KR200177341Y1 - 웨이퍼의 말랑고니 건조장치(malangoni drier of wafer) - Google Patents

웨이퍼의 말랑고니 건조장치(malangoni drier of wafer) Download PDF

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Abstract

본 고안에 의한 웨이퍼의 말랑고니 건조장치는 웨이퍼를 내장한 초순수 하부조와, 상기 하부조의 상부에 위치하여 이소프로필알콜/질소 가스를 분사하므로 상기 초순수 하부조 내의 웨이퍼를 건조시키는 상부조와 상기 상부조의 일축에 장착하며 일정온도에서 전원이 공급 및 중단되도록 한 온도조절열선과, 상기 상하부조에 각각 연결된 배기관을 포함하여 구성되므로, 워터마크(water mark) 및 파티콜 발생을 사전에 방지할 수 있으며, 결로 현상으로 인해 상부 및 웨이퍼의 가이드 슬롯 사이에서 초순수(DI)와 웨이퍼의 접촉을 제거하도록 하였다.

Description

웨이퍼의 말랑고니 건조장치(MALANGONI DRIER OF WAFER)
본 고안은 웨이퍼의 말랑고니 건조장치에 관한 것으로 특히 워터마크(water mark)및 파티콜 발생을 사전에 방지할 수 있으며, 결로 현상으로 인해 상부 및 웨이퍼의 가이드 슬롯 사이에서 초순수(DI)와 웨이퍼의 접촉을 제거하도록 한 웨이퍼의 말랑고니 건조장치에 관한 것이다.
일반적으로 말랑고니(MALANGONI)건조장치는 적용되는 사용자의 차이로 초순수의 온도가 일정하지 않아 초순수가 상부공기의 온도보다 높은 경우 건조장치 상부 및 배기부에 이슬이 발생하게 되며, 본 고안은 이를 해결하고자 함에 있다.
종래의 기술에 의한 말랑고니 건조장치는 제1도 및 제2도에 도시한 바와 같이, 상부의 이소프로필알콜/질소 가스를 분사하는 상부조(10)와, 상기 상부조(10)의 하부에 설치하는 초순수 하부조(20)로 구성된다.
이와 같이 구성되는 웨이퍼의 말랑고니 건조장치의 동작을 설명한다.
레일(11)을 따라 좌우로 이동하는 상부조(10)는 하부의 초순수조(20)위에 위치하여 하부의 초순수조(20)와 결합된다. 이렇게 상하부조(10), (20)가 서로 결합되면, 상기 하부조(20)내에 설치한 척(24)이 상부로 상승하게 되며, 공급탱크(22)를 통해 초순수가 하부조(20)내로 유입된다. 또 다른 공급탱크(12)로부터 이소프로필알콜/질소가스가 공급관(13)을 통해 상부조(10)로 유입되고, 유입된 이소프로필알콜/질소가스는 상부조(10) 상면의 유출홀(14)을 통해 상기 척(24)위의 웨이퍼(W)에 골고루 분사되어, 물기를 이소프로필알콜과 초순수의 장력차이로 떨어뜨려 건조시키게 된다. 이러한 말랑고니 건조장치는 하부의 초순수와 상부 공기의 격리가 중요하며, 만약 초순수 온도가 상부 공기온도보다 높을 경우 상부 및 하부측에 이슬이 맺히게 된다.
종래의 기술에서 초순수조의 온도가 상부 공기 온도보다 높을 때 이슬이 상부 및 배기부에 형성되어 건조시 워터마크를 형성하거나 파티콜을 발생시켜 문제가 된다. 따라서, 본 고안의 목적은 상기와 같은 문제점을 고려하여 안출한 것으로, 워터마크(water mark)및 파티콜 발생을 사전에 방지할 수 있으며, 결로 현상으로 인해 상부 및 웨이퍼의 가이드 슬롯 사이에서 초순수(DI)와 웨이퍼의 접촉을 제거하도록 한 웨이퍼의 말랑고니 건조장치를 제공함에 있다.
제1도는 종래의 기술에 의한 말랑고니 건조장치를 나타내는 사시도.
제2도는 종래의 기술에 의한 말랑고니 건조장치를 나타내는 단면도.
제3도는 본 고안에 의한 말랑고니 건조장치를 나타내는 사시도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 상부조 13 : 가스공급관
14 : 유출홀 20 : 초순수 하부조
24 : 웨이퍼척 40 : 온도조절열선
41 : 온도계
이러한, 본 고안의 목적은 웨이퍼를 내장한 초순수 하부조와, 상기 하부조의 상부에 위치하여 이소프로필알콜/질소 가스를 분사하므로 상기 초순수 하부조 내의 웨이퍼를 건조시키는 상부조와, 상기 상부조의 일측에 장착하며 일정온도에서 전원이 공급 및 중단되도록 한 온도조절열선과, 상기 상하부조에 각각 연결된 배기관에 의해 달성된다.
이하, 본 고안에 의한 웨이퍼의 말랑고니 건조장치를 첨부도면에 도시한 실시예에 따라서 설명한다.
