄스폭을 변조시킬 수 없으므로, 식기 세척기 등에는 적용할 수 있으나, 정밀을 요하는 반도체 제조용 웨이퍼의 초음파 세척기에는 적용할 수 없다는 등의 여러 가지 문제점이 있었다.

본 고안은 상기 여러 가지 문제점을 감안해서 이루어진 것으로써, 본 고안의 목적은 피세척물의 표면에 부착된 먼지를 정밀하게 세척할 수 있도록 메가 주파수대의 초음파를 출력하는 메가 헬스 초음파 발생장치를 제공하는데 있다.

본 고안의 다른 목적은 피세척물의 표면에 부착된 미세 먼지를 용이하게 제거할 수 있는 메가 헬스 초음파 발생장치를 제공하는데 있다.

본 고안의 또 다른 목적은 구조가 간단하고, 제조 코스트를 저감시킬 수 있는 메가 헬스 초음파 발생장치를 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 A/C전원수단에서 출력되는 A/C전원전압의 출력레벨을 표시하는 출력레벨표시수단과, 삼각파를 발생하는 삼각파 발생수단과, 상기 삼각파 발생수단에서 출력되는 삼각파를 받아서 전압을 제어하도록 발진하는 전압제어 발진기와, 자동화 라인에 설치된 컴퓨터에서 출력되는 로우레벨(LOW LEVEL)의 리모트 작동신호를 받음과 동시에, 상기 전압제어 발진기에서 출력되는 발진신호를 받아서 펄스폭을 변조하는 펄스폭 변조수단과, 상기 펄스폭 변조수단에서 변조된 펄스폭을 분주하여 카운트해서 800Khz 내지 3Mhz대의 발진주파수를 표시하는 발진주파수 표시수단과, 상기 A/C전원수단에서 출력되는 A/C전원을 받음과 동시에, 상기 펄스폭 변조수단에서 출력되는 펄스폭이 변조된 변조신호를 받아서 트랜스듀서를 진동시키도록 전력증폭하는 전력증폭수단과, 오동작을 방지하도록 자동라인에 설치된 컴퓨터에서 출력되는 로우레벨(LOW LEVEL)의 리모트 작동신호를 받음과 동시에, 상기 전력증폭수단에서 트랜스듀서에 인가되는 전력증폭된 펄스폭 변조신호를 받아서 전압 및 전류를 검출하는 오동작방지수단과, 상기 전력증폭수단에서 전력증폭된 펄스폭변조신호를 받아서 미리 설정되어 있는 전압레벨 및 전류레벨이 아닐 경우에 상기 오동작방지수단에서 출력되는 경보신호를 받아서 경보를 발하는 경보신호출력수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

도 1은 종래의 초음파 세정기의 진동주파수 자동제어장치의 블록도,

도 2는 본 고안의 일실시예에 의한 메가 헬스 초음파 발생장치의 블록도,

도 3은 본 고안의 일실시예에 의한 메가 헬스 초음파 발생장치에 적용되는 출력레벨 표시회로의 상세회로도,

도 4는 본 고안의 일실시예에 의한 메가 헬스 초음파 발생장치에 적용되는 펄스폭 변조수단, 삼각파 발생수단 및 발진주파수 표시수단의 상세회로도,

도 5는 본 고안의 일실시예에 의한 메가 헬스 초음파 발생장치에 적용되는 펄스폭 변조수단의 구동부 및 오동작방지수단의 상세회로도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100:A/C전원수단 110:정전압수단

120:출력레벨 표시수단 121:제1 마이크로 프로세서

130:삼각파 발생수단 131:삼각파 발생기

123:스레숄드레벨 확장부 124:비교기

140:전압제어 발진기 150:펄스폭 변조수단

151:제1 아날로그 스위치 152:제1 2분주기

153:제2 2분주기 154:제1인버터

155:제2 인버터 160:발진주파수 표시수단

161:제1 10분주기 162:제2 10분주기

163:주파수 카운터 164:4디지트 7세그멘트

170:전력증폭수단 171:제1 충방전회로

172:제2 충방전회로 173:임피던스 매칭회로

180:오동작 방지수단 181:제1 마이크로 프로세서

182:전전압회로 183:서미스터

184:전압검출기 185:전류검출기

186:오동작 방지부 190:경보신호 출력수단

200:트랜스듀서

이하, 본 고안의 일실시예에 의한 메가 헬스 초음파 발생장치에 대하여 첨부도면을 참조하면서 상세히 설명한다.

도 3은 본 고안의 일실시예에 의한 메가 헬스 초음파 발생장치에 적용되는 출력레벨 표시회로의 상세회로도이고, 도 4는 본 고안의 일실시예에 의한 메가 헬스 초음파 발생장치에 적용되는 펄스폭 변조수단 및 발진주파수 표시수단의 상세회로도이고, 도 5는 본 고안의 일실시예에 의한 메가 헬스 초음파 발생장치에 적용되는 펄스폭 변조수단의 구동부 및 오동작방지수단의 상세회로도이다.

도 3 내지 도 5에 도시한 바와 같이 본 고안의 일실시예에 의한 메가 헬스 초음파 발생장치는 A/C전원을 공급하는 A/C전원수단(100)과, 상기 A/C전원수단(100)에서 출력되는 A/C전원을 받아서 각 구성요소에 정전압을 인가하는 정전압수단(110)과, 상기 A/C전원수단(100)에서 출력되는 A/C전원전압의 출력레벨을 표시하는 출력레벨 표시수단(120)을 구비하고 있다.

또한, 본 고안은 삼각파 발생수단(130)에서 출력되는 삼각파를 받아서 전압을 제어하도록 발진해서 펄스폭 변조수단(150)에 출력하는 전압제어 발진기(140)가 펄스폭 변조수단(150)과 삼각파 발생수단(130)사이에 접속되어 있다.

