KR200160148Y1 - Wire clamp unit using plate spring - Google Patents

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KR200160148Y1 KR2019960018551U KR19960018551U KR200160148Y1 KR 200160148 Y1 KR200160148 Y1 KR 200160148Y1 KR 2019960018551 U KR2019960018551 U KR 2019960018551U KR 19960018551 U KR19960018551 U KR 19960018551U KR 200160148 Y1 KR200160148 Y1 KR 200160148Y1
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Abstract

1. 청구 범위에 기재된 고안이 속한 기술분야1. TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION

반도체 제조공정중, 와이어 본딩장치에 구비된 와이어 클램프 유닛.A wire clamp unit provided in a wire bonding apparatus during a semiconductor manufacturing process.

2. 고안이 해결하려고 하는 기술적 과제2. The technical problem the invention is trying to solve

종래의 와이어 클램프 유닛은 구성부품이 고가이며 구성품의 제작이 용이하지 않고 선형모터의 이용효율이 저하되는 문제점이 있었음.The conventional wire clamp unit has a problem that the component is expensive, the production of the component is not easy and the utilization efficiency of the linear motor is lowered.

3. 고안의 해결방법의 요지3. Summary of solution of design

와이어 클램프의 힌지부에 판 스프링을 제공하므로써 운동부의 룰링과 요잉을 방지하고 상기 판 스프링이 탄성복원력을 이용하여 와이어를 클램프하므로써 선형모터의 이용효율을 높인 와이어 클램프 유닛.A wire clamp unit which improves the utilization efficiency of a linear motor by providing a leaf spring at the hinge portion of the wire clamp to prevent ruling and yawing of the moving part and clamping the wire using the elastic restoring force.

4. 고안의 중요한 용도4. Important uses of the devise

와이어 클램프의 힌지부에 판 스프링을 제공하여 구성 요소를 단순화하고 선형모터의 이용효율의 증대와 보다 확실한 클램프 작용을 실행하는 효과가 있다.A leaf spring is provided at the hinge of the wire clamp, which simplifies the components, increases the utilization efficiency of the linear motor, and executes a more reliable clamping action.

Description

판 스프링을 이용한 와이어 클램프 유닛Wire Clamp Unit Using Leaf Spring

제1a도 및 제1b도는 종래 기술에 따른 와이어 클램프 유닛의 일실시예 구성과 작동 상태를 나타낸 개략적 평면도.1A and 1B are schematic plan views showing an embodiment configuration and an operating state of a wire clamp unit according to the prior art.

제1c도는 제1도에서 A-A선을 따라서 본 종래 기술에 따른 와이어 클램프 유닛의 단면도.1c is a cross-sectional view of the wire clamp unit according to the prior art, taken along the line A-A in FIG.

제2도는 본 고안에 따른 와이어 클램프 유닛에 사용된 판 스프링을 나타낸 사시도.2 is a perspective view showing a leaf spring used in the wire clamp unit according to the present invention.

제3a도 및 제3b도는 본 고안에 따른 와이어 클램프 유닛의 일실시예 구성과 작동상태를 나타낸 개략적 평면도.3a and 3b is a schematic plan view showing an embodiment configuration and operation of the wire clamp unit according to the present invention.

제4a도는 본 고안에 따른 와이어 클램프 유닛의 일실시예 구성을 나타낸 우측면도.Figure 4a is a right side view showing an embodiment configuration of a wire clamp unit according to the present invention.

제4b도는 본 고안에 따른 와이어 클램프 유닛의 또 다른 실시예 구성을 나타낸 우측면도.Figure 4b is a right side view showing another embodiment configuration of a wire clamp unit according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1, 21 : 고정부 1a, 21a : 고정측 아암1, 21: fixed part 1a, 21a: fixed side arm

2, 22 : 운동부 2a, 22a : 운동측 아암2, 22: exercise part 2a, 22a: exercise side arm

3 : 고정자 4 : 코일 스프링3: stator 4: coil spring

5, 25 : 영구자석 6, 26 : 자기코일5, 25: permanent magnet 6, 26: magnetic coil

24 : 판 스프링24: leaf spring

본 고안은 반도체 제조공정중, 와이어 본딩 장비에서 사용되는 와이어 클램프 유닛에 관한 것으로, 특히 와이어 클램프의 힌지부재로서 판 스프링을 사용함으로써 종래의 클램프 기능을 개선한 와이어 클램프 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a wire clamp unit used in wire bonding equipment during a semiconductor manufacturing process, and more particularly to a wire clamp unit having improved conventional clamp function by using a leaf spring as a hinge member of the wire clamp.