본 고안은 제3도의 본 고안에 의한 말랑고니 건조장치를 나타내는 사시도에 도시한 바와 같이, 웨이퍼(W)를 내장한 초순수 하부조(20)와, 상기 하부조(20)의 상부에 위치하여 이소프로필알콜/질소 가스를 분사하므로 상기 초순수 하부조(20) 내의 웨이퍼(W)를 건조시키는 상부조(10)와, 상기 상부조(10)의 일측에 장착하며 일정온도에서 전원이 공급 및 중단되도록 한 온도조절열선(40)과, 상기 상하부조(10), (20)에 각각 연결된 배기관(30)을 포함하여 구성된다.
상기 초순수 하부조(20)의 저면에 공급 탱크로부터 초순수를 유입하는 초순수 공급관(23)을 설치하고, 상기 초순수 하부조(20)의 중심부에 웨이퍼(W)를 탑재하여 상하이동하는 웨이퍼척(24)을 설치한다.
상기 상부조(10)의 일측부에 공급 탱크(12)로부터 이소프로필알콜/질소가스를 유입하는 가스공급관(13)을 설치하고, 상기 상부조(10)의 상면에 공급관(13)을 통해 유입된 이소프로필알콜/질소 가스를 하부조(10)내로 유출하는 다수개의 유출홀(14)을 형성한다.
이와 같이 구성된 본 고안에 의한 웨이퍼의 말랑고니 건조장치의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.
본 고안은 종래의 장치를 동일하게 사용하면서 상부조(10)에 온도조절열선(40)을 감아 이를 보온할 수 있게 하며, 파티콜 발생이 없는 천등의 보온재(도면에 도시되지 않음)를 상부조(10)의 둘레에 감도록 한다.
종래와 같은 말랑고니 건조방식에 따라 웨이퍼(W)를 건조하면서 상부조(10)의 온도를 하부조(20)의 온도보다 높게 형성함에 있어서, 온도계(41)를 이용하여 상부조(10)의 온도를 측정하여, 하부조(20) 보다 일정온도 높게 되었을 때 온도조절열선(40)의 전원공급을 중단하여 온도를 유지하고, 일정온도 이하로 되었을 때 상기 온도조절열선(40)에 전원을 공급하여 상부조(10)의 온도가 항상 하부조(20)의 온도보다 높게 되도록 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 웨이퍼의 말랑고니 건조장치는 웨이퍼를 내장한 초순수 하부조와, 상기 하부조의 상부에 위치하여 이소프로필알콜/질소가스를 분사하므로 상기 초순수 하부조 내의 웨이퍼를 건조시키는 상부조와, 상기 상부조의 일측에 장착하며 일정온도에서 전원이 공급 및 중단되도록 한 온도조절열선과, 상기 상하부조에 각각 연결된 배기관을 포함하여 구성되므로, 워터마크(water mark) 및 파티콜 발생을 사전에 방지할 수 있으며, 결로 현상으로 인해 상부 및 웨이퍼의 가이드 슬롯 사이에서 초순수(DI)와 웨이퍼의 접촉을 제거하도록 한 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 웨이퍼를 내장한 초순수 하부조와, 상기 하부조의 상부에 위치하여 이소프로필알콜/질소 가스를 분사하므로 상기 초순수 하부조 내의 웨이퍼를 건조시키는 상부조와, 상기 상부조의 일측에 장착하며 일정온도에서 전원이 공급 및 중단되도록 한 온도조절열선과, 상기 상하부조에 각각 연결된 배기관을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 말랑고니 건조장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 초순수 하부조의 저면에 공급 탱크로부터 초순수를 유입하는 초순수 공급관을 설치하고, 상기 초순수 하부조의 중심부에 웨이퍼를 답재하여 상하이동하는 웨이퍼척을 설치한 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 말랑고니 건조장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 상부조의 일측부에 공급 탱크로부터 이소프로필알콜/질소가스를 유입하는 가스공급관을 설치하고, 상기 상부조의 상면에 공급관을 통해 유입된 이소프로필알콜/질소 가스를 하부조내로 유출하는 다수개의 유출홀을 형성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 말랑고니 건조장치.
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