상기 펄스폭 변조수단(150)의 일측 출력단에는 상기 펄스폭 변조수단(150)에서 변조된 펄스폭을 분주하여 카운트해서 800Khz 내지 3Mhz대의 발진주파수를 표시하는 발진주파수 표시수단(160)이 접속되어 있고, 다른쪽 출력단에는 상기 A/C전원수단(100)에서 출력되는 A/C전원을 받음과 동시에, 상기 펄스폭 변조수단(150)에서 출력되는 펄스폭이 변조된 변조신호를 받아서 트랜스듀서(200)를 진동시키도록 전력증폭하는 전력증폭수단(170)이 접속되어 있다.

상기 전력증폭수단(170)의 출력단에는 진동자로써 작용하는 트랜스듀서(200)가 접속되어 있고, 본 고안의 메가 헬스 초음파 발생장치의 오동작을 방지하도록 상기 전력증폭수단(170)과 트랜스듀서(200)사이에는 자동라인에 설치된 컴퓨터에서 출력되는 로우레벨(LOW LEVEL)의 리모트 작동신호를 받음과 동시에, 상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀서(200)에 출력되는 펄스폭이 변조되고 전력이 증폭된 초음파신호를 받아서 전압 및 전류를 검출해서 제2 마이크로 프로세서(181)에 미리 설정된 전압값 및 전류값보다 크거나 작을 경우에 상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀서(200)에 메가 헬스 초음파가 출력되지 않도록 회로를 차단하는 오동작방지수단(180)이 접속되어 있다.

상기 오동작방지수단(180)의 동작시에는 본 고안의 메가 헬스 초음파 발생장치의 오동작을 경보하는 경보신호 출력수단(190)이 상기 오동작방지수단(180)에 접속되어 있다.

상기 출력레벨 표시수단(120)은 도 3에 상세히 도시한 바와 같이 출력레벨의 표시동작을 제어하는 제1 마이크로 프로세서(121)와, 상기 제1 마이크로 프로세서(121)에 기준 동작전원을 인가하는 메인 스위치(122)와, 상기 메인 스위치(122)의 스위칭 온시에 상기 제1 마이크로 프로세서(121)에 기준전압을 인가하는 저항(R17)과, 상기 메인 스위치(122)의 스위칭 온시에 발생되는 노이즈를 필터링하는 캐패시터(C5)와, 도시하지 않은 자동화라인에 설치된 컴퓨터에서 출력되는 로우레벨(LOW LEVEL)의 리모트 작동신호를 받아서 스레숄드레벨을 확장하는 스레숄드레벨 확장부(123)와, 상기 전원수단(100) 및 초음파검출신호를 받아서 전원에 포함되어 있는 노이즈를 제거하는 전해콘덴서(C6)와, 상기 전해콘덴서(C6)에서 노이즈가 제거된 전력의 레벨을 조정하는 전력레벨 조정저항(VR2)과, 상기 전력레벨 조정저항(VR2)에 의해 레벨이 조정된 전력에 포함되어 있는 노이즈를 제거하는 캐패시터(C7)와, 상기 제1 마이크로 프로세서(121)에서 출력되는 디지털신호를 아날로그 신호로 변환하는 저항(R18 - R21)과, 상기 캐패시터(C7)에서 노이즈가 제거된 전력을 비반전단자에서 받음과 동시에, 상기 저항(R18 - R21)에서 변환된 아날로그신호에 포함되어 있는 무선주파수를 제2 전해콘덴서(C8)에서 감지하여 반전단자에서 받아 비교하는 비교기(124)와, 상기 제1 마이크로 프로세서(121)에서 출력되는 제어신호에 의해 파워 온을 표시하는 제1 발광다이오드(LED1)와, 100W의 출력 전력을 표시하는 제2 발광다이오드(LED2)와, 200W의 출력 전력을 표시하는 제3 발광다이오드(LED3)와, 300W의 출력 전력을 표시하는 제4 발광다이오드(LED4)와, 400W의 출력 전력을 표시하는 제5 발광다이오드(LED5)와, 500W의 출력 전력을 표시하는 제6 발광다이오드(LED6)와, 600W의 출력 전력을 표시하는 제7 발광다이오드(LED7)와, 700W의 출력 전력을 표시하는 제8 발광다이오드(LED8)와, 800W의 출력 전력을 표시하는 제9 발광다이오드(LED9)와, 900W의 출력 전력을 표시하는 제10 발광다이오드(LED10)와, 900W이상의 출력 전력을 표시하는 제11 발광다이오드(LED11)로 구성되어 있다.

상기 스레숄드레벨 확장부(123)는 로우 레벨의 리모트 신호에 포함되어 있는 노이즈를 필터링하는 저항(R13)과, 상기 저항(R13)을 통해 역전류가 인가되는 것을 방지하는 역전류방지 다이오드(D1)와, 풀업저항(R14)과, 상기 로우레벨의 리모트신호의 스레숄드값을 확장하는 저항(R15,R16)으로 구성되어 있다.

상기 삼각파 발생수단(130)은 VDD전압에 의한 리셋회로로 스위칭 온되는 스위칭 트랜지스터(Q1)와, 상기 스위칭 트랜지스터(Q1)의 바이어스저항(R10,R11)에 인가되는 VDD전압이 일정레벨(여기에서 3.6Vdc)이상이 인가될 경우에 접지로 바이패스하는 제너 다이오드(ZD)와, 상기 스위칭 트랜지스터(Q1)의 콜렉터단자에 접속되며 타측이 접지된 저항(R12)과, 상기 스위칭 트랜지스터(Q1)의 스위칭 온시에 삼각파를 발생하는 삼각파 발생기(131)와, 상기 삼각파 발생기(131)에서 출력되는 디지털신호를 아날로그 신호로 변환하여 상기 전압제어발진기(140)에 출력하는 저항(R1 내지 R8)으로 구성되어 있다.