일반적으로, 와이어 본딩장치에서 와이어 클램프 유닛은 트랜스듀서(transducer)의 상부에 구비되며 다이와 리드간에 와이어를 결선하는 캐피러리(capillary)속으로 와이어를 공급하고, 와이어 결선 후에는 와이어가 절단되도록 와이어를 붙잡아 지지하는 장치이다.In general, in a wire bonding apparatus, a wire clamp unit is provided on an upper portion of a transducer and supplies a wire into a capillary that connects the wire between the die and the lead. It is a device to catch and support.

종래의 와이어 클램프 유닛을 제1a도 내지 제1c도를 참조하여 간단하게 설명하면 다음과 같다.A conventional wire clamp unit is briefly described with reference to FIGS. 1A to 1C as follows.

도면에 도시한 바와 같이, 와이어 본더의 트랜스듀서(도시되지 않음)의 상부소정위치에 고정되는 고정부재(1)와, 상기 고정부재(1)로부터 연장되어 뻗어나오고 그 끝단에 텅스텐 카바이드로 제작된 팁(1b)이 부착된 고정측 아암(1a)과, 상기 고정부재(1)와 상기 고정측 아암(1a)에 대응되는 구성품으로 힌지점을 중심으로 회동이 가능한 운동부재(2)와, 상기 운동부재(2)로부터 연장되어 뻗어나오고 그 끝단에 텅스텐 카바이드로 제작된 팁(2b)이 부착된 운동측 아암(2a)과, 상기 고정부재(1)와 운동부재(2) 사이의 소정위치에 설치되어 상기 운동부재(2)의 힌지점을 제공함과 동시에 상기 고정부재(1)와 운동부재(2)가 일정간격을 유지하도록 하며 또 상기 운동부재(2)가 고정부재(1)에 대해 상대적 롤링과 요잉이 발생되는 것을 방지하기 위한 두개의 고정자(3)와, 상기 두 개의 고정자(3) 사이에 설치되어 고정부재(1)와 상기 운동부재(2)를 고정하되 그 자체에 부여된 고유탄성력으로 상기 고정부재(1)와 운동부재(2)를 서로 당겨 상기 고정자(3)의 이탈을 방지하는 코일 스프링(4)과, 상기 고정부재(1)의 단부 소정 위치에 부착된 영구자석(5)과 상기 영구자석(5)에 대응한 상기 운동부재(2)의 위치에 구비된 자기코일(6)로 이루어져 상기 자기코일에 인가된 전류로 상기 운동부재(2)를 움직이는 선형 모터로 구성된다.As shown in the figure, a fixing member 1 fixed to an upper predetermined position of a transducer (not shown) of a wire bonder, extends from the fixing member 1, and is made of tungsten carbide at the end thereof. A fixed side arm 1a to which a tip 1b is attached, a moving member 2 rotatable about a hinge point with components corresponding to the fixed member 1 and the fixed side arm 1a, and Extends from the movement member 2 and extends from the movement side arm 2a with a tip 2b made of tungsten carbide, and at a predetermined position between the fixing member 1 and the movement member 2; It is installed to provide a hinge point of the movement member (2) and at the same time to maintain the fixed member 1 and the movement member (2) a constant distance and the movement member (2) relative to the fixed member (1) Two stators (3) for preventing rolling and yawing from occurring It is installed between the two stator (3) to fix the fixing member (1) and the moving member (2), but pull the fixing member (1) and the moving member (2) with the high elastic force applied to itself to the stator (3) of the coil spring (4), the permanent magnet (5) attached to a predetermined position of the end of the fixing member (1) and the movement member (2) corresponding to the permanent magnet (5) It consists of a magnetic motor (6) provided at a position consisting of a linear motor for moving the movement member (2) with the current applied to the magnetic coil.

