KR200179992Y1

KR200179992Y1 - 이온주입기용 직류 모터 이상 검출 회로

Info

Publication number: KR200179992Y1
Application number: KR2019940017605U
Authority: KR
Inventors: 류홍기; 최민규; 옥영철
Original assignee: 김영환; 현대전자산업주식회사
Priority date: 1994-07-15
Filing date: 1994-07-15
Publication date: 2000-05-01
Also published as: KR960006308U

Abstract

본 고안은, 이온주입기 내의 직류모터 이상 발생시, 이상 발생으로인한 과전류를 검출하여 신속하게 모터의 이상 유.무를 판단함은 물론 그에 따른 복구를 신속하게 처리할 수 있는 직류모터 이상 검출회로를 제공하는데 그 목적이 있으며, 모터부(1)내의 동작전류와 이상유무의 판단기준으로 설정한 기준전류를 모터 전류 검출부(2)와 기준 전류 검출부(3)를 통해 입력받는 비교부(4)를 구비하고, 상기 비교부(4)의 출력이 모터 동작전류가 과전류 임을 나타낼때 이를 표시부(5)에 표시되도록 구성하였다. 이에 따라 본 고안은, 이온주입기에서 모터의 이상 유.무를 과전류 검출을 통해 용이하게 감지하므로 이온주입기의 비정상 상태 유지시간을 감소시키는 효과를 가진다.

Description

이온주입기용 직류 모터 이상 검출 회로

제1도는 본 고안의 실시예에 따른 이온주입기용 직류모터 이상 검출 회로의 블록도.

제2도는 본 고안의 실시예에 따른 이온주입기용 직류모터 이상 검출 회로도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 모터링부 2 : 모터 전류 검출부

3 : 기준 전류 검출부 4 : 과전류 발생 판단부

5 : 경고부

본 고안은 반도체 장비중 이온주입기(Implanter)에 관한 것으로서, 특히 모터의 이상동작시 발생되는 과전류를 검출하여, 이온주입기내의 다수의 직류모터들에 대한 이상 유.무를 간단하게 검출하는 직류모터 이상 검출회로에 관한 것이다.

종래의 이온주입기(VARRIAN E-220 ION IMPLANTER)는 직류모터에 문제가 발생될 경우 단순하게 모터의 문제가 “인터락(Inter-lock)”으로만 디스플레이장치에 표시되어지도록 되어 있었다. 따라서, 상기와 같은 종래의 이온주입기의 직류모터에 고장이 발생될 경우에, 직류모터의 직접적인 고장 원인이 직류모터 자체의 고장에 의한 것인지, 아니면 다른 외적원인에서 초래되어 졌는지 바로 파악할 수 없어서, 모터의 고장원인을 찾아내어 수리하기까지 많은 시간이 소요되는 문제점이 존재하였다.

상기와 같은 문제점을 위하여 안출된 본 고안은, 이온주입기 내의 직류모터 이상 발생시, 이상 발생으로 인한 과전류를 검출하여 신속하게 모터의 이상 유.무를 판단함은 물론 그에 따른 복구를 신속하게 처리할 수 있는 직류모터 이상 검출회로를 제공하는데 그 목적이 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안의 이온주입기용 직류 모터 이상 검출 회로는 직류 전원 전압에 따라 구동되는 모터링부; 상기 모터링부의 동작 전류를 검출하여 출력하는 모터 전류 검출부; 상기 모터링부가 정상동작 할 때의 최고 한계치 전류를 기준 값으로하여 기준전류를 발생하는 기준 전류 발생부; 상기 모터 전류 검출부로부터 인가되는 상기 모터링부의 검출전류와 상기 기준 전류 발생부로부터 발생된 기준 전류를 입력하여, 입력된 이 두 값을 비교하여 상기 모터링부에 과전류가 발생되었는지를 판단하는 과전류 발생 판단부; 및 상기 과전류 발생 판단부로부터 출력되는 과전류 발생 판단신호에 따라 구동되며, 상기 모터링부에 과전류가 발생되었음을 경고하여 주기 위한 경고부를 포함한다.

이하, 제1도 및 제2도를 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 설명한다.

제1도를 참조하면, 본 고안의 이온주입기용 직류모터 이상 검출 회로는 모터링부(1)와, 모터 전류 검출부(2)와, 기준 전류 발생부(3)와, 과전류 발생 판단부(4)와, 경고부(5)를 구비한다.