상기 펄스폭 변조수단(150)은 자동화 라인에 설치된 컴퓨터에서 출력되는 로우레벨(LOW LEVEL)의 리모트 작동신호를 받음과 동시에, 상기 전압제어 발진기(140)에서 출력되는 발진신호를 받아서 펄스폭을 변조하도록 도시하지 않은 자동라인에 설치된 컴퓨터에서 출력되는 로우레벨(LOW LEVEL)의 리모트 작동신호를 제1 아날로그 스위치(141)받음과 동시에, 상기 전압제어 발진기(140)에서 출력되는 발진신호를 받아서 펄스폭을 변조하는 것으로서,상기 펄스폭 변조수단(150)은 도 4에 상세히 도시한 바와 같이 로우 레벨의 리모트신호를 받고 또한 상기 삼각파 발생수단(131)으로부터 삼각파를 받은 전압제어 발진기(140)에서 출력되는 서로 다른 레벨의 신호를 받아서 하이레벨의 신호를 출력하는 제1 배타적 논리합회로(Exclusive-OR1, 이하 EX-OR1이라 한다)와, 상기 제1 배타적 논리합회로(EX-OR1) 및 정전압수단(110)으로부터 정전압을 받아서 배타적 논리합하여 반전시키는 제2 배타적 논리합회로(EX-OR2)와, 상기 제2 배타적 논리합회로(EX-OR2)의 출력단과 제1 배타적 논리합회로(EX-OR1)의 출력단사이에 접속되어 제1 배타적 논리합회로(EX-OR1)의 출력이 로우 레벨일 경우에 스위칭 온되는 제2 아날로그 스위치(151)와, 상기 제2 배타적 논리합회로(EX-OR2)의 출력에 포함되는 노이즈를 제거하는 캐패시터(C1)와, 상기 아날로그 스위치(151)의 가동단자측에 접속되어 펄스폭을 조정하는 볼륨(VR1)과, 상기 제2 배타적 논리합회로(EX-OR2)의 출력을 반전시키는 제3 배타적 논리합회로(EX-OR3)와, 상기 제3 배타적 논리합회로(EX-OR3)에서 출력되는 하이레벨의 신호를 받음과 동시에, 상기 정전압수단(110)으로부터 Vcc전압을 받아서 상기 제3 배타적 논리합회로(EX-OR3)의 출력신호를 반전시키는 제1 낸드게이트(NAND1)와, 상기 제1 낸드게이트(NAND1)의 출력신호를 받음과 동시에, 상기 정전압수단(110)으로부터 Vcc전압을 받아서 상기 제1 낸드게이트(NAND1)의 신호를 반전시키는 제2 낸드게이트(NAND2)와, 상기 제1 낸드게이트(NAND1)의 출력신호를 받아서 각각 2분주하는 제1 및 제2 2분주기(152,153)와, 상기 제2 낸드게이트(NAND2)의 출력신호를 받음과 동시에, 상기 제1 2분주기(152)의 ??단자의 출력을 받아서 부정 논리곱하는 제3 낸드게이트(NAND3)와, 상기 제3 낸드게이트(NAND3)의 출력을 반전하여 전력증폭수단(170)의 제1 스위칭 트랜지스터(Q2)의 바이어스저항(R22)으로 출력하는 제1 인버터(154)와, 상기 제2 낸드게이트(NAND2)의 출력신호를 받음과 동시에, 상기 제1 2분주기(152)의 ??단자의 출력을 받아서 부정 논리곱하는 제4 낸드게이트(NAND4)와, 상기 제4 낸드게이트(NAND4)의 출력을 반전하여 전력증폭수단(170)의 제2 스위칭 트랜지스터(Q3)의 바이어스저항(R23)으로 출력하는 제2 인버터(155)로 구성되어 있다.

상기 발진주파수 표시수단(160)은 상기 제2 2분주기(153)에서 출력되는 신호를 받아서 10분주하는 제1 10분주기(161)와, 상기 제1 10분주기(161)에서 출력되는 10분주신호를 받아서 다시 10분주하는 제2 10분주기(162)와, 상기 제2 10분주기(162)에서 10분주된 신호를 받아서 주파수를 카운트하는 주파수 카운터(163)와, 상기 주파수 카운터(163)에서 출력되는 신호를 받아서 발진주파수를 표시하는 4디지트 4디지트 7세그멘트(164)로 구성되어 있다.

상기 전력증폭수단(170)은 펄스폭 변조수단(150)의 인버터(154,155)의 출력단자(S,T)에서 출력되는 펄스폭이 변조된 신호를 바이어스저항(R22,R23)을 통해 받아서 교호로 스위칭 온되는 제1 및 제2 스위칭 트랜지스터(Q2,Q3)와, 상기 스위칭 트랜지스터(Q2,Q3)의 스위칭 온시에 인가되는 직류전압(예를들면, 12Vdc)을 받아서 승압하는 드라이버 트랜스(T1)와, 상기 드라이버 트랜스(T1)의 2차측 코일(L2,L2')에 유기된 증폭된 초음파신호를 바이어스저항(R24,R25)(R26,R27)을 통해 인가되는 바이어스전압에 의해 스위칭 온되는 제1 및 제2 전계효과트랜지스터(FET1,FET2)와, 상기 제1 및 제2 전계효과트랜지스터(FET1,FET2)에서 출력되는 증폭된 초음파를 받아서 메가 헬스대의 AC성분인 초음파신호만을 다시 승압하는 파워 트랜스포머(T2)와, 상기 제1 및 제2 전계효과트랜지스터(FET1,FET2)에서 출력되는 증폭된 초음파를 받아서 충ㆍ방전함과 동시에, DC전압을 출력하는 콘덴서(C10)(C11) 및 저항(R28)(R29)으로 구성된 제1 및 제2 충ㆍ방전회로(171,172)와, 상기 파워 트랜스포머(T2)에서 출력되는 메가 헬스대의 AC성분의 초음파를 트랜스듀셔(200)에 매칭시키는 임피던스 매칭회로(173)로 구성되어 있다.