상기와 같이 구성된 종래의 와이어 클램프 유닛의 작용상태를 설명하면, 먼저 상기 고정측 아암(1a)과 운동측 아암(2a)의 단부에 설치된 팁(1b, 2b) 사이에 있는 와이어를 붙잡아 지지하기 위해, 선형모터에 정방형의 전류가 인가되면 자기 코일(6)에는 영구자석(5)의 자속방향과 반대인 자기장이 형성되어 서로 밀치는 힘이 작용하게 된다. 이에 따라, 상기 운동부재(2)의 자기코일은, 제1a도에 도시된 바와 같이, 상기 영구자석(5)과의 반발력에 의해 멀어지게 되어, 결국 상기 운동부재(2)는 고정자(3)를 힌지점으로 회동하게 되고 운동측 아암(2a)의 팁(2b)은 고정측 아암(1a)의 팁(1b)과 맞닿아 그들 사이를 통과하는 와이어를 붙잡아 지지하게 된다. 이때, 와이어를 붙잡는 힘은 자기코일에 인가되는 전류의 세기에 의해 결정된다. 반대로, 상기 두 팁(1b, 2b) 사이에 파지된 와이어의 파지력을 해제할 경우에는, 상기 선형모터에 역방향 전류를 인가하여 상기 영구자석(5)과 상기 자기코일(6)에서 형성된 자속 방향을 동일하게 함에 따라 상기 고정부재(1)와 운동부재(2)사이에는 서로 끌어당기는 힘이 작용하게 된다. 그 결과, 제1b도에 도시된 바와 같이, 상기 자기코일(6)은 영구자석(5)쪽으로 이동하고 운동부재(2)는 고정자(3)를 중심으로 회동하여 벌어짐으로써 와이어를 파지하고 있던 운동측 팁(2b)이 고정측 팁(1b)으로부터 떨어지게 되며 와이어의 파지력이 해제되는 것이다.Referring to the operation state of the conventional wire clamp unit configured as described above, first to catch and support the wire between the tip (1b, 2b) provided at the end of the fixed side arm (1a) and the movement side arm (2a) When a square current is applied to the linear motor, a magnetic field opposite to the magnetic flux direction of the permanent magnet 5 is formed in the magnetic coil 6, and the pushing force acts on each other. Accordingly, the magnetic coil of the movement member 2, as shown in Figure 1a, is separated by the repulsive force with the permanent magnet (5), eventually the movement member 2 is the stator (3) Is rotated to the hinge point and the tip 2b of the movement side arm 2a abuts against the tip 1b of the stationary side arm 1a to hold and support the wire passing therebetween. At this time, the force to hold the wire is determined by the strength of the current applied to the magnetic coil. On the contrary, when releasing the gripping force of the wire held between the two tips 1b and 2b, a reverse current is applied to the linear motor to change the magnetic flux direction formed in the permanent magnet 5 and the magnetic coil 6. As the same, the pulling force acts between the fixing member 1 and the movement member 2. As a result, as shown in FIG. 1B, the magnetic coil 6 moves toward the permanent magnet 5, and the movement member 2 rotates around the stator 3 to open and hold the wire. The side tip 2b is separated from the fixed side tip 1b and the gripping force of the wire is released.

그러나, 상기와 같이 구성되어 동작하는 종래의 와이어 클램프 유닛은, 고정부재(1)와 운동부재(2)를 연결하는 조립작업이 매우 어렵고, 또 고정자(3)와 코일스프링(4)이 고가이고 제작이 용이하지 않으며 상기 두 부재 사이에 조립하는 작업이 간단하지 않다. 또한, 운동부재(2)의 계속적 움직임으로 인한 충격으로 고정자나 팁등의 부품이 탈락하여 클램프 유닛의 가동이 중지되는 문제점이 있으며, 클램프 작용을 위해 선형모터에 계속적인 정방향 및 역방향의 전류를 인가해야 하기 때문에, 과다한 열이 발생하여 자기 코일을 감은 보빈(테프론재)이 변형되는 문제점을 내포하고 있다.However, in the conventional wire clamp unit configured and operated as described above, assembling work for connecting the fixing member 1 and the movement member 2 is very difficult, and the stator 3 and the coil spring 4 are expensive. Fabrication is not easy and the work of assembling between the two members is not simple. In addition, there is a problem that the operation of the clamp unit is stopped due to the dropping of the parts such as the stator or the tip due to the impact caused by the continuous movement of the moving member (2), the continuous forward and reverse current must be applied to the linear motor for the clamp action. Therefore, there is a problem that excessive heat is generated and the bobbin (Teflon material) wound around the magnetic coil is deformed.

