KR200177344Y1 - 반도체 제조장비의 필터(filter for semiconductor fabricating device) - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 제조장비의 잔류부산물을 포집하기 위한 반응필터에 관한 것으로, 종래 기술은 하나의 망이 일체로 형성된 필터에 반응 부산물이 걸러져 외부로 배출되는데 이때 여과능력을 향상하기 위해서는 망을 미세하게 하는 것이 바람직하나, 이렇게 할 경우 종래 기술에 의한 필터는 세정능력은 향상되지만, 필터의 세정시 망의 조밀성으로 인해 세정이 어려운 바 이에 본 고안은 반응부산물을 여과하기 위해 소정의 구조로 망이 형성된 내측몸체와, 그 내측몸체의 양단부에 결합되어 반응가스배출라인의 내벽에 부착하기 위한 펀칭플레이트와 그 펀칭플레이트의 외주면에 소정량 돌출 형성되는 결합돌기와, 상기 내측몸체의 외주면에 결합되며 내측몸체와 상이한 구조의 망으로 이루어지는 외측몸체와, 그 외측몸체의 양단부에 결합되는 펀칭플레이트와, 그 펀칭플레이트의 내주면에 형성되어 상기 결합돌기를 결합 고정하는 결합홈으로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 필터를 제공함으로써, 두가지의 그물구조를 가진 필터를 서로 결합, 분리 가능하도록 하여 이중 결합구조에 의한 필터링에 의해 여과능력을 향상시킬 뿐만 아니라, 세정시 각각의 필터를 분리함으로써 세정이 용이해지는 효과가 있다.

Description

반도체 제조장비의 필터(FILTER FOR SEMICONDUCTOR FABRICATING DEVICE)

본 고안은 반도체 제조장비의 잔류부산물을 포집하기 위한 반응필터에 관한 것으로, 특히 배기관을 따라 흐르는 잔류부산물의 포집효율을 향상시키고, 세정시 세정작업이 용이하도록 한 반도체 제저장비의 잔류부산물 반응필터에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정 중에는 증착공정, 확산공정 등 공정에 따른 소정의 고온을 유지하여 진행하는 공정들이 있는데, 이러한 공정에서 고온을 만들고 이를 유지하기 위한 목적으로 사용되는 장비를 노(FURNACE)라 하며, 반도체 제조공정에서는 주로 음의 법칙에 따른 발열을 이용하는 전기로를 사용하는 것이 보통이다.

이러한 노를 이용하여 반도체 제조공정을 진행하기 위한 일반적인 반도체 제조장비가 제1도에 도시되어 있는 바, 이에 대해 설명하면 다음과 같다.

제1도는 일반적인 반도체 제조장비를 보인 개략도로서, 이에 도시된 바와 같이, 일반적인 반도체 제조장비는 일정한 압력 및 온도로 공정을 진행하기 위한 반응로(1)가 설치되어 있고, 그 반응로(1)의 일측에는 증착가스의 유로를 형성하는 반응가스 배출라인(2)이 설치되어 있고, 그 반응가스배출라인(2)의 일단부에는 공정 진행시 발생되는 반응 부산물을 걸러내도록 필터(3)가 설치되어 있고 그 필터(3)의 하측에는 상기 반응가스배출라인(2) 내의 압력을 적정한 수준으로 조절하기 위한 압력조절밸브(4)가 설치되어 있으며, 그 압력조절밸브(4)의 하측에는 펌프(5)가 설치되어있다.

그리고 종래 기술에 의한 필터는, 제2도에 도시된 바와 같이, 반응 부산물을 걸러내기 위한 망이 소정의 크기로 형성된 몸체와, 그 몸체의 양단부에 형성되어 상기 증착가스배출라인의 내벽에 부착하기 위한 펀칭플레이트로 구성되어 있다.

이와 같은 반도체 제조장비는, 공정이 시작되면 반응가스주입관(1a)을 통해 소정의가스가 반응로(1)의 내측으로 유입되고, 소정의 공정을 신행하고 난 이후의 부산가스는 필터를 통과하여 배기되는데, 이때 부산 가스에 의해 발생하는 부산물은 펌프(5)의 작동에 의해 상기 필터(3)에서 걸러져 외부로 배출된다.

그러나, 상기와 같은 종래 기술은 하나의 망이 일체로 형성된 필터에 반응 부산물이 걸러져 외부로 배출되는데, 이때 여과능력을 향상하기 위해서는 망을 미세하게 하는 것이 바람직하나, 이렇게 할 경우 종래 기술에 의한 필터는 세정능력은 향상되지만, 필터의 세정시 망의 조밀성으로 인해 세정이 어려운 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 망의 크기를 조밀하게 구성하여 여과능력을 향상시키고, 세정능력을 향상시키기 위한 필터를 제공하는데 그 목적이 있다.

제1도는 일반적인 반도체 제조장비를 개략적으로 보인 단면도.

제2도는 종래 기술에 의한 필터를 보인 측면도.

제3도는 본 고안에 의한 필터를 보인 분리사시도.

제4도는 본 고안에 의한 필터의 펀칭플레이트를 보인 측면도.