상기 오동작방지수단(180)은 동작을 제어하는 제2 마이크로 프로세서(181)와, 상기 전력증폭수단(170)의 드라이버 트랜스(T1)의 1차 코일(L1,L1')에 걸리는 직류전압(예를 들면12Vdc)을 받아서 정전압을 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 인가하는 정전압회로(182)와, 상기 정전압회로(182)에서 출력되는 정전압을 저항(R33)을 통해 받아서 노이즈를 제거하는 캐패시터(C12)와, 상기 전력증폭수단(170)의 제1 및 제2 전계효과 트랜지스터(FET1,FET2)에서 방열되는 온도를 검출해서 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 출력하는 서미스터(183)와, 상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀셔(200)에 출력되는 메가 헬스(Hz)대의 초음파 전압을 검출해서 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 출력하는 전압검출부(184)와, 상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀셔(200)에 인가되는 초음파 전류를 검출해서 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 출력하는 전류검출부(185)와, 상기 서미스터(183)에 의해 검출된 온도가 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 미리 설정된 온도보다 높거나, 전압검출부(184) 및 전류검출부(185)에서 각각 검출된 전압 및 전류가 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 미리 설정된 전류 및 전압보다 높거나 낮을 경우에 상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀셔(200)에 출력되는 메가 헬스(Hz)대의 초음파를 차단하는 오동작방지부(186)로 구성되어 있다.

상기 오동작방지부(186)는 제2 마이크로 프로세서(181)에 출력되는 제어신호를 바이어스저항(34)을 통해서 받아 스위칭 온되는 스위칭 트랜지스터(Q5)와, 상기 스위칭 트랜지스터(Q5)의 온시에 상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀셔(200)에 출력되는 메가 헬스(Hz)대의 초음파를 차단하는 릴레이(RY)로 구성되어 있다.

상기 경보신호 출력수단(190)은 트랜스듀셔(200)의 단락시에 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에서 출력되는 경보신호를 저항(R30)을 통해 받아서 발광되는 제1 경보용 발광 다이오드(LED12)와, 상기 트랜스듀셔(200)의 오픈시에 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에서 출력되는 경보신호를 저항(R31)을 통해 받아서 발광되는 제2 경보용 발광 다이오드(LED13)와, 상기 펄스폭 변조수단(150)에서 발진되지 않을 경우에 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에서 출력되는 경보신호를 저항(R32)을 통해 받아서 경보하는 제3 경보용 발광 다이오드(LED14)와, 상기 제1 내지 제3 경보용 발광 다이오드(LED12 - LED13)의 경보시에 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에서 출력되는 경보신호를 저항(R33)을 통해 받아 스위칭 온되는 스위칭 트랜지스터(Q4) 및 상기 스위칭 트랜지스터(Q4)의 온시에 경보음신호를 출력하는 스피커(191)로 구성되어 있다.

다음에, 이와 같이 구성된 본 고안의 일실시예에 따른 메가 헬스 초음파 발생장치의 작용 및 효과에 대하여 설명한다.

상기 A/C전원수단(100)으로 부터 A/C전원을 받아 정전압수단(110)에서 정전압을 각 구성요소에 인가하고 또한 메인 스위치(210)가 스위칭 온됨과 동시에, 도시하지 않은 자동화 라인에 설치된 컴퓨터에서 출력되는 로우레벨(LOW LEVEL)의 리모트 작동신호가 전원수단(100), 출력레벨표시수단(120), 펄스폭 변조수단(150), 전력증폭수단(170) 및 오동작 방지수단(180)에 인가된다.

이때, 출력레벨표시수단(120)에서는 정전압수단(110)에서 출력되는 A/C전원전압의 출력레벨을 표시하며, 삼각파 발생수단(130)에서 삼각파를 전압제어 발진기(140)에 출력하고, 상기 전압제어 발진기에서(140)는 삼각파를 받아서 전압을 제어하기 위하여 발진해서 펄스폭 변조수단(150)에 출력한다.

그리고, 상기 펄스폭 변조수단(150)에서는 전압제어 발진기(140)에서 출력되는 발진신호를 받아서 펄스폭을 변조하고, 펄스폭 변조수단(150)에서 변조된 펄스폭을 발진주파수 표시수단(160)에서 받아 분주하여 카운트해서 800Khz 내지 3Mhz대의 발진주파수를 표시하고, 전력증폭수단(170)에서는 전원수단(100)에서 출력되는 A/C전원을 받음과 동시에, 상기 펄스폭 변조수단(150)에서 출력되는 펄스폭이 변조된 변조신호를 받아서 트랜스듀서(200)를 진동시키도록 전력증폭한다.

상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀셔(200)에 출력되는 메가 헬스대의 초음파신호는 오동작방지수단(180)에 의해 전압 및 전류를 검출하여 오동작 방지수단(180)의 제2 마이크로 프로세서(181)에 미리 설정되어 있는 값보다 크거나 작을 경우 메가 헬스대의 초음파신호가 트랜스듀셔(200)에 인가되지 않도록 회로를 차단하고, 오동작을 방지하기 위하여 경보신호 출력수단(190)에서 경보를 출력한다.

다음에, 이와 같은 동작을 상세회로도를 참조하여 다시 상세히 설명한다.

도 3에 상세히 도시한 바와 같이 상기 출력레벨 표시수단(120)에 메인 스위치(122)를 작동시켜서 제1 마이크로 프로세서(121)에 기준 동작전원을 인가함과 동시에, 자동화 라인에 설치된 컴퓨터에서 출력되는 로우레벨(LOW LEVEL)의 리모트 작동신호를 인가하면, 제1 마이크로 프로세서(121)의 출력단자(125)에서 로우레벨의 리모트신호가 출력된다.

이때, 출력레벨 표시회로(120)의 저항(R17)을 통해서 상기 제1 마이크로 프로세서(121)에 5Vdc의 기준전압이 인가되고, 상기 메인 스위치(122)의 스위칭 온시에 발생되는 노이즈가 캐패시터(C5)에서 필터링된 후, 상기 제1 마이크로 프로세서(121)에 입력된다.