따라서, 본 고안은 상기의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 와이어 클램프의 힌지부에 판 스프링을 제공함으로써 운동부재의 고정부재에 대한 상대적 롤링과 요잉을 방지하고 상기 판 스프링의 탄성복원력을 이용하여 선형모터의 사용을 일방향운동으로만 작용할 수 있도록 하는 와이어 클램프 유닛을 제공하는 데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, by providing a leaf spring to the hinge portion of the wire clamp to prevent the relative rolling and yawing of the fixed member of the moving member and to use the elastic restoring force of the leaf spring It is an object of the present invention to provide a wire clamp unit that allows the use of a linear motor to act only in one direction.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 와이어 본더의 소정위치에 고정되는 고정부재와, 상기 고정부재에 대응한 부재로서 회동가능하게 설치되어 움직이는 운동부재와, 상기 고정부재 및 상기 운동부재로부터 각각 연장되고 그 각각의 끝단에 팁이 장착된 아암과, 상기 고정부재의 일단부 소정 위치에 부착된 영구자석과 상기 영구자석에 대응한 상기 운동부의 위치에 구비된 자기코일로 이루어진 선형모터를 구비한 와이어 본딩장치의 와이어 클램프 유닛에 있어서, 상기 운동부재의 일측면이 상기 고정부재의 직각 단면에 대해 소정각도로 경사진 경사단면을 가지며, 그 일부면은 상기 고정부재의 일측면에 형성된 취부에 고정되고, 그 다른 일부면은 상기 운동부재의 경사단면에 형성된 취부에 고정되어 상기 운동부재와 상기 고정부의 간격을 소정 간격을 유지하며 상기 운동부재의 회동중심을 제공하고 상기 회동 변위에 따른 복원력을 제공하는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 클램프 유닛을 제공하다.In order to achieve the above object, the present invention provides a fixed member fixed to a predetermined position of a wire bonder, a movable member rotatably installed as a member corresponding to the fixed member, and extending from the fixed member and the movable member, respectively. A wire having a linear motor comprising a tip-mounted arm at each end thereof, a permanent magnet attached to a predetermined position of one end of the fixing member, and a magnetic coil provided at a position of the moving part corresponding to the permanent magnet; In the wire clamp unit of the bonding apparatus, one side of the moving member has an inclined cross section inclined at a predetermined angle with respect to the right angle cross section of the fixing member, a part of which is fixed to the mounting formed on one side of the fixing member The other part is fixed to the mounting portion formed on the inclined end surface of the movement member to reduce the distance between the movement member and the fixed portion It provides a wire clamp unit, characterized in that it comprises an elastic member to maintain a regular interval and to provide the center of rotation of the movement member and to provide a restoring force according to the rotation displacement.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 제2도 및 제3도를 참조하면, 도면부호 "21"은 고정부재, "21a"는 고정측 아암, "21b"는 고정측 팁, "22"는 운동부재, "22a"는 운동측 아암, "22b"는 운동측 팁, "24"는 판 스프링, "25"는 영구자석, "26"은 자기코일을 각각 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 2 and 3, reference numeral 21 denotes a fixed member, 21a a fixed side arm, 21b a fixed side tip, 22 a movement member, and 22a an arm. "22b" represents the movement side tip, "24" represents the leaf spring, "25" represents the permanent magnet, "26" represents the magnetic coil.