제5도는 본 고안에 의한 필터의 결합 동작을 보인 상태도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 사선 필터 13 : 결하돌기

20 : 십자 필터 23 : 결합홈

11, 21 : 필터 몸체 12, 22 : 펀칭플레이트

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 반응부산물을 여과하기 위해 소정의 구조로 망이 형성된 내측몸체와, 그 내측몸체의 양단부에 결합되어 반응가스배출라인의 내벽에 부착하기 위한 펀칭플레이트와, 그 펀칭플레이트의 외주면에 소정량 돌출 형성되는 결합돌기와, 상기 내측몸체의 외주면에 결합되며 내측몸체와 상이한 구조의 망으로 이루어지는 외측몸체와, 그 외측몸체의 양단부에 결합되는 펀칭플레이트와 그 펀칭플레이트의 내주면에 형성되어 상기 결합돌기를 결합 고정하는 결합홈으로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 필터가 제공된다.

이하, 본 고안에 의한 반도체 제조장비의 필터에 대한 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.

제3도는 본 고안에 의한 필터를 보인 분리사시도이고, 제4도는 본 고안에 의한 필터가 결합된 상태의 펀칭플레이트를 보인 측면도이며, 제5도는 본 고안에 의한 필터의 결합 동작을 보인 상태도이다.

이에 도시된 바와 같이, 본 고안에 의한 필터는 사선형태의 그물구조를 가진 내측 필터(10)와 십자형태의 그물구조를 가진 외측필터(20)가 서로 결합되어 이루어지는 구조로서, 그 각각의 필터(10), (20)는 반응 부산물을 걸러주는 필터 몸체(11), (21)가 형성되고 그 각각의 몸체(11), (21) 양측에는 가스배출라인의 내벽에 부착하기 위한 펀칭플레이트(PUNCHING PLATE), (12), (22)가 연결 형성된다.

그리고 상기 내측 필터(10)의 펀칭플레이트(12) 외주면에는 소정 크기로 결합돌기(13)를 돌출 형성하고 외측 필터(20)의 펀칭플레이트(22) 내주면에는 상기 결합돌기(13)와 결합하기 위한 결합홈(23)을 형성한다.

한편, 본 고안에시는 편의상 사선형태의 그물구조를 가진 필터와 십자형태의 그물 구조를 가진 필터를 일예로 설명하였으나, 필터의 그물구조를 다르게 형성할 수도 있다.

상기와 같이 구성된 본 고안에 의한 반도체 제조장비의 필터에 대한 작용을 설명하면 다음과 같다.

우선, 제5에 도시된 바와 같이 내측 필터(10)의 펀칭플레이트(12) 외주면에 소정량 돌출된 결합돌기(13)를 외측 필터(20)의 펀칭플레이트(22) 내주면에 형성된 결합홈(23)에 위치시킨 후 소정 방향으로 회전하면, 상기 결합돌기(13)가 결합홈(23)에 안착하게 되어 상기 내측 몸체(11)와 외측 몸체(21)는 서로 고정된다.

그후, 일체로 결합된 상기 펀칭플레이트(12), (22)를 소정의 결합수단(미도시)에 의해 가스배출라인의 내벽에 부착한 후 공정을 진행한다.

공정이 시작되면 반응가스주입관(1a)을 통해 소정의 가스가 반응로(1)의 내측으로 유입되어 소정의 공정을 진행하고, 부산 가스는 필터(10), (20)를 통과하여 배기되는데 이때 상기 필터는 내측 필터(10)와 외측 필터(20)가 이중으로 결합되어 그 망의 사이기 조밀해지므로 여과능력이 향상된다.

그리고 소정의 공정을 진행한 후 필터(10), (20)에 의해 여과된 반응 부산물을 세척하기 위해서는 반응가스배출라인으로부터 펀칭플레이트(12), (22)를 분리시키고, 내측 필터(10)를 일축 방향으로 소정량 회전하면 상기 외측 필터(20)의 결합홈(23)에 결합 고정되어 있는 결합돌기(13)가 결합홈(23)에서 탈거되며, 이렇게 각각의 필터 몸체(11), (21)를 분리하면 그 망의 크기가 커지므로 필터의 세정을 용이하게 할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안에 의한 필터는 두가지의 그물구조를 가진 필터를 서로 결합, 분리 가능하도록 함으로써 이중 결합구조에 의한 필터링에 의해 여과능력을 향상시킬 뿐만 아니라, 세정시 각각의 필터를 분리함으로써 세정이 용이해지는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 반응부산물을 여과하기 위해 소정의 구조로 망이 형성된 내측몸체와 그 내측몸체의 양단부에 결합되어 반응가스배출라인의 내벽에 부착하기 위한 펀칭플레이트와, 그 펀칭플레이트의 외주면에 소정량 돌출 형성되는 결합돌기와 상기 내측몸체의 외주면에 결합되며 내측몸체와 상이한 구조의 망으로 이루어지는 외측몸체와, 그외측몸체의 양단부에 결합되는 펀칭플레이트와 그 펀칭플레이트의 내주면에 형성되어 상기 결합돌기를 결합 고정하는 결합으로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 필터.