이와 동시에, 도시하지 않은 자동화라인에 설치된 컴퓨터에서 출력되는 로우레벨(LOW LEVEL)의 리모트 작동신호가 스레숄드레벨 확장부(123)에서 스레숄드레벨이 확장된 후, 상기 마이크로 프로세서(121)에 입력되며, 이때 상기 전원수단(100)에서 입력되는 전원에 포함되어 있는 노이즈를 전해콘덴서(C6)에서 필터링하고 나서 전력레벨 조정저항(VR2)에 의해서 전력레벨이 조정되며, 캐패시터(C7)에서 다시 전력에 포함되어 있는 노이즈가 제거된다.

그리고, 상기 제1 마이크로 프로세서(121)에서 출력되는 디지털신호를 저항(R18 - R21)에서 아날로그 신호로 변환하고, 상기 캐패시터(C7)에서 노이즈가 제거된 전력을 비교기(124)의 비반전단자에서 받음과 동시에, 상기 저항(R18 - R21)에서 변환된 아날로그신호에 포함되어 있는 무선주파수를 제2 전해콘덴서(C8)에서 감지하여 반전단자에서 받아 비교한다.

이때, 상기 제1 마이크로 프로세서(121)의 출력단에 접속된 제1 발광다이오드(LED1) 내지 제11 발광다이오드(LED11)를 상기 제1 마이크로 프로세서(121)에서 출력되는 제어신호에 의해 발광시킨다.

다시 말하면, 제1 발광다이오드(LED1)는 메인 스위치(122)의 파워 온을 표시하고, 제2 발광다이오드(LED2)에서 100W의 전력이 출력되고 있음을 표시하고, 제3 발광다이오드(LED3)에서 200W의 전력이 출력되고 있음을 표시하고, 제4 발광다이오드(LED4)는 300W의 전력이 출력되고 있음을 표시하고, 제5 발광다이오드(LED5)는 400W의 전력이 출력되고 있음을 표시하고, 제6 발광다이오드(LED6)는 500W의 전력이 출력되고 있음을 표시하고, 제7 발광다이오드(LED7)는 600W의 전력이 출력되고 있음을 표시한다.

그리고, 제8 발광다이오드(LED8)는 700W의 전력이 출력되고 있음을 표시하고, 제9 발광다이오드(LED9)는 800W의 전력이 출력되고 있음을 표시하고, 제10 발광다이오드(LED10)는 900W의 전력이 출력되고 있음을 표시하고, 제11 발광다이오드(LED11)는 900W이상의 전력이 출력되고 있음을 표시한다.

상기 스레숄드레벨 확장부(123)의 저항(R13)에서는 로우 레벨의 리모트 신호에 포함되어 있는 노이즈를 필터링하고, 상기 역전류방지 다이오드(D1)에서는 저항(R13)을 통해 역전류가 인가되는 것을 방지하고, 풀업저항(R14)에서 풀업되어 상기 저항(R15,R16)에 의해 로우레벨의 리모트신호의 스레숄드값을 확장하여 제1 마이크로 프로세서(121)에 입력한다.

한편, 상기 삼각파 발생수단(130)의 스위칭 트랜지스터(Q1)는 바이어스저항(R10,R11)을 통해서 VDD전압을 받아서 스위칭 온되며, 상기 스위칭 트랜지스터(Q1)의 스위칭 온시에 삼각파 발생기(131)에서 출력되는 디지털신호를 아날로그 신호로 변환하여 상기 전압제어발진기(140)에 출력한다.

상기 제너 다이오드(ZD)는 스위칭 트랜지스터(Q1)의 바이어스저항(R10,R11)에 일정레벨(여기에서 3.6Vdc)이상의 바이어스전압이 인가되면, 제너 다이오드(ZD)에 의해서 접지로 바이패스한다.

도 4에 상세히 도시한 바와 같이 자동화라인에 설치된 컴퓨터에서 출력되는 로우레벨(LOW LEVEL)의 리모트 작동신호를 제2 아날로그 스위치(141)를 통해서 받음과 동시에, 상기 전압제어 발진기(140)에서 출력되는 발진신호를 받으면, 펄tm폭을 변조하여 초음파를 출력하는 것으로서, 상기 전압제어 발진기(140)에서 출력되는 서로 다른 레벨의 신호를 받아서 제1 배타적 논리합회로(EX-OR1)에 의해서 하이레벨의 신호를 출력하고, 상기 제1 배타적 논리합회로(EX-OR1) 및 정전압수단(110)으로부터 정전압을 받아서 제2 배타적 논리합회로(EX-OR2)에서 배타적 논리합하여 반전시키고, 상기 제2 배타적 논리합회로(EX-OR2)의 출력단과 제1 배타적 논리합회로(EX-OR1)의 출력단사이에 접속되어 제1 배타적 논리합회로(EX-OR1)의 출력이 로우 레벨일 경우에 제2 아날로그 스위치(151)가 스위칭 온되며, 이때 상기 제3 배타적 논리합회로(EX-OR3)는 제2 배타적 논리합회로(EX-OR2)의 출력에 포함되는 노이즈를 캐패시터(C1)에 의해 필터링해서 받음과 동시에, 볼륨(VR1)에 의해 조정된 제1 배타적 논리합회로(EX-OR1)의 출력신호를 제1 아날로그신호를 통해 받아서 반전시킨다.

상기 제3 배타적 논리합회로(EX-OR3)에서 출력되는 하이레벨의 출력신호와 상기 정전압수단(110)으로부터 Vcc전압을 받아 제1 낸드게이트(NAND1)에서 반전시키고, 상기 제1 낸드게이트(NAND1)의 출력신호를 받음과 동시에, 상기 정전압수단(110)으로부터 Vcc전압을 받아서 상기 제1 낸드게이트(NAND1)의 신호를 제2 낸드게이트(NAND2)에서 반전시킨다.