본 고안에 따른 와이어 클램프 유닛은, 제3도에 도시된 바와 같이, 트랜스듀서(도시되지 않음)의 상부 소정위치에 고정되며, 일단의 수직 단면에 후술되는 판스프링의 일부 면이 부착 고정되도록 취부가 형성된 고정부재(21)와, 상기 고정부재(21)의 일단으로부터 연장되어 뻗어나오고 그 끝단에 팁(1b)이 부착된 고정측 아암(21a)과, 상기 고정부재(21)와 대응되는 구성품으로 회동이 가능하며 일단의 단면을 소정각도만큼 바깥쪽으로 경사지게 가공하여 후술되는 판 스프링의 다른 일부면이 부착 고정되도록 취부가 형성된 운동부재(22)와, 상기 운동부재(22)의 일단으로부터 연장되어 뻗어나오고 그 끝단에 팁(22b)이 부착된 운동측 아암(2a)과, 사각형의 판재로 상기 고정부(1)와 상기 운동부(2)의 취부에 그 일면이 부착되며 상기 운동부재(22)의 힌지점과 함께 초기 복원력을 제공하는 판 스프링(24)과, 상기 고정부재(21)의 다른 일단부 소정 위치에 부착된 영구자석(25)과 상기 영구자석(25)에 대응한 상기 운동부재(22)의 위치에 구비된 자기코일(6)로 이루어져 상기 자기코일(6)에 인가된 전류로 상기 운동부재(22)를 회동시키는 선형 모터로 구성된다.As shown in FIG. 3, the wire clamp unit according to the present invention is fixed to an upper predetermined position of a transducer (not shown), and is mounted such that some surfaces of the leaf springs described later are attached and fixed to one end of the vertical cross section. And a fixed side arm 21a which extends from one end of the fixed member 21 and has a tip 1b attached to the end thereof, and a component corresponding to the fixed member 21. It is possible to rotate by the end of the end of the end by processing a predetermined angle inclined outward by the movement member 22 and the mounting portion is formed so that the other side surface of the leaf spring to be described later and extends from one end of the movement member 22 The movement side arm 2a, which extends and has a tip 22b attached to the end thereof, and one surface is attached to the fixing portion 1 and the mounting portion of the movement portion 2 by a rectangular plate and the movement member 22 With the hinge point of Leaf spring 24 for providing a restoring force, the permanent magnet 25 attached to a predetermined position of the other end of the fixing member 21 and the position of the movement member 22 corresponding to the permanent magnet 25 It consists of a magnetic motor (6) provided in the linear motor for rotating the movement member 22 by the current applied to the magnetic coil (6).

상기와 구성된 본 고안에서, 상기 판 스프링(24)이 고정부재(21)와 운동부재(22)의 취부에 일체로 부착 고정되어 장치 내에 설치될 때, 도3a에 도시된 바와 같이, 상기 고정부재(21)와 상기 운동부재(22)는 서로 평행되게 소정간격 d가 유지되도록 강제적으로 외력을 부가하여 설치 고정되므로, 상기 운동부재(22)의 경사단면인 취부에 부착된 상기 판 스프링(24) 부분은 상기 고정부재(21)의 수직 단면의 취부에 부착된 판 스프링(24) 부분에 대하여 소정 각도로 휘어지게 된다. 상기 휨각도는 상기 운동부재(22)의 경사단부인 취부면의 경사각에 해당하는 각도이고 상기의 강제적 외력에 의해 발생된 것이므로 상기 판 스프링(24) 내부에 기탄성력(초기 복원력)이 발생하고 상기 기탄성력은 선형모터에 전원이 인가되지 않을 경우에도 판 스프링의 굴곡점을 힌지점으로 하여 상기 운동부재(22)에 복원토크로 작용하기 때문에 항시 클램프 끝단의 팁(21b, 22b)을 맞물리게 하는 클램프 힘을 제공한다. 이때, 상기 복원토크는 판 스프링(24)이 가지는 스프링 상수와 휨각도에 곱에 비례하며 상기 스프링 상수는 상기 간격d에 반비례하므로 스프링 재료의 적절한 선택과 판 스프링이 취부되는 운동부재의 경사단면의 경사각도를 적정하게 선택하므로써 클램프 작업에 적합한 힘으로 조절될 수 있다. 또한, 상기 d값을 작게 하면 할수록 운동부의 고정부에 대한 상대적 롤링과 요잉이 방지될 수 있다.In the present invention configured as described above, when the leaf spring 24 is integrally attached and fixed to the mounting portion of the fixing member 21 and the movement member 22 and installed in the apparatus, as shown in Fig. 3A, the fixing member Since the 21 and the movement member 22 are installed and fixed by forcibly adding an external force so that a predetermined distance d is maintained in parallel with each other, the leaf spring 24 attached to the mounting portion which is an inclined section of the movement member 22 is fixed. The part is bent at a predetermined angle with respect to the part of the leaf spring 24 attached to the mounting of the vertical section of the fixing member 21. The bending angle is an angle corresponding to the inclination angle of the mounting surface, which is the inclined end of the movement member 22, and is generated by the forcible external force, so the elastic spring force (initial restoring force) is generated inside the leaf spring 24. Since the elasticity force acts as a restoring torque to the moving member 22 by using the bending point of the leaf spring as a hinge point even when power is not applied to the linear motor, the clamp that always engages the tips 21b and 22b at the end of the clamp Provide power. At this time, the restoring torque is proportional to the product of the spring constant and the bending angle of the leaf spring 24 and the spring constant is inversely proportional to the distance d, so that the proper selection of the spring material and the inclined cross section of the moving member to which the leaf spring is mounted By properly selecting the inclination angle, it can be adjusted to a force suitable for clamping. In addition, as the value d decreases, relative rolling and yawing of the fixed part of the moving part can be prevented.