상기와 같은 구조를 갖는 본 고안의 이온주입기용 직류모터 이상 검출 회로의 동작을 설명하면 다음과 같다.

모터전류 검출부(2)는 모터링부(1)의 동작 전류를 검출하여 출력하며, 기준 전류 발생부(3)는 모터링부(1)내의 직류모터가 정상동작 할 때의 최고 한계치 전류를 기준 값으로 자체 발생하여 출력한다.

과전류 발생 판단부(4)는 상기 모터 전류 검출부(2)로부터의 출력인 모터링부(1)의 동작 전류를 입력받고, 상기 기준 전류 발생부(3)로부터 모터가 정상동작할 때 발생되는 값과 같은 기준 전류를 입력받아, 이 두 값을 비교하여 비교 결과 값을 출력한다.

즉, 과전류 발생 판단부(4)는 모터 전류 검출부(2)로부터 입력되는 전류값이 클때와 기준 전류 발생부(3)로부터 입력되는 전류값이 클때에 대한 각각 다른 출력값을 출력하게 된다.

경고부(5)는 상기 과전류 발생 판단부(4)로부터 출력되는 값에 따라 구동하는데, 과전류 발생 판단부(4)의 출력값이 모터 전류 검출부(2)에서 입력된 전류값이 기준 전류 발생부(3)에서 출력된 기준전류값보다 큼을 나타내는 출력값일때, 모터의 이상상태를 알리는 표시신호를 출력한다.

본 고안은 상기와 같이, 모터링부(1)에 이상이 발생함을 모터링부(1)에서 출력되는 전류가 과전류가 될 경우에 감지하여, 운용자에게 표시하므로 조속한 조치가 이루어지게한다.

제2도를 참조하여 본 고안의 이온주입기용 직류모터 이상 검출 회로의 구성 및 동작을 보다 상세하게 설명한다.

제2도를 참조하면, 모터링부(1)는 직류 전원전압에 의해 구동되는 직류모터(M)와, 전원전압과 직류모터(M)의 +단자 사이에 연결된 저항(R6)과, 접지와 직류모터(M)의 -단자 사이에 연결된 저항(R7)과, 직류모터(M)의 +단자 및 -단자사이에 직렬 연결된 가변저항(VR1, VR2)들을 구비한다.

모터 전류 검출부(2)는 모터링부(1)로부터 전달된 전류를 통과시키기는 저항(R5)과, 애노드가 저항(R5)의 일측단에 접속되고 캐소드가 전원전압에 접속된 제1다이오드(D4)와, 애노드가 접지에 접속되고 캐소드가 저항(R5)의 일측단에 연결된 제2다이오드(D5)와, 저항(R5)의 일측단과 접지사이에 각각 연결된 커패시터(C1) 및 저항(R2)으로 이루어진다.

기준 전류 발생부(3)는 과전류 발생 판단부(4)와 접지 사이에 연결된 커패시터(C2)와, 일측단이 각각 커패시터(C2)에 연결되며, 전원전압과 접지사이에 직렬연결된 저항(R3, R4)들과, 애노드가 커패시터(C2)에 연결되고 캐소드가 전원전압에 접속된 다이오드(D2)와, 캐소드가 커패시터에 연결되고 애노드가 접지에 접속된 다이오드(D3)로 구성된다.

과전류 발생 판단부(4)는 모터전류 전원전압과 접지사이에 연결되며, 검출부(2)의 출력신호가 비반전단자로 인가되고 기준전류 발생부(3)의 기준전류가 반전단자로 인가되는 연산증폭기(U)를 구비한다.

경고부(5)는 연산증폭기(U)의 출력단과 접지 사이에 직렬 연결된 저항(R1) 및 발광 다이오드(LED)로 이루어진다.

모터링부(1)는 가변저항(VR1, VR2)들과 직류모터(M)가 브렌치를 이루므로 가변저항(VR1, VR2)들을 각각 조절하여 모터(M)에 인가되는 전류를 조절한다. 모터(M)의 정상동작시는 물론이고, 모터(M)에 이상이 발생하면 모터(M)을 통한 전류가 증가되어 과전류가 발생하고 이는 모터 전류 검출부(2)에 의해 검출된다.