그리고, 상기 제1 낸드게이트(NAND1)에서 출력되는 신호는 제1 및 제2 2분주기(152,153)에서 2분주되며, 상기 제1 2분주기(152)의 ??단자에서 출력되는 신호와 상기 제2 낸드게이트(NAND2)에서 출력되는 신호는 제3 낸드게이트(NAND3)에서 부정 논리곱하여 제1 인버터(154)에 출력하며, 상기 제1 인버터(154)에서는 이 신호를 반전시켜 S단자에 출력시키고, 상기 제1 2분주기(152)의 ??단자에서 출력되는 신호와 상기 제2 낸드게이트(NAND2)에서 출력되는 신호는 제4 낸드게이트(NAND4)에서 부정 논리곱하여 제2 인버터(155)에 출력하며, 상기 제2 인버터(155)에서는 이 신호를 반전시켜 T단자에 출력한다.

이와 같이 해서 제2 2분주기(153)에서 출력되는 펄스폭이 변조된 메가 헬스대의 초음파는 발진주파수 표시수단(160)의 제1 10분주기(161)에서 10분주되고, 다시 제2 10분주기(162)에서 10분주되어 주파수 카운터(163)에 출력하며, 상기 주파수 카운터(163)에서 계수되어 4디지트 7세그멘트(164)에서 발진된 주파수를 표시한다.

상기 펄스폭 변조수단(150)의 제1 인버터(154)의 출력단(S단자)에서 출력되는 반전신호와 상기 펄스폭 변조수단(150)의 제2 인버터(155)의 출력단(T단자)에서 출력되는 반전신호는 바이어스저항(R22,R23)을 통해서 제1 및 제2 스위칭 트랜지스터(Q2,Q3)의 베이스단자에 인가되어 이들 제1 및 제2 스위칭 트랜지스터(Q2,Q3)를 교호로 스위칭 온한다.

이에 따라 드라이버 트랜스(T1)에서 일정레벨의 직류전압(예를들면, 12Vdc)을 받아 승압하고, 상기 드라이버 트랜스(T1)의 2차측 코일(L2,L2')에 유기된 증폭된 초음파신호가 바이어스저항(R24,R25)(R26,R27)을 통해 제1 및 제2 전계효과트랜지스터(FET1,FET2)의 게이트단자에 인가되어 상기 제1 및 제2 전계효과트랜지스터(FET1,FET2)를 교호로 스위칭 온함으로써, 일정레벨로 전력증폭한다.

상기 제1 및 제2 전계효과트랜지스터(FET1,FET2)에서 교호로 증폭된 메가 헬스대의 초음파신호는 파워 트랜스포머(T2)에서 메가 헬스대의 AC성분인 초음파신호만을 임피던스 매칭회로(173)에 유기하여 트랜스듀서(200)에 인가하여 진동을 발생한다.

또한 이때, 상기 제1 및 제2전계효과트랜지스터(FET1,FET2)에서 출력되는 증폭된 초음파를 받아서 DC전압을 출력하는 콘덴서(C10)(C11) 및 저항(R28)(R29)으로 구성된 제1 및 제2 충ㆍ방전회로(171,172)에서 충ㆍ방전함과 동시에, 상기 제1 및 제2 전계효과트랜지스터(FET1,FET2)에서 출력되는 증폭된 초음파를 받아서 DC전압 및 이 DC전압의 중간전압으로 분할하여 전원수단(100)에 출력한다.

상기 오동작방지수단(180)의 동작은 전력증폭수단(170)의 드라이버 트랜스(T1)의 1차 코일(L1,L1')에 걸리는 직류전압(예를 들면12Vdc)이 정전압회로(182)에서 정전압이 제2 마이크로 프로세서(181)에 인가됨과 동시에, 저항(R33)을 통해서 캐패시터(C12)에서 노이즈가 제거된 후, 서미스터(183)에 인가되며, 상기 서미스터(183)에서는 상기 전력증폭수단(170)의 제1 및 제2 전계효과 트랜지스터(FET1,FET2)에서 방열되는 온도를 검출해서 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 출력하여 그 내부에 미리 설정되어 있는 온도보다 높을 경우에는 상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀셔(200)에 출력되는 메가 헬스(Hz)대의 초음파를 차단하도록 오동작방지수단(180)의 오동작방지부(186)를 오픈시킨다.

그리고, 상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀셔(200)에 출력되는 메가 헬스(Hz)대의 초음파 전압을 전압검출부(184)에 의해 검출해서 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 입력하고, 또한 상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀셔(200)에 출력되는 메가 헬스(Hz)대의 초음파 전류를 전류검출부(185)에 의해 검출해서 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 입력하여 상기 전압검출부(184) 및 전류검출부(185)에서 각각 검출된 전압 및 전류가 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 입력 미리 설정된 전류 및 전압보다 높거나 낮을 경우에 상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀셔(200)에 출력되는 메가 헬스(Hz)대의 초음파를 차단하도록 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에서 오동작방지부(186)를 제어하는 제어신호를 오동작방지부(186)의 스위칭 트랜지스터(Q5)의 바이어스저항(R34)을 통해 스위칭 트랜지스터(Q5)의 베이스단자에 인가하여 스위칭 트랜지스터(Q5)를 스위칭 온하여 릴레이(RY)에 전류가 흐르게 해서 가동접점(a)이 고정접점(b)에서 떨어지게 하여 오픈시킨다.

이와 같이 해서 상기 오동작방지부(186)를 오픈시키면, 상기 전력증폭수단(170)에서는 트랜스듀셔(200)에 메가 헬스대의 초음파가 인가되지 않는다.