본 고안에 따른 와이어 클램프 유닛의 작동상태를 제3a도 및 제3b도를 참조하여 설명하면, 선형모터에 전류가 인가되면, 자기코일에 의해 형성된 자속의 방향과 영구자석의 자속방향이 동일하게 되어 자기코일(26)은 고정부재(21)쪽으로 끌어당겨짐에 따라, 제3b도에 도시된 바와 같이, 상기 운동부재(22)의 일단이 판 스프링(24)의 굴곡점을 중심으로 회동된다. 이에 따라, 상기 운동측 아암(22a)의 끝단은 고정측 아암(21a)으로부터 멀어지게 되고, 두 팁(21b, 22b)은 벌어지게 된다. 이때, 상기 선형모터의 동력은 초기 복원토크와 운동부재(22)의 회동으로 인한 추가적인 휨각 변화에 의한 추가토크를 극복할 수 있도록 결정되는 것이 필요하다.Referring to the operation of the wire clamp unit according to the present invention with reference to Figures 3a and 3b, when a current is applied to the linear motor, the direction of the magnetic flux formed by the magnetic coil and the magnetic flux direction of the permanent magnet is the same As the magnetic coil 26 is pulled toward the fixing member 21, as shown in FIG. 3B, one end of the moving member 22 is rotated around the bending point of the leaf spring 24. Accordingly, the end of the movement side arm 22a is moved away from the fixed side arm 21a, and the two tips 21b and 22b are opened. At this time, the power of the linear motor needs to be determined so as to overcome the additional torque due to the additional bending angle change due to the initial restoration torque and the rotation of the movement member 22.

이후, 팁(21a, 21b) 사이에 와이어를 파지하기 위해 상기 선형모터에 인가된 전류를 차단하면 운동부재(22)의 끝단은 판 스프링(24)에 저장된 탄성에너지에 의해 초기위치로 되돌아가 두 팁(21a, 21b)은 맞물리게 되고 초기 복원토크에 의한 클램프 힘으로 와이어를 붙잡게 된다. 따라서, 클램프 작용시 판 스프링(24)의 초기 복원력만이 작용하므로 선형모터의 효율을 증대시킬 수 있게 된다.Thereafter, when the current applied to the linear motor is interrupted to grip the wire between the tips 21a and 21b, the end of the movement member 22 returns to the initial position by the elastic energy stored in the leaf spring 24. The tips 21a and 21b are engaged and catch the wire with the clamp force by the initial recovery torque. Therefore, only the initial restoring force of the leaf spring 24 during the clamping action can increase the efficiency of the linear motor.