모터전류 검출부(2)는 다이오드(D4, D5)를 이용하여 과전류에 의해 발생될 수 있는 고장을 방지하고, 이는 통상의 전자회로에서 널리 쓰이는 공지의 구성이므로 상세한 설명은 피하기로 한다. 그리고 커패시터(C1)를 통해 잡음을 제거한다.

과전류 발생 판단부(4)는 모터링부(1)내의 모터(M)가 정상동작 할 경우에는 과전류가 발생하지 않아 기준 전류 발생부(3)로부터 보다 큰 전류값이 입력되어, 연산증폭기(U)는 음(-)의 전류를 출력하고, 반대로 모터(M)에 이상이 발생되어 모터 전류 검출부(2)로부터 큰 전류값이 입력되면, 연산증폭기(U)는 양(+)의 전류를 출력한다.

경고부(5)는 과전류 발생 판단부(4)로부터 양(+)의 전류가 인가되면, 발광다이오드(LED)는 발광하여 모터링부(1)에서 과전류가 발생되었음을 경고하여 준다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안의 이온주입기용 직류모터 이상 검출 회로는, 이온주입기의 직류모터에 발생되는 과전류 검출하여, 이를 통해 직류모터에 이상이 생겼음을 경고하여 주므로써, 이온주입기의 고장을 신속하게 판단하고, 이에 따라 빠른시간내에 이온주입기를 수리할 수 있도록하는 탁월한 효과를 제공한다.

Claims

직류 전원 전압에 따라 구동되는 모터링부; 상기 모터링부의 동작 전류를 검출하여 출력하는 모터 전류 검출부; 상기 모터링부가 정상동작 할 때의 최고 한계치 전류를 기준 값으로하여 기준전류를 발생하는 기준 전류 발생부; 상기 모터 전류 검출부로부터 인가되는 상기 모터링부의 검출전류와 상기 기준전류 발생부로부터 발생된 기준 전류를 입력하여, 입력된 이 두 값을 비교하여 상기 모터링부에 과전류가 발생되었는지를 판단하는 과전류 발생 판단부; 및 상기 과전류 발생 판단부로부터 출력되는 과전류 발생 판단신호에 따라 구동되며, 상기 모터링부에 과전류가 발생되었음을 경고하여 주기 위한 경고부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온주입기용 직류모터 이상 검출 회로.
제1항에 있어서, 상기 모터링부는 직류 전원전압에 의해 구동되는 직류모터; 상기 전원전압과 직류모터의 +단자 사이에 연결된 제1저항; 접지와 상기 직류모터의 -단자 사이에 연결된 제2저항; 및 상기 직류모터의 +단자 및 -단자 사이에 직렬 연결된 제1 및 제2 가변저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 이온주입기용 직류모터 이상 검출 회로.
제1항에 있어서, 상기 모터 전류 검출부는 상기 모터링부로부터 전달된 전류를 통과시키기는 제1저항; 애노드가 상기 제1저항의 일측단에 접속되고 캐소드가 상기 전원전압에 접속된 제1다이오드; 애노드가 접지에 접속되고 캐소드가 상기 제1저항의 일측단에 연결된 제2다이오드; 및 상기 제1저항의 일측단과 접지사이에 각각 연결된 커패시터 및 제2저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 이온주입기용 직류모터 이상 검출 회로.
제1항에 있어서, 상기 기준 전류 발생부는 과전류 발생 판단부와 접지 사이에 연결된 커패시터; 일측단이 각각 상기 커패시터에 연결되며, 상기 전원전압과 접지사이에 직렬 연결된 제1 및 제2저항; 애노드가 상기 커패시터에 연결되고 캐소드가 상기 전원전압에 접속된 제1다이오드; 및 캐소드가 상기 커패시터에 연결되고 애노드가 접지에 접속된 제2다이오드를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온주입기용 직류모터 이상 검출 회로.
제1항에 있어서, 상기 과전류 발생 판단부는 상기 전원전압과 접지사이에 연결되며, 상기 직류모터 전류검출부의 출력신호가 비반전단자로 인가되고 상기 기준전류 발생부의 기준전류가 반전단자로 인가되는 연산증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온주입기용 직류모터 이상 검출 회로.
제1항에 있어서, 상기 경고부는 상기 과전류 발생 판단부의 연산증폭기의 출력단과 접지 사이에 직렬 연결된 저항 및 발광 다이오드를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온주입기용 직류모터 이상 검출 회로.