이??, 트랜스듀셔(200)가 단락되었을 경우, 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에서 상기 경보신호 출력수단(190)의 저항(R30)을 통해 경보신호를 출력하여 트랜스듀서(200)가 단락되었음을 경보하기 위해 제1 경보용 발광 다이오드(LED12)를 발광시키고, 상기 트랜스듀셔(200)가 오픈되었을 경우에는 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에서 저항(R31)을 통해 제2 경보용 발광 다이오드(LED13)에 경보신호를 출력하여 제2 경보용 발광 다이오드(LED13)를 발광시키며, 또한 상기 펄스폭 변조수단(150)에서 초음파가 발진되지 않았을 경우에는 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에서 저항(R32)을 통해 제3 경보용 발광 다이오드(LED14)에 경보신호를 출력하여 제3 경보용 발광 다이오드(LED14)를 발광시킨다.

이들 상기 제1 내지 제3 경보용 발광 다이오드(LED12 - LED13)의 경보시에는 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에서 저항(R33)을 통해 스위칭 트랜지스터(Q4)의 베이스단자에 경보신호를 인가하여 상기 스위칭 트랜지스터(Q4)를 스위칭 온하여 스피커(191)에서 경보신호를 출력한다.

앞에서 설명한 바와 같이 본 고안에 따른 메가 헬스 초음파 발생장치에 의하면, 상기 A/C전원수단으로 부터 A/C전원을 받아 정전압수단에서 정전압을 각 구성요소에 인가하고 또한 메인 스위치가 스위칭 온됨과 동시에, 자동화 라인에 설치된 컴퓨터에서 출력되는 로우레벨(LOW LEVEL)의 리모트 작동신호가 전원수단, 출력레벨표시수단, 펄스폭 변조수단, 전력증폭수단 및 오동작 방지수단에 인가되면, 출력레벨표시수단에서는 정전압수단에서 출력되는 A/C전원전압의 출력레벨을 표시하며, 이때 삼각파 발생수단에서 삼각파를 전압제어 발진기에 출력하며 전압제어 발진기에서는 삼각파를 받아서 전압을 제어하기 위하여 발진해서 펄스폭 변조수단에 출력하며, 펄스폭 변조수단에서는 전압제어 발진기에서 출력되는 발진신호를 받아서 펄스폭을 변조하고, 펄스폭 변조수단에서 변조된 펄스폭을 발진주파수 표시수단에서 받아 분주하여 카운트해서 800Khz 내지 3Mhz대의 발진주파수를 표시하고, 전력증폭수단에서는 A/C전원수단에서 출력되는 A/C전원을 받음과 동시에, 상기 펄스폭 변조수단에서 출력되는 펄스폭이 변조된 변조신호를 받아서 트랜스듀서를 진동시키도록 전력증폭하며, 전력증폭수단에서 트랜스듀셔에 출력되는 메가 헬스대의 초음파신호는 오동작방지수단에 의해 전압 및 전류를 검출하여 오동작 방지수단의 제2 마이크로 프로세서에 미리 설정되어 있는 값보다 크거나 작을 경우 메가 헬스대의 초음파신호가 트랜스듀셔에 인가되지 않도록 회로를 차단하고, 오동작을 방지하기 위하여 경보신호 출력수단에서 경보를 출력하도록 구성되어 있으므로, 피세척물의 표면에 부착된 먼지를 정밀하게 세척할 수 있도록 메가 주파수대의 초음파를 출력할 수 있으며, 또한 피세척물의 표면에 부착된 미세 먼지를 용이하게 제거할 수 있을 뿐만 아니라, 구조가 간단하고, 제조 코스트를 저감시킬 수 있다는 매우 뛰어난 효과가 있다.

Claims (6)