또한, 판 스프링(24)은 클램프의 고정부재(21) 및 운동부재(22)의 형태에 따라서 변경이 가능하다. 제4a도에 도시된 바와 같이, 고정부재와 운동부재의 취부에 한 개의 판 스프링이 부착 고정될 수도 있으며, 제4b도에 도시된 바와 같이, 고정부재와 운동부재 각각의 두 장소의 취부를 대칭되게 형성하여 동일 형상 및 동일재료의 두개의 판 스프링이 상기 취부에 부착 고정될 수도 있다.In addition, the leaf spring 24 can be changed depending on the shape of the clamping member 21 and the movement member 22 of the clamp. As shown in FIG. 4A, one leaf spring may be attached to and fixed to the mounting member and the movement member. As shown in FIG. 4B, the mounting of the two positions of the fixing member and the movement member is symmetrical. Two leaf springs of the same shape and the same material may be attached and fixed to the mounting portion.

이상에서 설명한 본 고안은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 고안의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 기능함이 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes function within the scope not departing from the technical idea of the present invention. It will be clear to those who have

전술한 바와 같이 본 고안에 따르면, 와이어 클램프의 힌지부에 판 스프링을 제공하여 운동부재의 롤링과 요잉을 방지하고 클램프 작용시 복원력을 이용하므로써 클램프 유닛을 구성하는 구성요소의 단순화를 이룰 수 있고, 이와 동시에 선형 모터의 이용효율의 증대와 보다 확실한 클램프 작용을 실행하는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, by providing a leaf spring in the hinge portion of the wire clamp to prevent the rolling and yawing of the moving member and to use the restoring force in the clamping action, it is possible to simplify the components constituting the clamp unit, At the same time, there is an effect of increasing the utilization efficiency of the linear motor and performing a more reliable clamping action.

Claims (3)

와이어 본더의 소정위치에 고정되는 고정부재와, 상기 고정부재에 대응한 부재로서 회동가능하게 설치되어 움직이는 운동부재와, 상기 고정부재 및 상기 운동부재로부터 각각 연장되고 그 각각의 끝단에 팁이 장착된 아암과, 상기 고정부재의 일단부 소정 위치에 부착된 영구자석과 상기 영구자석에 대응한 상기 운동부의 위치에 구비된 자기코일로 이루어진 선형모터를 구비한 와이어 본딩장치의 와이어 클램프 유닛에 있어서, 상기 운동부재의 일측면이 상기 고정부재의 직각 단면에 대해 소정각도로 경사진 경사단면을 가지며, 그 일부면은 상기 고정부재의 일측면에 형성된 취부에 고정되고, 그 다른 일부면은 상기 운동부재의 경사단면에 형성된 취부에 고정되어 상기 운동부재와 상기 고정부의 간격을 소정 간격을 유지하며 상기 운동부재의 회동중심을 제공하고 상기 회동 변위에 따른 복원력을 제공하는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 클램프 유닛.A fixed member fixed to a predetermined position of the wire bonder, a movable member rotatably installed as a member corresponding to the fixed member, a movable member extending from the fixed member and the movable member, and having a tip mounted at each end thereof. A wire clamp unit of a wire bonding apparatus having an arm, a linear motor comprising a permanent magnet attached to a predetermined position of one end of the fixing member, and a magnetic coil provided at a position of the moving part corresponding to the permanent magnet. One side of the movement member has an inclined cross section inclined at a predetermined angle with respect to a right angle cross section of the fixing member, a portion of which is fixed to the mounting portion formed on one side of the fixing member, the other portion of the movement member Is fixed to the mounting portion formed on the inclined cross-section of the movement member while maintaining a predetermined interval between the movement member and the fixed portion Service center and the wire clamping unit comprises a resilient member providing a restoring force corresponding to the rotational displacement. 제1항에 있어서, 상기 탄성부재는 소정 두께를 갖는 판 스프링인 것을 특징으로 하는 와이어 클램프 유닛.The wire clamp unit according to claim 1, wherein the elastic member is a leaf spring having a predetermined thickness. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 고정부재 및 상기 운동부재의 일측 단면에 동일 형상 및 재료로 형성된 두개의 상기 탄성부재가 각각 대칭되게 부착, 고정되는 것을 특징으로 하는 와이어 클램프 유닛.The wire clamp unit according to claim 1 or 2, wherein the two elastic members formed of the same shape and material are symmetrically attached and fixed to one end surface of the fixing member and the moving member, respectively.
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