1. A/C전원수단(100)에서 출력되는 A/C전원전압의 출력레벨을 표시하는 출력레벨표시수단(120)과, 삼각파를 발생하는 삼각파 발생수단(130)과, 상기 삼각파 발생수단(130)에서 출력되는 삼각파를 받아서 전압을 제어하도록 발진하는 전압제어 발진기(140)와, 자동화 라인에 설치된 컴퓨터에서 출력되는 로우레벨(LOW LEVEL)의 리모트 작동신호를 받음과 동시에, 상기 전압제어 발진기(140)에서 출력되는 발진신호를 받아서 펄스폭을 변조하는 펄스폭 변조수단(150)과, 상기 펄스폭 변조수단(150)에서 변조된 펄스폭을 분주하여 카운트해서 800Khz 내지 3Mhz대의 발진주파수를 표시하는 발진주파수 표시수단(160)과, 상기 A/C전원수단(100)에서 출력되는 A/C전원을 받음과 동시에, 상기 펄스폭 변조수단(150)에서 출력되는 펄스폭이 변조된 변조신호를 받아서 트랜스듀서(200)를 진동시키도록 전력증폭하는 전력증폭수단(170)과, 오동작을 방지하도록 자동라인에 설치된 컴퓨터에서 출력되는 로우레벨(LOW LEVEL)의 리모트 작동신호를 받음과 동시에, 상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀서(200)에 인가되는 전력증폭된 펄스폭 변조신호를 받아서 전압 및 전류를 검출하는 오동작방지수단(180)과, 상기 전력증폭수단(170)에서 전력증폭된 펄스폭변조신호를 받아서 미리 설정되어 있는 전압레벨 및 전류레벨이 아닐 경우에 상기 오동작방지수단(180)에서 출력되는 경보신호를 받아서 경보를 발하는 경보신호출력수단(190)을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 메가 헬스 초음파 발생장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 펄스폭 변조수단(150)은 로우 레벨의 리모트신호를 받고 또한 상기 삼각파 발생수단(131)으로부터 삼각파를 받은 전압제어 발진기(140)에서 출력되는 서로 다른 레벨의 신호를 받아서 하이레벨의 신호를 출력하는 제1 배타적 논리합회로(Ex-OR1)와, 상기 제1 배타적 논리합회로(EX-OR1) 및 정전압수단(110)으로부터 정전압을 받아서 배타적 논리합하여 반전시키는 제2 배타적 논리합회로(EX-OR2)와, 상기 제2 배타적 논리합회로(EX-OR2)의 출력단과 제1 배타적 논리합회로(EX-OR1)의 출력단사이에 접속되어 제1 배타적 논리합회로(EX-OR1)의 출력이 로우 레벨일 경우에 스위칭 온되는 제2 아날로그 스위치(151)와, 상기 제2 배타적 논리합회로(EX-OR2)의 출력에 포함되는 노이즈를 제거하는 캐패시터(C1)와, 상기 아날로그 스위치(151)의 가동단자측에 접속되어 펄스폭의 변조를 조정하는 볼륨(VR1)과, 상기 제2 배타적 논리합회로(EX-OR2)의 출력을 반전시키는 제3 배타적 논리합회로(EX-OR3)와, 상기 제3 배타적 논리합회로(EX-OR3)에서 출력되는 하이레벨의 신호를 받음과 동시에, 상기 정전압수단(110)으로부터 Vcc전압을 받아서 상기 제3 배타적 논리합회로(EX-OR3)의 출력신호를 반전시키는 제1 낸드게이트(NAND1)와, 상기 제1 낸드게이트(NAND1)의 출력신호를 받음과 동시에, 상기 정전압수단(110)으로부터 Vcc전압을 받아서 상기 제1 낸드게이트(NAND1)의 신호를 반전시키는 제2 낸드게이트(NAND2)와, 상기 제1 낸드게이트(NAND1)의 출력신호를 받아서 각각 2분주하는 제1 및 제2 2분주기(152,153)와, 상기 제2 낸드게이트(NAND2)의 출력신호를 받음과 동시에, 상기 제1 2분주기(152)의 ??단자의 출력을 받아서 부정 논리곱하는 제3 낸드게이트(NAND3)와, 상기 제3 낸드게이트(NAND3)의 출력을 반전하여 전력증폭수단(170)의 제1 스위칭 트랜지스터(Q2)의 바이어스저항(R22)으로 출력하는 제1 인버터(154)와, 상기 제2 낸드게이트(NAND2)의 출력신호를 받음과 동시에, 상기 제1 2분주기(152)의 ??단자의 출력을 받아서 부정 논리곱하는 제4 낸드게이트(NAND4)와, 상기 제4 낸드게이트(NAND4)의 출력을 반전하여 전력증폭수단(170)의 제2 스위칭 트랜지스터(Q3)의 바이어스저항(R23)으로 출력하는 제2 인버터(155)로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 메가 헬스 초음파 발생장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 발진주파수 표시수단(160)은 상기 제2 2분주기(153)에서 출력되는 신호를 받아서 10분주하는 제1 10분주기(161)와, 상기 제1 10분주기(161)에서 출력되는 10분주된 신호를 받아서 다시 10분주하는 제2 10분주기(162)와, 상기 제2 10분주기(162)에서 10분주된 신호를 받아서 주파수를 카운트하는 주파수 카운터(163)와, 상기 주파수 카운터(163)에서 출력되는 신호를 받아서 발진주파수를 표시하는 4디지트 7세그멘트(164)로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 메가 헬스 초음파 발생장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 오동작방지수단(180)은 동작을 제어하는 제2 마이크로 프로세서(181)와, 상기 전력증폭수단(170)의 드라이버 트랜스(T1)의 1차 코일(L1,L1')에 걸리는 일정값의 직류전압을 받아서 정전압을 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 인가하는 정전압회로(182)와, 상기 정전압회로(182)에서 출력되는 정전압을 저항(R33)을 통해 받아서 노이즈를 제거하는 캐패시터(C12)와, 상기 전력증폭수단(170)의 제1 및 제2 전계효과 트랜지스터(FET1,FET2)에서 방열되는 온도를 검출해서 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 출력하는 서미스터(183)와, 상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀셔(200)에 출력되는 메가 헬스(Hz)대의 초음파 전압을 검출해서 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 출력하는 전압검출부(184)와, 상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀셔(200)에 인가되는 초음파 전류를 검출해서 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 출력하는 전류검출부(185)와, 상기 서미스터(183)에 의해 검출된 온도가 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 미리 설정된 온도보다 높거나, 전압검출부(184) 및 전류검출부(185)에서 각각 검출된 전압 및 전류가 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에 미리 설정된 전류 및 전압보다 높거나 낮을 경우에 상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀셔(200)에 출력되는 메가 헬스(Hz)대의 초음파를 차단하는 오동작방지부(186)로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 메가 헬스 초음파 발생장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 오동작방지부(186)는 제2 마이크로 프로세서(181)에 출력되는 제어신호를 바이어스저항(34)을 통해서 받아 스위칭 온되는 스위칭 트랜지스터(Q5)와, 상기 스위칭 트랜지스터(Q5)의 온시에 상기 전력증폭수단(170)에서 트랜스듀셔(200)에 출력되는 메가 헬스(Hz)대의 초음파를 차단하는 릴레이(RY)로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 메가 헬스 초음파 발생장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 경보신호 출력수단(190)은 트랜스듀셔(200)의 단락시에 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에서 출력되는 경보신호를 저항(R30)을 통해 받아서 발광되는 제1 경보용 발광 다이오드(LED12)와, 상기 트랜스듀셔(200)의 오픈시에 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에서 출력되는 경보신호를 저항(R31)을 통해 받아서 발광되는 제2 경보용 발광 다이오드(LED13)와, 상기 펄스폭 변조수단(150)에서 발진되지 않을 경우에 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에서 출력되는 경보신호를 저항(R32)을 통해 받아서 경보하는 제3 경보용 발광 다이오드(LED14)와, 상기 제1 내지 제3 경보용 발광 다이오드(LED12 - LED13)의 경보시에 상기 제2 마이크로 프로세서(181)에서 출력되는 경보신호를 저항(R33)을 통해 받아 스위칭 온되는 스위칭 트랜지스터(Q4) 및 상기 스위칭 트랜지스터(Q4)의 온시에 경보음신호를 출력하는 스피커(191)로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 메가 헬스 초음파 발생장치.